KR100513434B1 - 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실린더 가동막대의 이동경로를 안내하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드는, 공정챔버의 내부에 설치된 가동장치를 가동시키기 위하여 실린더에 의해 직선왕복운동을 하는 가동막대의 경로를 안내하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 있어서, 상기 실린더의 일측에 고정되어 설치되는 고정프레임와, 상기 실린더에 의해 직선왕복운동을 하는 상기 가동막대의 일측에 고정되는 연결대와, 상기 연결대에 일측이 고정되고, 상기 가동막대과 평행하도록 설치되는 가이드봉 및 상기 고정프레임의 일측에 형성되고, 상기 가이드봉에 의해 관통되어 상기 가이드봉이 직선왕복운동을 할 수 있도록 함으로써 상기 가동막대의 경로를 안내하는 가이드보스를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 가이드봉을 개별 설치하여 승하강경로의 안정성을 확보하고, 부품간의 마찰로 인한 파티클의 발생을 방지하게 하는 효과를 갖는다.

Description

반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드
본 발명은 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 실린더 가동막대의 이동경로를 안내하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 관한 것이다.
일반적으로 반도체공정은, 웨이퍼의 표면의 칩이 전기적인 특성을 지니도록 미세한 패턴을 형성하는 것으로서, 식각, 확산, 화학기상증착, 금속박막, 포토리소그래피 등의 가공이 반복되어 이루어진다.
이러한 가공들 중에서 웨이퍼를 가열하여 결정을 안정화시키거나 세척/현상 등의 공정 후 웨이퍼를 말리거나 또는 도포된 포토레지스트를 견고히 하는 등 웨이퍼를 가열하는 공정이 반드시 필요하고, 다른 공정, 특히 금속박막공정 등을 수행하는 반도체 제조설비에서도 공정과정에 있어서 반응을 촉진시키도록 웨이퍼 가열장치를 구비한다.
이러한 웨이퍼 가열장치를 구비하고, 금속박막공정 등을 수행하는 반도체 제조설비의 일례를 도1에 도시하였다.
도1에 도시된 바와 같이, 이러한 반도체 제조설비는, 웨이퍼(1) 가공이 이루어지는 공정챔버(50)와, 상기 공정챔버(50)의 내부에 설치되어 웨이퍼(1)가 안착되는 히팅테이블(70)과, 웨이퍼승강실린더(40)에 의해 승하강하는 웨이퍼승강막대(30)에 연결되어 상기 히팅테이블(70) 상에 안착된 웨이퍼(1)가 선택적으로 승하강되도록 상기 히팅테이블(70)을 관통하여 상기 웨이퍼(1)의 후면에 접촉하는 핀(31) 및 클램프승강실린더(20)에 의해 승하강하는 클램프승강막대(111)에 연결되어 상기 웨이퍼(1)를 정렬하도록 상기 웨이퍼(1)의 측면을 파지하는 클램프(60)를 구비하여 이루어진다.
여기서, 상기 클램프승강막대(111)의 일단부에는 상기 웨이퍼(1)의 좌우에 설치되는 상기 클램프(60)를 동시에 승하강시키도록 이를 연결해 주는 밀대(15)가 설치되고, 상기 웨이퍼승강막대(30)는 상기 밀대(15)에 형성된 관통홀(16)을 관통한다.
또한, 상기 공정챔버(50)에는 상기 공정챔버(50)와 상기 실린더(20)(40)를 고정하는 하우징(51)이 설치되고, 상기 클램프승강실린더(20)와 상기 웨이퍼승강실린더(40)는 고정프레임(114)에 의해 서로 고정된다.
여기서, 상기 클램프승강막대(111)의 이동경로를 안내하기 위한 종래의 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드(110)는, 도2에서 도시된 바와 같이, 일측단부에 상기 클램프승강막대(111)의 양측면과 접촉하는 죔홈(113)이 형성되고, 타측단부에 상기 웨이퍼승강막대(30)의 양측면이 접촉하는 "U"형 가이드홈(117)이 형성되며, 상기 죔홈(13)의 양편에 고정나사(112)를 관통시켜서 조립함으로써 상기 죔홈(113)에 삽입된 상기 클램프승강막대(111)를 조여 고정시킬 수 있는 것이다.
따라서, 상기 클램프승강막대(111)가 승하강하는 데 있어서, 상기 웨이퍼승강막대(30)가 상기 가이드(110)의 가이드홈(117)에 삽입되어 그 경로를 구속함으로써 상기 클램프승강막대(111)의 승하강경로가 보장되는 것이다.
