KR102421799B1 - 텔 타입 티-슬롯 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 캐소드에 삽입되는 부시, 부시에 삽입 조립되는 SUS 체결구, 부시와 SUS 체결구 사이에 결합되는 하부 고정 멈춤링 및 SUS 체결구의 삽입을 위한 T-슬롯 볼트가 구비된 텔 타입 티-슬롯이 제공된다.

Description

텔 타입 티-슬롯 {TEL type T-slot}

본 발명은 텔 타입 티-슬롯에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐소드에 삽입되는 부시, 부시에 삽입 조립되는 SUS 체결구, 부시와 SUS 체결구 사이에 결합되는 하부 고정 멈춤링 및 SUS 체결구의 삽입을 위한 T-슬롯 볼트가 구비된 텔 타입 티-슬롯에 관한 것이다.

일반적으로 종래의 기술은 캐소드의 일측면에 체결홀을 형성하고 볼트와 유사하게 이루어진 임의의 결합 부재를 이용하여 상기 체결홀에 결착된 상태로 사용하고 있었다. 상기 캐소드는 반응 가스의 유입과 함께 고전압의 플라즈마에 노출되면서 고온의 온도와 압력에 캐소드에 설치된 결합 부재의 위치 변위가 발생되어 캐소드가 파손되거나 체결홀이 마모되면서 결합 부재가 이탈하는 현상이 발생되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 캐소드의 체결 가능한 홈에 삽입되는 부시가 구비된 텔 타입 티-슬롯을 제공하는 것이다.

또한 본 발명의 다른 목적은 부시에 삽입되는 SUS 체결구가 구비된 텔 타입 티-슬롯을 제공한다.

또한 본 발명의 또 다른 목적은 부시와 SUS 체결구 사이에 삽입되는 하부 고정 멈춤링이 구비된 텔 타입 티-슬롯을 제공한다.

또한 본 발명의 또 다른 목적은 SUS 체결구의 삽입을 보조하는 T-슬롯 볼트가 구비된 텔 타입 티-슬롯을 제공한다.

본 발명의 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 텔 타입 티-슬롯은 캐소드의 체결 가능한 홈에 삽입되는 부시를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 부시에 삽입되도록 상기 부시 삽입 부분에 대응하는 반원형 또는 반타원형의 링 형상으로 구비되고, 내측 원주 방향 양측 말단부에 돌출된 돌기가 형성된 하부 고정 멈춤링을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 부시는, 원형 형상의 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 상부로 일체로 연장되고 상면 중앙에 삽입 가능한 나사산이 형성된 홀이 형성되는 원형 형상의 체결부를 포함하고, 상기 체결부의 지름은 상기 베이스 플레이트의 지름보다 작게 형성되고, 상기 하부 고정 멈춤링은, 일측이 개구된 개구부를 포함하고, 상기 부시의 상기 체결부에 안착되고, 상기 돌기가 서로 마주보게 배치되는 것을 특징으로 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 텔 타입 티-슬롯은, 상기 부시에 체결 조립되고, T-슬롯 볼트에 의한 조립 및 해체를 보조하기 위해 내면에 상기 T-슬롯 볼트용 나사산이 형성된 SUS 체결구를 더 포함하고, 상기 SUS 체결구는, 상기 T-슬롯 볼트의 인입을 위해 원기둥 형상으로 외면 및 내면에 나사산이 형성된 상부바디, 상기 상부바디와 일체로 연통되는 동시에 단이 형성되고 말단부가 원뿔 형상으로 외면 및 내면에 나사산이 형성된 하부바디, 상기 하부바디의 내부에 인입되고 상기 상부바디의 내주면 하단에 고정되도록 말단부에 삽입편이 구비된 탄성지지체, 상기 T-슬롯 볼트가 상기 SUS 체결구에 인입될 때 상기 탄성지지체에 의해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 상부바디의 통공에 끼워지는 볼트 고정편을 포함하고, 상기 SUS 체결구를 상기 부시에 체결 조립하기 위해 상기 T-슬롯 볼트가 상기 상부바디 내부로 인입되고 상기 T-슬롯 볼트가 인입되는 동시에 상기 SUS 체결구도 상기 부시로 인입되어 T-슬롯 볼트가 상기 탄성지지체의 상기 삽입편에 닿으면 체결이 완료되는 특징을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 T-슬롯 볼트는, 치공구가 삽입되도록 가장자리를 따라 일정 간격 이격되어 복수 개의 체결돌기가 상부 방향으로 돌출되고 상기 SUS 체결구에 인입하기 위한 외주면을 따라 나사산이 형성되고, 하단부 중앙에 돌출된 고정부가 형성된 볼트바디, 상기 볼트바디의 지름보다 큰 지름으로 형성되고, 치공구에 의해 상기 T-슬롯 볼트가 삽입될 때 상기 탄성지지체의 상기 삽입편과 맞닿는 볼트헤드를 포함하고, 상기 볼트헤드는, 상기 고정부에 삽입되도록 내부 지름이 상기 고정부의 외부 지름과 동일하고 일측이 개구된 'C'자 형상의 고정링, 내부 지름이 상기 고정부의 외부 지름과 동일하고 상기 고정링에 끼움 결합되고 일단부 중앙이 통공되며 타단부 중앙에 수나사가 형성된 고정기둥, 상기 고정기둥을 통하여 상기 볼트바디의 하단부에 체결되도록 내부 하단면에 상기 고정기둥의 상기 수나사와 체결되기 위한 암나사가 형성된 헤드링을 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 캐소드에 삽입되는 부시, 부시에 삽입 조립되는 SUS 체결구, 부시와 SUS 체결구 사이에 결합되는 하부 고정 멈춤링 및 SUS 체결구의 삽입을 위한 T-슬롯 볼트가 구비된 텔 타입 티-슬롯이 제공된다. 본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 발명 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 부시를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 하부 고정 멈춤링을 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 SUS 체결구를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 조립도 및 가체결 상태를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 조립완료된 형상을 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 조립 실시예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 T-슬롯 볼트의 조립도를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 치공구에 의한 T-슬롯 볼트 체결 실시예를 도시한 것이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 다양한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에 기재된 실시 예는 다양하게 변형될 수 있다. 특정한 실시예가 도면에서 묘사되고 상세한 설명에서 자세하게 설명될 수 있다. 그러나 첨부된 도면에 개시된 특정한 실시 예는 다양한 실시 예를 쉽게 이해하도록 하기 위한 것일 뿐이다. 따라서 첨부된 도면에 개시된 특정 실시 예에 의해 기술적 사상이 제한되는 것은 아니며, 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 균등물 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상술한 용어에 의해 한정되지는 않는다. 상술한 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 명세서에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

