JPH0596056U - 成膜装置の電極板固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 成膜装置の電極固定装置において、電極板の
熱変形を吸収するとともに、収縮時には電極板を熱膨張
前の位置に自動的に復帰させ、また電極板の固定のため
の取付穴の位置合わせを容易にする。 【構成】 真空チャンバ内においてグロー放電によって
基板に薄膜を形成する成膜装置の電極板固定装置におい
て、電極板４と電極板４を位置決めするスライダ部１２
とスライダ部１２のスライドの方向を定める保持部１０
とスライダ部１２の変位を元に戻す方向に力を印加する
弾性部材１８とから構成し、熱膨張による電極板４の変
位に対してスライド移動することによって変位を吸収
し、弾性部材１８によって収縮時には電極板４を熱膨張
前の位置に自動的に復帰させることができる。また、ス
ライダ部１２をスライド移動することによって、電極板
４の固定のための取付穴の位置合わせを容易に行うこと
ができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電極にグロー放電を発生させて基板上に薄膜を形成する成膜装置に おいて、電極板を固定する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、成膜装置において基板に薄膜を形成する方法として、真空チャンバ内に 基板と電極を設置し、電極板に高周波電流あるいは直流電流を印加してグロー放 電を発生させ、そのグロー放電によって基板上に薄膜を形成するものが知られて いる。

【０００３】 図６は成膜装置の真空チャンバの断面図である。 図において、１は成膜装置の真空チャンバ、２はヒータ、３は基板、４は電極 板、５は電極部である。 真空チャンバ１内には、電極部５及びヒータ２が間隔をあけて設置され、その 電極部５とヒータ２との間に基板３が挿入される。電極部５には基板３と対面す る位置に電極板４が設けられ、該電極板４に高周波電流あるいは直流電流を印加 してグロー放電を発生させ基板３上に薄膜を形成する。

【０００４】 図７は従来の電極板の固定装置の断面図である。 図において、４は電極板、６は電極部５の底板、３２は皿ねじなどの固定手段 である。 図は従来の電極板の固定装置によって電極板４と電極部５の底板６とが固定さ れた状態を示している。従来の電極板の固定装置では、電極板４と底板６とにね じ穴などの取付穴が形成され、該ねじ穴に皿ねじ３２などを取り付けることによ って電極板４と底板６の固定が行われている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】 しかしながら、前記の従来の電極板の固定装置では、以下のような問題点があ る。 一般に、前記成膜装置においては目的とする薄膜を得るため基板を加熱するも のが少なくなく、また電極板自体も放電によって加熱される。前記加熱によって 電極板は熱膨張し熱変形が生じる。

【０００６】 図９は電極板４の膨張図である。 図において、電極板４は皿ねじなどによって固定された状態にあり、熱膨張に よって矢印の方向に変形する。 図８は従来の電極板の固定装置の断面図であり、加熱状態の電極板４及び底板 ６の固定状態を示している。

【０００７】 従来の電極板の固定装置においては、電極板４と基板３との位置関係を保持す るため前記のように電極板４と電極部５の底板６との間を数カ所において皿ねじ ３２によって剛的に固定しているため、例えば図のように電極板４に変形が起き る。 したがって、前記従来の電極板の固定装置では以下のような問題点が生じる。 （１）電極板の熱変形を吸収することができず、固定部分が破損したり変形した りする。 （２）また、電極板の熱変形を吸収することができず、電極板自体に永久変形が 生じる。

【０００８】 したがって、本考案は前記の問題点を解決して、電極板４の熱変形を吸収する とともに、収縮時には電極板を熱膨張前の位置に自動的に復帰させまた、電極板 を固定するための取付穴の位置合わせを容易に行うことができる成膜装置の電極 固定装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記の目的を達成するために、真空チャンバ内でグロー放電によっ て基板に薄膜を形成する成膜装置の電極板固定装置において、前記グロー放電を 発生する電極板と前記電極板を位置決めするスライダ部と前記スライダ部のスラ イドの方向を定める保持部と前記スライダ部に取り付けられる弾性部材とから構 成し、前記弾性部材は前記スライダ部の変位を元に戻す方向に力を印加するもの である。

【００１０】

【作用】

本考案によれば、上記の構成によって、熱膨張による電極板の変位に対してス ライド移動することによって変位を吸収し、変位と反対方向に力を印加するスラ イダ部を弾性部材によって収縮時には電極板４を熱膨張前の位置に自動的に復帰 させることができる。