그러나, 이러한 종래의 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드는 상기 가이드홈과 상기 웨이퍼승강막대가 접촉하는 부위에서 마찰로 인한 파티클이 발생하고, 상기 웨이퍼승강막대의 승하강운동으로 말미암아 그 진동이 상기 클램프로 전달되어 상기 클램프가 웨이퍼를 파지하지 못하거나 상기 클램프와 상기 웨이퍼의 마찰로 인하여 파티클이 발생하는 등 많은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 가이드봉을 개별 설치하여 승하강경로의 안정성을 확보하고, 부품간의 마찰로 인한 파티클의 발생을 방지하게 하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드는, 공정챔버의 내부에 설치된 가동장치를 가동시키기 위하여 실린더에 의해 직선왕복운동을 하는 가동막대의 경로를 안내하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 있어서, 상기 실린더의 일측에 고정되어 설치되는 고정프레임과; 상기 실린더에 의해 직선왕복운동을 하는 상기 가동막대의 일측에 고정되는 연결대와; 상기 연결대에 일측이 고정되고, 상기 가동막대과 평행하도록 설치되는 가이드봉; 및 상기 고정프레임의 일측에 형성되고, 상기 가이드봉에 의해 관통되어 상기 가이드봉이 직선왕복운동을 할 수 있도록 함으로써 상기 가동막대의 경로를 안내하는 가이드보스;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가동막대, 상기 연결대 및 상기 가이드봉은 서로 연결되어 연결된 형상이 "ㄷ"를 이루는 형상인 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드봉과 상기 가이드보스 사이에 베어링이 설치되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도3을 참조하여 설명하면, 본 발명의 실린더 가동막대 가이드(10)가 설치되는 반도체 제조설비는, 웨이퍼(1) 가공이 이루어지는 공정챔버(50)와, 상기 공정챔버(50)의 내부에 설치되어 웨이퍼(1)가 안착되는 히팅테이블(70)과, 웨이퍼승강실린더(40)에 의해 승하강하는 웨이퍼승강막대(30)에 연결되어 상기 히팅테이블(70) 상에 안착된 웨이퍼(1)가 선택적으로 승하강되도록 상기 히팅테이블(70)을 관통하여 상기 웨이퍼(1)의 후면에 접촉하는 핀(31) 및 클램프승강실린더(20)에 의해 승하강하는 클램프승강막대(11)에 연결되어 상기 웨이퍼(1)를 정렬하도록 상기 웨이퍼(1)의 측면을 파지하는 클램프(60)를 구비하여 이루어진다.
여기서, 상기 클램프승강막대(11)의 일단부에는 상기 웨이퍼(1)의 좌우에 설치되는 상기 클램프(60)를 동시에 승하강시키도록 이를 연결해주는 밀대(15)가 설치되고, 상기 웨이퍼승강막대(30)는 상기 밀대(15)에 형성된 관통홀(16)을 관통한다.
또한, 상기 공정챔버(50)에는 상기 공정챔버(50)와 상기 실린더(20)(40)를 고정하는 하우징(51)이 설치되고, 상기 클램프승강실린더(20)와 상기 웨이퍼승강실린더(40)는 고정프레임(14)에 의해 서로 고정된다.
여기서, 상기 클램프승강막대(11)의 이동경로를 안내하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드(10)는, 공정챔버(50)의 내부에 설치된 클램프(60)를 승하강시키기기 위하여 클램프승강실린더(20)에 의해 직선왕복운동을 하는 클램프승강막대(11)의 경로를 안내하는 것으로서, 도3 및 도4에 도시된 바와 같이, 상기 클램프승강실린더(20)의 일측에 고정되어 설치되는 고정프레임(14)과, 상기 클램프승강실린더(20)에 의해 직선왕복운동을 하는 상기 클램프승강막대(11)의 일측에 고정되는 연결대(19)와, 상기 연결대(19)에 일측이 고정되고, 상기 클램프승강막대(11)와 평행하도록 설치되는 가이드봉(17) 및 상기 고정프레임(14)의 일측에 형성되고, 상기 가이드봉(17)에 의해 관통되어 상기 가이드봉(17)이 직선왕복운동을 할 수 있도록 함으로써 상기 클램프승강막대(11)의 경로를 안내하는 가이드보스(18)를 구비하여 이루어진다.
따라서, 상기 클램프승강막대(11), 상기 연결대(19) 및 상기 가이드봉(17)은 서로 연결되어 그 형상이 "ㄷ"를 이루게 되고, 상기 가이드봉(17)과 상기 가이드보스(18) 사이에 마찰을 줄이기 위한 베어링(도시하지 않음)이 설치된다.
