JP4226469B2 - スマート・ポートドアを有するsmifロードポートインターフェース - Google Patents
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Description
ポートドア26の前面30には1対のラッチキー32が設けられ、該ラッチキー32は、ポッドドア22に取付けられたドアラッチング組立体の一対のスロット33内に受入れられる。ラッチキー32を受入れて該キーと協働できるポッドドア22のドアラッチ組立体の一例が、特許文献3(下記特許文献3参照)に開示されている。該特許文献3は本件出願人の所有に係り、その全体を本願に援用する。ポッドドア22をポートドア26にラッチするには、垂直に配向されたラッチキー32が同じく垂直に配向されたスロット33内に受入れられるようにして、ポッドドア22がポートドア26に隣接して密封される。
ポッドの前進後のポッドドアとポートドアとの所望相対位置の如何にかかわらず、ポートドア26上へのポッドドア22の適正搬送を確保しかつ微粒子の発生を防止するには、前記相対位置決めを正確かつ反復可能に制御することが必要である。所望相対位置を確立するのに、従来のロードポート組立体システムは、対偶ピンがロードポート組立体23上にポッド20の既知の固定位置を確立し、これにより、ひとたび対偶ピン上に座合されると、ポッドはロードポートに向かって一定量だけ単に前進されて、それぞれのドアの前面を所望相対位置に配置するという事実に基いている。
本発明の他の目的は、ポートドアとポッドドアとの間隔の正確な制御を提供することにある。
本発明の他の目的は、ポッドドアをポートドアに連結する前に、ポッドドアの期待位置と実際位置とのあらゆる変化を補償することにある。
本発明の他の目的は、ポートドアキーがポッドドアスロット内に正確に座合しないことによりポッドドアに損傷を与える危険を低減させることにある。
本発明の他の目的は、ポッドがポートに向かって前進したときに、ポッドの部分とロードポート組立体との意図しない接触から微粒子が発生する危険性を低減させることにある。
本発明の更に別の目的は、プロセスツール内でのウェーハのプロセス後に、ポッドドアがポッドシェルに対してその正確な位置に戻ることができるようにすることにある。
図4〜図11は、好ましい実施例では、ポッドがロードポート組立体上にローディングされた後の、ロードポート組立体のポートドア位置を調節するシステムを示すものであり、本発明をこれらの図面を参照して説明する。ロードポート組立体のポートドアを調節することにより、システムが、ロードポート組立体上でのポッドドアおよび/またはポッドシェルの前面のあらゆる不適正位置決めをダイナミックに補償することができる。本発明の好ましい実施例はSMIFポッドに関連して作動するが、本発明は、種々の前開型コンテナに関連しても作動できることを理解されたい。また本発明は、半導体ウェーハ、焦点板およびフラットパネルディスプレイを含む任意の種々のワークを搬送するコンテナに使用できる。本発明による構造は、適用可能なあらゆるSEMI規格に従うことができる。
図6Aおよび図6Bに示す第一例では、ポッドドア22は、該ドア22が完全に前進された後に、ポートドア104に対して面一(フラッシュ)になることが望まれる。この例では、ポッドドアとポートドアとの面一位置が、回路130を通る電圧に1ボルトの電圧を生じさせる(回路は、両ドアが面一位置にあるときに種々の電圧となるように較正できる)。この例の特定ポッドでは、図6Aに示すように、ポッド、対偶ピンおよび/またはポッドドアの公差によりまたはポッドの歪みにより、ポッド前進板114が完全前進したときのポートドアとポッドドアとの間隔は期待間隔より大きく、回路130を通る2.5ボルトの電圧を発生させる。かくしてコントローラは、ポートドア104の位置を、回路130を通る1.5ボルトの電圧低下を生じさせる量だけ、ポッドドア22に向かうように調節しなければならないことを決定する(この実施例では、ポテンショメータ134は、両ドアが接近すると回路130を通る電圧が低下しかつプランジャ124がポートドア内に更に押し込まれるように、プランジャ124に対して配置されている。プランジャ124に対するポテンショメータ134の位置は、両ドアが接近すると回路130を通る電圧が上昇するように反転させることができることは理解されよう)。プランジャ124の20ミルの位置変化毎に1ボルト変化するという上記関係を考えると、両ドアの前面同士の最終所望間隔を達成するには、コントローラは、図6Bに示すように、ポートドア104をポッドドア22に向かって30ミル前進させる必要があることを決定する。
