KR200267971Y1 - 웨이퍼 고정 장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 헤드부의 구경이 몸체부 보다 큰 원통형의 테프론핀과, 몸체부에 삽입되는 스프링과, 상단에는 몸체부가 삽입되고, 하단에는 나사산이 형성되는 제 1플런저와, 상단이 제 1플런저와 나사결합되는 제 2플런저와, 제 1플런저와 제 2플런저사이에 순차적으로 삽입되는 워셔와, 클램프링과, 테프론핀과 제 1플런저에 클램프링이 고정되도록 하는 부착링을 포함하여 이루어지는 웨이퍼 고정장치에 관한 것이다.
Description
본 고안은 웨이퍼 고정장치에 관한 것으로, 특히 상부전극에 연결되어 웨이퍼(WAFER)가장자리를 고정시키는 클램프링(CLAMP RING)에 상부전극의 힘을 전달시키는 플런저(PLUNGER)의 탈부착에 용이하도록 한 웨이퍼 고정장치에 관한 것이다.
반응챔버 내에서 상부전극에 연결되어, 상부전극이 다운됨에 따라 하방향(웨이퍼방향)으로 힘을 전달받음으로써 웨이퍼 고정수단인 클램프링이, 클램프링의 양측에 형성된 웨이퍼의 가장자리를 눌러 고정시킨 후 해당공정을 진행시킨다.
그리고 웨이퍼 고정과정에서, 웨이퍼를 고정시키는 클램핑링에 상부전극의 힘을 전달시키는 역할을 하는 플런저는 내부에 스프링이 장착되어 어느 정도 웨이퍼에 완충력을 주어 웨이퍼 손상방지 및 보호하는 역할을 하며, 각각의 부품은 분해, 장착이 가능하다.
제 1 도는 종래의 웨이퍼 고정장치를 설명하기 위한 도면으로, 제 1도의 (가)는 종래의 웨이퍼 고정장치의 단면도이고, 제 1도의 (나)는 종래 웨이퍼 고정장치의 분해사시도이다. (제 1도의 (나)에서 클램프링은 도시되지 않음)
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 종래의 웨이퍼 고정장치의 구성 및 각각의 부품의 분해와 장착순서를 알아보면 다음과 같다.
종래의 웨이퍼 고정장치는 제 1도의 (가)(나)와 같이, 내부가 관통되되, 헤드부(a,a')의 구경이 몸체부(b,b')보다 크게 형성되어, 각각 마주 보도록 형성된 각각의 제 1테프론링(TEFLON RING)(10)과 제 2 프론링(11)과, 제 1테프론링(10)과 제 2 테프론링(11)의 몸체부(b,b')에 삽입되는 스프링(12)과, 제 2테프론링(11) 하부에 삽입되는 플런저(13)와, 플런저(13)의 하부에 순차적으로 삽입되는 워셔(WASHER)(15)와 클램프링(16)과 리테이너(RETAINER)(14)와, 결합된 제 1테프론링(10)과 제 2테프론링(11)과 플런저(13)에 클램프링(16)이 고정되도록 하는 부착링(17)을 포함하여 이루어지며, 이때, 플런저(13)는 상단에 돌기가 형성되어 제 2테프론링(11)의 하단에 삽입되고, 그 하단에는 양측으로 돌기가 형성되어(워셔와 리테이너에는 동일한 형상의 홈이 형성되어 있음) 각각 워셔(15)와 리테이너(14)가 삽입되어 90도 회전시킴으로써 고정된다.
또한, 여기에서 와셔(15)는 플런저(13)의 힘을 클램프링(16)에 전달하는 역할을 하며, 그리고 리테이너(14)는 클램프링(16)이 플런저에서 이탈되지 않도록 고정시키어 주는 역할을 한다.
종래의 웨이퍼 고정장치의 동작을 알아보면, 우선 상부전극(A)이 다운됨에 따라, 클램프링도 함께 다운되면서 웨이퍼 가장자리에 접촉된다.
그리고 웨이퍼에 접촉된 상태에서 계속 상부전극(A)의 다운이 일어나면 플런저 상부에 위치된 스프링(12)이 수축하게 되면서 양측에서 웨이퍼 가장자리가 각각 고정된다.
