KR102167800B1 - 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 캐소드 전극판의 조립체 조립 시 결합링을 회전시키지 않고 부시를 회전시켜 조립하게 되어 작업이 편리하고 결합링의 파손을 방지하여 재사용으로 부품비를 절감할 수 있는 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법에 관한 것으로, 삽입홈이 형성된 캐소드 전극판과, 상기 캐소드 전극판의 삽입홈에 삽입되되 상부에 체결부가 일체화된 부시와, 상기 부시의 외부에 끼워져 삽입홈에 체결되어 부시를 고정시키기 위한 결합링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 캐소드 전극판 조립체 체결방법은 부시의 부시 몸체 외부에 결합링을 조립하는 단계와, 상기 결합링이 조립된 부시를 캐소드 전극판의 삽입홈에 체결하는 단계와, 상기 결합링의 상측에 삽입링을 위치시켜 부시와 결합하는 단계와, 상기 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판의 삽입부로 부시의 체결부를 통과시켜 상부전극판을 밀착시키는 단계와, 상기 부시의 체결부 상부에 고정부재를 체결하여 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법{CATHODE ELECTRODE PLATE ASSEMBLY AND FASTENING METHOD THEREOF}
본 발명은 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐소드 전극판의 조립체 조립 시 기존 수지재료의 결합링 대신에 스테인레스 스틸의 부시를 회전시켜 조립하게 되어 작업이 편리하고 결합링의 파손을 방지하여 수지재료의 결합링의 재사용을 통하여 부품비를 절감할 수 있는 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법에 관한 것이다.
일반적으로 플라즈마 챔버(plasma chamber)는 웨이퍼 등의 반도체 부품을 생산하는 과정뿐만 아니라 공산품을 제조하는 과정에서 가공 중인 작업대상물(workpiece)에 식각(etching) 또는 플라즈마 화학 증착(plasma chemical vapor deposition) 공정이 수행되도록 하는 데 사용되는 설비들 중의 하나이다.
전술한 바와 같은 플라즈마 챔버는 작업 대상물(workpiece)에 따라서 그 구성 및 크기 등이 다양한 형태로 설비되는 것이 일반적인데, 웨이퍼와 같은 반도체 부품에 식각 또는 증착 공정을 수행하기 위해 플라즈마 챔버가 흔히 사용된다.
도 1에 제시된 바와 같이, 플라즈마 챔버(10)는 내측 상부 및 하부에 각각 캐소드 전극(20)과 애노드 전극(30)이 설치된다. 플라즈마 챔버(10)의 챔버(12) 일측에는 챔버 내부의 공기를 빼내기 위한 진공펌프(14)가 설치되고, 상기 챔버(10)의 다른 일측에는 챔버 내부로 불화질소 등의 반응가스를 주입시키기 위한 가스 주입구(16)가 설치된다. 또한, 고온고압의 상태에 노출되는 플라즈마 챔버(10)의 지속적인 냉각을 위해서 캐소드 전극(20)에는 냉각수의 순환이 가능한 냉각수 라인(18)이 설치된다.
상기 플라즈마 챔버(10)는 운전이 시작되면 챔버(12) 내부가 진공 상태가 되도록 가스 주입구(16)를 통해 불화질소 등의 반응가스가 주입되고, 이와 동시에 전원으로부터 캐소드 전극(20) 및 애노드 전극(30)에 고전압이 인가되면, 챔버(12) 내부가 플라즈마 상태로 전환된다. 이 과정에서 웨이퍼(50)에는 플라즈마 상태의 반응가스에 의해서 식각 또는 증착 공정에 따른 가공이 이루어지게 된다.
도 1에서 확대도로 도시된 캐소드 전극(20)은 원주 방향을 따라 체결 볼트가 결합되는 다수개의 체결 홈(22)이 형성되고, 상기 체결 홈(22)에 결합 부재를 결합시킨 후에 상기 체결 볼트와의 결합을 통해 플라즈마 챔버(10)에 고정된 상태가 유지된다.
그러나, 종래의 결합 부재는 캐소드에 다량의 반응가스가 유입되면서 고전압의 플라즈마에 노출될 경우 상기 결합 부재가 체결 홈(22)의 내측에 밀착된 상태가 안정적으로 유지되지 않고 불안정해지면서, 회전이 발생될 수 있는 문제점이 유발되었다. 또한 상기 결합 부재의 특정 부위에 응력이 집중되어 공정 진행 중 파손되는 문제점이 발생하기도 한다.
도 2 내지 도 3을 참고하여, 종래 기술에 해당하는 개선 전 캐소드 전극판(20)에 사용된 부시 조립체(40)에 대해 설명한다.
