KR102623793B1 - 샤워헤드 체결 조립체 - Google Patents

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KR102623793B1
KR102623793B1 KR1020230084616A KR20230084616A KR102623793B1 KR 102623793 B1 KR102623793 B1 KR 102623793B1 KR 1020230084616 A KR1020230084616 A KR 1020230084616A KR 20230084616 A KR20230084616 A KR 20230084616A KR 102623793 B1 KR102623793 B1 KR 102623793B1
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이창은
조남기
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이창은
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B39/00—Locking of screws, bolts or nuts
    • F16B39/22—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place during screwing down or tightening
    • F16B39/24—Locking of screws, bolts or nuts in which the locking takes place during screwing down or tightening by means of washers, spring washers, or resilient plates that lock against the object
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

본 발명은 체결볼트와, 락와셔와, 락부재를 포함하여 샤워헤드를 챔버바디에 설치하는 샤워헤드 체결 조립체로서;
상기 락부재는 체결볼트가 통과하는 락부재통공이 형성되고 내면에 원주 방향을 따라 돌출부가 형성되며;
상기 락와셔는 체결볼트가 통과하는 락와셔공이 형성된 락와셔본체와, 상기 락와셔본체로부터 외향 연장된 복수의 와셔돌기를 포함하며;
체결볼트가 체결되고 락와셔가 락부재 내측에서 와셔돌기의 단부가 걸림부에 위치하여 구비되는 것을 특징으로 샤워헤드 체결 조립체에 관한 것이다.

Description

샤워헤드 체결 조립체{Fixing assembly for shower head}
본 발명은 샤워헤드 체결 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 작업이 쉽고 풀림이 방지되는 샤워헤드 체결 조립체에 관한 것이다.
플라즈마 챔버(plasma chamber)는 웨이퍼 등의 반도체 부품을 생산하는 과정뿐만 아니라 공산품을 제조하는 과정에서 가공 중인 작업대상물에 식각(etching) 또는 플라즈마 화학 증착(plasma chemical vapor deposition) 공정이 수행되도록 하는데 사용되는 설비들 중의 하나이다.
플라즈마 챔버는 작업대상물에 따라서 그 구성 및 크기 등이 다양한 형태로 설치되는 것이 일반적인데, 웨이퍼와 같은 반도체 부품에 식각 또는 증착 공정을 수행하기 위해 플라즈마 챔버가 흔히 사용된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일반적으로 플라즈마 챔버(10)는 내측 상부 및 하부에 각각 캐소드 전극(20, 샤워헤드)과 애노드 전극이 설치된다. 플라즈마 챔버(10)의 챔버 일측에는 챔버 내부의 공기를 빼내기 위한 진공펌프가 설치되고, 챔버의 다른 일측에는 챔버 내부로 플루오르, 질소 등의 반응가스를 주입시키기 위한 가스 주입구가 설치된다. 또한, 고온고압의 상태에 노출되는 플라즈마 챔버의 지속적인 냉각을 위해서 캐소드 전극에는 냉각수의 순환이 가능한 냉각수 라인이 설치된다.
상기 플라즈마 챔버(10)는 운전이 시작되면 챔버 내부가 진공 상태가 되도록 가스주입구를 통해 플루오르나 질소 등의 반응가스가 주입되고, 이와 동시에 전원으로부터 캐소드 전극 및 애노드 전극에 고전압이 인가되면, 챔버 내부가 플라즈마 상태로 전환된다. 이 과정에서 웨이퍼에는 플라즈마 상태의 반응가스에 의해서 식각 또는 증착공정에 따른 가공이 이루어지게 된다.
도 1에서 확대도로 도시된 캐소드 전극(20)은 원주 방향을 따라 체결볼트가 결합되는 다수개의 체결홈(21)이 형성되고, 상기 체결홈(21)에 결합부재를 결합시킨 후에 상기 체결볼트와의 결합을 통해 플라즈마 챔버의 상부전극판에 고정된다.
종래의 결합부재와 체결볼트로 이루어지는 체결 조립체는 캐소드 또는 그라운드 링에 다량의 반응가스가 유입되면서 고전압의 플라즈마에 노출될 경우 순간적인 높은 온도(290℃)에 노출되고 다시 내려가는(90℃) 현상이 발생되어 스테인레스 스틸(SUS)의 수축 팽창에 의한 체결 조립체의 체결력이 약해지게 된다. 이때 각 볼트의 체결력이 각각 달라서 어느 한 쪽이 느슨해지게 되고, 그에 따라 특정 부위에 응집력이 집중되어 공정 진행 중 부품 파손이 발생하거나 공정에 이상 발생으로 공정불량과 같이 문제가 발생되었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 다양한 구조의 체결 조립체가 제시되고 있으나, 부품 수가 많아 관리가 어렵고 작업이 어려운 문제점이 있었다.
