KR102073773B1 - 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체 - Google Patents

정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체 Download PDF

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KR102073773B1
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Abstract

본 발명은 캐소드 전극판과 클램프 링의 중심을 일치시켜 제품의 파손을 방지할 수 있는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체에 관한 것으로, 하부 테두리에 제1체결홈이 형성되어 있는 캐소드 전극판과, 상기 캐소드 전극판의 하부에 연결되며 제1체결홈과 연통되게 테두리 안쪽에 제1삽입홀이 형성되고 테두리 바깥쪽에 제2삽입홀이 형성되어 있는 클램프 링과, 상기 캐소드 전극판과 클램프 링에 조립되어 캐소드 전극판과 클램프 링을 고정시켜 캐소드 전극판과 클램프 링을 정렬시키는 정렬위치고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체{ASSEMBLY TYPE UPPER ELECTRODE STRUCTURE WITH IMPROVED ALIGNMENT}
본 발명은 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐소드 전극판과 클램프 링의 중심을 일치시켜 제품의 파손을 방지할 수 있는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키도록 하는 캐소드가 구비된다.
종래에 따르면 상기한 캐소드는 플라즈마 챔버 내부의 플레이트 상에 주로 볼트를 통해 결합되고 있는 바, 이러한 볼트 체결에서는 캐소드와, 챔버 내부의 플레이트에 각각 내측에 나사산이 형성된 다수의 볼트삽입구를 형성하여, 상기 볼트삽입구를 상하 일치시킨 후 볼트를 삽입하여 결합시키도록 구성된다.
이러한 볼트 체결 구조에서는 고압의 플라즈마 환경에서 발생되는 볼트의 유동에 의해 볼트체결구의 나사산의 손상이 발생되어 고가의 캐소드를 소모시키게 되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 나사 결합의 풀림에 의해 캐소드와 플레이트 간에 간격이 발생하여 웨이퍼 식각 공정의 성능을 저하시키는 문제점이 발생하였다.
한편, 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로서, 캐소드에 원형의 통공을 형성하고, 상기 통공의 내부에서 단턱에 의해 고정 삽입되는 부시와, 상기 부시의 외측과 캐소드의 통공의 내측의 사이에 삽입되는 조립링을 구비한 후 플라즈마 챔버의 플레이트를 삽입하여 이어지는 조립스크류를 상기 부시에 나사 결합으로 상호 결합시키도록 구성하여 나사 결합부의 손상의 발생을 억제하고, 손상 발생 시에는 상기한 부시만을 교환하여 사용할 수 있도록 하는 구성이 적용되었다.
그러나, 상기 구성에서도 캐소드의 통공에 삽입되는 부시가 유동하여 통공의 측부에 접촉되어 손상을 발생시키는 문제점이 있었으며, 일반적인 볼트 결합 구조와 마찬가지로 웨이퍼 식각 공정에서 부시가 유동될 시 조립 스크류와의 나사 결합이 와해되어 캐소드와 플레이트 간의 간격을 발생시켜 식각 성능을 저하시키는 문제점을 여전히 가지게 된다.
대한민국 등록특허공보 제10-1593920호
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 그 목적은 실리콘 전극과 클램프 링의 조립 위치를 맞추기 위해 볼팅 체결함으로써 실리콘 전극의 치우침이 발생되지 않아 부하를 최소화하여 파손을 방지할 수 있어 제품의 품질 및 사용자에게 신뢰감을 높일 수 있는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체는 하부 테두리에 제1체결홈이 형성되어 있는 캐소드 전극판과, 상기 캐소드 전극판의 하부에 연결되며 제1체결홈과 연통되게 테두리 안쪽에 제1삽입홀이 형성되고 테두리 바깥쪽에 제2삽입홀이 형성되어 있는 클램프 링과, 상기 캐소드 전극판과 클램프 링에 조립되어 캐소드 전극판과 클램프 링을 고정시켜 캐소드 전극판과 클램프 링을 정렬시키는 정렬위치고정부를 포함할 수 있다.
상기 제1체결홈은 캐소드 전극판의 사방면 테두리에 형성되며, 상기 제1삽입홀은 제1체결홈과 연통되게 클램프 링의 사방면 안쪽 테두리에 형성될 수 있다.
상기 제2삽입홀은 일정 간격을 두고 복수개로 형성될 수 있다.
상기 정렬위치고정부는 캐소드 전극판의 제1체결홈 내에 체결되는 부시와, 상기 부시의 외부에 결합되는 결합링과, 상기 클램프 링의 제1삽입홀을 통과하여 부시에 체결되는 클램프 볼트와, 상기 클램프 링과 클램프 볼트 사이에 구비되는 스프링 와셔를 포함할 수 있다.
