KR20220148024A - 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체 - Google Patents

샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체 Download PDF

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KR20220148024A
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Abstract

본 발명은 샤워헤드용 샤워헤드 전극판의 플레이트의 결합구조체 및 전극판과 플레이트의 결합구조에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고, 상기 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 걸림턱이 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(13)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(13)의 측면이 맞닿아 고정되며, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고, 상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성되어, 전극판(200)과 플레이트(300)를 결합 시 부시 조립체의 결합구조에 의해 견고한 고정력과 풀림을 방지할 수 있는 유용한 발명이다.

Description

샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체{Bush assembly for showerhead electrode plate and combination structure of electrode plate and plate}
본 발명은 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 플레이트와 볼트에 의해 조립 하되, 전극판과 부시 조립체의 자체적인 고정력을 높여 이탈을 방지하며, 전극판과 플레이트를 결합 시, 부시조립체에 의해 견고한 고정력을 가질 수 있는 기술에 관한 것이다.
통상적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키도록 하는 캐소드가 구비된다.
우선 종래의 기술들을 살펴보면,
등록번호 10-1593920호(특) 캐소드 전극판 또는 그리운드 링의 원주 방향 혹은 내부에 배치되는 다수개의 체결홈에 삽입되는 부시 조립체에 있어서, 상기 부시 조립체는, 원기둥 형태의 외주면에 제1결합부가 형성된 체결부와, 체결부의 상부에서 연장되면서, 경사부가 형성된 연장부를 포함하는 부시; 캐소드 전극판 또는 그리운드 링의 체결홈 내측에 형성되는 결합 공간부로 삽입되는 결합링; 및 상기 부시의 연장부와 결합되는 삽입 링;을 포함하고, 상기 결합링은, 한 쌍의 반원기둥 형태로 이루어지고, 안쪽으로 중공부가 형성되며, 상기 중공부가 형성된 내주면에 제2결합부를 포함하며, 상기 결합 공간부 내에서, 상기 부시의 제1결합부와 상기 결합링의 제2결합부가 결합하여 기밀하게 밀착됨으로써 부시를 고정하며, 상기 결합 공간부의 직경은 상기 체결홈의 직경에 비해 큰 값을 가져, 캐소드 전극판 또는 그라운드 링과 부시 조립체와의 접촉면을 증가시키는 것을 특징으로 하는 부시 조립체에 관한 기술이다.
등록번호 10-1257726호(특) 캐소드의 체결홀에 삽입되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부로 연장되고 상면 중앙에 삽입홀이 형성되며 타원형상으로 형성되고 하측 원주 방향 상에 결합홈이 형성된 상부 결합부를 가지는 부시; 상기 부시에 삽입되도록 타원형태의 링 형상으로 이루어지고, 내측 하부 원주 방향 상에 형성된 돌출편을 가지는 삽입링; 및 상기 부시가 삽입된 캐소드의 상부에 위치된 플레이트를 경유하여 상기 삽입홀에 결합되는 스크류 볼트; 를 포함하되, 상기 부시와 상기 삽입링은 상기 결합홈 및 상기 돌출편을 통해 결합하는 플라즈마 챔버의 캐소드 체결구에 관한 기술이다.
상기한 종래 기술들은 각각의 분할된 형태의 부시 조립체 구성들이 전극판의 홈에 삽입되어 고정되는 구조로 이루어져 있으나, 플레이트와 결합 시 볼트에 의해 결합되어 고정됨으로써, 플레이트와 결합 전 충격 등에 의해 전극판에 삽입되는 부시 조립체가 홈에서 이탈될 수밖에 없는 문제점을 갖고 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서, 전극판과 플레이트를 결합하되, 상기 전극판의 홈부에 삽입체, 부시, 체결부재로 구성되는 부시 조립체를 구성하여, 상기 부시 조립체가 전극판에서 이탈되지 않도록 완전히 고정됨과 아울러, 상기 부시 조립체의 체결홀과 플레이트의 결합홀을 동일선상에 배치시킨 후, 볼트로 체결시킬 시, 상기 부시 조립체의 회전을 방지할 수 있는 구조를 통해 자체적인 내구성 및 고정력을 향상시키고 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로 완성해낸 것이다.
