KR19980079098A

KR19980079098A - 반도체 스퍼터링 장비의 웨이퍼 고정용 클램프 가이드 장치

Info

Publication number: KR19980079098A
Application number: KR1019970016764A
Authority: KR
Inventors: 박정호
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-04-30
Filing date: 1997-04-30
Publication date: 1998-11-25

Abstract

스퍼터링 공정시 웨이퍼의 가장자리부를 고정하거나 고정해제하도록 업,다운되는 클램프가 위치 이탈되지 않도록 업,다운 운동을 지지하는 클램프 가이드 장치에 관한 것으로, 클램프 업,다운용 축(117)의 하단부에 일단이 고정된 가이드(119)와, 상기 가이드의 타단에 수직방향으로 고정된 가이드축(121)과, 상기 가이드축을 직선이동 자유롭게 지지하는 직선베어링(122)과, 상기 직선베어링을 고정체에 고정하는 베어링 서포트(123)로 구성된 것이다.

따라서 클램프 업,다운 동작을 위한 클램프 업,다운용 축의 업,다운동작이 마모없이 정밀하게 이루어짐으로써 마모로 인한 파티클 발생 및 떨림이 방지되는 것이고, 클램프의 이탈 및 핀 업,다운용 축을 통한 리크등이 방지되는 효과가 있다.

Description

반도체 스퍼터링 장비의 웨이퍼 고정용 클램프 가이드 장치

본 발명은 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스퍼터링 공정시 웨이퍼의 가장자리부를 고정하거나 고정해제하도록 업,다운되는 클램프가 위치 이탈되지 않도록 업,다운 운동을 지지하는 클램프 가이드 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도 스퍼터링 장비는 도1에 도시된 바와 같이 스퍼터링 공정을 위한 웨이퍼(W)가 놓여지는 히터 테이블(11)이 구비되어 있고, 이 히터 테이블(11)에는 웨이퍼 업,다운용 핀(12)이 구비되어 있으며, 핀(12)은 하부에 설치된 핀 업,다운용 에어실린더(13)의 핀 업,다운용 축(14)에 연결되어 축(14)의 상,하동작으로 업,다운되도록 되어 있다.

또한 상기 히터 테이블(11)의 가장자리부에는 복수개의 클램프(15)가 설치되어 있고, 이 클램프(15)는 웨이퍼(W)가 히터 테이블(11)에 놓여질 때 가장자리부를 고정하여 움직이지 않도록 하는 것으로, 역시 하부에 설치된 클램프 업,다운용 에어실린더(16)에 의해 동작하도록 되어 있다.

즉 클램프 업,다운용 에어실린더(16)의 축(17)은 클램프(15)의 하부에 설치된 플레이트(18)와 고정되어 플레이트(18)가 업,다운하는 것에 의해 플레이트(18)의 돌기(18a)가 클램프(15)를 동작시켜 업,다운시키도록 된 것이다.

그리고 클램프 업,다운용 에어실린더(16)의 하부로는 클램프 업,다운용 축(17)이 노출되어 있고, 이 축(17)에 가이드(19)가 설치된 것으로, 가이드(19)는 도2에 도시된 바와 같이 스크류(20)로 고정되고, 가이드(19)의 타측에는 가이드홈(19a)이 형성되어 핀 업,다운용 에어실린더(13)의 하부로 노출된 핀 업,다운용 축(14)이 삽입되어 있다.

따라서 클램프 업,다운용 축(17)이 상,하운동하는 과정에서 가이드(19)의 가이드홈(19a)이 핀 업,다운용 축(14)에 가이드되므로 가이드(19)가 축(17)을 중심으로 좌,우회전방향으로 유동되지 않는 것이고, 이로써 플레이트(18)의 돌기(18a)가 정확하게 클램프(15)의 하단부를 동작시켜 클램프(15)가 이탈됨이 없이 정확한 업,다운동작을 수행할 수 있도록 된 구성이다.

그러나 상기와 같은 종래의 클램프 가이드구조는 도2에 도시된 바와 같이 클램프 업,다운용 축(17)에 고정된 가이드(19)가 상,하운동하는 과정에서 핀 업,다운용 축(14)과 마찰을 발생하게 되고, 이로써 가이드홈(19a)의 접촉부분이 마모되어 파티클을 유발하게 된다.

또한 가이드홈(19a)의 접촉부분이 마모되어 핀 업,다운용 축(14)과의 틈새가 커지게 되므로 가이드(19)가 클램프 업,다운용 축(17)을 중심으로 좌,우 유동되어지고, 이로써 클램프 업,다운시 떨림을 유발함과 동시에 클램프(15)가 위치이탈하여 웨이퍼(W)를 고정하는 역할을 충실히 수행할 수 없게 되며, 클램프 업,다운동작에 대한 정밀도가 저하된다.

그리고 핀 업,다운용 축(14)이 마모되어지면 마모부분을 통해 리크가 발생되므로 공정챔버 내부의 진공상태를 유지할 수 없어 공정불량을 유발하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 클램프의 업,다운동작이 이탈됨이 없이 정밀하게 수행되도록 하고, 마모로 인한 떨림 및 파티클 발생을 방지함과 동시에 핀 업,다운용 축의 마모로 리크가 발생하는 것을 방지할 수 있는 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치에 의해 달성될 수 있다.