대한민국 등록번호 제10-1980255호 등록특허공보
본 발명은 상기와 같은 종래 기술이 가지는 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 부품수가 적어 관리가 용이하고 회전 발생이 방지되며 작업이 용이한 샤워헤드 체결 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명은 체결볼트와, 락와셔와, 락부재를 포함하여 샤워헤드를 챔버바디에 설치하는 샤워헤드 체결 조립체로서;
상기 락부재는 체결볼트가 통과하는 락부재통공이 형성되고 내면에 원주 방향을 따라 걸림부가 형성되며;
상기 락와셔는 체결볼트가 통과하는 락와셔공이 형성된 락와셔본체와, 상기 락와셔본체로부터 외향 연장된 복수의 와셔돌기를 포함하며;
체결볼트가 체결되고 락와셔가 락부재 내측에서 와셔돌기의 단부가 걸림부에 위치하여 구비되는 것을 특징으로 샤워헤드 체결 조립체를 제공한다.
상기에서, 락부재는 하방 쪽에 내향 돌출된 안착턱부를 구비하고, 상기 락부재통공은 안착턱부 내측에 형성되며;
상기 체결볼트 체결로 상기 락와셔는 안착턱부에 걸리어 체결볼트에 의해 축 방향으로 가압되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 걸림부는 원주 방향을 따라 구비된 복수의 오목부와, 상기 오목부 사이에 내향 돌출되어 구비된 복수의 돌출부를 포함하며;
상기 와셔돌기와 락와셔본체 사이에는 오목한 와셔오목부가 형성되고;
상기 체결볼트의 회전 중심에서 와셔돌기까지의 반경 방향 최대거리는 체결볼트의 회전 중심에서 오목부의 외측 단부까지의 반경 방향 거리보다는 작고 돌출부 내측 단부까지의 반경 방향 거리보다는 커서 와셔돌기의 돌기단부는 양측 돌출부 사이에서 오목부에 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 락와셔본체는 외면이 돌출부에 접하지 않는 크기로 형성되고, 상기 와셔돌기는 락와셔본체로부터 외향하여 경사 연장되어 단부인 돌기단부가 돌출부 사이에서 오목부 내에 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 와셔돌기의 외면인 돌기외면부는 완만하게 외향 경사 형성되고, 돌기단부에는 돌출부에 걸리도록 급격하게 내향하는 걸림면이 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체는 구조가 간단하며, 부품 수가 적어 관리가 용이하고, 체결 작업이 쉽다. 그리고 샤워헤드 체결 조립체로 인해 예방 보전 시간이 단축될 수 있으며, 체결볼트의 풀림이 방지 또는 억제되어 체결볼트 풀림에 의한 공정 중단과 같은 문제가 감소한다. 따라서 그에 따른 유지비용이 절감된다.
도 1은 샤워헤드가 설치된 플라즈마 챔버를 개략적으로 도시한 측면도이며,
도 2는 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체를 도시한 분해사시도이며,
도 3은 도 2의 락부재를 도시한 사시도이며,
도 4는 도 2의 락와셔를 도시한 사시도이며,
도 5는 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체가 체결된 상태의 평면도이며,
도 6은 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체가 체결된 상태의 개략적인 단면도이다.
본 발명의 설명에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 발명의 설명에 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 발명의 설명에 사용되는 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 발명의 설명에서 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "결합되어" 있다고 언급된 경우, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 결합될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 결합될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 샤워헤드 체결 조립체에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체를 도시한 분해사시도이며, 도 3은 도 2의 락부재를 도시한 사시도이며, 도 4는 도 2의 락와셔를 도시한 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체가 체결된 상태의 평면도이며, 도 6은 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체가 체결된 상태의 개략적인 단면도이다.
이하의 설명에서 설명의 편의를 위하여 도 6의 세로 방향을 축 방향으로 설명하고, 축 방향으로 샤워헤드(20) 방향을 하방, 지지플레이트(10) 방향을 상방으로 설명한다.