이에 본 발명은, 전극판과 플레이트를 결합하기 위해 전극판의 홈에 체결되는 부시 조립체에 있어서, 분할된 형태로 형성되어 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치되어, 그 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 각각 형성되고, 내측에 슬라이드홀(15)이 형성되는 삽입체(10); 상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성되는 부시(20); 상기 부시(20)의 외주 상부에 나사산과 체결되는 체결부재(30);를 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
상기 삽입체(10)는, 상기 전극판(200)의 하부홈(211)이 위치되는 하부몸체(10a)와, 상기 하부몸체(10a)의 상부 일측으로 돌출되어 상부홈(213)에 위치되는 상부몸체(10b)로 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
상기 부시(20)의 걸림턱(23)은, 상기 부시(20)의 외주에 서로 대칭되게 각각 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
상기 부시(20)의 상부와 체결부재(30)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(27, 37)이 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
상기 부시 조립체는 절연체 또는 비절연체인 것을 기술적 특징으로 한다.
상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al2O3 중 어느 하나로 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고, 상기 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 걸림턱이 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(13)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(13)의 측면이 맞닿아 고정되며, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고, 상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
본 발명에 따른 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체에 의하면, 부시 조립체의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 전극판과 플레이트를 결합 시, 그 사이에 부시 조립체를 구성하되, 부시 조립체 만으로 전극판의 홈부에 끼운 후 볼트 너트 방식의 구조로 조립되어 고정되는 것이 아닌, 전극판의 홈부와 부시 조립체의 구조를 통해 부시 조립체를 결합할 시 자체적으로 부시 조립체가 전극판과 완전히 결합되도록 하여, 충격 등 기타 외부요인으로 풀림 및 이탈을 방지할 수가 있고, 플레이트를 전극판과 결합 시 볼트의 회전방향으로 더 이상 회전하지 않고 고정된 상태에서 볼트만 부시 조립체에 회전결합 될 수 있도록 하여 내구성을 높일 수 가 있는 유용한 발명이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도, 정단면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해단면도
도 5는 본 발명의 전극판의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 평면도, 단면도
도 6은 본 발명의 삽입체의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 평면도
도 7은 본 발명의 삽입체의 바람직한 실시 예를 나타내는 정단면도, 평단면도
도 8은 본 발명의 부시의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 평면도, 정면도
도 9는 본 발명의 전극판과 플레이트의 결합구조에 대한 바람직한 실시 예를 나타내는 도면
본 발명은 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체를 플레이트와 볼트에 의해 조립 하되, 전극판과 부시 조립체의 자체적인 고정력을 높여 이탈을 방지하며, 전극판과 플레이트를 결합 시, 부시조립체에 의해 견고한 고정력을 가질 수 있는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체를 제공한다.
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대하여 도 1 내지 도 9를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.
우선 본 발명을 설명하기에 앞서 그 구성을 도 2 내지 도 3을 참고하여 살펴보면, 전극판과 플레이트를 결합하기 위해 전극판의 홈에 체결되는 부시 조립체에 있어서, 분할된 형태로 형성되어 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치되어, 그 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 각각 형성되고, 내측에 슬라이드홀(15)이 형성되는 삽입체(10); 상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성되는 부시(20); 상기 부시(20)의 외주 상부에 나사산과 체결되는 체결부재(30);를 포함하여 구성된다.
상기 삽입체(10)를 더욱 상세하게 설명하면, 도 3, 4, 6, 7에 도시된 바와 같이, 분할된 형태로 각각 형성되어, 전극판(200)에 형성된 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치 구성되고, 그 사이에 상기 부시(20)의 외주가 인입될 수 있는 부시인입홀(11)을 형성하고, 상기 부시인입홀(11)의 외측으로 연장되어 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 인입되는 걸림턱인입홀(13)이 형성되며, 내측면에는 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 슬라이딩될 수 있는 슬라이드홀(15)이 형성된다.
