KR20070049842A - 반도체 제조설비의 설비점검용 지그 - Google Patents

반도체 제조설비의 설비점검용 지그 Download PDF

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Abstract

반도체 제조설비의 설비점검용 지그는 지지부재와, 지지부재에 고정되어 설치되는 승강부 및 승강부에 승강 가능하게 결합하며, 반도체 제조설비의 벨로우즈의 하단부를 지지하는 승강부재를 포함한다. 승강부를 갖는 설비점검용 지그를 통하여, 설비점검을 수행하는 경우 작업자가 지그의 높이를 조절하여 편리하게 설비점검을 수행할 수 있고, 벨로우즈를 고정시킨 후 설비점검을 수행함에 따라 벨로우즈가 찢어지거나 파손되는 것을 방지한다.

Description

반도체 제조설비의 설비점검용 지그{jig for preventive maintenace of semiconductor manufacturing equipment}
도 1은 종래기술에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그가 사용되는 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 나타내는 측면도이다.
**도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명**
210 : 지지부재 212 : 결합부
220 : 승강부 221 : 가이드 바
222 : 슬라이딩 부재 223 : 고정부재
230 : 승강부재 232 : 체결부
본 발명은 반도체 제조설비의 설비점검용 지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 지그의 높이조정이 가능한 반도체 제조설비의 설비점검용 지그에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 사진, 식각, 확산, 증착, 세정 등의 다양한 공정을 거쳐 제조된다.
그 중에서 증착공정의 박막 증착 방법은 화학 기상 증착법, 원자층 증착법 등 여러 방식이 있다. 이 중 원자층 증착법의 경우 불순물의 유입을 최대한 억제하고 균일한 두께의 조절의 박막을 증착하기 위해 많이 사용된다.
이러한 공정에 사용되는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition:ALD)설비는 다음과 같이 구성된다.
도 1은 종래기술에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그가 사용되는 원자층 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 원자층 증착 장치(100)는 반응챔버(110)와, 내부에 웨이퍼가 놓여지는 하부블록(120)과, 하부블럭(120)의 상부에 위치하는 상부블록(130)과, 하부블록(120)를 승강시키는 구동유닛(140)을 포함한다.
반응챔버(110)는 내부에 상부블록(130)과 하부블록(120)이 마련되고 하부에 구동유닛(140)과 결합한다.
하부블록(120)은 구동유닛(140)에 의해 웨이퍼상에 박막을 증착하는 단계에서는 상부블록(130)에 밀착되고, 웨이퍼에 플라즈마를 처리하는 단계에서는 상부블 록(130)으로부터 떨어진다.
상부블록(130)의 측면에는 반응가스 공급라인(131)이 연결되어, 박막을 증착하는 단계에서 반응가스는 공급라인(131)을 통하여 공급된다. 또한 플라즈마를 처리하는 단게에서 플라즈마 파워를 제공하는 에너지 공급부(132)와 웨이퍼 상으로 플라즈마 가스를 공급하는 플라즈마 가스공급라인(133)을 구비한다.
구동유닛(140)은 반응챔버(110)의 내부에 돌출되어 하부블럭(120)의 저면에 결합되며 하부블럭(120)을 승강시키는 구동축(141)과, 구동축(141)을 승강시키는 구동부(142)와, 일단이 반응챔버(110)의 하부에 결합되고 타단이 구동부(142)에 결합되며 내부에 삽입된 구동축(141)을 감싸는 벨로우즈(143)로 구성된다.
벨로우즈(143)는 구동부(142) 및 반응챔버(110)의 하부와 나사결합한다.
그런데, 공정진행 중 설비의 고장으로 인하여 설비가동이 중단되면 가공 중인 웨이퍼가 손상되며 공정 중단으로 인하여 생산성이 저하된다. 따라서, 설비의 구동 중 고장 방지를 위해 정기적으로 검사하여 고장이 발생하기 쉬운 개소를 중심으로 사전에 정비하는 것이 중요하다.
