JP2665785B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 （産業上の利用分野） 本発明は、防振部材を設けた検査装置に関するもので
ある。

（従来の技術） 一般に、ウエハ等の検査装置は、１つのステージと１
つのローダより構成されているが、ローコストで、床専
有面積が小さく、１キャリアに対するスループットの向
上を図ることができる等の理由から、２つのステージと
１つのローダからなる検査装置が提案されている。

この種の検査装置は、ステージとローダとが連結され
ているので、他の機構の振動がテスト中の他のステージ
へ伝達される不都合がある。

そこで、従来は、特開昭62−35212号公報に開示され
ているように、共通の架台の上部中央部に１つのローダ
と、その左右に２つのステージを設け、共通の架台の上
面に２つの防振機構を設け、更に、それぞれの防振機構
上に検査機構を配設するようにしている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、同公報の検査装置は、１つの架台に検
査機構等を搭載したものであるから、ユニット化されて
いないため、２ステージで１ローダの検査装置を１ステ
ージで１ローダの検査装置に再組み立てすることは不可
能であるばかりでなく通常の１ステージで１ローダの検
査装置を２ステージに組み立てることもできない等の欠
点がある。

本発明は、上記の実情に鑑みて開発したものであり、
ユニット化により１ステージと１ローダの組合せや、通
常の検査装置を複数のステージを有する検査装置にも簡
単に構成することが可能であるようにし、もって、ロー
コストを達成することができ、しかも、床専有面積が小
さく、１キャリアに対するスループットの向上を図ると
ともに、他の機構の振動がテスト中の他のステージや使
用中のマイクロスコープへ伝達することを防止する防振
部材を有する検査装置を提供することを目的としてい
る。

発明の構成 （課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、複数のステー
ジ部と少なくとも１つのローダ部を持つ検査装置におい
て、上記ステージ部の基台とこの基台に連結するローダ
部の基台の連結位置に防振部材を介在させたことを特徴
とする検査装置である。

前記の防振部材は、ゴム等の弾性部材が好適である。

（作 用） 従って、本発明によると、ステージ部の基台とこの基
台に連結するローダ部の基台の連結位置にゴム等の弾性
部材で形成した防振部材を介在させたから、当該ステー
ジが駆動したときに生ずる振動は、そのステージの基台
に伝達するが、ローダ部の連結位置に設けた防振部材に
吸収又は緩和され、他のテスト中のステージに振動が伝
達されることがない。

また、マイクロスコープを使用している時、他のステ
ージによる振動やローダ部の稼働時の振動が上記と同様
に防振部材により吸収又は緩和されるので、マイクロス
コープの使用に影響を受けることもない。

（実施例） 以下に図面を参照しながら本発明における検査装置の
実施例を詳述する。

第１図は、半導体ウエハの検査装置を示したもので、
１はヘッドプレート1aを有するステージ部であり、２は
ローダ部、３はヘッドプレート3aを有するステージ部で
ある。４はマイクロスコープで、このマイクロスコープ
４は、ローダ部２の奥部上面に立設した支柱4aに揺動自
在に設けたアーム4bの先端に設けられており、更に、こ
のマイクロスコープ４はアーム4b自体に回転自在に取り
付けられている。５は支柱4aの上部に載置したCRTであ
り、2a、2bはローダ部２に設けられたウエハ収納用のウ
エハキャリアである。

６はステージ部１の基台であり、本例においてはロー
ダ部２の基台７と一体に形成されている。８はステージ
部３の基台であり、上記の基台７に３個所設けた取付フ
ランジ９と基台８に３個所設けた取付フランジ10との間
に、ゴム等の弾性部材で形成した防振部材12を介在さ
せ、螺子孔13にボルト11を螺合してナットで固着するよ
うにしている。なお、防振部材12のゴムは、例えばクロ
ロプレンゴム、シリコーンゴム等を実施に応じて適宜に
選択する。また、本例は、ステージ部１の基台６とロー
ダ部２の基台７と一体に形成されているが、これに限る
ことなく個別に形成して各基台の接続部に防振部材を設
けることもできる。

また、ステージ部１、３は、それぞれ基台６、８上に
検査機構が搭載されており、この検査機構は、ウエハを
吸着固定し、θ回転するチャックと、XY駆動部材とＺ軸
駆動部材で構成されてカバ14、15で被覆されている。

ローダ部２には、何れも図示しないがウエハを搬送搬
入する搬送機構とアーム機構等が設けられ、全体をカバ
16で被覆している。

次に上記実施例の作用を説明する。

ステージ部１の基台６とこの基台６に連絡するローダ
部２の基台７の連結位置にゴム等の弾性部材で形成した
防振部材12を取付フランジ９、10の間に介在させてボル
ト11で固着したから、例えば、ステージ部１でウエハを
検査している場合、他のステージ部３は検査するための
ウエハをチャクに載置しXYZθの駆動機構によりアライ
メントを行うが、この駆動時に振動が発生し、この振動
は基台８に伝達するが、この基台８とローダ部２の基台
７の連結位置に設けた防振部材12に吸収又は緩和され、
ステージ部１での検査に振動が伝達されることがない。

また、上記の逆の場合、即ち、ステージ部３でウエハ
を検査している場合にも、ステージ部１やローダ部２の
稼働時に生じる振動もこの防振部材12で吸収され、ステ
ージ部３に振動が伝達されるおそれがない。

また、マイクロスコープ４を何れかのステージ部に揺
動して使用いる場にも、他のステージによる振動やロー
ダ部の稼働時の振動が上記と同様に防振部材12により吸
収又は緩和されるので、マイクロスコープ４の使用に影
響を受けることがなく、１個のマイクロスコープ４で十
分に機能する。

更に、上記した防振部材12は基台７、８の後続位置に
介在するようにしたから、ステージ部１、３やローダ部
２をユニット化することが可能であり、実施に応じて任
意の組合せができ、ユニット化としての機能を十分に発
揮することができる。

発明の効果 以上のことから明らかのように、本発明によると、ユ
ニット化により１ステージと１ローダの組合せはもちろ
んのこと、通常の検査装置を複数のステージを有する検
査装置にも簡単に組合せることができ、コストの低減を
図ることができると共に、床専有面積を小さくすること
ができ、また、１キャリアに対するスループットの向上
を図ることができ、更には、他の機構の振動がテスト中
の他のステージや使用中のマイクロスコープへ伝達する
おそれがなく、しかも、各基台を接続するのみで防振部
材を簡単に取付けることができ、極めて使用価値の高い
ものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示したもので、第１図は、本
発明におけるウエハ検査装置の斜視図、第２図は、同上
の拡大した基台の斜視図、第３図は、同上の防振部材の
拡大詳細斜視図である。 １、３……ステージ部、２……ローダ部、 ４……マイクロスコープ、 ６、７、８……基台、12……防振部材

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも１つのステージ部と少なくとも
   １つのローダ部を持つ検査装置において、上記ステージ
   部の基台とこの基台に連結するローダ部の基台の連結位
   置に振動伝達を抑制する防振部材を介在させたことを特
   徴とする検査装置。
2. 【請求項２】前記防振部材は、ゴム等の弾性部材である
   請求項１記載の検査装置。