KR19980074911A - 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치에 관한 것이다.

본 발명은, 카세트 스테이지를 지지하는 받침대에 상기 카세트 스테이지를 고정시키는 고정나사가 구비되는 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치에 있어서, 상기 카세트 스테이지와 받침대를 관통하는 부분의 상기 고정나사에 소정의 탄성력을 가지는 용수철을 취부시킴을 특징으로 한다.

따라서, 높이조절을 위한 시간의 단축 및 설비의 손상방지 등으로 인해 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치

본 발명은 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 높이조절과 동시에 고정이 이루어지도록 카세트 스테이지(Cassette Stage)를 받침대에 고정시키는 고정나사에 용수철을 취부시킨 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치에 관한 것이다.

반도체 제조에서는 공정과 공정을 수행하기 위하여 웨이퍼(Wafer)의 이송이 요구되고, 이러한 웨이퍼의 이송은 웨이퍼를 적재하는 카세트를 이용하는 것이 일반적이다.

이러한 상기 카세트를 이용한 종래의 이송수행은 먼저, 도1과 같이 카세트(도시되지 않음)를 카세트 스테이지(10)에 안착시킨 후 로봇 암(Robot Arm)(도시되지 않음)을 이용하여 이송을 수행한다.

여기서 상기 카세트 스테이지(10)는 받침대(12)에 의해 지지되며 고정나사(14)를 이용하여 상기 받침대(12)에 고정시킨다.

그리고 상기 받침대(12)에 고정시키기에 앞서 상기 카세트 스테이지(10)가 상기 로봇 암과의 높이를 일정하게 유지할 수 있도록 상기 받침대(12)의 높이조절부(16)를 이용하여 높이조절을 수행한다.

즉, 도2와 같이 높이조절부(16)의 높이조절나사(18)를 이용하여 카세트 스테이지(10)의 높이를 조절한 후 고정나사(14)를 이용하여 상기 카세트 스테이지(10)를 상기 받침대(12)에 고정시킨다.

그러나 종래에는 상기 높이조절이 소정의 높이로 조절되지 않으면 전술한 조작을 반복해서 수행하여야만했다.

이러한 반복조작으로 인하여 높이조절의 소요시간을 연장시켰고, 또한 높이조절나사의 반복적인 체결 및 해체로 인하여 설비에 손상을 주었다.

따라서 종래의 높이조절장치를 이용한 공정수행은 높이조절의 소요시간의 연장 및 설비의 손상 등으로 인하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 높이조절의 소요시간의 단축 및 설비의 손상방지 등을 통하여 생산성을 향상시키기 위한 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치를 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 카세트 스테이지 및 받침대를 나타내는 사시도이다.

도2는 도1의 A-A선 단면도이다.

도3은 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 카세트 스테이지 및 받침대를 나타내는 사시도이다.

도4는 도3의 B-B선 단면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10, 20 : 카세트 스테이지 12, 22 : 받침대

14, 24 : 고정나사 16 : 높이조절부

18 : 높이조절나사 30 : 용수철

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치는, 카세트 스테이지를 지지하는 받침대에 상기 카세트 스테이지를 고정시키는 고정나사가 구비되는 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치에 있어서, 상기 카세트 스테이지와 받침대를 관통하는 부분의 상기 고정나사에 소정의 탄성력을 가지는 용수철을 취부시킴을 특징으로 한다.

상기 높이조절을 수행하는 상기 받침대의 높이조절부를 제거시키는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3은 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 카세트 스테이지 및 받침대를 나타내는 사시도이고, 도4는 도3의 B-B선 단면도이다.

먼저, 도3은 웨이퍼가 적재되는 카세트(도시되지 않음)를 안착시키는 카세트 스테이지(20)를 지지하는 받침대(22) 및 상기 카세트 스테이지(20)를 상기 받침대(22)에 고정시키는 고정나사(24)와 용수철(30)이 구비되어 있다.

그리고 본 발명은 도4와 같이 상기 카세트 스테이지(20)와 상기 받침대(22)를 관통하는 부분의 고정나사(24)에 소정의 탄성력을 가지는 용수철(30)을 취부시킨다.

여기서 상기 소정의 탄성력을 가지는 용수철은 웨이퍼 및 웨이퍼를 적재하는 카세트의 무게를 고려하여 작업자가 임의로 선택하여 이용할 수 있다.

이러한 소정의 탄성력을 가지는 용수철(30)을 고정나사(24)에 취부시킴으로 인해 본 발명에서는 상기 용수철(30)을 이용하여 카세트 스테이지(20)의 높이조절을 수행한다.

즉, 용수철(30)의 탄성력으로 카세트 스테이지(20)의 높이조절이 이루어짐과 동시에 고정나사(24)를 이용하여 상기 카세트 스테이지(20)를 상기 받침대(22)에 고정시키는 것이다.

그에 따라 본 발명에서는 카세트 스테이지(20)의 높이조절을 위하여 상기 받침대(22)에 높이조절부를 별도로 두지 않고도 높이조절을 수행할 수 있기 때문에 상기 높이조절부를 제거시킬 수 있다.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명에서는 상기 용수철(30)이 취부된 고정나사(24)의 이용으로 상기 카세트 스테이지(20)의 높이조절과 동시에 상기 카세트 스테이지(20)의 고정을 수행할 수 있어 높이조절을 위한 소요시간이 단축되고, 또한 높이조절을 위한 나사체결이 필요없기 때문에 설비의 손상을 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 높이조절의 소요시간의 단축 및 설비의 손상방지 등으로 인해 생산성이 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 카세트 스테이지를 지지하는 받침대에 상기 카세트 스테이지를 고정시키는 고정나사가 구비되는 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치에 있어서,

   상기 카세트 스테이지와 받침대를 관통하는 부분의 상기 고정나사에 소정의 탄성력을 가지는 용수철을 취부시킴을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 높이조절을 수행하는 상기 받침대의 높이조절부가 제거됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 카세트 스테이지의 높이조절장치.