JP2011508453A - プラズマ処理システムにおいてエンドエフェクタのアラインメントを校正するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するための方法が提供される。方法は、エンドエフェクタをチャックの上に位置決めすることと、チャックおよびエンドエフェクタの静止画像を撮影することとを含む。方法は、チャックの中心およびエンドエフェクタによって定められたエンドエフェクタ規定中心を決定するために静止画像を処理することを含む。方法は、エンドエフェクタ規定中心とチャックの中心との間の位置差を決定することを含む。方法は、また、エンドエフェクタがウエハを運ぶときにロボットメカニズムが位置差を調整するようにロボットメカニズムを制御するために、位置差をロボットコントローラに提供することも含む。
【選択図】図2
Description
Claims (20)
- プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するための方法であって、
前記エンドエフェクタを前記チャックの上に位置決めすることであって、前記チャックは、前記プラズマ処理システムの内側に配置され、前記プラズマ処理システムは、少なくとも1枚のウエハを、前記ウエハが前記チャック上に配された状態で処理するように構成される、ことと、
前記位置決め後に、前記チャックおよび前記エンドエフェクタの静止画像を撮影することと、
前記チャックの中心および前記エンドエフェクタによって定められるエンドエフェクタ規定中心を決定するために、前記静止画像を処理することと、
前記エンドエフェクタ規定中心と前記チャックの前記中心との間の位置差を決定することと、
前記エンドエフェクタが前記ウエハを運ぶときにロボットメカニズムが前記位置差を調整するように前記ロボットメカニズムを制御することを可能にするために、前記位置差をロボットコントローラに提供することと、を備える方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
処理ユニットが前記静止画像をもとに前記エンドエフェクタ規定中心を決定することを可能にするために、前記エンドエフェクタ上に第1の視覚的指標を提供することであって、前記第1の視覚的指標は、前記エンドエフェクタ規定中心を導き出すために用いられる基準マークを表す、ことを備える方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記第1の視覚的指標は、記録線であり、前記記録線は、円の中心が前記エンドエフェクタ規定中心に一致するような円の弧であるように構成される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
処理ユニットが前記静止画像をもとに前記チャックの前記中心を決定することを可能にするために、前記チャック上に第1の視覚的指標を提供することであって、前記第1の視覚的指標は、前記第1の視覚的指標によって描かれる円を決定することによって、前記チャックの前記中心の決定を可能にするために用いられる、ことを備える方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記第1の視覚的指標は、前記チャックの外周である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
前記エンドエフェクタおよび前記チャックが生産条件において校正されるように前記チャックおよび前記エンドエフェクタの前記静止画像を撮影するために、画像取得装置を用いることを備える方法。 - 請求項6に記載の方法であって、
前記画像取得装置の少なくとも一部分は、プラズマ処理チャンバの内側に実装される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、さらに、
前記エンドエフェクタの第1の視覚的指標の少なくとも一部の画像および前記チャックの第1の視覚的指標の少なくとも一部の画像の両方を前記静止画像が含むことを可能にする光学的アクセスを通じて前記静止画像を取得することであって、前記エンドエフェクタの前記第1の視覚的指標は、前記エンドエフェクタ規定中心を導き出すために用いられる基準マークを表し、前記チャックの前記第1の視覚的指標は、前記チャックの前記第1の視覚的指標によって描かれる円を決定するために用いられる、ことを備える方法。 - プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するためのエンドエフェクタ校正システムであって、
少なくとも前記チャックおよび前記エンドエフェクタの両方の1枚以上の静止画像を撮影するように構成された画像取得装置であって、前記チャックは、前記プラズマ処理システムの内側に配置され、前記プラズマ処理システムは、少なくとも1枚のウエハを、前記ウエハが前記チャック上に配された状態で処理するように構成される、画像取得装置と、
処理ユニットであって、少なくとも、
前記エンドエフェクタによって定められたエンドエフェクタ規定中心および前記チャックの中心を決定するために、少なくとも前記チャックおよび前記エンドエフェクタの両方の前記1枚以上の静止画像を処理すること、ならびに