설비를 정기점검(preventive maintenace)할 경우, 벨로우즈와 구동부를 결합하고 있는 나사결합을 해체하고 벨로우즈 하단을 들어올려서 내부의 구동축과 구동부를 점검하게 된다.
작업자가 벨로우즈 하단을 들어올려 내부의 구동축과 구동부를 점검하는 경우 벨로우즈는 탄성을 가진 금속재질로 이루어져, 벨로우즈를 작업자가 들어올린 상태로 벨로우즈 내부를 점검하기 어려운 문제점이 있다.
또한, 벨로우즈를 작업자가 들어올린 상태에서 벨로우즈 내부를 점검하면 벨로우즈가 고정되지 않아 벨로우즈 근처에 설치된 부품들과 부딪쳐 벨로우즈가 찢어지거나 파손되는 문제점이 있다.
그리고, 상기와 같은 문제점들이 발생되어 결국에는 작업손실시간을 증가시켜 제품 생산율을 저하시키고 공수비용을 증대시키는 문제점이 발생한다.
본 발명의 목적은, 지그의 높이조정이 가능한 승강부를 갖는 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그는 지지부재와, 지지부재에 고정되어 설치되는 승강부 및 승강부에 승강 가능하게 결합하며 반도체 제조설비의 벨로우즈의 하단부를 지지하는 승강부재를 포함한다.
상기 승강부는 지지부재의 상방향으로 마련되는 가이드 바와, 가이드 바에 설치되어 가이드 바를 따라서 승강하는 슬라이딩 부재 및 슬라이딩 부재에 결합되어 슬라이딩 부재를 가이드 바에 고정시키는 고정부재를 구비할 수 있다.
상기 지지부재는 일측이 개구된 지지부재 몸체와, 지지부재 몸체의 타측에 지지부재 몸체의 외측에서 가이드 바가 고정되어 결합되는 결합부를 구비할 수 있다.
상기 승강부재는 일측이 개구된 승강부재 몸체와, 승강부재 몸체의 타측에 승강부재가 결합되는 체결부를 구비할 수 있다.
본 발명을 설명함에 있어서, 정의되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의 내려진 것으로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 아니 될 것이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명 반도체 제조설비의 설비점검용 지그의 바람직한 일실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 반도체 제조설비의 설비점검용 지그(200)는 지지부재(210)와, 지지부재(210)에 고정되어 설치되는 승강부(220), 및 승강부(220)에 결합하여 승강하는 승강부재(230)를 포함한다.
지지부재(210)는 지지부재 몸체(211)와, 지지부재 몸체(211)의 외측에서 승강부(220)와 결합하는 결합부(212)를 구비한다.
지지부재 몸체(211)는 일측이 개구되며, 중공을 가진 원형링 형상의 몸체 일 수 있다. 지지부재 몸체(211)는 상기 승강부(220)를 지지하며, 받침대 역할을 한다.
결합부(212)에는 승강부(220)가 고정 결합되는 결합홈(213)이 형성된다. 결합홈(213)에는 승강부(220)와 결합되도록 체결구조가 형성된다. 체결구조는 나사구조일 수 있다.
승강부(220)는 결합홈(213)에 고정 결합되는 가이드 바(221)와, 가이드 바(221)에 설치되어 승강하는 슬라이딩 부재(222) 및 슬라이딩 부재(222)를 가이드 바(221)의 일정위치에 고정시키는 고정부재(223)를 구비한다.
가이드 바(221)는 LM가이드 레일일 수 있다. 가이드 바(221)의 일단에는 결합홈(213)과 고정 결합되도록 체결구조가 형성된다. 체결구조는 나사구조일 수 있다. 또한 가이드 바(221)의 타단에는 슬라이딩 부재(222)의 이탈을 방지하기 위하여 걸림부(226)가 형성된다.
슬라이딩 부재(222)는 LM가이드 블럭일 수 있다. 슬라이딩 부재(222)에는 승강부재(230)가 결합되도록 체결홈(224)이 형성된다. 또한 고정부재(223)가 결합하는 고정홈(225)이 형성된다. 슬라이딩 부재(222)는 가이드 바(221)를 따라서 승강하며, 고정부재(223)는 고정홈(225)에 결합되어 슬라이딩 부재(222)를 일정위치에 고정시킨다.
승강부재(230)는 승강부재 몸체(231)와 승강부재 몸체(231)의 외측에 승강부재 몸체(232)에 수직방향으로 마련되는 체결부(232)를 구비한다.
승강부재 몸체(231)는 일측이 개구되며, 중공을 가진 원형링 형상의 몸체 일 수 있다. 승강부재 몸체(231)는 벨로우즈(도 4의 143)의 하단부를 지지한다.
