KR102115385B1 - 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체 - Google Patents

체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 실리콘 전극에 삽입되는 부쉬를 실리콘 전극 상부로 돌출되게 하여 돌출 부위가 아노다이징 플레이트에 삽입 결합되어 부쉬의 회전을 억제할 수 있는 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체에 관한 것으로, 실리콘 전극의 조립홈과 아노다이징 플레이트로 결합되어 회전되지 않도록 하는 내외측 탭 복합 너트와, 상기 실리콘 전극의 조립홈에 조립되고 내외측 탭 복합 너트의 외부에 끼워지는 내외측 탭 너트와, 상기 실리콘 전극의 상부에 구비되는 아노다이징 플레이트를 고정시키기 위해 아노다이징 플레이트의 관통부 내부를 통해 결합되어 내외측 탭 복합 너트와 조립되는 조립모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체{INTERLOCKING FASTENING UPPER ELECTRODE ASSEMBLY WITH IMPROVED TIGHTENING POWER}
본 발명은 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 실리콘 전극에 삽입되는 부쉬를 실리콘 전극 상부로 돌출되게 하여 돌출 부위가 아노다이징 플레이트에 삽입 결합되어 부쉬의 회전을 억제할 수 있는 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼의 식각 처리를 위해 사용되는 플라즈마 장치는 플라즈마 챔버 내부의 애노드 상에 주로 위치되는 웨이퍼와 수평하게 설치되어 자체에 형성된 다수의 홀을 통해 반응 가스를 주입하고 고주파 전압을 인가하여 웨이퍼의 식각에 필요한 플라즈마를 발생시키도록 하는 캐소드가 구비된다.
종래에 따르면 상기한 캐소드는 플라즈마 챔버 내부의 플레이트 상에 주로 볼트를 통해 결합되고 있는 바, 이러한 볼트 체결에서는 캐소드와, 챔버 내부의 플레이트에 각각 내측에 나사산이 형성된 다수의 볼트삽입구를 형성하여, 상기 볼트삽입구를 상하 일치시킨 후 볼트를 삽입하여 결합시키도록 구성된다.
이러한 볼트 체결 구조에서는 고압의 플라즈마 환경에서 발생되는 볼트의 유동에 의해 볼트체결구의 나사산의 손상이 발생되어 고가의 캐소드를 소모시키게 되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 나사 결합의 풀림에 의해 캐소드와 플레이트 간에 간격이 발생하여 웨이퍼 식각 공정의 성능을 저하시키는 문제점이 발생하였다.
한편, 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로서, 캐소드에 원형의 통공을 형성하고, 상기 통공의 내부에서 단턱에 의해 고정 삽입되는 부시와, 상기 부시의 외측과 캐소드의 통공의 내측의 사이에 삽입되는 조립링을 구비한 후 플라즈마 챔버의 플레이트를 삽입하여 이어지는 조립스크류를 상기 부시에 나사 결합으로 상호 결합시키도록 구성하여 나사 결합부의 손상 발생을 억제하고, 손상 발생 시에는 상기한 부시만을 교환하여 사용할 수 있도록 하는 구성이 적용되었다.
그러나, 상기 구성에서도 캐소드의 통공에 삽입되는 부시가 유동하여 통공의 측부에 접촉되어 손상을 발생시키는 문제점이 있었으며, 일반적인 볼트 결합 구조와 마찬가지로 웨이퍼 식각 공정에서 부시가 유동될 시 조립 스크류와의 나사 결합이 와해되어 캐소드와 플레이트 간의 간격을 발생시켜 식각 성능을 저하시키는 문제점을 여전히 가지게 된다.
대한민국 공개특허공보 제10-2011-0091253호 대한민국 등록특허공보 제10-1593920호
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 그 목적은 실리콘 전극에 삽입되어 아노다이징 플레이트를 연결시키기 위해 클램프 볼트가 연결되는 내외측 탭 복합 너트의 상부에 형성된 각형의 회전방지부를 실리콘 전극의 상부로 돌출시켜 각형의 회전방지부가 아노다이징 플레이트로 삽입 결합시킴으로써 내외측 탭 복합 너트의 회전을 방지할 수 있어 아노다이징 플레이트 내부에 유격 공간이 생겨 부하를 최소화하여 제품성을 향상시킬 수 있는 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체을 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체는 실리콘 전극의 조립홈과 아노다이징 플레이트로 결합되어 회전되지 않도록 하는 내외측 탭 복합 너트와, 상기 실리콘 전극의 조립홈에 조립되고 내외측 탭 복합 너트의 외부에 끼워지는 내외측 탭 너트와, 상기 실리콘 전극의 상부에 구비되는 아노다이징 플레이트를 고정시키기 위해 아노다이징 플레이트의 관통부 내부를 통해 결합되어 내외측 탭 복합 너트와 조립되는 조립모듈을 포함할 수 있다.
