KR0181907B1 - 반도체 웨이퍼 고정장치 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼를 고정하는 클램프(Clamp)와 플런저의 단턱 사이에 위치하는 와셔(Washer)의 구조 및 재질을 변형하여 웨이퍼 고정시 발생하는 클램프의 흔들림 현상을 방지하는 반도체 웨이퍼 고정장치가 개시되어 있다.
본 발명은 반도체 웨이퍼의 가장자리를 상방향에서 압착고정시킬 수 있으며 가장자리에 복수개의 관통구명이 형성되어 있는 원통형상의 클램프와, 상기 클램프의 관통구멍에 삽입되어 상하운동을 하며 단턱을 갖는 플런저와, 상기 플런저와 클램프 사이에 끼워지며 상기 플런저의 하강시 상기 플런저의 단턱에 지지되어 상기 클램프에 하강력을 전달하는 와셔를 구비하여 이루어진 반도체 웨이퍼 고정장치에 있어서, 상기 와셔는 상기 플런저와 상기 클램프의 관통구멍 사이의 이격공간을 줄일 수 있도록 상기 관통구멍내로 삽입되는 하향 연장부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서, 웨이퍼를 고정하는 클램프의 유동이 감소하여 불량 웨이퍼의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Description
제1도는 일반적이 클램프를 나타내는 개략적인 도면이다.
제2도는 종래의 반도체 웨이퍼 고정장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.
제3도는 종래의 와셔를 나타내는 개략적인 사시도이다.
제4도는 본 발명에 따른 와셔의 일 실시예를 나타내는 부분 절개사시도이다.
제5도는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 고정장치의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 클램프 12 : 관통구멍
14 : 플런저 16 , 30 : 와셔
18 : 리테이너 20 : 웨이퍼
32 : 하향 연장부
본 발명은 반도체 웨이퍼 고정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 고정하는 클램프(Clamp) 상부에 위치하는 와셔(Washer)의 구조 및 재질을 변형하여 웨이퍼 고정시 발생하는 클램프의 흔들림현상을 방지하는 반도체 웨이퍼 고정장치에 관한 것이다.
반도체장치에서 생산되는 반도체제품이 고집적화됨에 따라서 반도체장치의 미세한 변화에 의해서도 생산되는 반도체제품의 불량이 발생한다. 그래서 반도체장치의 정밀성이 더욱 더 요구되고 있다. 특히 반도체소자를 제조하는 챔버내에서 웨이퍼를 고정하는 고정부의 이상으로 발생되는 웨이퍼의 정렬의 불량은 필연적으로 불량제품이 되므로 이에 대한 면밀한 검토가 있어야 한다.
제1도는 클램프를 나타내는 개략적인 도면이고, 제2도는 종래의 반도체 웨이퍼 고정장치를 나타내는 개략적인 단면도이다. 그리고 제3도는 종래의 와셔를 나타내는 개략적인 사시도이다.
제1도를 참조하면, 클램프(10)는 내부가 웨이퍼를 고정할 수 있도록 원통형으로 형성되어 있으며, 돌출된 가장자리 부분에는 대칭되는 6개의 관통구멍(12)이 형성되어 있다.
제2도를 참조하면, 클램프(10)의 각 관통구멍(12)에는 상부의 단면적이 하부의 단면적보다 넓어서 단턱이 형성되고 하부단부의 단면적이 다시 하부의 단면적보다 넓어져서 돌출부가 형성되는 플런저(Plunegr : 14)가 관통하도록 구성되어 있으며, 클램프(10)와 플런저(14)의 사이에는 제3도에 도시된 바와 같은 내부에 상기 플런저(14)가 관통할 수 있는 특정형상의 구멍이 형성된 나사머리 형상의 세라믹 재질의 와셔(16)가 위치하도록 구성되어 있다. 그리고 상기 플런저(14)의 하부에는 와셔(16)가 동일형상의 리테이너(Retainer : 18)가 구성되어 있다.
전술한 구성에 의해서 웨이퍼(20)를 고정하는 동작을 살펴보면, 상기 플런저(14)가 하강하면서 플런저(14)에 형성된 단턱에 의해서 상기 세라믹 재질의 와셔(16)가 하강력을 받고 이를 다시 상기 클램프(10)로 전달하여 상기 클램프(10)를 웨이퍼(20)상에 압착고정하게 되는 것이다.