여기서, 상기 연결대(19)의 형상은, 도4에 도시된 바와 같이, 일측단부에 상기 클램프승강막대(11)의 양측면과 접촉하는 죔홈(13)이 형성되고, 타측단부에 상기 가이드봉(17)의 양측면이 접촉하는 죔홈(13)이 형성되며, 2개의 상기 죔홈(13) 각각에는 상기 죔홈(13)의 양편에 고정나사(12)를 관통시켜서 조립함으로써 상기 죔홈(13)에 삽입된 상기 클램프승강막대(11) 및 상기 가이드봉(17)을 조여 고정시킬 수 있는 것이다.
여기서, 상기 죔홈(13)에 삽입되는 상기 클램프승강막대(11) 및 상기 가이드봉(17)의 일측단부는 4각형 등 각진 형상으로 제작하여 상기 클램프승강막대(11) 및 상기 가이드봉(17)의 회전을 방지한다.
또한, 상기 가이드보스(18)는 내부에 가이드봉(17)이 상입되는 가이드홀이 형성된 원통형상이다.
따라서, 상기 클램프승강막대(11)가 승하강하는 데 있어서, 상기 웨이퍼승강막대(30)와는 별개로 상기 가이드봉(17)이 상기 가이드보스(18)에 관통되어 그 경로를 구속함으로써 상기 클램프승강막대(11)의 승하강경로가 보장되는 것이다.
그러므로, 상기 웨이퍼승강막대(30)와는 별개로 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드를 설치하여 마찰로 인한 파티클발생이 우려되는 접촉부위를 제거하고, 상기 웨이퍼승강막대(30)의 승하강운동으로 말미암아 발생하는 진동이 상기 클램프승강막대(11)에 전파되지 못하도록 하여 상기 클램프(60)가 웨이퍼(1)를 안전하게 파지할 수 있도록 하는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 의하면, 가이드봉을 개별 설치하여 승하강경로의 안정성을 확보하고, 부품간의 마찰로 인한 파티클의 발생을 방지하게 하는 효과를 갖는 것이다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도1은 종래의 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드가 실린더에 설치된 상태를 나타낸 설치상태도이다.
도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ선 절단부를 나타낸 단면도이다.
도3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드가 실린더에 설치된 상태를 나태낸 설치상태도이다.
도4는 도3의 Ⅳ-Ⅳ선 절단부를 나타낸 단면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1: 웨이퍼 10, 110: 가이드
11: 클램프승강막대 12, 112: 고정나사
13, 113: 죔홈 14: 고정프레임
15: 밀대 16: 관통홀
17: 가이드봉 18: 가이드보스
19: 연결대 20: 클램프승강실린더
30: 웨이퍼승강막대 31: 핀
40: 웨이퍼승강실린더 50: 공정챔버
51: 하우징 60: 클램프(Clamp)
70: 히팅테이블 113: 죔홈
117: 가이드홈

Claims (5)

  1. 공정챔버의 내부에 설치된 가동장치를 가동시키기 위하여 실린더에 의해 직선왕복운동을 하는 가동막대의 경로를 안내하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드에 있어서,
    상기 실린더의 일측에 고정되어 설치되는 고정프레임;
    상기 실린더에 의해 직선왕복운동을 하는 상기 가동막대의 일측에 고정되는 연결대;
    상기 연결대에 일측이 고정되고, 상기 가동막대과 평행하도록 설치되는 가이드봉; 및
    상기 고정프레임의 일측에 형성되고, 상기 가이드봉에 의해 관통되어 상기 가이드봉이 직선왕복운동을 할 수 있도록 함으로써 상기 가동막대의 경로를 안내하는 가이드보스;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동막대, 상기 연결대 및 상기 가이드봉은 서로 연결되어 연결된 형상이 "ㄷ"를 이루는 형상인 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드봉과 상기 가이드보스 사이에 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동막대는 상기 공정챔버 내부에 설치되어 승하강하는 웨이퍼 파지용 클램프와 연결되는 클램프승강막대인 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드보스는 내부에 가이드봉이 상입되는 중공홀이 형성된 원통형상인 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조설비의 실린더 가동막대 가이드.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07305168A (ja) * 1994-03-18 1995-11-21 Anelva Corp 基板の機械的脱離機構およびその機構を用いた脱離方法
JPH08335575A (ja) * 1995-06-06 1996-12-17 Tokyo Electron Ltd 熱処理装置および方法
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