KR20000040587A

KR20000040587A - 노광장치 인출막대

Info

Publication number: KR20000040587A
Application number: KR1019980056256A
Authority: KR
Inventors: 김규백
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-12-18
Filing date: 1998-12-18
Publication date: 2000-07-05

Abstract

이 발명은 반도체제조장치 중 노광장비의 인출막대(fetch arm)에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 인출막대에 고정되는 상단커버와 하단프레임 사이에 고무패드를 끼우고, 고정나사에 와셔를 삽입하여 인출막대에 균열이 생기는 것을 방지하고 고정나사의 결합력을 증대시킬 수 있다.

Description

노광장치 인출막대(Fetch arm of exposure equipment)

이 발명은 반도체제조장치 중 노광장비의 인출막대(fetch arm)에 관한 것이다.

반도체소자는 여러 가지 공정을 거쳐서 제조된다. 공정 중 사진석판공정(photolithography)이 있다. 이 공정은 웨이퍼에 소정의 패턴을 형성하기 위해 감광막을 바르고 빛을 쬐어 에칭을 하는 공정이다. 빛을 쬐어 감광막에 패턴을 형성하는 것을 노광(exposure)이라 하는데, 웨이퍼 위에 한 부분씩 레티클을 움직여 가면서 순차적으로 노광하는 스테퍼(stepper) 장비가 있다. 이 장비에는 공급부에 웨이퍼를 넣거나 빼어내는 인출막대(fetch arm)가 있다.

인출막대(1)에는, 도1과 같이 하단프레임(3)과 상단커버(5)가 고정나사(7)로 고정된다. 인출막대(1)는 세라믹으로 이루어지고 상단커버(5)는 테프론으로 이루어진다. 이 때에 고정나사(7)를 약하게 조이면 틈이 생겨 진공도가 나빠지기 때문에 고정나사를 강하게 조여야 한다. 그러면, 상단커버(5)의 압력이 인출막대에 그대로 전달되어 소음과 함께 미세한 균열이 생긴다. 이러면, 작은 충격에 의해서도, 또한 장기간의 작동에 의하여 인출막대가 쉽게 깨지거나 변형되는 등의 문제가 생긴다.

본 발명의 목적은 인출막대에 고정되는 상단커버와 하단프레임 사이에 고무패드를 끼우고 고정나사에 와셔를 삽입하여 인출막대에 균열이 생기는 것을 방지하고 고정나사의 결합력을 증대시킬 수 있는 인출막대를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도1은 종래의 인출막대를 나타내는 개략도.

도2는 본 발명에 따른 인출막대를 나타내는 개략도.

도면의 주요 부호에 대한 설명

1, 11: 인출막대 3, 13: 하단프레임

5, 15: 상단커버 7, 17: 고정나사

19: 고무패드 21: 와셔

본 발명은, 인출막대에 상단커버와 하단프레임이 고정나사로 고정되는 구조에 있어서 상단커버와 하단프레임 사이에 고무패드가 삽입되는 것을 특징으로 한다. 고정나사에는 와셔가 삽입된다.

도2를 보면, 본 발명에 따른 노광장비 인출막대(11)에서는 상단커버(15)와 하단프레임(13) 사이에 고무패드(19)가 삽입되고, 고정나사(17)에는 와셔(21)가 삽입된다. 고무패드(19)가 있기 때문에 고정나사(17)를 세게 조이더라도 인출막대(11)에 가해지는 충격을 줄일 수 있다.

또한, 고정나사(17)에 와셔(21)를 삽입하였기 때문에 고정나사가 쉽게 풀리지 않아 장시간 사용해도 인출막대의 신뢰성이 보장될 수 있다. 와셔(21)는 여러 가지 것이 가능하지만, 나사풀림을 방지하는 목적을 최대화하기 위해서 스프링와셔를 쓰는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면 노광장치의 인출막대에 균열이 생기지 않고 수명이 연장되므로써 반도체공정의 생산성이 향상되고 그에 따라 생산원가가 절감되는 효과가 있다.

Claims

인출막대에 상단커버와 하단프레임이 고정나사로 고정되는 구조에 있어서, 상단커버와 하단프레임 사이에 고무패드가 삽입되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 인출막대.
제1항에서, 고정나사에는 와셔가 삽입되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 인출막대.