한편, 상기 클램프(10)에 형성된 관통구멍(12)은 플런저(14)가 삽입되어도 이격된 공간이 존재하며, 클램프(10)를 고정하는 와셔(16)가 세라믹 재질로 제작되어 있어서 클램프(10)가 정확히 고정되지 않는 상태에서 클램프(10)는 웨이퍼(20) 상에 위치하여 웨이퍼(20)를 고정하여 반도체소자 제조공정이 이루어진다. 그래서 종래의 반도체 웨이퍼 고정장치는 구동장치에 의해서 웨이퍼 고정시 클램프(10)에 형성된 관통구멍(12)의 여유공간이 너무 커서 클램프(10)가 정확히 고정되지 않아 클램프(10)가 좌우로 흔들렸다. 그래서 클램프(10)가 웨이퍼 가장자리부분을 정확하게 고정하지 못하는 문제점이 있었다.
이에, 본 발명의 목적은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 플런저와 결합하고 클램프를 고정하는 와셔를 알루미늄 재질로 제작하고, 클램프와 플런저 사이의 이격공간을 줄여 웨이퍼 고정동작시 클램프의 흔들림을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼 고정장치를 제공하는 데 있다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 반도체 웨이퍼 고정장치는, 반도체 웨이퍼의 가장자리를 상방향에서 압착고정시킬 수 있으며 가장자리에 복수개의 관통구멍이 형성되어 있는 원통형상의 클램프와, 상기 클램프의 관통구멍에 삽입되어 상하운동을 하며 단턱을 갖는 플런저와, 상기 플런저와 클램프 사이에 끼워지며 상기 플런저의 하강시 상기 플런저의 단턱에 지지되어 상기 클램프에 하강력을 전달하는 와셔를 구비하여 이루어진 반도체 웨이퍼 고정장치에 있어서, 상기 와셔는 상기 플런저와 상기 클램프의 관통구멍 사이의 이격공간을 줄일 수 있도록 상기 관통구멍내로 삽입되는 하향 연장부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제4도는 본 발명에 따른 와셔의 일 실시예를 나타내는 부분 절개 사시도이고, 제5도는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 고정장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.
제4도 및 제5도를 참조하면, 플런저(14)가 클램프(10)에 형성된 관통구멍(12)을 관통하여 삽입되고, 높이가 낮은 원기둥 형상의 내부에 특정한 형상의 구멍이 형성되고 하향하는 하향 연장부(32)가 구성된 와셔(30)가 클램프(10)의 관통구멍(12) 상부에 위치하고, 리테이너(18)가 클램프(30)의 관통구멍(12)의 하부에 위치하도록 구성되어 있다.
전술한 구성에 의해서 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 고정장치는 플런저(14)와 구동장치에 의해서 구동되어 하강하여 웨이퍼(20)를 고정하면 와셔(30)가 제5도에 도시된 바와 같이 클램프(10)의 관통구멍(12)에 와셔(30)의 하향 연장부(32)가 삽입되어 있으므로 관통구멍(12)내의 이격된 공간이 제거되어 클램프(10)의 유동을 감소시킨다. 와셔(30)는 금속재질의 플런저(10)를 고정하고 공정상의 플런저(10)의 압력을 흡수할 수 있는 알루미늄 재질로 제작하고 웨이퍼(20) 상에 불량을 방지하기 위하여 산화막처리를 함이 바람직하다.
본 발명에 따라서 웨이퍼를 고정하는 클램프의 유동이 감소하여 불량소자의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 당연하다.
Claims (2)
- 반도체 웨이퍼의 가장자리를 상방향에서 압착고정시킬 수 있으며 가장자리에 복수개의 관통구멍이 형성되어 있는 원통형상의 클램프와, 상기 클램프의 관통구멍에 삽입되어 상하운동을 하며 단턱을 갖는 플런저와, 상기 플런저와 클램프 사이에 끼워지며 상기 플런저의 하강시 상기 플런저의 단턱에 지지되어 상기 클램프에 하강력을 전달하는 와셔를 구비하여 이루어진 반도체 웨이퍼 고정장치에 있어서, 상기 와셔는 상기 플런저와 상기 클램프의 관통구멍 사이의 이격공간을 줄일 수 있도록 상기 관통구멍내로 삽입되는 하향 연장부가 형성되어 있고, 상기 와셔는 산화막처리된 알루미늄으로 제작된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 고정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 와셔의 하향 연장부는 원통형으로 된 것임을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 고정장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950053703A KR0181907B1 (ko) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 반도체 웨이퍼 고정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950053703A KR0181907B1 (ko) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 반도체 웨이퍼 고정장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970053304A KR970053304A (ko) | 1997-07-31 |
| KR0181907B1 true KR0181907B1 (ko) | 1999-04-15 |
Family
ID=19442588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950053703A KR0181907B1 (ko) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 반도체 웨이퍼 고정장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0181907B1 (ko) |
-
1995
- 1995-12-21 KR KR1019950053703A patent/KR0181907B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970053304A (ko) | 1997-07-31 |
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