상기 내외측 탭 복합 너트는 하부에 조립홈의 내벽면에 밀착되게 삽입되는 삽입부가 구비되고, 상기 삽입부의 상부를 향해 연장되어 내외측 탭 너트에 체결되도록 탭이 형성된 체결부가 구비되며, 상기 체결부의 상부에 아노다이징 플레이트의 관통부로 결합되어 내외측 탭 복합 너트의 회전을 방지할 수 있도록 회전방지부가 구비되고, 상기 회전방지부를 관통하여 조립모듈이 체결될 수 있도록 나사산이 형성된 체결홈이 형성될 수 있다.
상기 회전방지부는 실리콘 전극의 상부로 돌출되어 조립모듈로 조립되는 아노다이징 플레이트 내부로 삽입되어 내외측 탭 복합 너트의 회전을 방지할 수 있도록 타원이나 삼각형, 육각형의 다각형으로 형성될 수 있다.
상기 관통부에는 회전방지부가 결합되고 남은 빈 공간인 유격공간부가 형성될 수 있다.
상기 내외측 탭 너트는 외부에 실리콘 전극의 조립홈에 체결되도록 탭이 형성되며, 내부에 상,하를 관통하여 내외측 탭 복합 너트가 결합될 수 있도록 나사산이 형성된 결합홈이 형성될 수 있다.
상기 조립모듈은 아노다이징 플레이트의 관통부로 삽입되어 내외측 탭 복합 너트에 체결되는 클램프 볼트와, 상기 클램프 볼트의 외부에 구비되어 아노다이징 플레이트의 관통부에 끼워지는 링와셔와, 상기 클램프 볼트의 외부로 끼워지면서 링와셔의 상부에 위치되는 스프링와셔와, 상기 스프링와셔의 상측에 위치되어 클램프 볼트의 풀림을 방지할 수 있도록 하는 복수개의 제1풀림방지와셔와 제2풀림방지와셔를 포함할 수 있다.
상기 제1풀림방지와셔의 상부에는 일전 간격을 두고 복수개의 안착홈이 형성되며, 상기 제2풀림방지와셔의 하부에는 각각의 안착홈에 안착되는 복수개의 안착돌부가 구비될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체에 의하면, 실리콘 전극과 아노다이징 플레이트를 연결시키기 위해 아노다이징 플레이트로 삽입되는 클램프 볼트가 체결되는 내외측 탭 복합 너트가 실리콘 전극에 체결되면서 상부로 돌출되어 다각형으로 이루어진 회전방지부가 아노다이징 플레이트의 관통부 내로 삽입 결합됨으로써 내외측 탭 복합 너트의 회전을 방지할 수 있어 실리콘 전극과 아노다이징 플레이트가 안정적인 결합이 가능하여 제품성 및 사용자에게 만족감을 최대화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체를 도시한 분해사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체를 도시한 결합사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체를 도시한 절단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 체결격을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 설치 전 상태를 도시한 절단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 설치상태를 도시한 절단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 내외측 탭 복합 너트를 도시한 확대사시도이다.
도 7은 도 6에 따른 내외측 탭 복합 너트를 도시한 정면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 제1풀림방지와셔와 제2풀림방지와셔를 도시한 확대사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.
본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는/결합되는'이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.
또한, '제1,제2' 등과 같은 표현은, 복수의 구성들을 구분하기 위한 용도로만 사용된 표현으로써, 구성들 사이의 순서나 기타 특징들을 한정하지 않는다.
실시 예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 측(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체를 도시한 분해사시도이며, 도 2는 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체를 도시한 결합사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체를 도시한 절단면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 체결격을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 설치 전 상태를 도시한 절단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 설치상태를 도시한 절단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 내외측 탭 복합 너트를 도시한 확대사시도이고, 도 7은 도 6에 따른 내외측 탭 복합 너트를 도시한 정면도이며, 도 8은 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체의 제1풀림방지와셔와 제2풀림방지와셔를 도시한 확대사시도이다.
도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체는 내외측 탭 복합 너트(100)와, 내외측 탭 너트(200)와, 조립모듈(300)을 포함하게 된다.