【００１１】 また、電極板を取り付けるスライダ部をスライド移動することによって、電極 板の固定のための取付穴の位置合わせを容易に行うことができる。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図を参照しながら詳細に説明する。 図１は本考案の成膜装置の電極板固定装置の斜視図である。 図において、４は電極板、６は電極部の底板、１０は保持部、１２はスライダ 部、１３はスライダ部の突出部、１６は保持部の長穴、１８は弾性部材、２０は 電極板の取付穴、２２は保持部の取付穴、２４は底板の取付穴、３０及び３１は 皿ねじである。

【００１３】 本考案の成膜装置の電極板固定装置は、保持部１０とスライダ部１２とから構 成され、該部材によって電極板４を底板６に対してスライド可能に固定している 。 前記保持部１０は内部にスライダ部１２を収納する空所が形成され、またその 電極板４側の面には前記空所と貫通する長穴１６が形成されている。また、保持 部１０には取付穴２２が形成され、皿ねじ３１を取付穴２２と底板６の取付穴２ ４に取り付けることによって、保持部１０自体を底板６に対して固定している。

【００１４】 一方、スライダ部１２は前記保持部１０の内部に形成された空所に収納され、 電極板４に固定される。スライダ部１２と電極板４の固定は、皿ねじ３０を電極 板４の取付穴２０を通してスライダ部１２の電極板４の方向に突出する突出部１ ３に取り付けることによって行われる。 前記突出部１３は保持部１０の長穴１６に案内されて、長穴１６内の長軸方向 にスライド移動可能である。

【００１５】 突出部１３の上端部は電極板４の面に接して固定され、該突出部１３によって 電極板４の底板６からの高さが定められ、それによって基板３との相対的位置が 設定される。 また、スライダ部１２自体も保持部１０の内部に形成された空所に案内されて 、空所の長軸方向にスライド移動可能である。前記保持部１０の長穴１６の長軸 方向とスライダ部１２の空所の長軸方向は同方向に形成されている。

【００１６】 前記スライド移動可能な構成によって、電極板４の熱膨張による熱変形を吸収 し、また、前記弾性部材１８は電極板４の収縮時において、電極板４を熱膨張前 の位置に自動的に復帰させるものである。 図２は本考案の成膜装置の電極板固定装置の断面図である。 図において、４は電極板、６は電極部の底板、１０は保持部、１１は保持部の 空所、１２はスライダ部、１３はスライダ部の突出部、１７はスライダ部の側面 部、１５は保持部の側面部、１６は保持部の長穴である。

【００１７】 また、図２の断面図は、図１において保持部１０の長穴１６の短軸方向の断面 を示している。スライダ部１２は、保持部１０の空所１１においてその外側側面 部１５を内側側面部１７によって案内されながらスライド移動する。また、スラ イダ部１２は、その突出部１３を保持部１０の長穴１６にって案内されながらス ライド移動する。

【００１８】 さらに、図３は本考案の成膜装置の電極板固定装置の平面図である。 図において、スライダ部１２は矢印で示されるように保持部１０の空所１１及 び長穴１６の長軸方向にスライド可能である。また、１４は弾性部材であり、ス ライダ部１２に復元力を与えている。 次に、前記本考案の成膜装置の電極板固定装置の動作について説明する。

【００１９】 図４は本考案の成膜装置の電極板固定装置の動作図であり、図１において保持 部１０の長穴１６の長軸方向の断面を示している。 図４の（ａ）においては、電極板４は熱変形しておらずスライダ部１２と保持 部１０の位置関係は取付けたときの初期の状態にある。図４の（ａ）の状態から 熱膨張によって電極板４が熱変形を起こすと、電極板４はスライダ部１２によっ て保持されながら図の矢印の方向にスライド移動する。

【００２０】 電極板４がスライド移動すると、スライダ部１２は保持部１０内の空所１１に おいて該電極板４のスライド移動とともに移動する。スライダ部１２がスライド 移動することによって、電極板４のスライド移動はその移動を拘束されず電極板 ４に破損や変形を生じない。 図５は本考案の成膜装置の電極板固定装置の動作図であり、平面図によって動 作を説明している。

【００２１】 図５の（ａ）は電極板４は熱変形しておらず、スライダ部１２と保持部１０の 位置関係は取付けたときの初期の状態にある。熱膨張によって電極板４が熱変形 を起こすと、電極板４はスライダ部１２とともにスライド移動し図５の（ｂ）に 示すようにスライダ部１２と保持部１０との相対的な位置関係がずれる。その後 、電極板４の冷却などによって電極板４が収縮すると、スライダ部１２は弾性部 材によって変位と逆の方向に力を受け、図５の（ｃ）に示すように電極板４を熱 膨張前の位置に自動的に復帰させる。

