KR20060120892A - 반도체 제조 설비 - Google Patents

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KR20060120892A
KR20060120892A KR1020050043128A KR20050043128A KR20060120892A KR 20060120892 A KR20060120892 A KR 20060120892A KR 1020050043128 A KR1020050043128 A KR 1020050043128A KR 20050043128 A KR20050043128 A KR 20050043128A KR 20060120892 A KR20060120892 A KR 20060120892A
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Abstract

본 발명은 로드 포트에 높낮이 조절부를 포함하는 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 로드 포트를 지지하며 높낮이를 조절할 수 있는 제 1 지지대와 제 2 지지대 및 높낮이가 조절된 상기 제 1 지지대와 제 2 지지대를 고정시키는 고정 부재를 포함한다. 따라서 용이하게 반도체 제조 설비의 높낮이를 조절할 수 있으며, 티칭 장비를 별도로 구비할 필요가 없고 티칭 범위를 넘어선 높낮이 조절도 가능하다.

Description

반도체 제조 설비{SEMICONDUCTOR FABRICATING APPARATUS}
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 설비를 설명하기 위하여 도시한 도면;
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비를 설명하기 위하여 도시한 도면;
도 3은 도 2에 도시된 반도체 제조 설비 중 로드 포트의 높낮이 조절부를 확대하여 도시한 도면;
도 4는 로드 포트의 높낮이 조절부의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100 : 카세트 101 : 로드 포트
150 : 지지부 200 : 로봇암
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로드 포트에 높낮이 조절부를 포함하는 반도체 제조 설비에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정에서는 사진, 증착, 식각 등의 공정이 반복적으로 수행되며, 이러한 공정이 이루어지는 웨이퍼는 복수개씩 카세트 내에 적재되어 각 공정으로 운반되어진다. 그리고 카세트 내에 적재된 웨이퍼들을 꺼내어 공정을 실시 하고 공정을 마친 웨이퍼들은 다시 카세트 내에 적재하는 작업이 수시로 일어나는데, 이러한 작업은 모두 자동화 시스템에 의하여 이루어진다.
도 1은 종래의 반도체 제조 설비를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 반도체 제조 설비는 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(10)와 상기 카세트(10)에 적재된 웨이퍼(W)들을 각 공정으로 이송하기 위한 로봇암(20)을 구비한다. 그리고 상기 카세트(10) 하부에는 로드 포트(load port, 11)가 위치한다. 로봇암(20)은 웨이퍼 수용부(21)를 구비하여 카세트(10) 내에 적재된 웨이퍼(W)들을 반출하여 반응기(미도시)로 로딩(loading)하고, 작업이 완료된 웨이퍼(W)들을 다시 카세트(10) 내로 로딩한다.
이러한 작업 중 상기 카세트(10) 내의 웨이퍼(W)들의 위치와 로봇암(20)의 높낮이가 맞지 않으면, 웨이퍼(W)들이 깨지거나 긁혀질 우려가 있다. 따라서 이상이 발생할 때마다 티칭(teaching)을 해서 높낮이를 맞춰주게 된다. 이때 상기 티칭은 로봇암(20)의 틀어진 정도를 보정하는 작업을 의미한다. 그러나 이러한 티칭은 별도의 티칭 장비를 사용하여야 하며, 어느정도의 범위를 벗어난 경우에는 티칭만으로 높이를 맞출 수 없다는 문제가 발생한다.
그러므로 이때에는 작업자가 직접 스패너(spanner, 41)를 이용하여 로드 포트(11) 및 로봇암(20) 등이 놓여지는 제조 설비(30)의 다리를 낮추어야 한다. 하지만 이렇게 되면 상기 제조 설비(30) 다리의 높낮이를 전체적으로 조절하여 수평 및 수직의 레벨을 다시 맞추어야 한다는 번거로움이 발생한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 로드 포터에 높낮이 조절부를 구비하는 반도체 제조 설비를 제공하는데 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조 설비는 복수개의 웨이퍼들이 적재된 카세트가 놓여지는 로드 포터, 상기 적재된 웨이퍼들을 이송하는 로봇암, 그리고 상기 로드 포터 및 상기 로봇암이 놓여지는 작업대를 포함하되, 상기 로드 포터의 하부에는 상기 로드 포터를 지지하며 높낮이를 조절할 수 있는 지지부를 구비한다.