상기 내외측 탭 복합 너트(100)는 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)에 체결되고 상부가 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)에 삽입되어 결합될 수 있다.
상기 내외측 탭 복합 너트(100)는 바닥면에 실리콘 전극(10)의 조립홈(11) 바닥 내벽면에 밀착되게 삽입되는 삽입부(110)가 구비되며, 상기 삽입부(110)의 상부를 향해 연장되어 내외측 탭 너트(200)의 내부로 체결되도록 외부로 탭(T1)이 형성된 체결부(120)가 구비된다.
즉, 상기 삽입부(110)가 조립홈(11) 내부로 삽입되면서 바닥면에 놓여지고 조립홈(11)의 내벽면에 밀착되어 흔들림없이 안정적으로 삽입되며, 상기 내외측 탭 복합 너트(100)가 조립홈(11)에 삽입된 상태에서 조립홈(11)으로 내외측 탭 너트(200)가 체결될 때 상기 체결부(120)에 내외측 탭 너트(200)가 결합될 수 있다.
또한, 상기 체결부(120)의 상부에는 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)로 결합되도록 회전방지부(130)가 구비될 수 있다.
상기 회전방지부(130)는 내외측 탭 복합 너트(100)가 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)으로 삽입될 때 상기 실리콘 전극(10)의 상부로 돌출되게 구비되어 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)로 결합될 수 있다.
또한, 상기 회전방지부(130)는 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21) 내부로 삽입되어 내외측 탭 복합 너트(100)가 회전되지 않도록 타원이나 삼각형, 육각형 등의 다각형으로 이루어질 수 있다.
즉, 상기 삽입부(110)와 체결부(120)가 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)으로 삽입된 상태에서 상기 실리콘 전극(10)의 상부에 아노다이징 플레이트(20)가 밀착되면 상기 회전방지부(130)가 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21) 내로 삽입되며, 상기 회전방지부(130)가 다각형으로 이루어짐에 따라 상기 내외측 탭 복합 너트(100)는 물론 조립모듈(300)의 회전을 방지할 수 있어 실리콘 전극(10)과 아노다이징 플레이트(20)가 안정적으로 연결될 수 있다.
그리고, 상기 회전방지부(130)가 삽입되는 위치의 관통부(21)는 회전방지부(130)의 외형과 동일한 형태로 형성될 수 있다.
또한, 도 5에서와 같이 상기 회전방지부(130)가 삽입되는 관통부(21)에는 회전방지부(130)가 삽입되고 일정 공간이 남아 빈 공간인 유격공간부(S)가 형성될 수 있다.
상기 유격공간부(S)는 0.1㎜ ~ 0.3㎜로 형성될 수 있다.
상기 내외측 탭 복합 너트(100)의 중앙부에는 회전방지부(130)를 관통하여 실리콘 전극(10)과 아노다이징 플레이트(20)를 조립하기 위해 하기에 설명된 조립모듈(300)의 클램프 볼트(310)가 체결될 수 있도록 나사산이 형성된 체결홈(140)이 형성될 수 있다.
상기 내외측 탭 너트(200)는 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)에 조립되고 상기 내외측 탭 복합 너트(10)의 외부에 끼워져 조립되게 된다.
또한, 상기 내외측 탭 너트(200)는 외부에 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)에 체결될 수 있도록 탭(T2)이 형성될 수 있다.
그리고, 상기 내외측 탭 너트(200)의 내부에는 상,하를 관통하여 내외측 탭 복합 너트(100)가 결합될 수 있도록 나사산이 형성된 결합홈(210)이 형성될 수 있다.
또한, 상기 내외측 탭 너트(200)의 상부 양쪽에는 내외측 탭 복합 너트(100)와 조립홈(11)으로 내외측 탭 너트(200)를 조립시키기 위해 체결공구(도시하지 않음)로 내외측 탭 너트(200)를 회전시킬 수 있도록 회전홈(220)이 형성될 수 있다.
즉, 상기 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)으로 내외측 탭 복합 너트(100)가 삽입되면 상기 내외측 탭 너트(200)를 조립홈(11)으로 체결하여 내외측 탭 복합 너트(100)가 빠지지 않도록 상기 내외측 탭 복합 너트(100)와 조립홈(11) 사이로 내외측 탭 너트(200)를 조립할 수 있다.
상기 조립모듈(300)은 실리콘 전극(10)의 상부에 구비되는 아노다이징 플레이트(20)를 고정시키기 위해 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)를 통해 결합하여 상기 내외측 탭 복합 너트(100)와 조립하게 된다.