次に、図7Aおよび図7Bを参照して他の例を説明する。この例では、ポッドドアの前面とポートドアの前面との最終間隔は20ミルであることが望まれ、この間隔は、この例では、抵抗検出回路を横切る2ボルトの電圧を生じさせる。この特定例ポッドでは、ポッド前進板114が完全に前進されたときのポートドアとポッドドアとの間隔は、図7Aに示すように期待間隔より小さく、回路130を横切る1.25ボルトの電圧を発生している。かくしてコントローラは、ポートドア104の位置を、回路130を通る0.75ボルトの電圧上昇を生じさせる量だけ、ポッドドア22から離れるように調節しなければならないことを決定する。プランジャ124の20ミルの位置変化毎に1ボルト変化するという上記関係を考えると、両ドアの前面同士の最終所望間隔を達成するには、コントローラは、図7Bに示すように、ポートドア104をロードポート内に15ミルだけ後退させる必要があることを決定する。この場合にも、両ドア間の最終間隔を正確に制御するための閉ループサーボ制御を行なうことができる。
本発明による制御アルゴリズムの第二実施例では、ポッド前進板114は、ポッドドア104の前面31がプランジャ124の前端部126に接触するまでポッド20を前進させる。完全伸長位置では、プランジャ124はポートドア104の前面108を通って既知の距離だけ伸長する。かくして、プランジャ124とポッドドアとが最初に接触してプランジャを後方に移動させると、ポートドア104の前面108からのポッドドア22の前面31の正確な距離を知ることができる。同様に、ポッドドアおよび/またはポートドアを互いに近付くように前進させて、両ドアをこれらの最終所望並置停止位置に移動させる残余距離も知ることができる。
次に、この別の制御アルゴリズムによる本発明の作動の一例を再び図6Aおよび図6Bを参照して説明する。本発明の一実施例では、プランジャ124はその完全伸長位置においてポートドア104の前面から100ミルだけ突出し、ポッドドア22の最終位置はポートドア104と面一になることが望まれる。この例のポッドでは、ポッドドア22の前面がプランジャ124の前端部と最初に接触した後、ポッド前進板114はその完全前進位置へと更に80ミル前進する。従って、この例では、コントローラは、ポッド前進後のポッドドアとポートドアとの間隔は20ミルであることを識別する。コントローラは、図6Bに示すように、ポートドア104をポッドドア22に向かって更に20ミルだけ前進させ、ポートドアとポッドドアとの間に最終所望間隔を達成する。ポートドア104の位置は、期待位置からのポッドドア22の前面のあらゆる偏寄を補償するように調節されるとき、ポッドドアとポートドアとの間隔は、回路130を横切る電圧をモニタリングすることにより連続的にモニタされ、これにより最終ドア間隔の正確な閉ループサーボ制御を行なう。
再び図7Aおよび図7Bを参照して他の例を説明すると、プランジャ124はポートドア104の前面から125ミル突出し、ポートドアの前面とポッドドアの前面との最終所望間隔は25ミルである。この例のポッドでは、ポッドドア22の前面とプランジャ124の前端部との最初の接触後に、ポッド前端部114はその完全前進位置まで更に110ミル前進する。従って、この例でのポッド前進後の間隔は15ミルである。25ミルの最終所望間隔を達成するため、コントローラは、ポートドア104をプロセスツールに向かって10ミルだけ後退させる。この場合も、両ドア間の最終間隔を正確に制御するため、閉ループサーボ制御を設けることができる。
上記例で説明したように、好ましい実施例では、ポートドア104の位置は、ポッドドア22がポッド前進板114上で完全に前進されかつ停止した後に矯正される。しかしながら、ポッドドア22の実際の位置は、完全に前進したときにポッドドアがポートドアに接触するように構成できる。例えば、ポッドは、ポッド前進板114がその完全前進位置から依然として140ミル離れているときに、前面から125ミル突出しているプランジャ124と接触する。この場合、好ましい実施例では、コントローラは、ポッドドア22の一部とポートドア104の一部とが接触することを防止するため、ポートドア104が停止する前にポートドア104を後方に移動させることが好ましい。