그리고 종래의 웨이퍼 고정장치의 각각의 장착과 분해순서를 알아보면 다음과 같다.
우선, 종래의 웨이퍼 고정장치의 장착순서를 알아보면, 부착링(17)에 결합된 플런저(13), 제 2테프론링(11), 스프링(12), 제 1테프론링(10)을 올려놓고 상부전극의 6개홀 스프링을 맞추면서 상부전극(A)에 부착링을 고정시킨다.
그리고나서 플런저(13) 하단에 와셔(15)와 클램프링(16)과 리테이너(14)를 삽입한 후, 90도 회전하여 고정시킨다.
그러나, 종래의 웨이퍼 고정장치는 스프링이 인장되어 각각의 부품을 장착할 시 상당한 시간이 걸린다.
또한, 종래의 웨이퍼 고정장치의 분해순서를 알아보면, 먼저 리테이너(14)와 클램프링(16)과 와셔(15) 순으로 장착시의 방향과 반대로 돌려 플런저(13)에서 탈착시키고, 부착링(17)과 플런저(13) 사이에 형성된 고정나사를 탈착하여 개별적으로 분리시킨다.
그러나, 종래의 웨이퍼 고정장치 분해시에 내부에 인장되어 있는 스프링이 밖으로 튀는 현상이 발생되어 부품의 손실을 초래한다.
또한, 종래의 웨이퍼 고정장치는 상부전극이 상부, 하부로 움직이는 빈도수가 커짐에 따라 플런저 하부에 삽입되어 클램프링을 고정시키는 리테이너가 플런저로 부터 이탈되는 경우가 종종 발생된다.
본 고안은 이러한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 리테이너의 풀림방지와 스프링의 이탈방지 그리고 부착링의 해체가 용이한 웨이퍼 고정장치를 그 목적으로 한다.
본 고안의 웨이퍼 고정장치는 헤드부의 구경이 몸체부 보다 큰 원통형의 테프론핀과, 몸체부에 삽입되는 스프링과, 상단에는 몸체부가 삽입되고, 하단에는 나사산이 형성되는 제 1플런저와, 상단이제 1플런저와 나사결합되는 제 2플런저와, 제 1플런저와 제 2플런저 사이에 순차적으로 삽입되는 워셔와, 클램프링과, 테프론핀과 제 1 플런저에 클램프링이 고정되도록 하는 부착링을 포함하여 이루어져서, 리테이너의 풀림방지와 스프링의 이탈방지 그리고 부착링의 해체가 용이하다.
제 2도는 본 고안의 웨이퍼 고정장치를 설명하기 위한 도면으로, 제 2도의 (가)는 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 단면도이고, 제 2도의 (나)는 본고안의 웨이퍼 고정장치의 분해사시도이고, 제2도의 (다)는 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 제1플런저 입구를 설명하기 위한 단면도이다. (제 2도의 (나)는 클램프링이 도시되지 않음)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 설명하겠다.
본 고안의 웨이퍼 고정장치는 제 2도의 (가)(나)와 같이, 헤드부(c)의 구경이 몸체부(d)보다 큰 원통형의 테프론핀(20)과, 테프론핀(20)의 몸체부(b)에 삽입되는 스프링(22)과, 상단에는 테프론핀의 몸체부(b)의 하단(f)이 삽입되고, 하단에는 나사산이 형성되는 제 1플런저(21)와, 상단이 제 1플런저(21)와 나사결합되는 제 2플런저(28)와, 제 1플런저(21)와 제 2플런저(28) 사이에 순차적으로 삽입되는 워셔(25)와, 클램프링(26)과, 테프론핀(20)과 제 1플런저(21)에 클램프링이 고정되도록 하는 부착링을 포함하여 이루어진다.
또한, 테프론핀(20)의 몸체부(d)의 하단(f)은 타원형의 돌기 형상으로 형성되고, 제 1플런저(21)의 입구(e)는 개구되어 타원으로 형성되어지며, 이때 테프론핀(20)의 몸체부(d)의 하단(f)은 제 1플런저(21)의 입구(e)보다 작은 타원형으로 형성시킨다.
그리고 제 1플런저(21)에 삽입된 테프론핀(20)을 90도 회전시켜 제1플런저(21)에 고정시킨다. 그리고 제 1플런저(21) 측면에는 평면 가공된다.