상기 로드 포터의 높낮이를 조절할 수 있는 지지부는 상기 로드 포터를 지지하며 제 1 레벨 조정홈이 형성된 제 1 지지대와 상기 제 1 지지대를 감싸며 상기 로드 포터가 수평을 유지할 수 있도록하고, 소정 크기의 제 2 레벨 조정홈이 형성된 제 2 지지대 및 상기 제 1 지지대의 상하 운동을 통하여 맞춰진 상기 제 1 레벨 조정홈과 상기 제 2 레벨 조정홈을 관통하며 채결되어 맞추어진 높낮이가 변화되지 않도록 고정시키는 고정 부재를 포함한다. 이때 상기 제 1 지지대에 형성된 제 1 레벨 조정홈은 복수개 형성될 수 있다.
제 1 지지대에 레벨 조정홈을 형성하는 경우에는 미세한 높낮이 조절이 힘들기 때문에 제 2 지지대에만 레벨 조정홈을 형성할 수 있다. 이때에는 상기 제 1 지지대의 상하운동에 의하여 높낮이를 조절하고 제 2 지지대에 형성된 레벨 조정홈에 고정 부재를 채결하여 상기 제 1 지지대와 제 2 지지대가 고정되도록 한다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비는 작업대(300) 상에 놓여진 로드 포트(101)와 로봇암(200)을 포함한다. 이때 상기 로드 포트(101) 상에는 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(100)가 놓여진다. 그리고 상기 로봇암(200)은 웨이퍼 수용부(201)를 포함하여, 상기 카세트(100) 내에 적재된 웨이퍼(W)들을 로딩하여 각 공정으로 제공하고, 그 공정이 끝나면 상기 웨이퍼(W)들을 다시 카세트(100) 내로 적재한다.
본 발명에 따르면, 상기 카세트(100) 하부에 위치하는 로드 포트(101)의 하부에는 높낮이 조절이 가능한 지지부(150)가 존재한다. 따라서 종래와 달리 상기 로드 포트(101)의 높낮이 조절이 가능하므로, 카세트(100) 내에 적재된 웨이퍼(W)들과 로봇암(200) 사이에 높낮이가 맞지 않거나 로봇암(200)의 수평이 맞지 않는 경우 손쉽게 상기 로드 포트(101)의 높낮이를 조절함으로서 작업 오류가 발생하는 것을 막을 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 반도체 제조 설비의 높낮이 조절부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 지지부(150)는 서로 두께가 다른 제 1 지지대(103)와 제 2 지지대(105) 및 고정 부재(107, 108)로 이루어져 있다. 상기 제 1 지지대(103) 및 제 2 지지대(105)는 상기 로드 포트(101)를 지지하는 역할을 한다. 그리고 상기 제 1 지지대(103) 및 제 2 지지대(105) 각각은 레벨 조정홈들(111, 113)을 포함한다. 상기 제 1 지지대(103)에는 복수개의 레벨 조정홈들(111)이 존재하고, 제 2 지지대(105)에는 하나의 레벨 조정홈(113)이 존재하는 것이 바람직하다. 제 1 지지대(103)와 제 2 지지대(105)에 포함된 레벨 조정홈들(111, 113)은 서로 크기가 동일하다. 그리고 제 1 지지대(103)를 상하로 조절하면서 제 1 지지대(103)에 포함된 레벨 조정홈들(111)과 제 2 지지대(105)에 포함된 레벨 조정홈(113)을 서로 맞추어 높이를 조절한 후, 고정 부재들(107, 108)을 이용하여 조절된 높이가 고정되도록 한다.
상기 고정 부재는 볼트 형태의 제 1 고정 부재(107)와 너트 형태의 제 2 고정 부재(108)로 구성될 수 있다. 상기 제 1 지지대(103)의 레벨 조정홈(111)과 제 2 지지대(105)의 레벨 조정홈(113)을 서로 맞춘 후, 상기 제 1 고정 부재(107)를 상기 레벨 조정홈들(111, 113)에 관통시키고 제 2 고정 부재(108)로 이를 조이면 제 1 지지대(103)와 제 2 지지대(105)가 고정되게 된다.
도시된 도면 상에는 지지부(150)가 로드 포트(101) 하단의 각 모서리 즉, 네 군데에 위치하는 것으로 도시되었으나, 상기 지지부(150)는 로드 포트(101)의 중심에서 동일한 원주 상에 위치하며 120도 각도를 가지도록 세군데에 배치되거나 또는 다른 형태로 배치될 수도 있다.
도 4는 로드 포트의 높낮이 조절부의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 형태의 경우 제 1 지지대(103)에 형성된 레벨 조정홈(111)과 제 2 지지대(105)에 형성된 레벨 조정홈(113)을 서로 맞추는 경우에만 높낮이 조절이 가능하기 때문에 미세한 조절이 불가능할 수 있다.
따라서 제 1 지지대(103')에 레벨 조정홈을 형성하지 않고, 제 2 지지대(105')에만 레벨 조정홈(113')을 형성한다. 그리고 상기 제 1 지지대(103')를 상하로 움직이면서 높낮이를 조절한 후, 상기 제 2 지지대(105')에 형성된 레벨 조정홈(113')을 통해 제 1 고정 부재(107)를 장착하고 제 2 고정 부재(108)를 조여 제 1 지지대(103')와 제 2 지지대(105')가 고정되도록 한다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 로드 포터에 높낮이 조절부를 구비함으로써 손쉽게 높낮이를 조정할 수 있다. 그리고 별도의 티칭 장비를 구비할 필요가 없으므로 비용이 절감되며, 티칭 장비의 기준 범위를 벗어난 넓은 범위의 높낮이 조절도 가능하다.