この時点までに、ポッドドア22の前面の実際の位置は、ポッドドア22の前面がプランジャ124の前端部に接触したときに、プランジャ124により機械的に検出されたことになる。しかしながら、他の実施例では、プランジャ124は、ポッドドア22がポッド前進板114上にローディングされたときにポッドドア22の実際の位置を検出するのに使用できる他のセンサで置換でき、および/またはポッドが前進したときにポッドドア22の前面のあらゆる不適正位置決めがダイナミックに補償されることは理解されよう。このような他のセンサとして、ソナー、再帰反射センサおよび種々の他の近接センサがあるが、これらに限定されるものではない。
22 ポッドドア
24 ポッドシェル
28 プロセスツール
100 ロードポート組立体
102 ポート板
104 ポートドア
110 ラッチキー
114 ポッド前進板
122 位置補償組立体
124 プランジャ
Claims (7)
- ポッドがポッド前進板上でポートに向かって前進された後に、ワークを、ロードポートを通して、ロードポート組立体上にローディングされたポッドとロードポート組立体が取付けられているプロセスツールとの間で搬送するための、前記ロードポート組立体上に取付けられた位置補償組立体であって、
前記ロードポート組立体が前面を備えたポートドアを有し、前記ポッドがポッドドアおよびポッドシェルを有し、前記ポッドドアがポートドアの前方に対面する前面を備えており、
前記ポッドがポッド前進板上で前記ポートドアに向かって前進し始めた後に、前記ポートドアの前面と前記ポッドドアの前面との間隔を検出するセンサシステムと、
該センサシステムにより検出された前記間隔に基いて、前記ポートドアおよび前記ポッドドアの少なくとも一方の位置を調節する手段とを有することを特徴とする位置補償組立体。 - 前記センサシステムは、ポッドがポートドアに向かって前進されたときに、前記間隔を検出することを特徴とする請求項1記載の位置補償組立体。
- ポッドがポッド前進板上でポートに向かって前進された後に、ワークを、ロードポートを通して、ロードポート組立体上にローディングされたポッドとロードポート組立体が取付けられているプロセスツールとの間で搬送するための、前記ロードポート組立体上に取付けられた位置補償組立体であって、
前記ロードポート組立体が前面を備えたポートドアを有し、前記ポッドがポッドドアおよびポッドシェルを有し、前記ポッドドアがポートドアの前方に対面する前面を備えており、
前記ポッドがポッド前進板上で前記ポートドアに向かって前進し始めた後に、前記ポートドアの前面と前記ポッドドアの前面との間隔を検出するセンサシステムと、
該センサシステムにより検出された前記間隔に基いて、前記ポートドアおよび前記ポッドドアの少なくとも一方の位置を調節するコントローラとを有することを特徴とする位置補償組立体。 - 前記センサシステムは、ポッドがポートドアに向かって前進されたときに、前記間隔を検出することを特徴とする請求項3記載の位置補償組立体。
- ポッドがポッド前進板上でポートに向かって前進された後に、ワークを、ロードポートを通して、ロードポート組立体上にローディングされたポッドとロードポート組立体が取付けられているプロセスツールとの間で搬送するための、ロードポート組立体上に取付けられた位置補償組立体であって、
前記ロードポート組立体が前面を備えたポートドアを有し、前記ポッドがポッドドアおよびポッドシェルを有し、前記ポッドドアがポートドアの前方に対面する前面を備えており、
前記ポートドア内に取付けられた第一部分と前記ポートドアの前面から突出できる第二部分とを備えたプランジャを有し、該プランジャは、該プランジャの第二部分と前記ポッドドアの前面とが接触すると、前記ポートドアの前面に対して垂直な方向に直線移動でき、
前記ポートドアに対する前記プランジャの位置を検出するセンサと、
該センサにより検出された前記プランジャの位置に基いて、前記ポートドアおよび前記ポッドドアの少なくとも一方の位置を調節するコントローラとを更に有することを特徴とする位置補償組立体。 - 前記センサは抵抗検出回路を有することを特徴とする請求項5記載の位置補償組立体。
- 前記抵抗検出回路は、プランジャと一緒に移動する抵抗変化アクチュエータを備えたポテンショメータを有することを特徴とする請求項6記載の位置補償組立体。
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