【００２２】 次に、本考案の成膜装置の電極板固定装置の弾性部材について説明する。 図１に示す弾性部材１８は例えばコイルばねによって構成され、スライダ部１ ２と保持部１０の内側側面部との間に設置され、スライダ部１２を保持部１０に 対して一定の位置に保持するように力を印加している。 また、図３の弾性部材１４は保持部１０の外周部を囲むように設置され、スラ イダ部１２に対してスライド方向と逆の方向に力を加えている。

【００２３】 図１０に示す弾性部材１９は例えば板ばねによって構成され、前記弾性部材１ ８と同様にスライダ部１２と保持部１０の内側側面部との間に設置され、スライ ダ部１２を保持部１０に対して一定の位置に保持するように力を印加している。 図１１は本考案の成膜装置の電極板固定装置の取付状態図である。 図において、電極板４は電極部５の底板６に対してスライダ部１２を介して取 り付けられる。

【００２４】 一般に、電極板４をスライダ部１２に取り付ける場合において、それぞれの部 材の形成寸法あるいは取付穴の形成寸法のずれや、部材の取付け位置あるいは取 付穴の位置の位置ずれ等によって、電極板４の取付穴２０とスライダ部１２の取 付穴２６との位置合わせを行う必要がある。該位置合わせは、各部材が固定され た後においては困難な作業となる。

【００２５】 本考案の成膜装置の電極板固定装置においては、スライダ部１２は底板６に固 定されている保持部１０に対してスライド移動可能でなるため、前記形成寸法の ずれや位置ずれ等のずれに対してスライダ部１２を動かすことによって取付穴の 位置合わせを容易に行うことができる。 図１２は本考案の成膜装置の電極板固定装置の第２の実施例である。

【００２６】 第２の実施例は、電極板４の変位方向がスライダ部１２のスライド方向とずれ ている場合に対応するものである。 図において、保持部４０は固定保持部４１と回転保持部４２とによって構成さ れる。前記回転保持部４２は固定保持部４１に対して回転可能に保持されている 。固定保持部４１は底板６に対して固定されるとともに、回転保持部４２を回転 可能に保持している。また、スライダ部１２も固定保持部４１上において回転可 能に保持されている。

【００２７】 電極板４の変位方向がスライダ部１２のスライド方向とずれているときには、 前記スライダ部１２及び回転保持部４２は固定保持部４１に対して電極板４の変 位方向とスライダ部１２のスライド方向とが一致するまで回転する。

【００２８】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば以下の効果を得ることができる。 （１）熱膨張による電極板の変位に対してスライド移動することによって変位を 吸収し、変位と反対方向に力を印加するスライダ部を弾性部材によって収縮時に は電極板を熱膨張前の位置に自動的に復帰させることができる。 （２）電極板を取り付けるスライダ部をスライド移動することによって、電極板 の固定のための取付穴の位置合わせを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の成膜装置の電極板固定装置の斜視図で
ある。

【図２】本考案の成膜装置の電極板固定装置の断面図で
ある。

【図３】本考案の成膜装置の電極板固定装置の平面図で
ある。

【図４】本考案の成膜装置の電極板固定装置の動作図で
ある。

【図５】本考案の成膜装置の電極板固定装置の動作図で
ある。

【図６】成膜装置の真空チャンバの断面図である。

【図７】従来の電極板の固定装置の断面図である。

【図８】従来の電極板の固定装置の断面図である。

【図９】電極板４の膨張図である。

【図１０】本考案の弾性部材の図である。

【図１１】本考案の成膜装置の電極板固定装置の取付状
態図である。

【図１２】本考案の成膜装置の電極板固定装置の第２の
実施例である。

【符号の説明】

１…チャンバ、２…ヒータ、３…基板、４…電極板、５
…電極部、６…底板、１０，４０…保持部、１１…空
所、１２…スライダ部、１３…突出部、１４，１９…弾
性部材、１５，１７…側面部、１６…長穴、２０，２
２，２４，２６…取付穴、３０，３１，３２…皿ねじ、
４１…回転保持部、４２…固定保持部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバ内においてグロー放電によ
   って基板に薄膜を形成する成膜装置において、 （ａ）前記グロー放電を発生する電極板と、 （ｂ）前記電極板を位置決めするスライダ部と、 （ｃ）前記スライダ部のスライドの方向を定める保持部
   と、 （ｄ）前記スライダ部に取り付けられる弾性部材とから
   なり、 （ｅ）前記弾性部材は前記スライダ部の変位を元に戻す
   方向に力を印加することを特徴とする成膜装置の電極板
   固定装置。