JP5650547B2 - カムロック電極クランプ - Google Patents
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Description
本発明は、例えば以下の適用として実施可能である。
[適用例1] カムロッククランプであって、
本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記本体部分の断面寸法よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記本体部分の前記断面寸法よりも大きい第2直径を有し、同心円状に1または複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された1または複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記スタッドの前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、消耗材料にしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、バッキングプレートの穴の中に取り付けられるよう構成され、本体の中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記消耗材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと
を備えるカムロッククランプ。
[適用例2] 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトは、さらに、第1端および第2端を備え、前記第1端は、前記バッキングプレートのスロットと係合するよう構成されたキーイングピンを有し、前記第2端は、前記カムシャフトを回転させて前記スタッドの前記ヘッド領域と完全に係合し、それによって前記消耗材料を前記バッキングプレートにクランプ固定するよう構成された開口部を有するカムロッククランプ。
[適用例3] 請求項1に記載のカムロッククランプであって、さらに、内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングを備え、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムロッククランプ。
[適用例4] 請求項3に記載のカムロッククランプであって、前記カムロックベアリングは、実質的に非粒子脱落性の材料で構成されるカムロッククランプ。
[適用例5] 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトの前記偏心切り欠き領域は、さらに、第1半径および第2半径を有するカッターパスエッジによって規定された断面領域を有し、前記第1半径は、前記カムシャフトが回転された時に前記バッキングプレートに向かって前記スタッドの前記ヘッド領域を強く引くよう構成され、前記第2半径は、前記カムシャフトがさらに回転された時に前記バッキングプレートに近接して前記スタッド領域をロックするよう構成されているカムロッククランプ。
[適用例6] 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記消耗材料は、エッチングチャンバ内に取り付けられるよう構成された電極であるカムロッククランプ。
[適用例7] 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記スタッド、前記ソケット、および、前記カムシャフトは各々、230℃の環境に耐えうる材料で構成されているカムロッククランプ。
[適用例8] 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記ソケットは、雄ねじ山を有する、カムロッククランプ。
[適用例9] カムロッククランプであって、
本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記本体部分の断面寸法よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記本体部分の前記断面寸法よりも大きい第2直径を有し、同心円状に1または複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された1または複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、バッキングプレートにしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、消耗材料の穴の中に取り付けられるよう構成され、中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記消耗材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと
を備えるカムロッククランプ。
[適用例10] 請求項9に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトは、さらに、第1端および第2端を備え、前記第1端は、前記消耗材料のスロットと係合するよう構成されたキーイングピンを有し、前記第2端は、前記カムシャフトを回転させて前記スタッドの前記ヘッド領域と完全に係合し、それによって前記消耗材料を前記バッキングプレートにクランプ固定するよう構成された開口部を有するカムロッククランプ。
[適用例11] 請求項9に記載のカムロッククランプであって、さらに、内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングを備え、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムロッククランプ。
[適用例12] 請求項11に記載のカムロッククランプであって、前記カムロックベアリングは、実質的に非粒子脱落性の材料で構成されるカムロッククランプ。
[適用例13] 請求項9に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトの前記偏心切り欠き領域は、さらに、第1半径および第2半径を有するカッターパスエッジによって規定された断面領域を有し、前記第1半径は、前記カムシャフトが回転された時に前記消耗材料に向かって前記スタッドの前記ヘッド領域を強く引くよう構成され、前記第2半径は、前記カムシャフトがさらに回転された時に前記消耗材料に近接して前記スタッド領域をロックするよう構成されているカムロッククランプ。
[適用例14] 請求項9に記載のカムロッククランプであって、前記ソケットは、雄ねじ山を有する、カムロッククランプ。
[適用例15] 半導体処理ツールで用いるカムロッククランプであって、
実質的に円筒形の本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記実質的に円筒形のスタッド本体部分の直径よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記円筒形のスタッド本体部分の前記直径よりも大きい第2直径を有し、同心円状に複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記スタッドの前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、前記半導体処理ツール内に配置された電極にしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、前記半導体処理ツール内に配置されたバッキングプレートの穴の中に取り付けられるよう構成され、中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記電極材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと、