상기 캐소드 전극판의 상부에 결합홈이 형성된 상부전극판이 밀착되고 상기클램프 링과 상부전극판에 조립되는 상부전극 조립부를 더 포함할 수 있다.
상기 상부전극 조립부는 상부전극판의 결합홈에 삽입되는 이탈방지너트와, 상기 상부전극판의 결합홈에 조립되고 이탈방지너트의 외부에 끼워지는 인서트 볼트와, 상기 인서트 볼트의 내측 상부에 끼워져 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 하는 논슬립 너트와, 상기 캐소드 전극판의 상부에 구비되는 상부전극판을 고정시키기 위해 클램프 링의 제2삽입홀을 통해 이탈방지너트와 조립되는 논슬립 볼트를 포함할 수 있다.
상기 인서트 볼트의 하부 내측면은 타원이나 사각 형태로 형성되며, 상기 논슬립 너트의 외부는 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 인서트 볼트의 내측면과 동일한 형태로 형성될 수 있다.
상기 제2삽입홀과 결합홈은 동일한 내경으로 이루어져 이탈방지너트와 인서트 볼트 및 논슬립 볼트가 서로 조립된 상태에서 이탈방지너트와 인서트 볼트가 제2삽입홀을 통과하여 결합홈으로 체결될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체에 의하면, 캐소드 전극판과 클램프 링을 정렬위치고정부로 고정함으로써 캐소드 전극판과 클램프 링을 결합 시 부하를 최소화하고 정렬 효율을 최대화할 수 있어 제품성을 극대화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 분해사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 결합사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 정렬위치고정부를 도시한 분해사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 절단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 다른 일 예를 도시한 분해사시도이다.
도 6은 도 5에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 결합사시도이다.
도 7은 도 5에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 상부전극 조립부를 도시한 분해사시도이다.
도 8은 도 6에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 클램프 링과 상부전극판의 결합상태를 도시한 절단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.
본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는/결합되는'이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.
또한, '제1, 제2' 등과 같은 표현은, 복수의 구성들을 구분하기 위한 용도로만 사용된 표현으로써, 구성들 사이의 순서나 기타 특징들을 한정하지 않는다.
실시 예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 측(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 분해사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 결합사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 정렬위치고정부를 도시한 분해사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 절단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 다른 일 예를 도시한 분해사시도이며, 도 6은 도 5에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체를 도시한 결합사시도이고, 도 7은 도 5에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 상부전극 조립부를 도시한 분해사시도이며, 도 8은 도 6에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 조립체의 클램프 링과 상부전극판의 결합상태를 도시한 절단면도이다.
도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체는 캐소드 전극판(100)과, 클램프 링(200)과, 정렬위치고정부(300)와, 상부전극 조립부(400)를 포함하게 된다.
상기 캐소드 전극판(100)은 하부 테두리에 제1체결홈(110)이 형성되어지게 된다.
또한, 상기 제1체결홈(110)은 하부 둘레를 따라 사방 면에 복수개로 형성될 수 있다.
상기 캐소드 전극판(100)은 실리콘, 실리콘카바이드, 알루미나, 쿼츠 등 세라믹 소재로 이루어지게 된다.
상기 클램프 링(200)은 캐소드 전극판(100)의 하부에 연결되며, 테두리 안쪽에 제1삽입홀(210)이 형성되고 테두리 바깥쪽에 제2삽입홀(220)이 형성되게 된다.
상기 제1삽입홀(210)은 클램프 링(200)이 사방면 안쪽 테두리에 형성되되 상기 제1체결홈(110)과 연통되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1삽입홀(210)은 제1체결홈(110)의 갯수 만큼 형성되거나 그 이상으로 형성될 수 있다.
즉, 상기 제1삽입홀(210)과 제1체결홈(110)이 서로 연통되게 형성됨으로써 정렬위치고정부(300)가 용이하게 체결될 수 있다.
상기 제2삽입홀(220)은 클램프 링(200)의 테두리 바깥쪽에 일정 간격을 두고 복수개로 형성되게 된다.
상기 정렬위치고정부(300)는 캐소드 전극판(100)과 클램프 링(200)에 연결되어 캐소드 전극판(100)과 클램프 링(200)을 정렬되게 고정시킬 수 있다.
도 1 및 도 3 내지 도 4에서와 같이, 상기 정렬위치고정부(300)는 부시(310)와, 결합링(320)과, 클램프 볼트(330)와, 스프링 와셔(340)를 포함하게 된다.
상기 부시(310)는 캐소드 전극판(100)의 제1체결홈(110) 내부로 체결되게 된다.
또한, 상기 부시(310)는 캐소드 전극판(100)의 제1체결홈(110)에 회전되지 않도록 삽입되어지게 된다.