상기 조립모듈(30O)은 클램프 볼트(310)와, 링와셔(320)와, 스프링와셔(330)와, 제1풀림방지와셔(340)와, 제2풀림방지와셔(350)를 포함하게 된다.
상기 클램프 볼트(310)는 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)로 삽입되어 내외측 탭 복합 너트(100)에 체결될 수 있다.
상기 클램프 볼트(310)는 내외측 탭 복합 너트(100)의 나사산이 형성된 체결홈(140)에 체결될 수 있도록 나사산이 형성된 몸체부(311)와, 상기 몸체부(311)의 상부에 구비되어 클램프 볼트(310)를 내외측 탭 복합 너트(100)에 체결시킬 수 있도록 하는 머리부(312)로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 머리부(312)의 상부 내면에는 내외측 탭 너트(200)와 내외측 탭 복합 너트(100)가 조립된 상태에서 관통부(21)를 통해 체결홈(140)으로 클램프 볼트(310)를 체결시킬 수 있도록 체결공구(도시하지 않음)가 끼워지는 공구삽입홈(312a)이 형성될 수 있다.
상기 링와셔(320)는 클램프 볼트(310)의 외부에 구비되고 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)에 삽입되고 클램프 볼트(310)의 외부에 끼워지게 된다.
상기 스프링와셔(330)는 클램프 볼트(310)의 외부로 끼워지고 링와셔(320)의 상부에 위치될 수 있다.
또한, 상기 스프링와셔(330)는 상,하로 복수개가 겹쳐져서 구비될 수 있다.
상기 제1풀림방지와셔(340)는 스프링와셔(330)의 상측에 위치되어 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)를 통과하여 내외측 탭 복합 너트(100)에 체결되는 클램프 볼트(310)의 풀림을 방지할 수 있게 된다.
또한, 상기 제1풀림방지와셔(340)의 상부에는 일정 간격을 두고 복수개의 안착홈(341)이 형성될 수 있다.
상기 제2풀림방지와셔(350)는 제1풀림방지와셔(340)의 상부에 밀착되게 구비될 수 있다.
또한, 상기 제2풀림방지와셔(350)의 하부에는 제1풀림방지와셔(340)의 각 안착홈(341)에 안착될 수 있도록 안착돌부(351)가 구비될 수 있다.
상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체에 따른 작용상태를 살펴보면 아래와 같다.
상기 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)으로 내외측 탭 복합 너트(100)와 내외측 탭 너트(200)를 조립하되 상기 실리콘 전극(10)의 조립홈(11) 상부로 실리콘 전극(10)의 평면 보다 높게 회전방지부(130)가 위치되어 상기 회전방지부(130)가 실리콘 전극(10)의 상부로 돌출되어져 상기 내외측 탭 복합 너트(100)가 조립홈(11)에 조립될 수 있다.
그리고, 상기 실리콘 전극(10)의 조립홈(11)에 내외측 탭 복합 너트(100)와 내외측 탭 너트(200)가 조립되며 상기 실리콘 전극(10)의 상부로 아노다이징 플레이트(20)를 밀착시키게 된다.
또한, 상기 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21) 내로 링와셔(320)와 스프링와셔(330)를 삽입시키고, 상기 스프링와셔(330)의 상부로 제1풀림방지와셔(340)와 제2풀림방지와셔(350)를 삽입시켜 적층시킬 수 있다.
이와 함께, 상기 관통부(21)에 적층되게 삽입된 제2풀림방지와셔(340)와 제2풀림방지와셔(350) 및 스프링와셔(330)와 링와셔(320)를 통과하여 클램프 볼트(310)를 삽입시키고 상기 클램프 볼트(310)를 내외측 탭 복합 너트(100)의 체결홈(140)에 체결하여 상기 실리콘 전극(10)과 아노다이징 플레이트(20)를 밀착시켜 연결시킬 수 있다.
그리고, 상기 조립홈(11)에 내외측 탭 복합 너트(100)가 삽입되고 상기 실리콘 전극(10) 상부에 아노다이징 플레이트(20)가 밀착될 때 상기 실리콘 전극(10)의 상부로 돌출된 회전방지부(130)가 관통부(21) 내로 삽입되며 상기 회전방지부(130)가 다각형으로 형성됨에 따라 실리콘 전극(10)에 삽입된 내외측 탭 복합 너트(100)와 내외측 탭 너트(200)의 회전을 방지할 수 있다.