즉, 상기 삽입체(10)는 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입 배치되되 부시(20)가 서로 마주하는 부분에 삽입되면, 상기 부시(20)에 의해 홈부(210)에 완전히 밀착되어 고정되고, 상기 부시(20)가 상기 홈부(210)에 완전히 삽입된 후 일측방향으로 회전하게 되면, 걸림턱(23)이 슬라이드홀(15)을 타며 이동되고, 상기 걸림턱(23)이 슬라이드홀(15)의 끝단에 맞닿게 되어 고정될 수 있도록 하기 위한 구성이다.
한편, 이러한 삽입체(10)의 외형은 상기 전극판(200)의 하부홈(211)이 위치되는 하부몸체(10a)와, 상기 하부몸체(10a)의 상부 일측으로 돌출되어 상부홈(213)에 위치되는 상부몸체(10b)로 구성되되, 상기 하부몸체(10a)가 상부몸체(10b)보다 더 크게 형성되어, 상기 하부몸체(10a)가 전극판(210)의 하부홈(211)과 상부홈(213)의 경계부분에 걸림되게 되어 이탈을 방지하며 고정될 수 있게 구성된다.
또한, 상기 상부몸체(10b)는 상부방향으로 돌출되되 상기 전극판(200)의 상부홈(213)의 높이와 대응되게 형성되어 상기 전극판(200)의 상측면 보다 더 돌출되지 않도록 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)의 경우 그 길이는 필요에 따라 삽입체(10)의 내측면을 따라 일부분만을 남겨두고 형성될 수가 있고, 내측면의 반 정도 지점까지 형성될 수가 있으며, 본 발명에서는 내측의 반 정도 지점까지 형성되는 것으로 도시하였고, 본 발명의 실시 예로써 한정짓지 아니한다.
한편, 상기 삽입체(10)에 삽입되는 부시(20)는 도 3, 4, 8에 도시된 바와 같이, 상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성된다.
즉, 상기 부시(20)의 외주가 상기 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 삽입되되, 걸림턱(23)이 걸림턱인입홀(13)에 인입되게 되며, 상기 부시(20)의 하측면이 전극판(200)의 하부홈(211)의 바닥부와 완전히 맞닿은 후 일측방향으로 회전하게 되면, 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 슬라이드홀(15)을 다라 슬라이딩 되며 상기 걸림턱(23)의 측면이 슬라이드홀(15)의 끝단과 맞닿게 되며 고정되게 된다.
한편, 상기 체결홀(21)은 상기 볼트(b)의 크기와 대응되게 형성되는 것이 바람직하다.
여기서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 부시(20)의 외주 상부에는 체결부재(30)가 체결되기 위한 나사산이 형성되는데, 이러한 나사산의 경우 통상의 볼트와 같은 개념이고 상기 체결부재(30)가 통상의 너트의 개념으로써, 추후 상기 부시(20)의 하부가 전극판(200)의 홈부(210)에 끼워진 상태에서 상기 체결부재(30)를 부시(20)의 외부 상부에 체결하게 되면, 상기 체결부재(30)의 체결방향에 따라 체결부재(30)로 부시(20)의 하부방향으로 이동하면서 상기 체결부재(30)의 하측면이 삽입체(10)의 상측면과 맞닿으며 완전히 고정될 수 있게 되어, 부시(20)가 전극판(200)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기 걸림턱(23)은 도 3, 4, 8에 도시된 바와 같이, 삽입체(10)의 걸림턱인입홀(13)에 삽입될 수 있게 부시(20)의 하부 외주 양측에 각각 형성되는데, 즉, 서로 대칭되게 각각 형성되어, 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)에 각각 슬라이딩 되어 고정될 수 있게 된다.
즉, 상기 걸림턱(23)은 걸림턱인입홀(13)로 삽입된 후, 부시(20)를 일측방향으로 회전 시, 상기 슬라이드홀(15)을 타며 이동되며 측면이 상기 슬라이드홀(15)의 끝단과 맞닿으며 고정되게 되고, 이때, 상기 걸림턱(23) 상하 높이는 상기 슬라이드홀(15)의 상하높이와 대응되거나 아주 미세하게 조금 낮게 형성될 수가 있다.
