KR20000031119A - 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼핀을 핀플레이트에 결합시키는 것이 용이하도록 상기 웨이퍼핀의 하부에 확장된 직경을 갖는 원통형의 삽입부가 형성된 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체에 관한 것이다.

본 발명에 의한 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체는 상부에 웨이퍼가 안착되고 상하로 관통되는 다수개의 삽입홀이 형성된 척과, 상기 척의 삽입홀에 삽입되도록 하부에 확장된 직경을 갖는 원통형의 삽입부가 형성된 웨이퍼핀과, 상기 척의 하부에 설치되어 각각의 상기 웨이퍼핀의 삽입부가 미끄러져 삽입되는 삽입홈이 형성되어 있으며 상기 웨이퍼핀을 수용하여 승하강함으로써 상기 웨이퍼를 상기 척에 안착 및 이격시키는 핀플레이트를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

따라서, 웨이퍼핀과 핀플레이트를 결합시키는 작업을 간단하게 실시하게 하고, 상기 웨이퍼핀의 부러짐을 방지하여 설비의 유지와 보수에 필요한 비용 및 공수를 절감하게 하는 효과를 갖는다.

Description

반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체

본 발명은 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼핀을 핀플레이트에 결합시키는 것이 용이하도록 상기 웨이퍼핀의 하부에 확장된 직경을 갖는 원통형의 삽입부가 형성된 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 반도체장치 제조공정을 반복하여 수행한 후 반도체장치로 제작된다.

이들 반도체장치 제조공정 중 식각공정은 웨이퍼 상의 특정 막질을 선택적으로 제거하기 위한 공정으로서, 상기 식각공정을 실시하기 위하여 반도체장치 제조용 식각설비가 구성되었다.

상기 반도체장치 제조용 식각설비는 상기 웨이퍼 상에 형성된 특정막질을 제거시키도록 공정가스가 분사되는 공정챔버와, 상기 공정챔버의 내부에서 상기 웨이퍼가 안착되는 척조립체를 구비하여 이루어진다.

도1을 참조하여 설명하면, 종래의 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체(10)는 웨이퍼(1)를 가공하는 공정이 실시되는 공정챔버(도시하지 않음)의 내부에 설치되어 있다.

상기 척조립체(10)는 상기 웨이퍼(1)가 안착되는 척(11)과, 상기 척(11)의 하부에 설치된 웨이퍼핀(13) 및 상기 웨이퍼핀(13)이 결합된 핀플레이트(14)를 구비하고 있다.

여기서, 상기 척(11)에는 다수개의 삽입홀(12)이 형성되어 있으며, 상기 척(11)의 상기 삽입홀(12)에는 상기 웨이퍼핀(13)의 상부가 각각 삽입된다.

그리고, 상기 웨이퍼핀(13)은 상기 척(11)의 각각의 상기 삽입홀(12)에 대응하도록 상기 핀플레이트(14)에 형성된 삽입홈(15)에 삽입되어 상기 핀플레이트(14)와 결합되고, 상기 핀플레이트(14)로부터 빠지지 않도록 상기 웨이퍼핀(13)의 하부에는 나사부(13a)가 형성되어 있다.

한편, 상기 핀플레이트(14)에는 구동실린더(도시하지 않음)가 연결되어 있으며, 상기 구동실린더의 동작에 의해 상기 핀플레이트(14)가 승하강하여 상기 웨이퍼핀(13)을 승하강시키고, 상기 웨이퍼핀(13)이 상기 척(11)의 상기 삽입홀(12)을 관통하여 승하강함으로써 상기 웨이퍼(1)가 상기 척(11) 상에 안착 또는 이격되게 된다.

그러나, 설비의 점검 및 보수를 위하여 상기 척조립체(10)를 분해한 후 재조립하는 경우, 상기 척(11)과 상기 핀플레이트(14)의 위치를 조정하여 상기 삽입홀(12)과 상기 삽입홈(15)의 위치를 일치시킨 후에, 상기 웨이퍼핀(13)을 상기 삽입홀(12)과 상기 삽입홈(15)에 삽입시켜야 하며, 상기 웨이퍼핀(13)의 하부에는 나사부(13a)가 형성되어 있으므로 작업자가 육안으로 확인하면서 상기 웨이퍼핀(13)을 상기 핀플레이트(14)의 상기 삽입홈(15)과 결합시켜야 하는 불편함이 있었다.

또한, 상기 척(11)의 상기 삽입홀(12)과 상기 핀플레이트(14)의 상기 삽입홈(15)의 위치가 틀어지게 되면, 상기 웨이퍼핀(13)에 형성된 나사부(13a)를 상기 핀플레이트(14)의 상기 삽입홈(15)에 결합시키는 도중에 상기 웨이퍼핀(13)이 부러지게 되었고, 이는 설비의 유지와 보수에 필요한 비용 및 공수가 증가되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 웨이퍼핀과 핀플레이트와의 결합을 용이하게 함으로써 작업을 간단하게 실시하게 하고, 상기 웨이퍼핀의 부러짐을 방지함으로써 설비의 유지와 보수에 필요한 비용 및 공수를 절감하게 하는 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체를 제공하는데 있다.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체를 나타낸 분해조립 사시도이다.