前記エンドエフェクタ規定中心と前記チャックの前記中心との間の位置差を決定すること、を実施するための処理ユニットと、
ロボットアームが前記位置差を調整することを可能にするために前記位置差を使用するように構成されたロボットコントローラと、を備えるシステム。 - 請求項9に記載のシステムであって、
前記エンドエフェクタは、第1の視覚的指標を備えており、前記第1の視覚的指標によって、前記処理ユニットが前記1枚以上の静止画像をもとに前記エンドエフェクタ規定中心を決定することが可能になり、前記第1の視覚的指標は、前記エンドエフェクタ規定中心を導き出すために用いられる基準マークを表す、システム。 - 請求項10に記載のシステムであって、
前記第1の視覚的指標は、記録線であり、前記記録線は、円の中心が前記エンドエフェクタ規定中心に一致するような円の弧であるように構成される、システム。 - 請求項9に記載のシステムであって、
前記チャックは、第1の視覚的指標を備えており、前記第1の視覚的指標によって、前記処理ユニットが前記1枚以上の静止画像をもとに前記チャックの前記中心を決定することが可能になり、前記第1の視覚的指標は、前記第1の視覚的指標によって描かれる円を決定することによって、前記チャックの前記中心の決定を可能にするために用いられる、システム。 - 請求項12に記載のシステムであって、
前記第1の視覚的指標は、少なくとも1つの前記チャックの外周である、システム。 - 請求項9に記載のシステムであって、
前記画像取得装置の少なくとも一部分は、プラズマ処理チャンバの内側に実装される、システム。 - 請求項9に記載のシステムであって、
前記1枚以上の静止画像は、前記エンドエフェクタの第1の視覚的指標の少なくとも一部の画像および前記チャックの第1の視覚的指標の少なくとも一部の画像の両方を前記1枚以上の静止画像が含むことを可能にする光学的アクセスを通じて取得され、前記エンドエフェクタの前記第1の視覚的指標は、前記エンドエフェクタ由来中心を導き出すために用いられる基準マークを表し、前記チャックの前記第1の視覚的指標は、前記チャックの前記第1の視覚的指標によって描かれる円を決定するために用いられる、システム。 - チャックに対するエンドエフェクタのアラインメントの校正を実施するためのプラズマ処理システムであって、前記エンドエフェクタは、前記チャックの上において移動可能であるように構成され、前記プラズマ処理システムは、
前記エンドエフェクタおよび前記チャックの上方に配置された光学的撮像システムであって、少なくとも前記チャックおよび前記エンドエフェクタの両方の1枚以上の静止画像を取得するように構成され、前記チャックは、前記プラズマ処理システムの内側に配置され、前記プラズマ処理システムは、少なくとも1枚のウエハを、前記ウエハが前記チャック上に配された状態で処理するように構成される、光学的撮像システムと、
少なくとも前記チャックおよび前記エンドエフェクタの両方の前記1枚以上の静止画像に基づいて、前記チャックの中心および前記エンドエフェクタによって定められたエンドエフェクタ規定中心を、決定するように構成された処理ユニットと、
前記エンドエフェクタ規定中心と前記チャックの前記中心との間の位置差を決定するように構成されたロジックモジュールと、
ロボットアームが前記位置差を調整することを可能にするために前記位置差を使用するように構成されたロボットコントローラと、を備えるシステム。 - 請求項16に記載のシステムであって、
前記エンドエフェクタは、第1の視覚的指標を備えており、前記第1の視覚的指標によって、前記処理ユニットが前記1枚以上の静止画像をもとに前記エンドエフェクタ規定中心を決定することが可能になり、前記第1の視覚的指標は、前記エンドエフェクタ規定中心を導き出すために用いられる基準マークを表す、システム。 - 請求項16に記載のシステムであって、
前記チャックは、第1の視覚的指標を備えており、前記第1の視覚的指標によって、前記処理ユニットが前記1枚以上の静止画像をもとに前記チャックの前記中心を決定することが可能になり、前記第1の視覚的指標は、前記第1の視覚的指標によって描かれる円を決定することによって、前記チャックの前記中心の決定を可能にするために用いられる、システム。 - 請求項16に記載のシステムであって、
前記光学的撮像システムの少なくとも一部分は、プラズマ処理チャンバの内側に実装される、システム。 - 請求項16に記載のシステムであって、
前記1枚以上の静止画像は、前記エンドエフェクタの第1の視覚的指標の少なくとも一部の画像および前記チャックの第1の視覚的指標の少なくとも一部の画像の両方を前記1枚以上の静止画像が含むことを可能にする光学的アクセスを通じて取得され、前記エンドエフェクタの前記第1の視覚的指標は、前記エンドエフェクタ規定中心を導き出すために用いられる基準マークを表し、前記チャックの前記第1の視覚的指標は、前記チャックの前記第1の視覚的指標によって描かれる円を決定するために用いられる、システム。
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