본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체(100)는 샤워헤드(20)를 챔버바디에 설치되도록 하는 조립체이다. 상기 샤워헤드(20)는 챔버바디의 지지플레이트(10)에 본 발명인 샤워헤드 체결 조립체(100)로 결합되어 설치된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 샤워헤드(20)에는 가장자리에 원주 방향을 따라 이격되어 복수의 암나사홈(21)이 형성된다. 상기 암나사홈(21) 바닥에는 상기 암나사홈(21)으로부터 반경 방향으로 확장된 걸림오목부(23)가 형성된다.
상기 챔버바디의 지지플레이트(10)에는 샤워헤드(20)의 암나사홈(21)이 형성된 위치에 상하 방향으로 관통된 바디공(15)이 복수개 형성된다. 상기 바디공(15)의 상부에는 중공부인 내면부(11)가 형성되고, 상기 내면부(11)와 바디공(15) 사이에는 상향하는 턱부(13)가 형성된다. 상기 내면부(11)의 단면은 타원형으로 형성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 샤워헤드 체결 조립체(100)는 체결볼트(110)와, 락부재(140)와, 락와셔(120)와, 인서트볼트(150)와, 걸림너트(160)를 포함하여 이루어진다.
상기 체결볼트(110)는 외면에 수나사가 형성되고 단부에 공구를 삽입하여 회전시키는 공구홈이 형성된 머리를 가진다. 상기 체결볼트(110)는 스테인레스 스틸(SUS) 재질로 이루어진다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 락부재(140)는 단면이 타원인 중공체로 형성된다. 상기 락부재(140)는 스테인레스 스틸(SUS) 재질로 이루어진다.
상기 락부재(140)는 지지플레이트(10)의 내면부(11)로 슬라이딩 삽입되어 구비된다. 상기 락부재(140)의 외면부(141)는 상기 지지플레이트(10)의 내면부(11)에 슬라이딩 삽입되어 회전하지 않는 형태로 형성된다. 상기 내면부(11)의 단면은 타원형으로 형성되므로, 상기 락부재(140)의 외면부(141)의 단면도 타원형으로 형성된다. 상기 외면부(141)와 내면부(11)의 단면이 타원형으로 형성되어, 상기 락부재(140)는 내면부(11) 내에서 회전할 수 없게 된다.
상기 지지플레이트(10)의 내면부(11)와 락부재(140)의 외면부(141)의 단면 형태는 타원형으로 형성되는 것에 한정되지 않고, 락부재(140)가 내면부(11)로 삽입되어 회전할 수 없는 형태이면 가능하다. 예를 들면, 내면부(11)와 외면부(141)의 단면 형태를 다각형으로 하는 것도 가능하다.
상기 락부재(140)에는 상하 방향으로 관통되어 단면이 원형인 통공이 형성되며, 상기 통공이 형성된 락부재(140)의 내면에는 걸림부와, 안착턱부(147)와, 락부재통공(149)이 형성된다.
상기 걸림부는 상기 락부재(140)의 내면에 원주 방향을 따라 복수로 형성된다. 상기 걸림부는 원을 따라 형성된다. 상기 걸림부는 락부재(140)의 내면에 원주 방향을 따라 구비된 복수의 오목부(143)와, 상기 오목부(143) 사이에 내향 돌출되어 구비된 복수의 돌출부(145)를 포함하여 이루어진다.
상기 오목부(143)는 락부재(140)의 내면에 원주 방향을 따라 등간격으로 이격되어 형성되며, 상기 돌출부(145)는 락부재(140)의 내면에 원주 방향을 따라 등간격으로 이격되어 형성된다. 상기 돌출부(145)는 반경 방향 내측 단부로 갈수록 단면적이 작게 형성된다.
상기 안착턱부(147)는 상기 걸림부의 축 방향 일측에 내향 돌출되어 형성된다. 상기 안착턱부(147)는 상기 걸림부의 하부로 내향 돌출되어 형성된다. 상기 안착턱부(147)는 상기 돌출부(147)의 반경 방향 내측 단부보다 내향 돌출되어 형성된다. 상기 안착턱부(147)는 상향하도록 형성된다.
상기 락부재통공(149)은 상기 안착턱부(147)의 내측으로 형성된다. 상기 락부재통공(149)은 상기 락부재(140)의 중심부에 축 방향으로 관통되어 형성된다. 상기 락부재통공(149)은 상기 돌출부(145)의 단부가 연결된 가상 원의 직경보다 작게 형성된다. 상기 락부재통공(149)에는 상기 체결볼트(110)가 삽입된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 락와셔(120)는 중공체로 형성된다. 상기 락와셔(120)는 스테인레스 스틸(SUS) 재질로 이루어진다. 상기 락와셔(120)는 상기 락부재(140)의 내측에서 안착턱부(147)에 안착되어 구비된다. 상기 락부재(140)의 안착턱부(147)와 락와셔(120)의 하부 사이에는 링 형태의 와셔(130)가 더 구비될 수 있다.