그리고 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 분해, 장착을 살펴보면 다음과 같다.
우선, 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 분해순서를 알아보면, 먼저 제 1플런저(21)와 나사결합된 제 2플런저(23)를 풀어 제 1플런저(21)와 제 2플런저(23)로부터 워셔(25)와 클램프링(26)을 분리시킨다.
그리고 부착링(27)의 고정나사를 풀면 부착링(27)과 제 1, 2플런저(21,23)와 스프링(22)과 테프론핀(20)은 각각 개별적으로 분해된다.
따라서, 본 고안의 웨이퍼 고정장치에서는 테프론핀의 몸체부(d)에 스프링(22)을 끼우고 제 1플런저(21)를 회전시켜 고정시키는 방법을 사용하므로 종래의 웨이퍼 고정장치 분해 시에 발생되는 스프링의 튐현상이 발생하지 않는다.
또한, 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 장착 순서를 알아보면, 먼저 테프론핀(20)의 몸체부(d)에 스프링(22)을 끼우며, 이때 테프론핀(20)의 몸체부(d)의 하단(f)을 제 1플런저(21)의 입구(e)에 삽입시킨다. 그리고 90도로 테프론핀(20)을 회전시켜 제 1플런저(21)에 완전히 고정시킨다.
그리고 제 1플런저(21) 하단에 워셔(25)와 클램프링(26)을 삽입시키고 제 2플런저(23)를 나사결합시킨다.
따라서, 본 고안에서는 리테이너를 없애 줌으로써, 종래에 상부전극(A')의 업다운 횟수가 커질수록 빈번하게 발생하던 리테이너의 풀림과 이탈됨에 따른 번거로움을 없앴다.
또한, 제 1플런저(21) 측면은 평면 가공되어, 웨이퍼 고정장치의 장착과 분해시 파지에 용이하다.
상술된 바와 같이, 본 고안의 웨이퍼 고정장치는 장착이 용이할 뿐만 아니라 분해시 갑작스런 스프링이 튕겨져 손실되는 것을 방지 가능하다.
제 1 도는 종래의 웨이퍼 고정장치를 설명하기 위한 도면으로,
제 1도의 (가)는 종래의 웨이퍼 고정장치의 단면도이고, 제 1도의 (나)는 종래 웨이퍼 고정장치의 분해사시도이다.
그리고 제 2도는 본 고안의 웨이퍼 고정장치를 설명하기 위한 도면으로,
제 2도의 (가)는 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 단면도이고, 제 2도의 (나)는 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 분해사시도이고, 제 2도의 (다)는 본 고안의 웨이퍼 고정장치의 제1플런저 입구를 설명하기 위한 단면도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※
10. 제 1테프론링 11. 제 2테프론링
12, 22. 스프링 13. 플런저
14. 리테이너 15, 25. 워셔
16, 26. 클램프링 20. 테프론핀
21. 제 1플런저 23. 제 2플런저
17, 27. 부착링
Claims (3)
- 헤드부의 구경이 몸체부보다 큰 원통형의 테프론핀과,상기 테프론핀의 몸체부에 삽입되는 스프링과,상단은 상기 테프론핀의 몸체부가 삽입되고, 하단에는 나사산이 형성되는 제 1플런저와,상단이 상기 제 1플런저와 나사결합되는 제 2플런저와,상기 제 1플런저와 상기 제 2플런저 사이에 순차적으로 삽입되는 워셔와, 클램프링과,상기 테프론핀과 상기 제 1플런저에 클램프링이 고정되도록 하는 부착링을 포함하여 이루어지는 웨이퍼 고정장치.
- 제 1항에 있어서,상기 테프론핀의 몸체부의 하단과 상기 제 1플런저의 입구는 타원형으로 형성되어져, 상기 제 1플런저 입구에 상기 테프론핀의 몸체부의 하단을 삽입한 상태에서 상기 테프론핀의 몸체부를 90도 회전시킴으로써 상기 제 1플런저에 고정시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정장치.
- 제 2항에 있어서,상기 테프론핀의 몸체부 하단은 상기 제 1플런저 입구 보다 작게 형성하는것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정장치.
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| KR2019960021798U KR200267971Y1 (ko) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 웨이퍼 고정 장치 |
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