한편, 본 명세서에서 사용되는 구성요소에 대한 "모듈" 또는 "부"는 적어도 하나의 기능 또는 동작을 수행한다. 그리고 "모듈" 또는 "부"는 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합에 의해 기능 또는 동작을 수행할 수 있다. 또한, 특정 하드웨어에서 수행되어야 하거나 적어도 하나의 프로세서에서 수행되는 "모듈" 또는 "부"를 제외한 복수의 "모듈들" 또는 복수의 "부들"은 적어도 하나의 모듈로 통합될 수도 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

그 밖에도, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.

텔 타입 티-슬롯이란, 종래의 기술은 부시와 체결구, 및 멈춤링으로 구성되어 플라즈마 챔버의 캐소드에 형성된 체결홀에 볼트와 유사하게 이루어진 임의의 결합 부재를 이용하여 반도체 웨이퍼의 에칭 처리에 플라즈마 장치에 널리 사용되는 것을 의미하며, 또한 텔 타입 티-슬롯 장치일 수도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 부시(10)를 도시한 것이다.

도 1을 참조하면, 텔 타입 티-슬롯은 캐소드(C)의 체결 가능한 홈에 삽입되는 부시(10)를 포함할 수 있다.

부시(10)는 원형 형상의 베이스 플레이트(11), 베이스 플레이트(11)의 상부로 일체로 연장되고 상면 중앙에 삽입 가능한 나사산(212)이 형성된 홀이 형성되는 원형 형상의 체결부(12)를 포함할 수 있다.

체결부(12)의 지름은 베이스 플레이트(11)의 지름보다 작게 형성될 수 있다.

도 2는 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 하부 고정 멈춤링(20)을 도시한 것이다.

도 2를 참조하면, 텔 타입 티-슬롯은 하부 고정 멈춤링(20)을 포함할 수 있다.

하부 고정 멈춤링(20)은 부시(10)에 삽입되도록 부시(10) 삽입 부분에 대응하는 반원형 또는 반타원형의 링 형상으로 구비되고, 내측 원주 방향 양측 말단부에 돌출된 돌기(21)가 형성될 수 있다.

하부 고정 멈춤링(20)은 일측이 개구된 개구부(22)를 포함할 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 SUS 체결구(100)를 도시한 것이다.