그리고, 상기 부시(310)는 제1체결홈(110)의 바닥면에 삽입되는 부시 삽입부(311)와, 상기 부시 삽입부(311)의 상부에 구비되고 내면에 클램프 볼트(330)가 체결되도록 암나사산(312a)이 형성된 끼움부(312)가 구비되게 된다.
상기 결합링(320)은 부시(310)의 끼움부(312) 외측에 삽입된 상태로 제1체결홈(110)에 결합되어지게 된다.
상기 클램프 볼트(330)는 클램프 링(200)의 제1삽입홀(210)을 통과하여 부시(310)에 체결되게 된다.
즉, 상기 클램프 볼트(330)가 제1삽입홀(210)을 통과한 다음 숫나사산(331)이 끼움부(312)의 암나사산(312a)에 체결되어 캐소드 전극판(100)과 클램프 링(200)을 고정시키게 된다.
상기 스프링 와셔(340)는 클램프 링(200)과 클램프 볼트(330) 사이에 끼워지게 된다.
또한, 상기 스프링 와셔(340)는 상,하로 복수개가 겹쳐서 구비될 수 있다.
상기 상부전극 조립부(500)는 캐소드 전극판(100)의 상부에 밀착되는 상부전극판(400)과 클램프 링(200)에 조립되어지게 된다.
도 5 내지 도 8에서와 같이, 상기 상부전극 조립부(500)는 이탈방지너트(510)와, 인서트 볼트(520)와, 논슬립 너트(530)와, 논슬립 볼트(540), 와셔부(550)를 포함하게 된다.
상기 이탈방지너트(510)는 캐소드 전극판(100)의 상부에 밀착되는 상부전극판(400)에 형성된 결합홈(410)에 삽입되어지게 된다.
상기 인서트 볼트(520)는 상부전극판(400)의 결합홈(410)에 조립되고 이탈방지너트(510)의 외부에 끼워지게 된다.
또한, 상기 인서트 볼트(520)의 내부에는 이탈방지너트(510)가 삽입되고 논슬립 볼트(540)가 끼워져 이탈방지너트(510)의 내부로 체결될 수 있도록 상,하를 관통하여 관통홈(521)이 형성되게 된다.
그리고, 상기 관통홈(521)의 내측면에는 상부에서 삽입되는 이탈방지너트(510)가 걸리고 하부에 삽입되는 논슬립 너트(530)를 지지할 수 있도록 걸림턱(522)이 형성될 수 있다.
상기 인서트 볼트(520)의 하부 내측면은 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 인서트 볼트(520)의 외부에는 상부전극판(400)의 결합홈(410)에 나사 체결될 수 있도록 나사산으로 이루어진 탭(523)이 구비되게 된다.
상기 논슬립 너트(530)는 인서트 볼트(520)의 내측 하부에 끼워지며, 외부는 인서트 볼트(520)의 회전을 방지할 수 있도록 인서트 볼트(520)의 내측면과 동일한 형태로 형성되게 된다.
이때, 상기 논슬립 너트(530)는 논슬립 볼트(540)에 끼워져 일체화될 수 있다.
상기 논슬립 볼트(540)는 캐소드 전극판(100)의 상부에 구비되는 상부전극판(400)을 고정시키기 위해 상부전극판(400)의 결합홈(410) 내에 삽입된 이탈방지너트(510)와 조립되게 된다.
즉, 상기 논슬립 볼트(540)는 클램프 링(200)의 제2삽입홀(220)을 통해 삽입되고 상기 이탈방지너트(510)에 체결되어 상기 상부전극판(400)을 고정시키게 된다.
또한, 상기 이탈방지너트(510)와 인서트 볼트(520) 및 논슬립 볼트(540)가 서로 조립된 상태에서 상기 이탈방지너트(510)와 인서트 볼트(520)가 제2삽입홀(220)을 통과하여 결합홈(410)으로 체결될 수 있도록 상기 제2삽입홀(220)과 결합홈(410)의 내경이 서로 동일하게 형성됨이 바람직하다.
상기 와셔부(550)는 논슬립 볼트(540)에 끼워지고 상,하로 복수개로 이루어질 수 있다.
상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체에 따른 작용상태를 살펴보면 아래와 같다.
상기 캐소드 전극판(100)의 하부에 구비되는 클램프 링(200)을 고정시키기 위해 상기 캐소드 전극판(100)의 제1체결홈(110)에 부시(310)와 결합링(320)을 조립하게 된다.
그리고, 상기 클램프 링(200)의 테두리 안쪽에 형성된 제1삽입홀(210)을 통해 클램프 볼트(330)를 삽입하고 상기 클램프 볼트(330)를 부시(310)에 체결하여 상기 캐소드 전극판(100)과 클램프 링(200)을 고정시키게 된다.