이와 같이, 상기 회전방지부(130)에 의해 내외측 탭 복합 너트(100) 및 내외측 탭 너트(200)가 회전되지 않도록 하여 실리콘 전극(10)과 아노다이징 플레이트(20)를 조립함으로써 별도의 인서트가 필요하지 않게 된다.
또한, 상기 회전방지부(130)가 아노다이징 플레이트(20)의 관통부(21)로 삽입될 때 상기 관통부(21)의 내부 공간에 빈 공간인 유격공간부(S)를 형성하여 이격되게 삽입됨으로써 열팽창에 의한 이탈 현상을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 클램프 볼트(310)가 내외측 탭 복합 너트(100)에 체결될 때 상기 클램프 볼트(310)의 외부에 제1,2풀림방지와셔(340,350)가 구비됨으로써 클램프 볼트(310)의 풀림 현상을 방지할 수 있어 실리콘 전극(10)과 아노다이징 플레이트(20)가 풀림 현상 없이 견고하고 안정적으로 조립될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 : 실리콘 전극 11 : 조립홈
20 : 아노다이징 플레이트 21 : 관통부
100 : 내외측 탭 복합 너트 110 : 삽입부
120 : 체결부 130 : 회전방지부
140 : 체결홈 200 : 내외측 탭 너트
210 : 결합홈 220 : 회전홈
300 : 조립모듈 310 : 클램프 볼트
311 : 몸체부 312 : 머리부
312a : 공구삽입홈 320 : 링와셔
330 : 스프링와셔 340 : 제1풀림방지와셔
341 : 안착홈 350 : 제2풀림방지와셔
351 : 안착돌부 S : 유격공간부
T1, T2 : 탭

Claims (7)

  1. 실리콘 전극의 조립홈과 아노다이징 플레이트로 결합되어 회전되지 않도록 하는 내외측 탭 복합 너트;
    상기 실리콘 전극의 조립홈에 조립되고 내외측 탭 복합 너트의 외부에 끼워지는 내외측 탭 너트; 및
    상기 실리콘 전극의 상부에 구비되는 아노다이징 플레이트를 고정시키기 위해 아노다이징 플레이트의 관통부 내부를 통해 결합되어 내외측 탭 복합 너트와 조립되는 조립모듈;을 포함하고,
    상기 내외측 탭 복합 너트는, 하부에 조립홈의 내벽면에 밀착되도록 삽입되는 삽입부; 상기 삽입부의 상부를 향해 연장되어 내외측 탭 너트에 체결되도록 탭이 형성된 체결부; 상기 체결부의 상부에 아노다이징 플레이트의 관통부로 결합되어 내외측 탭 복합 너트의 회전을 방지할 수 있는 회전방지부; 및 상기 회전방지부를 관통하여 조립모듈이 체결될 수 있도록 나사산이 형성된 체결홈;을 포함하며,
    상기 회전방지부는, 실리콘 전극의 상부로 돌출되어 조립모듈로 조립되는 아노다이징 플레이트 내부로 삽입되어 내외측 탭 복합 너트의 회전을 방지할 수 있도록 삼각형 혹은 육각형의 다각형으로 형성되고,
    상기 관통부에는 회전방지부가 결합되고 남은 빈 공간인 유격공간부가 상기 회전방지부의 주위로 형성되는 것을 특징으로 하는, 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 내외측 탭 너트는 외부에 실리콘 전극의 조립홈에 체결되도록 탭이 형성되며, 내부에 상,하를 관통하여 내외측 탭 복합 너트가 결합될 수 있도록 나사산이 형성된 결합홈이 형성되는 것을 특징으로 하는, 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 조립모듈은,
    상기 아노다이징 플레이트의 관통부로 삽입되어 내외측 탭 복합 너트에 체결되는 클램프 볼트;
    상기 클램프 볼트의 외부에 구비되어 아노다이징 플레이트의 관통부에 끼워지는 링와셔;
    상기 클램프 볼트의 외부로 끼워지면서 링와셔의 상부에 위치되는 스프링와셔; 및
    상기 스프링와셔의 상측에 위치되어 클램프 볼트의 풀림을 방지할 수 있도록 하는 복수개의 제1풀림방지와셔와 제2풀림방지와셔;를 포함하는, 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1풀림방지와셔의 상부에는 일전 간격을 두고 복수개의 안착홈이 형성되며, 상기 제2풀림방지와셔의 하부에는 각각의 안착홈에 안착되는 복수개의 안착돌부가 구비되는 것을 특징으로 하는, 체결력을 향상시킨 맞물림 체결 상부 전극 조립체.
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