체결부(232)에는 체결홈(224)과 대응되는 위치에 체결홀(233)이 형성된다. 승강부재(230)와 슬라이딩 부재(222)는 체결홀(233)을 관통하여 체결홈(224)과 결합하는 체결부재(234)에 의해 결합된다. 승강부재(230)는 슬라이딩 부재(222)가 승강함에 따라 승강하게 된다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 설비점검용 지그를 나타내는 측면도이다.
이하에서는 도 4를 참조하여, 본 발명 반도체 제조설비의 설비점검용 지그의 동작을 설명하면 다음과 같다.
설비를 정기점검할 경우, 작업자는 벨로우즈(143) 하단부와 구동부(142)의 나사결합을 해체한다. 나사결합을 해체한 후 벨로우즈(143)를 구동부(142)와 이격시킨다. 작업자는 이격된 벨로우즈(143)와 구동부(142) 사이의 공간에 지그(200)를 삽입한다. 이때 지그(200)는 지지부재(210)와 승강부재(230)가 접촉한 상태이며, 벨로우즈(143)의 하단부는 승강부재 몸체(231)에 지지된다. 또한, 구동축(141)은 지지부재(210)와 승강부재(230)의 개구된 중공에 위치한다.
작업자는 벨로우즈(143)의 하단부를 지지하는 승강부재(230)를 지지부재(210)로부터 이격시킨다. 승강부재(230)는 승강부재(230)와 결합한 슬라이딩 부재(222)가 가이드 바(221)를 따라서 이동함에 따라 지지부재(210)로부터 이격된다.
작업자는 벨로우즈(143)의 하단부를 지지하는 승강부재(230)를 고정시키기 위하여 슬라이딩 부재(222)에 고정부재(223)를 결합한다. 벨로우즈(143)는 반도체 제조설비의 설비점검용 지그(200)에 의하여 고정되고 작업자는 편리하게 설비점검을 수행할 수 있다.
상기한 바와 같이, 반도체 제조설비의 설비점검용 지그(200)을 통하여 작업자가 설비점검을 원활히 수행할 수 있고, 반도체 제조설비의 설비점검용 지그(200)의 높이 조절이 가능하여 작업자가 원하는 위치에 벨로우즈(143)를 고정시킨 후 설 비점검을 수행함으로써 작업자가 편리하게 설비점검을 수행할 수 있다. 또한 벨로우즈(143)를 반도체 제조설비의 설비점검용 지그(200)에 의해 고정된 상태로 승강시켜 벨로우즈(143)가 근처에 설치된 부품들과 부딪쳐 찢어지거나 파손되는 문제를 방지할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술 되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있을 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따르면 승강부를 갖는 설비점검용 지그를 통하여 설비점검을 수행하는 경우 작업자가 지그의 높이를 조절하여 편리하게 설비점검을 수행할 수 있고, 벨로우즈를 고정시킨 후 설비점검을 수행함에 따라 벨로우즈가 찢어지거나 파손되는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 지지부재;
    상기 지지부재에 고정되어 설치되는 승강부; 및
    상기 승강부에 승강 가능하게 결합하며, 반도체 제조설비의 벨로우즈의 하단부를 지지하는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 설비점검용 지그.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 승강부는
    상기 지지부재의 상방향으로 마련되는 가이드 바;
    상기 가이드 바에 설치되어, 상기 가이드 바를 따라서 승강하는 슬라이딩 부재; 및
    상기 슬라이딩 부재에 결합되어 상기 슬라이딩 부재를 상기 가이드 바에 고정시키는 고정부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 설비점검용 지그.
  3. 제 2항에 있어서, 지지부재는
    일측이 개구된 지지부재 몸체와, 상기 지지부재 몸체의 타측에 상기 지지부재 몸체의 외측에서 상기 가이드 바가 고정되어 결합되는 결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 설비점검용 지그.
  4. 제 2항에 있어서, 승강부재는
    일측이 개구된 승강부재 몸체와, 상기 승강부재 몸체의 타측에 상기 승강부재가 결합되는 체결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 설비점검용 지그.
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