도 3을 참조하면, 텔 타입 티-슬롯은 부시(10)에 체결 조립되고, T-슬롯 볼트(200)에 의한 조립 및 해체를 보조하기 위해 내면에 T-슬롯 볼트(200)용 나사산(212)이 형성된 SUS 체결구(100)를 더 포함할 수 있다.

SUS 체결구(100)는 상부바디(110), 하부바디(120), 탄성지지체(130), 및 볼트 고정편(140)을 포함할 수 있다.

상부바디(110)는 T-슬롯 볼트(200)의 인입을 위해 원기둥 형상으로 외면 및 내면에 나사산(212)이 형성될 수 있다.

하부바디(120)는 상부바디(110)와 일체로 연통되는 동시에 단이 형성되고 말단부가 원뿔 형상으로 외면 및 내면에 나사산(212)이 형성될 수 있다.

탄성지지체(130)는 하부바디(120)의 내부에 나사산(212)을 따라 인입되고 상부바디(110)의 내주면 하단에 고정되도록 말단부에 삽입편(131)이 구비될 수 있다.

볼트 고정편(140)은 T-슬롯 볼트(200)가 SUS 체결구(100)에 인입될 때 탄성지지체(130)에 의해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상부바디(110)의 통공에 끼워질 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 조립도 및 가체결 상태를 도시한 것이다.

도 4를 참조하면, 하부 고정 멈춤링(20)은 부시(10)의 체결부(12)에 안착되고, 이를 위해 돌기(21)가 서로 마주보게 배치될 수 있다.

도 5는 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 조립완료된 형상을 도시한 것이고, 도 6은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 조립 실시예를 도시한 것이다.

도 1 및 도 6을 참조하여 상기 구성들의 조립 관계 및 효과를 상세히 기술하면 다음과 같다.

SUS 체결구(100)를 부시(10)에 체결 조립하기 위해 T-슬롯 볼트(200)가 상부바디(110) 내부로 인입되고 T-슬롯 볼트(200)가 인입되는 동시에 SUS 체결구(100)도 부시(10)로 인입되어 T-슬롯 볼트(200)가 탄성지지체(130)의 삽입편(131)에 닿으면 체결이 완료될 수 있다.

이로 인해 종래의 SUS 체결구(100)와 부시(10) 사이의 내부 간섭 유발 구조를 개선하여 구조적 한계를 극복하였고 이를 통해 간섭에 의한 파손이 발생되는 것을 방지하는 효과가 있다.

한편 구조 개선으로 체결과 해체성이 용이하여 부품비용을 감소하고 종래에는 일회성 사용에 그친 한계를 반복 사용 가능하도록 함으로써 적응력을 높이는 효과가 있다.

도 7은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 T-슬롯 볼트(200)의 조립도를 도시한 것이다.

도 7을 참조하면, T-슬롯 볼트(200)는 볼트바디(210) 및 볼트헤드(220)를 포함할 수 있다.

볼트바디(210)는 치공구(300)가 삽입되도록 가장자리를 따라 일정 간격 이격되어 복수 개의 체결돌기(211)가 상부 방향으로 돌출되고 SUS 체결구(100)에 인입하기 위한 외주면을 따라 나사산(212)이 형성되고, 하단부 중앙에 돌출된 고정부(213)가 형성될 수 있다.

볼트헤드(220)는 볼트바디(210)의 지름보다 큰 지름으로 형성되고, 치공구(300)에 의해 T-슬롯 볼트(200)가 삽입될 때 탄성지지체(130)의 삽입편(131)과 맞닿을 수 있다.

볼트헤드(220)는 고정링(221), 고정기둥(222) 및 헤드링(223)을 포함할 수 있다.

고정링(221)은 고정부(213)에 삽입되도록 내부 지름이 고정부(213)의 외부 지름과 동일하고 일측이 개구된 'C'자 형상을 구비할 수 있다.

고정기둥(222)은 내부 지름이 고정부(213)의 외부 지름과 동일하고 고정링(221)에 끼움 결합되고 일단부 중앙이 통공되며 타단부 중앙에 수나사(222a)가 형성될 수 있다.

헤드링(223)은 고정기둥(222)을 통하여 볼트바디(210)의 하단부에 체결되도록 내부 하단면에 고정기둥(222)의 수나사(222a)와 체결되기 위한 암나사(223a)가 형성될 수 있다.

도 8은 본 발명에 따른 텔 타입 티-슬롯의 치공구(300)에 의한 T-슬롯 볼트(200) 체결 실시예를 도시한 것이다.