도1은 종래의 반도체 스퍼터링 장비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.

도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ선 확대 단면도이다.

도3은 본 발명에 따른 반도체 스퍼터링 장비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11, 111 : 히터 테이블12, 112 : 핀

13, 16, 113, 116, : 에어실린더14, 17, 114, 117 : 축

15, 115 : 클램프18, 118 : 플레이트

19, 119 : 가이드20 : 스크류

121 : 가이드축122 : 직선베어링

123 : 베어링 서포트W : 웨이퍼

상기의 목적은 업,다운동작하는 클램프가 히터 테이블상으로 로딩 및 언로딩되는 웨이퍼를 고정 및 고정해제하도록 되어 있고, 상기 클램프를 업,다운 시키도록 동작하는 클램프 업,다운용 에어실린더의 클램프 업,다운용 축을 가이드하는 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치에 있어서, 상기 클램프 업,다운용 축의 하단부에 일단이 고정된 가이드와, 상기 가이드의 타단에 수직방향으로 고정된 가이드축과, 상기 가이드축을 직선이동 자유롭게 지지하는 직선베어링과, 상기 직선베어링을 고정체에 고정하는 베어링 서포트로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치에 의해 달성될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3은 본 발명에 따른 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치를 나타낸 것으로, 스퍼터링 공정을 위한 웨이퍼(W)가 놓여지는 히터 테이블(111)이 구비되어 있고, 이 히터 테이블(111)에는 웨이퍼 업,다운용 핀(112)이 구비되어 있으며, 이 핀(112)은 하부에 설치된 핀 업,다운용 에어실린더(113)의 축(114)에 연결되어 축(114)의 상,하동작으로 업,다운되도록 되어 있다.

또한 상기 히터 테이블(111)의 가장자리부에는 복수개의 클램프(115)가 설치되어 있고, 이 클램프(115)는 웨이퍼(W)가 히터 테이블(111)에 놓여질 때 가장자리부를 고정하여 움직이지 않도록 하는 것으로, 역시 하부에 설치된 클램프 업,다운용 에어실린더(116)에 의해 동작하도록 되어 있다.

즉 클램프 업,다운용 에어실린더(116)의 축(117)은 클램프(115)의 하부에 설치된 플레이트(118)와 고정되어 플레이트(118)가 업,다운하는 것에 의해 플레이트(118)의 돌기(118a)가 클램프(115)를 동작시켜 업,다운시키도록 된 것이다.

그리고 클램프 업,다운용 에어실린더(116)의 하부로는 클램프 업,다운용 축(117)이 노출되어 있고, 이 축(117)에 가이드(119)가 설치된 것으로, 가이드(119)의 일단은 축(117)과 스크류로 고정되고, 가이드(119)의 타단에는 가이드축(121)이 고정되며, 가이드축(121)은 직선베어링(122)에 의해 직선이동이 자유롭게 지지되어 있다.

또한 직선베어링(122)은 고정체인 베어링 서포트(123)에 고정되어 가이드(119)가 유동없이 수직방향으로만 직선이동하도록 된 구성이다.

이러한 구성의 본 발명은 클램프(115)의 업,다운 동작을 위해 클램프 업,다운용 축(117)이 상,하운동하는 과정에서 가이드(119)에 고정된 가이드축(121)이 직선베어링(122)에 안내되어 이동하는 것이므로 클램프 업,다운용 축(117)을 중심으로 좌,우회전방향으로 유동되지 않는 것이고, 이로써 플레이트(118)의 돌기(118a)가 정확하게 클램프(115)의 하단부를 동작시켜 클램프(115)가 이탈됨이 없이 정확한 업,다운동작을 수행할 수 있게 된다.

또한 핀 업,다운용 축(114)과 관계없이 동작되는 것이므로 핀 업,다운용 축(114)이 마모되어 파티클을 발생하거나 마모로 리크가 발생되는 것을 방지할 수 있으며, 클램프(115) 및 핀(112)의 업,다운 동작이 독자적으로 정밀하게 수행되어진다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치에 의하면, 클램프 업,다운 동작을 위한 클램프 업,다운용 축의 업,다운동작이 마모없이 정밀하게 이루어짐으로써 마모로 인한 파티클 발생 및 떨림이 방지되는 것이고, 클램프의 이탈 및 핀 업,다운용 축을 통한 리크등이 방지되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims

업,다운동작하는 클램프가 히터 테이블상으로 로딩 및 언로딩되는 웨이퍼를 고정 및 고정해제하도록 되어 있고, 상기 클램프를 업,다운 시키도록 동작하는 클램프 업,다운용 에어실린더의 클램프 업,다운용 축을 가이드하는 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치에 있어서,

상기 클램프 업,다운용 축의 하단부에 일단이 고정된 가이드;

상기 가이드의 타단에 수직방향으로 고정된 가이드축;

상기 가이드축을 직선이동 자유롭게 지지하는 직선베어링; 및

상기 직선베어링을 고정체에 고정하는 베어링 서포트;

로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 스퍼터링 장비의 클램프 가이드 장치.