이러한 상기 걸림턱(23)은, 도 2, 3, 8에 도시된 바와 같이, 상기 부시(20)가 추후 전극판(200)과 플레이트(300)를 결합하기 위하여 별도의 볼트(b)를 이용하여 부시 조립체(100)와 볼트(b)를 체결함에 있어서 상기 부시 조립체(100)가 헛도는 현상을 방지토록 함과 아울러, 상기 부시 조립체(100)의 마모 등을 방지할 수 있도록 하는 효과를 가질 수가 있으며, 상기 삽입체(10)가 분할되어 각각의 슬라이드홀(15)을 형성하고, 부시(20)의 걸림턱(23)이 양측에 각각 형성되어 상기 각각의 슬라이드홀(15)에 슬라이딩 되어 고정됨으로, 상기 부시(20)를 홈부(210)에 끼움시킨 상태에서 회전 시, 걸림턱(23)의 측면이 홈부(210)의 슬라이드홀(15)의 끝단과 각각 맞닿게 되어 균형있는 고정력을 가질 수가 있다.
즉, 상기 체결부재(30)를 부시(10)의 외주 상측에 형성된 나사산에 체결 시, 부시(20)가 체결부재(30)의 회전방향으로 회전하면서 각각의 상기 걸림턱(23)의 측면이 각각의 슬라이드홀(15)의 끝단과 맞닿게 되어 균형있게 고정될 수 있게 되어 걸림턱(23)의 파손을 방지할 수가 있게 된다.
한편, 도 2 도시된 바와 같이, 상기 부시(20)의 상부와 체결부재(30)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(27, 37)이 형성되어, 상기 부시(20)와 체결부재(30)를 도구(드라이버 등)을 이용하여 손쉽게 회전시킬 수가 있다.
이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 부시 조립체(100)를 전극판(200)의 홈부(210)에 끼움시킨 후, 회전시켜 고정함에 있어서, 분할된 형태의 각각의 삽입체(10)를 전극판(200) 홈부(210)에 끼움시키되, 각각의 삽입체(10) 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 형성되도록 한 다음, 상기 부시인입홀(11)로 부시(20)를 인입시키며, 이때, 상기 부시(20)의 걸림턱(23)이 상기 걸림턱인입홀(13)로 인입될 수 있도록 배치하여 최종적으로 부시(20)를 부시인입홀(11)로 인입시키고, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하게 되면, 상기 체결부재(30)의 하측과 상기 삽입체(10)의 상측이 서로 맞닿게 되며 상기 체결부재(30)의 체결방향에 따라 서서히 삽입체(10)의 상측으로 압박이 가해져 조여지며 견고하게 고정되어 미세한 흔들림 등 움직임까지 억제할 수 있다.
또한, 본 발명의 부시 조립체는 실질적으로 전극판(200)과 플레이트(300)를 결합하기 위한 구성품으로 절연체 또는 비절연체로 형성될 수가 있다.
또한, 상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al2O3 중 어느 하나로 구성되될 수가 있다.
상기한 바와 같은 부시 조립체를 이용한 전극판과 플레이트의 결합구조체를 도 1 내지 도 9를 참고하여 설명하면,
샤워헤드용 전극판과 플레이트의 결합구조체에 있어서, 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고, 상기 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 걸림턱이 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(13)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(13)의 측면이 맞닿아 고정되며, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고, 상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성된다.
즉, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 서로 다른 형태의 하부홈(211)과 상부홈(213)을 각각 형성하되, 상기 상부홈(213)은 평면상 원형으로 형상으로 형성되고, 상기 하부홈(211)은 타원형으로 형성되도록 하여, 상기 홈부(210)로 삽입체(10)를 삽입할 시, 삽입체(10)의 하부몸체(10a)가 전극판(200)의 하부홈(211)에 위치되고, 상기 삽입체(10)의 상부몸체(10b)가 전극판(200)의 상부홈(213)에 위치되게 된다.
도 2, 도 9에 도시된 바와 같이, 분할된 한 쌍의 삽입체(10)에 의해 형성되는 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)에 맞춰서 부시(20)를 삽입하게 되면, 부시에 의해 삽입체(10)가 마주하는 반대방향으로 밀려져, 하부홈(211)과 상부홈(213)의 일측면과 완전히 밀착되게 되며 1차적으로 고정되게 되고, 상기 부시(20)를 일측방향으로 회전하게 되면, 각각의 걸림턱(23)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 타며 회전하되, 상기 걸림턱(23)의 측면이 슬라이드홀(15)의 단부와 맞닿게 되면 이동이 제한되며 고정되도록 구성되고, 상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 결합하게 되면, 체결부재(30)의 체결에 따라 체결부재(30)의 하부가 삽입체(10)의 상측면을 서서히 압박하면서 완전히 맞닿아 고정되도록 하여 부시(20)가 회전되는 것을 방지하면서도 부시가 전극판(200)으로부터 이탈되는 것을 원천적으로 차단할 수 있게 된다.
