KR20040070789A - 웨이퍼카세트 위치 고정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼카세트 위치 고정장치에 관한 것이다.

본 발명의 웨이퍼카세트 위치 고정장치는, 내부 중심에 축 방향을 따라 에어라인 설치된 인덱스 샤프트와; 상기 인덱스 샤프트의 상단에 상기 에어라인과 연통되는 실린더가 중심부에 형성되고, 상기 실린더에 한 쌍의 유동수단이 설치되는 인덱스 플레이트와; 상기 유동수단에 의하여 좌우 방향으로 유동하는 블록으로; 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서 유동 가능한 블록은 웨이퍼 돌출에 의한 로봇 충돌이나 미끄러져 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 잘못된 맵핑(mapping)에 의한 런스킵(run skip)을 예방하는 효과가 있다.

Description

웨이퍼카세트 위치 고정 장치{WAFERCASSETTE POSITION FIXING DEVICE}

본 발명은 웨이퍼 이송 공정에 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템(Standard Mechanical Interface System:이하, SMIF라 약칭함)에서 장비의 로드락(loadlock)에 놓이는 웨이퍼카세트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼카세트의 위치를 틀어짐이 없이 고정 시켜주기 위한 웨이퍼카세트 위치 고정장치에관한 것이다.

SMIF 시스템은 반도체 제조공정에서 청정실 등 협소한 공간에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 반도체 장비의 주변장치로서, 다수의 웨이퍼가 저장된 카세트를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용된다.

도 1은 종래의 웨이퍼카세트 위치 고정 블록의 측면도이다, 도시된 바와 같이, 인덱스 샤프트(1)의 상부에 인덱스 플레이트(2)가 설치되고, 인덱스 플레이트(2)의 상부 중심면에는 웨이퍼카세트(4)가 위치 고정되는 고정블록(3)이 한 쌍으로 형성된다.

고정블록(3)은 인덱스 플레이트(2)에 일체로 고정되어 있다.

그러나 상기와 같은 종래의 고정블록(3)에서는 SMIF의 위치가 조금이라도 틀어지게 되면 고정블록(3)에 웨이퍼카세트(4)가 얹혀지거나 에지 부분에 걸리면서 들어가 웨이퍼가 돌출되는 문제가 자주 발생된다. 이러한 문제가 자주 발생하게되면, SMIF 자체 진동에 의해서 조금씩 SMIF 위치가 틀어지는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼카세트를 고정하는 블록을 유동 가능하게 설치함으로써, 어느 정도 틀어진 웨이퍼카세트도 위치 수정하여 고정시킬 수 있는 웨이퍼카세트 위치 고정장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 웨이퍼카세트 위치 고정장치에 있어서, 내부 중심에 축 방향을 따라 에어라인 설치된 인덱스 샤프트와; 상기 인덱스 샤프트의 상단에 상기 에어라인과 연통되는 실린더가 중심부에 형성되고, 상기 실린더에 한 쌍의 유동수단이 설치되는 인덱스 플레이트와; 상기 유동수단에 의하여 좌우 방향으로 유동하는 블록으로; 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 위치 고정장치를 제공한다.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼카세트 위치 고정 블록의 측면도이고,

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼카세트 위치 고정장치의 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 인덱스 샤프트(index shaft) 12 : 에어라인

20 : 인덱스 플레이트(index plate) 22 : 실린더

30 : 유동수단 32 : 피스톤

33 : 리턴스프링 34 : 스토퍼

35, 36 : 제 1, 2 힌지 40 : 블록(block)

42 : 패드(pad)

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼카세트 위치 고정장치의 단면도이다.

도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼카세트 위치 고정장치는, 인덱스 샤프트(10)와, 내부에 실린더(22)가 형성된 인덱스 플레이트(20)와, 인덱스 플레이트(20)의 상부 면에 웨이퍼카세트(50)를 위치 고정하기 위한 한 쌍의 블록(40)으로 구성된다.

여기서 인덱스 샤프트(10)에는 내부 중심에 축 방향을 따라 에어라인(12)이 설치된다. 도시되지는 않았지만 에어라인(12)의 후단으로는 에어를 공급하는 공급장치가 마련된다.