이와 같이, 상기 캐소드 전극판(100)과 클램프 링(200)을 정렬위치고정부(300)로 정렬시켜 조립함으로써 조립이 용이하고 캐소드 전극판(100)에 가해지는 부하를 최소화할 수 있게 된다.
또한, 상기 캐소드 전극판(100)의 상부에 구비되는 상부전극판(400)을 상부전극 조립부(500)로 클램프 링(200)과 연결시키되 상부전극판(400)의 결합홈(410)과 클램프 링(200)의 제2삽입홀(220)이 동일한 내경을 갖게 되어 상기 논슬립 볼트(540)와 인서트 볼트(520) 및 이탈방지너트(510)가 일체로 연결된 상태에서 상기 클램프 링(200)의 제2삽입홀(220)을 통해 상부전극 조립부(500)를 삽입시키고 상기 상부전극판(400)의 결합홈(410)에 인서트 볼트(520)를 조립하게 된다.
따라서, 상기 이탈방지너트(510)와 인서트 볼트(520) 및 논슬립 볼트(540)를 일체형 타입으로 연결시켜 클램프 링(200)과 상부전극판(400)에 조립하게 되어 조립이 간편하고 별도의 인서트가 필요하지 않게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100 : 캐소드 전극판 110 : 제1체결홈
200 : 클램프 링 210 : 제1삽입홀
220 : 제2삽입홀 300 : 정렬위치고정부
310 : 부시 311 : 부시 삽입부
312 : 끼움부 312a : 암나사산
320 : 결합링 330 : 클램프 볼트
331 : 숫나사산 340 : 스프링 와셔
400 : 상부전극판 410 : 결합홈
500 : 상부전극 조립부 510 : 이탈방지너트
520 : 인서트 볼트 521 : 관통홈
522 : 걸림턱 523 : 탭
530 : 논슬립 너트 540 : 논슬립 볼트
550 : 와셔부

Claims (8)

  1. 하부 테두리에 제1체결홈이 형성되어 있는 캐소드 전극판;
    상기 캐소드 전극판의 하부에 연결되며 제1체결홈과 연통되게 테두리 안쪽에 제1삽입홀이 형성되고 테두리 바깥쪽에 제2삽입홀이 형성되어 있는 클램프 링;
    상기 캐소드 전극판과 클램프 링에 조립되어 캐소드 전극판과 클램프 링을 고정시켜 캐소드 전극판과 클램프 링을 정렬시키는 정렬위치고정부; 및
    상기 캐소드 전극판의 상부에 결합홈이 형성된 상부전극판이 밀착되고, 상기클램프 링과 상부전극판에 조립되는 상부전극 조립부;를 더 포함하고,
    상기 제1체결홈은 캐소드 전극판의 사방면 테두리에 형성되며, 상기 제1삽입홀은 제1체결홈과 연통되게 클램프 링의 사방면 안쪽 테두리에 형성되며,
    정렬위치고정부가 삽입되는 제1체결홈은, 일정 간격을 두고 클램프 링의 테두리 바깥쪽에 복수개로 형성된 제2삽입홀의 옆에 위치하도록, 클램프 링의 테두리 안쪽에 형성되고,
    상기 제2삽입홀에는 상기 상부전극 조립부가 삽입되며,
    상기 정렬위치고정부는, 캐소드 전극판의 제1체결홈 내에 체결되는 부시;와 상기 부시의 외부에 결합되는 결합링;과 상기 클램프 링의 제1삽입홀을 통과하여 부시에 체결되는 클램프 볼트;와 상기 클램프 링과 클램프 볼트 사이에 구비되는 복수 개의 스프링 와셔;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체.
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  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부전극 조립부는, 상부전극판의 결합홈에 삽입되는 이탈방지너트;와 상기 상부전극판의 결합홈에 조립되고 이탈방지너트의 외부에 끼워지는 인서트 볼트;와 상기 인서트 볼트의 내측 상부에 끼워져 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 하는 논슬립 너트;와 상기 캐소드 전극판의 상부에 구비되는 상부전극판을 고정시키기 위해 클램프 링의 제2삽입홀을 통해 이탈방지너트와 조립되는 논슬립 볼트;를 포함하는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 인서트 볼트의 하부 내측면은 타원이나 사각 형태로 형성되며, 상기 논슬립 너트의 외부는 인서트 볼트의 회전을 방지할 수 있도록 인서트 볼트의 내측면과 동일한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제2삽입홀과 결합홈은 동일한 내경으로 이루어져 이탈방지너트와 인서트 볼트 및 논슬립 볼트가 서로 조립된 상태에서 이탈방지너트와 인서트 볼트가 제2삽입홀을 통과하여 결합홈으로 체결되는 것을 특징으로 하는 정렬기능을 향상시킨 조립형 상부 전극 구조체.
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