内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングであり、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムシャフトベアリングと
を備えるカムロッククランプ。
[適用例16] 請求項15に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトは、さらに、第1端および第2端を備え、前記第1端は、前記バッキングプレート内に機械加工されたスロットと係合するよう構成されたキーイングピンを有し、前記第2端は、前記カムシャフトを回転させて前記スタッドの前記ヘッド領域と完全に係合し、それによって前記電極を前記バッキングプレートにクランプ固定するよう構成された開口部を有するカムロッククランプ。
[適用例17] 請求項15に記載のカムロッククランプであって、前記カムロックベアリングは、実質的に非粒子脱落性の材料で構成されるカムロッククランプ。
[適用例18] 請求項15に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトの前記偏心切り欠き領域は、さらに、第1半径および第2半径を有するカッターパスエッジによって規定された断面領域を有し、前記第1半径は、前記カムシャフトが回転された時に前記バッキングプレートに向かって前記スタッドの前記ヘッド領域を強く引くよう構成され、前記第2半径は、前記カムシャフトがさらに回転された時に前記バッキングプレートに近接して前記スタッド領域をロックするよう構成されているカムロッククランプ。
[適用例19] 請求項15に記載のカムロッククランプであって、前記スタッド、前記ソケット、前記カムシャフト、および、前記カムシャフトベアリングは各々、230℃の環境に耐えうる材料で構成されているカムロッククランプ。
[適用例20] 請求項15に記載のカムロッククランプであって、前記ソケットは、雄ねじ山を有する、カムロッククランプ。
Claims (17)
- カムロッククランプであって、
本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記本体部分の断面寸法よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記本体部分の前記断面寸法よりも大きい第2直径を有し、同心円状に1または複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された1または複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記スタッドの前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、消耗材料にしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、バッキングプレートの穴の中に取り付けられるよう構成され、本体の中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記消耗材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと
を備え、
前記カムシャフトは、さらに、第1端および第2端を備え、前記第1端は、前記バッキングプレートのスロットと係合するよう構成されたキーイングピンを有し、前記第2端は、前記カムシャフトを回転させて前記スタッドの前記ヘッド領域と完全に係合し、それによって前記消耗材料を前記バッキングプレートにクランプ固定するよう構成された開口部を有するカムロッククランプ。 - 請求項1に記載のカムロッククランプであって、さらに、内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングを備え、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムロッククランプ。
- 請求項2に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトベアリングは、実質的に非粒子脱落性の材料で構成されるカムロッククランプ。
- カムロッククランプであって、
本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記本体部分の断面寸法よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記本体部分の前記断面寸法よりも大きい第2直径を有し、同心円状に1または複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された1または複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記スタッドの前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、消耗材料にしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、バッキングプレートの穴の中に取り付けられるよう構成され、本体の中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記消耗材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと
を備え、
前記カムシャフトの前記偏心切り欠き領域は、さらに、第1半径および第2半径を有するカッターパスエッジによって規定された断面領域を有し、前記第1半径は、前記カムシャフトが回転された時に前記バッキングプレートに向かって前記スタッドの前記ヘッド領域を強く引くよう構成され、前記第2半径は、前記カムシャフトがさらに回転された時に前記バッキングプレートに近接して前記スタッド領域をロックするよう構成されているカムロッククランプ。 - 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記消耗材料は、エッチングチャンバ内に取り付けられるよう構成された電極であるカムロッククランプ。
- 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記スタッド、前記ソケット、および、前記カムシャフトは各々、230℃の環境に耐えうる材料で構成されているカムロッククランプ。
- 請求項1に記載のカムロッククランプであって、前記ソケットは、雄ねじ山を有する、カムロッククランプ。
- カムロッククランプであって、
本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記本体部分の断面寸法よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記本体部分の前記断面寸法よりも大きい第2直径を有し、同心円状に1または複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された1または複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、バッキングプレートにしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、消耗材料の穴の中に取り付けられるよう構成され、中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記消耗材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと
を備え、
前記カムシャフトは、さらに、第1端および第2端を備え、前記第1端は、前記消耗材料のスロットと係合するよう構成されたキーイングピンを有し、前記第2端は、前記カムシャフトを回転させて前記スタッドの前記ヘッド領域と完全に係合し、それによって前記消耗材料を前記バッキングプレートにクランプ固定するよう構成された開口部を有するカムロッククランプ。 - 請求項8に記載のカムロッククランプであって、さらに、内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングを備え、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムロッククランプ。
- 請求項9に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトベアリングは、実質的に非粒子脱落性の材料で構成されるカムロッククランプ。
- カムロッククランプであって、
本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記本体部分の断面寸法よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記本体部分の前記断面寸法よりも大きい第2直径を有し、同心円状に1または複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された1または複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、バッキングプレートにしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、消耗材料の穴の中に取り付けられるよう構成され、中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記消耗材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと
を備え、
前記カムシャフトの前記偏心切り欠き領域は、さらに、第1半径および第2半径を有するカッターパスエッジによって規定された断面領域を有し、前記第1半径は、前記カムシャフトが回転された時に前記消耗材料に向かって前記スタッドの前記ヘッド領域を強く引くよう構成され、前記第2半径は、前記カムシャフトがさらに回転された時に前記消耗材料に近接して前記スタッド領域をロックするよう構成されているカムロッククランプ。 - 請求項11に記載のカムロッククランプであって、前記ソケットは、雄ねじ山を有する、カムロッククランプ。
- 半導体処理ツールで用いるカムロッククランプであって、
実質的に円筒形の本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記実質的に円筒形のスタッド本体部分の直径よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記円筒形のスタッド本体部分の前記直径よりも大きい第2直径を有し、同心円状に複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記スタッドの前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、前記半導体処理ツール内に配置された電極にしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、前記半導体処理ツール内に配置されたバッキングプレートの穴の中に取り付けられるよう構成され、中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記電極材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと、
内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングであり、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムシャフトベアリングと
を備え、
前記カムシャフトは、さらに、第1端および第2端を備え、前記第1端は、前記バッキングプレート内に機械加工されたスロットと係合するよう構成されたキーイングピンを有し、前記第2端は、前記カムシャフトを回転させて前記スタッドの前記ヘッド領域と完全に係合し、それによって前記電極を前記バッキングプレートにクランプ固定するよう構成された開口部を有するカムロッククランプ。 - 請求項13に記載のカムロッククランプであって、前記カムシャフトベアリングは、実質的に非粒子脱落性の材料で構成されるカムロッククランプ。
- 半導体処理ツールで用いるカムロッククランプであって、
実質的に円筒形の本体部分、第1端部、および、第2端部を有するスタッドであり、前記第1端部は、前記実質的に円筒形のスタッド本体部分の直径よりも大きい第1直径を有するヘッド領域を備え、前記第2端部は、前記円筒形のスタッド本体部分の前記直径よりも大きい第2直径を有し、同心円状に複数の皿ばねを支持するよう構成されているスタッドと、
前記スタッドおよび前記支持された複数の皿ばねの周りに同心円状に機械的に結合するよう構成されたソケットであり、前記スタッドの前記ヘッド領域は、前記ソケットの最上部の上方に露出し、前記半導体処理ツール内に配置された電極にしっかりと取り付けられるよう構成されているソケットと、
前記第1直径より大きい直径の実質的に円筒形の本体を有するカムシャフトであり、前記半導体処理ツール内に配置されたバッキングプレートの穴の中に取り付けられるよう構成され、中央部分に偏心切り欠き領域を備え、さらに、前記電極材料および前記バッキングプレートが互いに近接した時に、前記スタッドの前記ヘッド領域と係合してロックするよう構成されているカムシャフトと、
内径および外径を有する一対のカムシャフトベアリングであり、前記内径は、前記カムシャフトの両端を覆うように前記一対のカムシャフトベアリングを取り付けられるようなサイズであり、前記外径は、前記カムシャフトの前記直径よりも大きいサイズであるカムシャフトベアリングと
を備え、
前記カムシャフトの前記偏心切り欠き領域は、さらに、第1半径および第2半径を有するカッターパスエッジによって規定された断面領域を有し、前記第1半径は、前記カムシャフトが回転された時に前記バッキングプレートに向かって前記スタッドの前記ヘッド領域を強く引くよう構成され、前記第2半径は、前記カムシャフトがさらに回転された時に前記バッキングプレートに近接して前記スタッド領域をロックするよう構成されているカムロッククランプ。 - 請求項13に記載のカムロッククランプであって、前記スタッド、前記ソケット、前記カムシャフト、および、前記カムシャフトベアリングは各々、230℃の環境に耐えうる材料で構成されているカムロッククランプ。
- 請求項13に記載のカムロッククランプであって、前記ソケットは、雄ねじ山を有する、カムロッククランプ。
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