그리고 인덱스 샤프트(10)의 상단으로는 에어라인(12)과 연통되는실린더(22)가 형성되고, 실린더(22)는 인덱스 플레이트(20)의 중심부에 고정 설치된다.

상기 양측이 개방된 실린더(22)의 내측으로는 한 쌍의 유동수단(30)이 설치된다.

한 쌍의 유동수단(30)은 에어의 압력에 의하여 외측으로 이동하는 피스톤(32)과, 피스톤(32)의 이탈방지를 위하여 실린더(22) 내측에 설치되는 스토퍼(34)와, 스토퍼(34)의 전단에 설치되어 스토퍼(34)에 지지되고 피스톤(32)을 복귀시키는 리턴스프링(33)과, 피스톤(32)의 끝단과 실린더(22) 일측단에 각각 설치되어 상기 블록을 좌우 방향으로 이동 가능하게 하는 제 1, 2 힌지(35)(36)로 구성된다.

그리고 유동수단(30)의 제 1, 2 힌지(35)(36) 결합에 의하여 좌우 방향으로 유동하는 블록(40)이 설치된다.

블록(40)의 내측 상부면에는 상기 웨이퍼카세트(50)를 안정적으로 잡기 위한 패드(42)가 설치된다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼카세트 위치 고정장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

다시 도 2를 참조하면, 피스톤(32)과 리턴스프링(33)이 압축되지 않아 블록(40)이 벌어져 있는 최초 상태에서 SMIF 로딩시 웨이퍼카세트(50)가 안착하게 된다.

이와 동시에 인덱스 샤프트(10)의 에어라인(12)을 통하여 에어가 유입되면양측의 피스톤(32)과 스토퍼(34)에 지지되는 리턴스프링(33)을 압축하게 된다.

피스톤(32)이 외측으로 전진하게 되면, 블록(40)과 연결된 제 1 힌지(35)와 제 2 힌지(36)가 유기적으로 회동하여 블록(40)이 안쪽으로 모여지게 된다.

모여진 블록(40)은 패드(42)로 하여 웨이퍼카세트(50)를 고정하게 된다.

이 때, 틀어지거나 잘못 안착된 웨이퍼카세트(50)는 상기와 같은 블록(40)의 좌, 우 반복 동작으로 정확하게 위치 고정하게 된다.

SMIF의 언로딩시에는 에어라인(12)을 통하여 공급되던 에어가 중단되면, 리턴스프링(33)의 복원력에 의하여 피스톤(32)이 원위치되고, 블록(40)이 제 1, 2 힌지(35)(36)로 하여 벌어지게 된다.

따라서 유동 가능한 블록(40)으로 하여 틀어지거나 잘못 안착된 웨이퍼카세트(50)도 정확한 위치에서 고정할 수 있게 되었다.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼카세트 위치 고정장치는, 웨이퍼카세트를 고정하는 블록을 유동 가능하게 설치함으로써, 어느 정도 틀어진 웨이퍼카세트도 위치 수정하여 고정시킬 수 있다. 따라서 웨이퍼 돌출에 의한 로봇 충돌이나 미끄러져 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 잘못된 맵핑(mapping)에 의한 런스킵(run skip)을 예방하는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼카세트 위치 고정장치에 있어서;

   내부 중심에 축 방향을 따라 에어라인 설치된 인덱스 샤프트와;

   상기 인덱스 샤프트의 상단에 상기 에어라인과 연통되는 실린더가 중심부에 형성되고, 상기 실린더에 한 쌍의 유동수단이 설치되는 인덱스 플레이트와;

   상기 유동수단에 의하여 좌우 방향으로 유동하는 블록으로;

   구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 위치 고정장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 유동수단은, 에어의 압력에 의하여 외측으로 이동하는 피스톤과;

   상기 피스톤의 이탈방지를 위하여 상기 실린더 내측에 설치되는 스토퍼와;

   상기 스토퍼의 전단에 설치되어 스토퍼에 지지되고 피스톤의 복귀를 돕는 리턴스프링과;

   상기 피스톤의 끝단과 상기 실린더 일측단에 각각 설치되어 상기 블록을 좌우 방향으로 이동 가능하게 하는 제 1 , 2 힌지로; 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 위치 고정장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 블록의 내측 상부면에는 상기 웨이퍼카세트를 안정적으로 잡기 위한 패드가 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 위치 고정장치.