한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 전극판(200)의 상부로 플레이트(300)를 배치구성하되, 플레이트(300)의 결합홀(310)을 부시의 체결홀(11)과 동일선상에 배치시킨 후, 볼트(b)로 결합홀(310)과 체결홀(11)에 순차적으로 결합하게 되면, 전극판(200)과 플레이트(300)과 부시조립체(100)를 통해 견고하게 고정될 수 있게 된다.
본 발명에 따른 샤워헤드 전극판용 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조체에 의하면, 부시 조립체의 본연의 목적을 그대로 유지함과 동시에, 전극판과 플레이트를 결합 시, 그 사이에 부시 조립체를 구성하되, 부시 조립체 만으로 전극판의 홈부에 끼운 후 볼트 너트 방식의 구조로 조립되어 고정되는 것이 아닌, 전극판의 홈부와 부시 조립체의 구조를 통해 부시 조립체를 결합할 시 자체적으로 부시 조립체가 전극판과 완전히 결합되도록 하여, 충격 등 기타 외부요인으로 풀림 및 이탈을 방지할 수가 있고, 플레이트를 전극판과 결합 시 볼트의 회전방향으로 더 이상 회전하지 않고 고정된 상태에서 볼트만 부시 조립체에 회전결합 될 수 있도록 하여 내구성을 높일 수 가 있는 유용한 발명이다.
10 : 삽입체 10a : 하부몸체 10b : 상부몸체
11 : 부시인입홀 13 : 걸림턱인입홀 15 : 슬라이드홀
20 : 부시
21 : 체결홀 23 : 걸림턱 27 : 탭
30 : 체결부재 37 : 탭
100 : 부시조립체
200 : 전극판
210 : 홈부 211 : 하부홈 213 : 상부홈
300 : 플레이트 310 : 결합홀
b : 볼트

Claims (7)

  1. 전극판과 플레이트를 결합하기 위해 전극판의 홈에 체결되는 부시 조립체에 있어서,
    분할된 형태로 형성되어 전극판(200)의 홈부(210)에 삽입되되 서로 마주하게 배치되어, 그 사이에 부시인입홀(11)과 걸림턱인입홀(13)이 각각 형성되고, 내측에 슬라이드홀(15)이 형성되는 삽입체(10);
    상기 부시인입홀(11)에 끼움 되되, 중앙부가 관통되며 내측에 나사산이 형성되는 체결홀(21)과, 외주 상부에 체결부재(30)를 체결하기 위한 나사산과, 외주 하부 일측에 상기 걸림턱인입홀(13)에 끼워져 회전 시 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩 되는 걸림턱(23)이 형성되는 부시(20);
    상기 부시(20)의 외주 상부에 나사산과 체결되는 체결부재(30);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 삽입체(10)는,
    상기 전극판(200)의 하부홈(211)이 위치되는 하부몸체(10a)와,
    상기 하부몸체(10a)의 상부 일측으로 돌출되어 상부홈(213)에 위치되는 상부몸체(10b)로 구성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 부시(20)의 걸림턱(23)은
    상기 부시(20)의 외주에 서로 대칭되게 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 부시(20)의 상부와 체결부재(30)의 상부에는 서로 마주하는 양측에 각각의 탭(27, 37)이 형성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 부시 조립체는 절연체 또는 비절연체인 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 부시 조립체는 Single Si, Poly Si, Sapphire, CVD SiC, Sintered SiC, SUS, AI, Torlon, Cerazole, Al2O3 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판용 부시 조립체.