캐소드 전극판(20)의 원주 방향을 따라 배치된 다수개의 체결홈(22)에 삽입되는 부시 조립체(40)는 베이스 플레이트(41)와, 상기 베이스 플레이트(41)의 상부를 향해 연장되고 그루브(Groove)가 형성된 연장부를 가지는 부시(42); 상기 부시(42)의 외측에 삽입된 상태로 상기 체결홈(22)에 형성된 제1결합부(22a)와 결합되도록 외주면에 제2결합부(43a)가 형성된 결합링(43); 및 상기 결합링(43)의 상측에 위치되어 상기 부시(42)와 결합되는 삽입링(44);을 포함하며, 상기 결합링(43)의 상부 양쪽에 캐소드 전극판(20)의 체결홈(22)에 부시(42)와 결합링(43)을 조립하기 위해 결합링(43)을 회전시키기 위한 공구가 끼워질 수 있도록 공구홈부(43b)가 형성된다.
이러한 종래의 부시 조립체(40)는 캐소드 전극판(20)의 체결홈(22)에 부시(42)를 조립 시 부시(42) 외부에 결합링(43)을 끼워서 체결홈(22)에 체결하기 위해 공구홈부(43b)에 공구를 끼워 결합링(43)을 직접 돌려 조립함으로써 공구에 의해 공구홈부(43b)가 마모되거나 결합링(43)이 파손될 우려가 있어 재사용하지 못하고 제품성 및 작업 효율이 떨어지며 부품 하나의 고장으로 인해 부시 조립체 전체를 교체해야 하는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허공보 제10-2011-0091253호 대한민국 등록특허공보 제10-1593920호 대한민국 등록특허공보 제10-1514397호
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 그 목적은 캐소드 전극판에 삽입되는 부시의 상부에 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시킬 수 있도록 볼트 형태의 체결부를 일체화함으로써 부시에 조립되는 결합링을 회전시키지 않고 부시의 회전으로 부시 조립체를 간편하게 조립할 수 있어 작업이 편리하고 부품의 손상을 방지하여 재사용할 수 있어 부품비를 절감할 수 있는 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법을 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 캐소드 전극판 조립체는 삽입홈이 형성된 캐소드 전극판과, 상기 캐소드 전극판의 삽입홈에 삽입되되 상부에 체결부가 일체화된 부시와, 상기 부시의 외부에 끼워져 삽입홈에 체결되어 부시를 고정시키기 위한 결합링을 포함할 수 있다.
상기 결합링의 상측에 위치되어 부시와 결합되는 삽입링을 더 포함할 수 있다.
상기 부시는 삽입홈에 삽입되고 결합링이 끼워져 결합링과 함께 회전되도록 외형이 타원이나 각진 형태로 이루어진 부시 몸체가 구비되며, 상기 부시 몸체의 상부에 볼트 형태의 체결부가 일체로 돌출되게 구비될 수 있다.
상기 체결부는 외부에 숫나사산이 형성되며, 일부에 공구가 끼워져 부시를 회전시킬 수 있도록 하는 공구끼움편이 형성될 수 있다.
상기 공구끼움편은 공구가 끼워져 체결부를 회전시킬 수 있도록 사각 형태나 육각 형태의 다각 형태 및 평행 타원형으로 형성될 수 있다.
상기 부시가 조립되는 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판을 고정시키기 위해 상부전극판의 삽입부를 통과하는 체결부에 조립되어 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 고정부재를 더 포함할 수 있다.
상기 고정부재는 하부 내면에 체결부의 숫나사산과 체결되는 암나사산이 형성된 조립부가 형성되며, 상부에 공구가 끼워져 체결부에 고정부재를 고정시킬 수 있도록 공구끼움홈이 형성될 수 있다.
상기 공구끼움홈은 일자 형태나 십자 형태, 사각 형태, 육각 형태의 다양한 형태로 형성될 수 있다.