도 7 및 도 8을 참조하여 상기 구성들의 조립관계 및 효과를 상세히 기술하면 다음과 같다.

SUS 체결구(100)의 상부바디(110) 내부로 T-슬롯 볼트(200)의 나사산(212)에 의해 삽입된다.

이때 T-슬롯 볼트(200) 삽입 시 치공구(300)가 T-슬롯 볼트(200)의 볼트바디(210)의 가장자리를 따라 형성된 복수 개의 체결돌기(211)에 끼움결합되고, 회전하게 되면 SUS 체결구(100)로 삽입되는 것이 바람직하다.

T-슬롯 볼트(200)의 볼트바디(210)의 하단부 중앙에는 돌출된 고정부(213)가 형성되어 있어 'C'자 형상의 고정링(221)이 먼저 끼워지고, 그 밑에 고정기둥(222)이 배치되고, 고정기둥(222)의 타단부 중앙에 형성된 수나사(222a)에 암나사(223a)가 형성된 헤드링(223)이 끼워진 후 너트헤드가 이들을 전부 포함하여 볼트바디(210)와 체결된다.

특수한 T-슬롯 볼트(200)로 인해 종래의 T-슬롯 대비 조립 및 해체를 간소화하여 특별한 장비 없이 치공구(300)로만 캐소드(C)에 부시(10) 및 SUS 체결구(100)를 함께 조립 및 해체가 가능하여 편의성을 높인 효과가 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.

캐소드(C)
부시(10)
베이스 플레이트(11)
체결부(12)
하부 고정 멈춤링(20)
돌기(21)
개구부(22)
SUS 체결구(100)
상부바디(110)
하부바디(120)
탄성지지체(130)
삽입편(131)
볼트 고정편(140)
T-슬롯 볼트(200)
볼트바디(210)
체결돌기(211)
나사산(212)
고정부(213)
볼트헤드(220)
고정링(221)
고정기둥(222)
수나사(222a)
헤드링(223)
암나사(223a)
치공구(300)

Claims (3)

1. 캐소드의 체결 가능한 홈에 삽입되는 부시;
   를 포함하는, 텔 타입 티-슬롯에 있어서,
   상기 부시에 삽입되도록 상기 부시 삽입 부분에 대응하는 반원형 또는 반타원형의 링 형상으로 구비되고, 내측 원주 방향 양측 말단부에 돌출된 돌기가 형성된 하부 고정 멈춤링;
   을 포함하고,
   상기 부시는,
   원형 형상의 베이스 플레이트;
   상기 베이스 플레이트의 상부로 일체로 연장되고 상면 중앙에 삽입 가능한 나사산이 형성된 홀이 형성되는 원형 형상의 체결부;
   를 포함하고,
   상기 체결부의 지름은 상기 베이스 플레이트의 지름보다 작게 형성되고,
   상기 하부 고정 멈춤링은,
   일측이 개구된 개구부;
   를 포함하고,
   상기 부시의 상기 체결부에 안착되고,
   상기 돌기가 서로 마주보게 배치되는 것을 특징으로 포함하고,
   
   상기 텔 타입 티-슬롯은,
   상기 부시에 삽입 조립되고, T-슬롯 볼트에 의한 조립 및 해체를 보조하기 위해 내면에 상기 T-슬롯 볼트용 나사산이 형성된 SUS 체결구;
   를 더 포함하고,
   상기 SUS 체결구는,
   상기 T-슬롯 볼트의 인입을 위해 원기둥 형상으로 외면 및 내면에 나사산이 형성된 상부바디;
   상기 상부바디와 일체로 연통되는 동시에 단이 형성되고 말단부가 원뿔 형상으로 외면 및 내면에 나사산이 형성된 하부바디;
   상기 하부바디의 내부에 인입되고 상기 상부바디의 내주면 하단에 고정되도록 말단부에 삽입편이 구비된 탄성지지체;
   상기 T-슬롯 볼트가 상기 SUS 체결구에 인입될 때 상기 탄성지지체에 의해 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 상부바디의 통공에 끼워지는 볼트 고정편;
   을 포함하고,
   상기 SUS 체결구를 상기 부시에 삽입 조립하기 위해 상기 T-슬롯 볼트가 상기 상부바디 내부로 인입되고 상기 T-슬롯 볼트가 인입되는 동시에 상기 SUS 체결구도 상기 부시로 인입되어 T-슬롯 볼트가 상기 탄성지지체의 상기 삽입편에 닿으면 체결이 완료되는 특징을 포함하는, 텔 타입 티-슬롯.
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