도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체를 나타낸 분해조립 사시도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼(Wafer) 10, 20 : 척조립체

11, 21 : 척(Chuck) 12, 22 : 삽입홀

13, 23 : 웨이퍼핀(Wafer-pin) 13a : 나사부

14, 24 : 핀플레이트(Pin-plate) 15, 25 : 삽입홈

23a : 삽입부

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체는, 상부에 웨이퍼가 안착되고, 상하로 관통되는 다수개의 삽입홀이 형성된 척과, 상기 척의 삽입홀에 삽입되고, 그 하부에는 확장된 직경을 갖는 원통형의 삽입부가 형성된 웨이퍼핀 및 상기 척의 하부에 설치되고, 각각의 상기 웨이퍼핀의 삽입부가 미끄러져 삽입되는 삽입홈이 형성되어 있으며, 상기 웨이퍼핀을 수용하여 승하강함으로써 상기 웨이퍼를 상기 척에 안착 및 이격시키는 핀플레이트를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2를 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도채장치 제조용 식각설비의 척조립체(20)는 웨이퍼(1)를 가공하는 공정이 실시되는 공정챔버(도시하지 않음)의 내부에 설치되어 있다.

상기 척조립체(20)는 상기 웨이퍼(1)가 안착되는 척(21)과, 상기 척(21)의 하부에 설치된 웨이퍼핀(23) 및 상기 웨이퍼핀(23)이 설치된 핀플레이트(24)를 구비하고 있다.

상기 척(21)에는 다수개의 삽입홀(22)이 형성되어 있으며, 상기 척(21)의 상기 삽입홀(22)에는 상기 웨이퍼핀(23)의 상부가 각각 삽입되며, 이때, 상기 삽입홀(22)은 상기 척(21) 상에 등각도를 이루며 배치되는 것이 바람직하고, 본 발명의 바람직한 일 실시예에서는 120°를 등각도로 하여 3개의 상기 삽입홀(22)이 상기 척(21) 상에 형성되어 있다.

그리고, 상기 웨이퍼핀(23)은 상기 척(21)의 각각의 상기 삽입홀(22)에 대응하도록 상기 핀플레이트(24) 상에 형성된 삽입홈(25)에 그 하부가 삽입되어 상기 핀플레이트(24)와 결합되며, 이때, 상기 웨이퍼핀(23)의 하부에는 확장된 직경을 갖는 원통형의 삽입부(23a)가 형성되어 상기 핀플레이트(24)의 상기 삽입홈(25)에 미끄러지며 삽입되어 상기 핀플레이트(24)와 결합된다.

한편, 상기 핀플레이트(24)에는 구동실린더(도시하지 않음)가 연결되어 있으며, 상기 구동실린더의 동작에 의해 상기 핀플레이트(24)가 승하강하여 상기 웨이퍼핀(23)을 승하강시키고, 상기 웨이퍼핀(23)이 상기 척(21)의 상기 삽입홀(22)을 관통하여 승하강함으로써 상기 웨이퍼(1)가 상기 척(21) 상에 안착 또는 이격되게 된다.

따라서, 상기 척조립체(20)의 점검 및 보수를 위하여 상기 척조립체(20)를 분해한 후에 재조립을 하는 경우, 상기 척(21)과 상기 핀플레이트(24)의 위치를 조정하여 상기 삽입홀(22)과 상기 삽입홈(25)의 위치를 일치시키고, 상기 웨이퍼핀(23)을 상기 삽입홀(22)과 상기 삽입홈(25)에 삽입시키면 상기 웨이퍼핀(23)의 삽입부(23a)가 상기 삽입홀(22)을 관통하여 상기 삽입홈(25)에 미끄러지며 삽입된다.

즉, 상기 웨이퍼핀(23)이 상기 삽입홈(25)에 미끄러져 삽입되는 것만으로 상기 웨이퍼핀(23)와 상기 핀플레이트(24)가 결합되므로 작업이 매우 간단해지고, 상기 웨이퍼핀(23)을 상기 핀플레이트(24)에 결합시키는 과정에서 발생하는 상기 웨이퍼핀(23)의 부러짐을 방지할 수 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체에 의하면 웨이퍼핀과 핀플레이트를 결합시키는 작업을 간단하게 실시하게 하고, 상기 웨이퍼핀의 부러짐을 방지하여 설비의 유지와 보수에 필요한 비용 및 공수를 절감하게 하는 효과를 갖는다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 상부에 웨이퍼가 안착되고, 상하로 관통되는 다수개의 삽입홀이 형성된 척;

   상기 척의 삽입홀에 삽입되고, 그 하부에는 확장된 직경을 갖는 원통형의 삽입부가 형성된 웨이퍼핀; 및

   상기 척의 하부에 설치되고, 각각의 상기 웨이퍼핀의 삽입부가 미끄러져 삽입되는 삽입홈이 형성되어 있으며, 상기 웨이퍼핀을 수용하여 승하강함으로써 상기 웨이퍼를 상기 척에 안착 및 이격시키는 핀플레이트;

   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 식각설비의 척조립체.