상기 락와셔(120)는 락와셔본체(121)와 와셔돌기(122)를 포함하여 이루어진다.
상기 락와셔본체(121)는 상하 방향으로 락와셔공(123)이 관통 형성된 중공체로 구비된다. 상기 락와셔본체(121)는 외면이 상기 돌출부(145)의 단부에 접하지 않는 크기로 형성된다.
상기 와셔돌기(122)는 상기 락와셔본체(121)의 외면에 구비된다. 상기 와셔돌기(122)는 상기 락와셔본체(121)로부터 원주 방향으로 연장된다. 상기 와셔돌기(122)는 상기 락와셔본체(121)로부터 반경 방향 외향하여 경사지게 연장된다. 상기 와셔돌기(122)는 락와셔본체(121)의 원주 방향을 따라 등간격으로 복수개 구비된다.
상기 와셔돌기(122)에는 상기 락와셔본체(121)로부터 외향하여 경사 연장되어 단부인 돌기단부(129)가 구비된다.
상기 돌기단부(129)의 외측으로 상기 와셔돌기(122)의 외면에는 반경 방향 외향 경사 연장된 돌기외면부(127)가 형성되고, 상기 돌기단부(129)의 내측에는 와셔돌기(122)의 끝면인 내향하는 걸림면(126)이 형성된다.
상기 돌기외면부(127)는 와셔돌기(122)의 접선 방향에 대하여 45°보다 작은 각도를 가지며, 상기 돌기단부(129)의 외측에서 완만하게 외향 경사 형성된다.
상기 걸림면(126)은 상기 돌출부(145)에 걸리도록 상기 돌기단부(129)로부터 급격하게 반경 방향 내향하여 형성된다. 상기 걸림면(126)은 원주 방향에 대하여 거의 수직인 급격한 면으로 형성된다. 상기 걸림면(126)은 거의 반경 방향을 따라 연장된다.
상기 락와셔(120)는 상기 락부재(140) 내에 구비되고, 상기 와셔돌기(122)는 단부인 돌기단부(129)가 상기 걸림부에 위치하여 걸림 상태로 구비된다. 상기 돌기단부(129)가 걸림부에 접하지 않을 수 있으나 회전하면 걸림부에 걸리게 된다. 상기 와셔돌기(122)는 상기 돌기단부(129)가 락부재(140)의 돌출부(145) 사이에서 오목부(143) 내에 위치한다.
상기 와셔돌기(122)와 락와셔본체(121) 사이에는 오목한 와셔오목부(125)가 형성된다. 상기 와셔오목부(125)는 상기 와셔돌기(122)와 락와셔본체(121) 사이에 축 방향으로 관통되고 원주 방향으로 개구 형성된다. 상기 와셔오목부(125)가 형성됨으로써 상기 와셔돌기(122)가 반경 방향 내향 가압되면 내향 변형 가능하게 된다.
상기 락와셔(120)를 락부재(140) 내에서 회전시키면, 와셔돌기(122)의 연장 방향(도 5의 "A" 방향)으로 회전시킬 때는 돌기단부(129)가 돌출부(145)에 걸려 회전이 방지된다. 과도한 힘으로 회전시키는 경우 와셔돌기(122) 및/또는 돌출부(145)가 파손되거나 변형된다.
상기 와셔돌기(122)의 연장 방향과 반대 방향(도 5의 "B" 방향)으로 회전시키는 경우, 완만하게 경사진 돌기외면부(127)가 돌출부(145)에 접하면서 와셔돌기(122)가 반경 방향 내측으로 변형되어 락와셔(120)가 회전된다.
상기 체결볼트(110) 체결로 상기 락와셔(120)는 안착턱부(147)에 걸리어 체결볼트(110)에 의해 축 방향으로 가압된다. 상기 락와셔(120)와 안착턱부(147) 사이에는 링 형태의 와셔(130)가 더 구비될 수 있다.