상기 고정부재는 체결부에 체결되는 너트 형태로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 캐소드 전극판 조립체를 체결하는 방법은 부시의 부시 몸체 외부에 결합링을 조립하는 단계와, 상기 결합링이 조립된 부시를 캐소드 전극판의 삽입홈에 체결하는 단계와, 상기 결합링의 상측에 삽입링을 위치시켜 부시와 결합하는 단계와, 상기 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판의 삽입부로 부시의 체결부를 통과시켜 상부전극판을 밀착시키는 단계와, 상기 부시의 체결부 상부에 고정부재를 체결하여 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 결합링이 조립된 부시를 캐소드 전극판의 삽입홈에 체결하는 단계는, 상기 부시의 공구끼움편에 공구를 끼워서 공구를 통해 부시를 회전시켜 삽입홈으로 부시와 결합링을 체결할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법에 의하면, 캐소드 전극판의 삽입홈에 결합링과 함께 결합되는 부시 몸체의 상부에 공구끼움편이 구비된 볼트 형태의 체결부를 일체화함으로써 결합링을 부시 몸체에 끼운 상태에서 공구를 통해 체결부를 회전시켜 부시를 삽입홈에 삽입시킬 수 있어 결합링의 손상을 방지하고 부시의 체결력을 최대화하여 제품성을 극대화하며 조립공정이 간편하여 작업이 효율성을 극대화할 수 있다.
도 1은 캐소드 전극판 설치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2는 기존의 캐소드 전극판용 부시 조립체가 설치된 상태를 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 개선 전 기존의 캐소드 전극판용 부시 조립체의 분해된 상태를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체를 도시한 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체를 도시한 결합사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체를 도시한 절단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체의 부시를 도시한 확대사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 결합 전 상태를 도시한 분해사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체에 상부전극판을 고정시키기 위한 고정부재가 조립되는 상태를 도시한 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 결합 전 상태를 도시한 절단면도이다.
도 11은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 결합 상태를 도시한 절단면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 다른 일 예의 결합 상태를 도시한 절단면도이다.
도 13은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체의 체결방법을 도시한 순서도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.
본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는/결합되는'이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.
실시 예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 측(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체를 도시한 분해사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체를 도시한 결합사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체를 도시한 절단면도이며, 도 7은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체의 부시를 도시한 확대사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 결합 전 상태를 도시한 분해사시도이며, 도 9는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체에 상부전극판을 고정시키기 위한 고정부재가 조립되는 상태를 도시한 사시도이고, 도 10은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 결합 전 상태를 도시한 절단면도이며, 도 11은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 결합 상태를 도시한 절단면도이고, 도 12는 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체와 상부전극판의 다른 일 예의 결합 상태를 도시한 절단면도이며, 도 13은 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체의 체결방법을 도시한 순서도이다.
도 4 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 캐소드 전극판 조립체는 캐소드 전극판(100)과, 부시(110)와, 결합링(120)과, 삽입링(130)과, 고정부재(210)를 포함하게 된다.
상기 캐소드 전극판(100)은 내벽면에 나사산이 형성되는 삽입홈(101)이 형성되게 된다.
또한, 상기 삽입홈(101)의 상부에는 삽입링(130)이 끼워져 안착될 수 있도록 안착부(102)가 형성될 수 있다.
그리고, 상기 안착부(102)는 삽입링(130)의 회전을 방지할 수 있도록 타원 형태나 사각 형태 등 각진 형태로 형성될 수 있다.
상기 캐소드 전극판(100)은 실리콘, 실리콘카바이드, 알루미나, 쿼츠 등 세라믹 소재로 이루어지게 된다.
상기 부시(110)는 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 삽입되며, 상기 삽입홈(101)의 나사산으로 체결되는 결합링(120)에 의해 회전되지 않게 삽입될 수 있다.
도 4 및 도 7에서와 같이, 상기 부시(110)는 부시 몸체(111)와, 상기 부시 몸체(111)에 일체화되는 체결부(112)를 포함하게 된다.
상기 부시 몸체(111)는 삽입홈(101)에 삽입되고 외부에 결합링(120)이 끼워지게 된다.
또한, 상기 부시 몸체(111)는 삽입홈(101)에 삽입될 때 외부에 끼워지는 결합링(120)이 동일하게 회전될 수 있도록 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성될 수 있다.
상기 체결부(112)는 부시 몸체(111)의 상부에 수직으로 돌출되게 구비될 수 있다.
상기 체결부(112)는 외부에 숫나사산(113)이 형성된 볼트 형태로 이루어지되 일부분에 공구(도시하지 않음)가 끼워져 공구를 통해 부시(110)를 회전시킬 수 있도록 공구끼움편(114)이 형성되게 된다.
또한, 상기 공구끼움편(114)은 공구가 끼워져 체결부(112)를 용이하게 회전시킬 수 있도록 사각 형태나 육각 형태의 다각 형태 및 평행 타원형으로 형성됨이 바람직하다.
즉, 상기 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 삽입되는 부시 몸체(111)의 상부에 체결부(112)를 일체로 구비하고 상기 공구끼움편(114)에 공구를 끼워서 공구를 통해 부시(110)를 회전시켜 상기 부시 몸체(111)의 외부에 끼워지는 결합링(120)을 삽입홈(101)으로 조립하게 되어 상기 결합링(120)을 회전시키지 않고 부시(110)를 회전시킴에 따라 부시(110)와 결합링(120)을 동시에 삽입홈(101)으로 조립할 수 있게 된다.