Claims (4)

  1. 복수개의 웨이퍼들이 적재된 카세트가 놓여지는 로드 포터;
    상기 적재된 웨이퍼들을 이송하는 로봇암; 그리고
    상기 로드 포터 및 상기 로봇암이 놓여지는 작업대를 포함하되,
    상기 로드 포터의 하부에는 상기 로드 포터를 지지하며 높낮이를 조절할 수 있는 지지부를 구비하는 반도체 제조 설비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 로드 포터의 높낮이를 조절할 수 있는 지지부는
    상기 로드 포터를 지지하며 제 1 레벨 조정홈이 형성된 제 1 지지대;
    상기 제 1 지지대를 감싸며 상기 로드 포터가 수평을 유지할 수 있도록하고, 소정 크기의 제 2 레벨 조정홈이 형성된 제 2 지지대;
    상기 제 1 지지대의 상하 운동을 통하여 맞춰진 상기 제 1 레벨 조정홈과 상기 제 2 레벨 조정홈을 관통하며 채결되어 맞추어진 높낮이가 변화되지 않도록 고정시키는 고정 부재를 포함하는 반도체 제조 설비.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 지지대에 형성된 제 1 레벨 조정홈은 복수개인 반도체 제조 설비.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 로드 포터의 높낮이를 조절할 수 있는 지지부는
    상기 로드 포터를 지지하는 제 1 지지대;
    상기 제 1 지지대를 감싸며 상기 로드 포터가 수평을 유지할 수 있도록하고, 소정 크기의 레벨 조정홈이 형성된 제 2 지지대;
    상기 제 2 지지대에 형성된 레벨 조정홈에 체결되어 상기 제 1 지지대와 제 2 지지대의 상하 운동을 통하여 맞추어진 높낮이가 변화되지 않도록 고정시키는 고정 부재를 포함하는 반도체 제조 설비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2018125117A1 (en) * 2016-12-29 2018-07-05 Intel Corporation Apparatus and system for a height-adjusting pedestal

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