상기 락와셔(120)의 상면에는 복수의 돌기가 돌출 형성될 수 있다. 상기 돌기의 단부는 뾰족한 첨부로 형성된다. 상기 락와셔(120)의 상면에 복수의 돌기가 형성되어, 체결볼트(110) 체결시 체결볼트(110)의 머리의 하면을 가압한다. 따라서 락와셔(120)와 체결볼트(110)의 상대 회전이 보다 억제된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(145)의 단부를 연결하는 가상의 원의 반지름(R2)은 체결볼트(110)의 회전 중심에서 와셔돌기(122)의 돌기단부(129)까지의 거리(R)보다 작으며, 상기 오목부(143)의 바닥을 연결하는 가상의 원의 반지름(R1)은 체결볼트(110)의 회전 중심에서 와셔돌기(122)의 돌기단부(129)까지의 거리(R)보다 크다.
따라서, 상기 체결볼트(110)의 회전 중심에서 와셔돌기(122)까지의 반경 방향 최대거리(R)는 체결볼트(110)의 회전 중심에서 오목부(143)의 외측 단부까지의 반경 방향 거리(R1)보다는 작고, 돌출부(145) 내측 단부까지의 반경 방향 거리(R2)보다는 커서 와셔돌기(122)의 돌기단부(129)는 양측 돌출부(145) 사이에서 오목부(143)에 위치한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 인서트볼트(150)는 상하 방향으로 개구된 원통형으로 형성된다. 상기 인서트볼트(150)는 스테인레스 스틸(SUS) 재질로 이루어진다.
상기 인서트볼트(150)는 내측에 상하 방향으로 개구된 인서트볼트공(151)이 형성되고, 외측에 샤워헤드(20)의 암나사홈(21)에 나사 체결되는 수나사(153)가 형성된다. 상기 인서트볼트(150)는 상기 샤워헤드(20)의 암나사홈(21)에 나사 체결된다.
상기 걸림너트(160)는 상향 개구된 원통형으로 형성된다. 상기 걸림너트(160)는 스테인레스 스틸(SUS) 재질로 이루어지며, 상기 걸림너트(160)의 외면에는 샤워헤드(20)의 경도 및 강도보다 낮은 PEEK, PI(폴리이미드)와 같은 합성수지재가 코팅된다.
상기 걸림너트(160)는 너트몸체(161)와 걸림삽입부(165)를 포함하여 이루어진다.
상기 너트몸체(161)는 상향 개구된 원통형 중공체로 구비된다. 상기 너트몸체(161)의 외경은 샤워헤드(20)의 암나사홈(21)의 내경보다 작게 구비된다. 상기 너트몸체(161)의 내측에는 암나사(163)가 형성된다. 상기 너트몸체(161)는 상기 인서트볼트공(151)으로 슬라이딩 삽입된다.
상기 걸림삽입부(165)는 상기 너트몸체(161) 일측에 구비되어 외향 돌출된다. 상기 걸림삽입부(165)는 상기 너트몸체(161)의 하부에 구비되어 반경 방향으로 외향 돌출된다.
상기 걸림너트(160)는 상기 암나사홈(21) 내로 삽입되고, 상기 걸림삽입부(165)가 걸림오목부(23)에 삽입되어 걸리어 구비된다.
이하에서는 도 6을 참조하여 샤워헤드 체결 조립체(100)의 체결 조립에 대하여 설명한다.
우선, 걸림너트(160)가 샤워헤드(20)의 암나사홈(21) 내로 삽입되어 걸림삽입부(165)가 걸림오목부(23)에 삽입되어 걸리어 구비된다. 상기 걸림너트(160)와 암나사홈(21) 사이로 인서트볼트(150)가 상기 샤워헤드(20)의 암나사홈(21)에 나사 체결되며 상기 샤워헤드(20)에 걸림너트(160)와 인서트볼트(150)가 결합된다.
그 다음, 락부재(140)가 지지플레이트(10)의 내면부(11)로 삽입되고, 락부재(140) 내로 와셔(130)와 락와셔(120)가 차례로 삽입된다.
상기 체결볼트(110)는 락와셔(120)의 락와셔공(123), 와셔(130), 락부재(140)의 락부재통공(149)을 지나 샤워헤드(20)에 설치된 걸림너트(160)의 암나사(163)에 나사 체결된다.
상기 락와셔(120)와 와셔(130)는 안착턱부(147)와 체결볼트(110) 머리 사이에서 안착턱부(147)와 체결볼트(110) 머리에 의해 가압된다.
락와셔(120)의 와셔돌기(122)의 돌기단부(129)는 돌출부(145) 사이에서 오목부(143)에 위치한다.