상기 결합링(120)은 부시 몸체(111)의 외부에 끼워져 삽입홈(101)에 체결되어 부시(110)를 고정시킬 수 있게 된다.
또한, 상기 결합링(120)의 내부에는 상,하를 관통하여 부시 몸체(111)의 외부로 끼워지는 끼움홀(121)이 형성되며, 외부에는 삽입홈(101)에 나사 체결될 수 있도록 나사산으로 이루어진 탭(122)이 형성되게 된다.
상기 끼움홀(121)은 부시 몸체(111)에 끼워져 부시(110)와 함께 결합링(120)이 동시에 회전될 수 있도록 부시 몸체(111)와 같이 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성될 수 있다.
상기 삽입링(130)은 안착부(102)에 안착되어 결합링(120)과 부시 몸체(111)의 상측으로 결합되게 된다.
또한, 상기 삽입링(130)의 내,외부는 부시 몸체(111)의 상측과 상기 안착부(102)에 안착되어 부시(110)의 회전을 방지할 수 있도록 부시 몸체(111)와 안착부(102)와 같이 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 삽입링(130)은 일부 구간이 개구되어 상기 부시 몸체(111)에 결합할 때 반경 방향으로 직경 변화를 가능하게 하여 작업자가 보다 편리하게 안착부(102)에 설치할 수 있다.
도 8 및 도 10 내지 도 11에서와 같이, 상기 고정부재(210)는 부시(110)가 조립되는 캐소드 전극판(100)의 상부에 상부전극판(200)이 밀착되어 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시키기 위해 상부전극판(200)의 삽입부(201)를 통과하는 체결부(112)에 조립되어 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시킬 수 있다.
상기 고정부재(210)는 하부 내면에 체결부(112)의 숫나사산(113)이 체결되는 암나사산(212)이 형성된 조립부(211)가 형성되게 된다.
또한, 상기 고정부재(210)의 상부에는 공구가 끼워져 고정부재(210)를 회전시켜 상부전극판(200)의 삽입부(201)를 통과하여 삽입된 체결부(112)에 고정부재(210)를 고정시킬 수 있도록 공구끼움홈(213)이 형성되게 된다.
상기 공구끼움홈(213)은 일자 형태나 십자 형태, 사각 형태, 육각 형태 등 중 어느 하나의 다양한 형태로 형성될 수 있다.
일 예로, 도 12에서와 같이 상기 고정부재(210)는 체결부(112)에 체결되는 너트 형태로 이루어질 수 있다.
상기 고정부재(210)의 하부에는 체결부(112)에 끼워져 고정부재(210)의 풀림을 방지하기 위한 와셔(220)가 구비될 수 있다.
도 4 내지 도 6 및 도 13에서와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 캐소드 전극판 조립체 체결방법은 부시(110)의 부시 몸체(111) 외부에 결합링(120)을 조립하게 된다.(S100)
상기 결합링(120)이 조립된 부시(110)를 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 체결하게 된다.(S200)
또한, 상기 결합링(120)이 조립된 부시(110)를 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 체결함에 있어, 상기 부시(110)의 공구끼움편(114)에 공구를 끼워서 공구를 통해 부시(110)를 회전시키게 되면 상기 부시(110)와 함께 결합링(120)이 회전됨에 따라 상기 결합링(120)이 삽입홈(101)으로 나사 조립되어 상기 부시(110)와 결합링(120)을 조립하게 된다.
상기 결합링(120)의 상부에 삽입링(130)을 위치시켜 부시(110)와 결합하게 된다.(S300)
그리고, 상기 캐소드 전극판(100)의 상부에 상부전극판(200)을 밀착시키되 상기 부시(110)의 체결부(112)를 상부전극판(200)의 삽입부(201)로 통과시켜 삽입하게 된다.(S400)
또한, 상기 상부전극판(200)의 삽입부(201)를 통해 삽입되는 체결부(112)의 상부에 고정부재(210)를 체결하여 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시키게 된다.(S500)
상기와 같이 본 발명의 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법에 따른 작용상태를 살펴보면 아래와 같다.
상기 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 연결시키기 위해 상기 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 부시(110)를 조립함에 있어 상기 부시 몸체(111)의 외부에 결합링(120)을 끼우고 상기 결합링(120)이 끼워진 부시 몸체(111)를 삽입홈(101) 상에 위치시킨 다음 상기 체결부(112)의 공구끼움편(114)에 공구를 끼워서 공구를 통해 부시(110)를 회전시키게 된다.