  7. 샤워헤드용 전극판과 플레이트의 결합구조체에 있어서,
    전극판(200)의 일측에 홈부(210)를 형성하되, 하부에 삽입체(10)의 하부몸체가 위치되는 하부홈(211)과 상부에 상기 삽입체(10)가 인입되는 상부홈(213)이 서로 연장되게 형성하되, 상기 하부홈(211)은 상부홈(213)보다 더 크게 형성하여 상기 삽입체(10)를 홈부(210)에 끼움 구성하고,
    상기 부시(20)를 삽입체(10)의 부시인입홀(11)에 인입시키되, 걸림턱이 걸림턱인입홀(13)에 인입되도록 한 후, 부시(20)를 회전 시켜 상기 걸림턱(13)이 삽입체(10)의 슬라이드홀(15)을 따라 슬라이딩되어 슬라이드홀(15)의 끝단과 걸림턱(13)의 측면이 맞닿아 고정되며,
    상기 부시(20)의 상부에 체결부재(30)를 체결하여 상기 체결부재(30)의 하측이 상기 삽입체(10)의 상측과 맞닿아 고정되고,
    상기 전극판(200)의 상부에 플레이트(300)를 구비하되, 결합홀(310)을 부시(20)의 체결홀(21)과 동일선상에 배치시켜 볼트(b)로 완전히 체결하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 전극판과 플레이트의 결합구조체.
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110091253A (ko) * 2010-02-05 2011-08-11 주식회사 월덱스 캐소드 결합을 위한 체결구 구조
KR101257726B1 (ko) * 2012-05-15 2013-04-24 하나실리콘(주) 플라즈마 챔버의 캐소드 체결구
KR101514397B1 (ko) * 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) 캐소드 전극판용 부시 조립체
KR101980255B1 (ko) * 2018-12-27 2019-05-21 주식회사 테크놀로지메이컬스 캐소드 전극판용 부시 조립구조 및 이를 포함하는 상부전극 조립체
KR102115385B1 (ko) * 2020-03-20 2020-05-27 주식회사 테크놀로지메이컬스 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체
KR102128596B1 (ko) * 2019-02-19 2020-07-01 하나머티리얼즈(주) 플라즈마 전극용 부시 조립체 및 이를 포함하는 전극 조립구조
KR102144892B1 (ko) * 2018-12-17 2020-08-14 주식회사 티씨케이 샤워헤드 체결장치
KR20200111373A (ko) * 2019-03-19 2020-09-29 주식회사 월덱스 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조
KR102167800B1 (ko) * 2019-09-06 2020-10-19 (주)원세미콘 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법
KR102199778B1 (ko) * 2019-12-12 2021-01-07 세메스 주식회사 플라즈마 챔버용 전극판

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110091253A (ko) * 2010-02-05 2011-08-11 주식회사 월덱스 캐소드 결합을 위한 체결구 구조
KR101113987B1 (ko) * 2010-02-05 2012-02-22 주식회사 월덱스 캐소드 결합을 위한 체결구 구조
KR101257726B1 (ko) * 2012-05-15 2013-04-24 하나실리콘(주) 플라즈마 챔버의 캐소드 체결구
KR101514397B1 (ko) * 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) 캐소드 전극판용 부시 조립체
KR102144892B1 (ko) * 2018-12-17 2020-08-14 주식회사 티씨케이 샤워헤드 체결장치
KR101980255B1 (ko) * 2018-12-27 2019-05-21 주식회사 테크놀로지메이컬스 캐소드 전극판용 부시 조립구조 및 이를 포함하는 상부전극 조립체
KR102128596B1 (ko) * 2019-02-19 2020-07-01 하나머티리얼즈(주) 플라즈마 전극용 부시 조립체 및 이를 포함하는 전극 조립구조
KR20200111373A (ko) * 2019-03-19 2020-09-29 주식회사 월덱스 에칭장치용 전극판과 플레이트를 결합하기 위한 부시 조립체 및 전극판과 플레이트의 결합구조
KR102167800B1 (ko) * 2019-09-06 2020-10-19 (주)원세미콘 캐소드 전극판 조립체 및 그 체결방법
KR102199778B1 (ko) * 2019-12-12 2021-01-07 세메스 주식회사 플라즈마 챔버용 전극판
KR102115385B1 (ko) * 2020-03-20 2020-05-27 주식회사 테크놀로지메이컬스 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체

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