상기 체결볼트(110)의 조임 방향은 도 4 및 도 5의 "B" 방향으로, 와셔돌기(122)의 돌출 방향과 반대 방향이다.
체결볼트(110)의 조임에 의해 마찰에 의해 락부재(140) 내에서 락와셔(120)도 함께 회전할 수 있으며, 락와셔(120)가 회전하면 돌기외면부(127)를 돌출부(145)가 가압하여 와셔돌기(122)가 내향 변형하면서 돌출부(145)를 타고 넘어 회전할 수 있다.
체결볼트(110)의 체결이 완료되고, 체결볼트(110)가 풀림 방향(도 5에서 "A"방향)으로 회전하는 경우 마찰에 의해 락부재(140) 내에서 락와셔(120)도 함께 회전하게 되면(도 4 및 도 5에서 "A" 방향) 락와셔(120)의 끝면인 걸림면(126)이 돌출부(145)에 걸려 회전이 방지된다. 와셔돌기(122) 및/또는 돌출부(145)를 파손 또는 변형시킬 수 있는 큰 외력이 작용하는 경우 와셔돌기(122) 및/또는 돌출부(145)가 파손 또는 변형되면서 회전할 수는 있으나, 이와 같은 큰 외력이 작용하지 않는 한 락와셔(120)의 걸림에 의하여 체결볼트(110)의 풀림이 방지될 수 있다.
100: 샤워헤드 체결 조립체
110: 체결볼트 120: 락와셔
130: 와셔 140: 락부재
150: 인서트볼트 160: 걸림너트

Claims (5)

  1. 체결볼트(110)와, 락와셔(120)와, 락부재(140)를 포함하여 샤워헤드(20)를 챔버바디에 설치하는 샤워헤드 체결 조립체(100)로서;
    상기 락부재(140)는 체결볼트(110)가 통과하는 락부재통공(149)이 형성되고 내면에 원주 방향을 따라 걸림부가 형성되며; 상기 락와셔(120)는 체결볼트(110)가 통과하는 락와셔공(123)이 형성된 락와셔본체(121)와, 상기 락와셔본체(121)로부터 외향 연장된 복수의 와셔돌기(122)를 포함하며; 체결볼트(110)가 체결되고 락와셔(120)가 락부재(140) 내측에서 와셔돌기(122)의 단부가 걸림부에 위치하여 구비되며;
    상기 걸림부는 원주 방향을 따라 구비된 복수의 오목부(143)와 상기 오목부(143) 사이에 내향 돌출되어 구비된 복수의 돌출부(145)를 포함하고, 와셔돌기(122)의 돌기단부(129)는 양측 돌출부(145) 사이에서 오목부(143)에 위치하며;
    상기 와셔돌기(122)의 외면인 돌기외면부(127)는 완만하게 외향 경사 형성되고, 돌기단부(129)에는 돌출부(145)에 걸리도록 급격하게 내향하는 걸림면(126)이 형성된 것을 특징으로 하는 샤워헤드 체결 조립체.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 락부재(140)는 하방 쪽에 내향 돌출된 안착턱부(147)를 구비하고, 상기 락부재통공(149)은 안착턱부(147) 내측에 형성되며;
    상기 체결볼트(110) 체결로 상기 락와셔(120)는 안착턱부(147)에 걸리어 체결볼트(110)에 의해 축 방향으로 가압되는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 체결 조립체.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 와셔돌기(122)와 락와셔본체(121) 사이에는 오목한 와셔오목부(125)가 형성되고;
    상기 체결볼트(110)의 회전 중심에서 와셔돌기(122)까지의 반경 방향 최대거리(R)는 체결볼트(110)의 회전 중심에서 오목부(143)의 외측 단부까지의 반경 방향 거리(R1)보다는 작고 돌출부(145) 내측 단부까지의 반경 방향 거리(R2)보다는 커서 와셔돌기(122)의 돌기단부(129)는 양측 돌출부(145) 사이에서 오목부(143)에 위치하는 것을 특징으로 하는 샤워헤드 체결 조립체.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 락와셔본체(121)는 외면이 돌출부(145)에 접하지 않는 크기로 형성되고, 상기 와셔돌기(122)는 락와셔본체(121)로부터 외향하여 경사 연장된 것을 특징으로 하는 샤워헤드 체결 조립체.
  5. 삭제
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KR20100134544A (ko) * 2008-12-09 2010-12-23 이상철 풀림방지 볼트너트 결합체
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