그리고, 상기 부시 몸체(111)의 외형과 결합링(120)의 내부가 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성됨으로써 상기 부시(110)를 회전시킴에 따라 상기 부시(110)와 함께 결합링(120)이 동시에 동일한 방향으로 회전되면서 상기 부시(110)와 결합링(120)이 삽입홈(101)으로 용이하게 조립될 수 있다.
이와 같이, 상기 부시(110)를 삽입홈(101)에 삽입시켜 결합링(120)으로 고정시키고자 할 때 상기 결합링(120)을 공구를 사용하여 직접 회전시킬 필요 없이 상기 부시(110)의 회전에 따라 결합링(120)을 삽입홈(101)에 체결하여 부시(110)를 고정하게 되어 공구에 의한 결합링(120)의 마모를 방지할 수 있다.
또한, 상기 부시(110)를 삽입홈(101)에 조립하고 결합링(120)으로 고정하기 위해 상기 부시(110)를 회전시키면 결합링(120)이 자연스럽게 삽입홈(101)으로 체결될 수 있어 상기 결합링(120)에 손상이 발생되지 않아 조립이 용이하고 재사용이 가능하여 부품비를 절감할 수 있다.
이와 함께, 상기 캐소드 전극판(100)에 부시(110)가 조립된 상태에서 상기 체결부(112)가 상부전극판(200)의 삽입부(201)로 삽입되게 하여 상기 캐소드 전극판(100)의 상부에 상부전극판(200)을 밀착시키고 상기 고정부재(210)를 체결부(112)에 체결하여 상기 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 간편하게 고정시킬 수 있어 작업 효율을 최대화할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100 : 캐소드 전극판 101 : 삽입홈
110 : 부시 111 : 부시 몸체
112 : 체결부 113 : 숫나사산
114 : 공구끼움편 120 : 결합링
121 : 끼움홈 122 : 탭
130 : 삽입링 200 : 상부전극판
201 : 삽입부 210 : 고정부재
211 : 조립부 212 : 암나사산
213 : 공구끼움홈 220 : 와셔

Claims (11)

  1. 캐소드 전극판의 삽입홈에 삽입되되 상부에 체결부가 일체화된 부시; 및
    상기 부시의 외부에 끼워져 삽입홈에 체결되어 부시를 고정시키기 위한 결합링;을 포함하며,
    상기 부시는 삽입홈에 삽입되고 결합링이 끼워져 결합링과 함께 회전되도록 외형이 타원이나 각진 형태로 이루어진 부시 몸체가 구비되며, 상기 부시 몸체의 상부에 볼트 형태의 체결부가 일체로 돌출되게 구비되고,
    상기 체결부는 외부에 숫나사산이 형성되며, 일부에 공구가 끼워져 부시를 회전시킬 수 있도록 하는 공구끼움편이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 결합링의 상측에 위치되어 부시와 결합되는 삽입링을 더 포함하는 캐소드 전극판 조립체.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 공구끼움편은 공구가 끼워져 체결부를 회전시킬 수 있도록 사각 형태나 육각 형태의 다각 형태 및 평행 타원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 부시가 조립되는 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판을 고정시키기 위해 상부전극판의 삽입부를 통과하는 체결부에 조립되어 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 고정부재를 더 포함하는 캐소드 전극판 조립체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정부재는 하부 내면에 체결부의 숫나사산과 체결되는 암나사산이 형성된 조립부가 형성되며, 상부에 공구가 끼워져 체결부에 고정부재를 고정시킬 수 있도록 공구끼움홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 공구끼움홈은 일자 형태나 십자 형태, 사각 형태, 육각 형태의 다양한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판 조립체.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정부재는 체결부에 체결되는 너트 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판 조립체.
  10. 부시의 부시 몸체 외부에 결합링을 조립하는 단계;
    상기 결합링이 조립된 부시를 캐소드 전극판의 삽입홈에 체결하는 단계;
    상기 결합링의 상측에 삽입링을 위치시켜 부시와 결합하는 단계;
    상기 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판의 삽입부로 부시의 체결부를 통과시켜 상부전극판을 밀착시키는 단계; 및
    상기 부시의 체결부 상부에 고정부재를 체결하여 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 단계;를 포함하며,
    상기 결합링이 조립된 부시를 캐소드 전극판의 삽입홈에 체결하는 단계는, 상기 부시의 공구끼움편에 공구를 끼워서 공구를 통해 부시를 회전시켜 삽입홈으로 부시와 결합링을 체결하는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판 조립체 체결방법.
  11. 삭제
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