KR980012226A - 반도체소자 제조용 로봇 암(robot arm) - Google Patents

Abstract

반도체소자 제조용 로봇 암을 개시하고 있다. 이는, 제1 지지부 및 상기 제1 지지부와 소정간격 분리되어 있는 제2 지지부가 형성된 단부를 포함하는 로봇 암에 있어서, 상기 로봇 암의 단부의 폭을 다른 부위의 폭보다 크게하여 제1 지지부와 제2 지지부의 폭을 넓힌 것을 특징으로 한다. 따라서, 웨이퍼 이송시 텅스텐 핀이 부러지는 것을 감소시킬 수 있으며, 정전기 발생을 방지할 수 있다.

Description

반도체소자 제조용 로봇 암(robot arm)

본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 이동에 사용되는 로봇 암(robot arm)에 관한 것이다. 웨이퍼를 챔버 내로 이송시키거나 챔버로부터 외부로 이송시키고자 하는 경우 일반적으로 사용되는 웨이퍼 이송장치는 로봇 암이다. 로봇 암에 의해 웨이퍼가 이송되는 방법을 간단히 살펴보면, 먼저 서셉터(susceptor)에 장착되어 있는 웨이퍼가 서셉터를 관통하는 텅스텐 핀(pin)에 의해 들어올려지고, 들어올려진 웨이퍼와 서셉터 사이에 로봇 암이 끼워진 후, 웨이퍼는 로봇 암 위에 놓이게 된다. 이때, 종래의 로봇 암에 의해 핀이 부러지는 경우가 빈번하게 발생하였다.

도 1은 종래 로봇 암을 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 로봇 암은 통상 알루미늄 재질로 되어 있으며, 그 단부가 소정의 간격(s1)으로 분리 되어 제1 지지부(1)와 제2 지지부(3)로 나뉘어 있다. 이는, 웨이퍼를 들어올리기 위해 로봇 암이 웨이퍼와 서셉터 사이에 끼워질 때, 로봇 암과 웨이퍼를 들어올리고 있는 핀이 서로 부딪히지 않도록 하기 위함이다.

그러나, 종래의 로봇 암은 일자형으로 만들어지고 웨이퍼를 들어올리기 위해서는 일정 폭 이상으로 만들어져야 하기 때문에, 로봇 암 단부에 만들어질 수 있는 상기 분리 간격(s10에는 한계가 있으며, 통상적으로 핀의 두께에 약간의 여유를 두고 만들어진다. 따라서 장비 오차가 발생하는 경우, 웨이퍼를 받쳐주는 텅스텐 핀과 상기 로봇 암의 제1 지지부(1) 또는 제2 지지부(3)가 부딪혀 텅스텐 핀이 부러지는 경우가 자주 발생되었다.

따라서, 본 발명 텅스텐 핀의 부러짐이 방지되고, 정전기 및 휘어짐 발생이 방지된 로봇 암을 제공하는 것이다.

제1도는 종래 로봇 암을 개략적으로 도시한 평면도이다.

제2도는 본 발명에 따른 로봇 암을 개략적으로 도시한 평면도이다.

상기 달성하기 위하여 본 발명은, 제1 지지부 및 상기 제1 지지부와 소정간격 분리되어 있는 제2 지지부가 형성된 단부를 포함하는 로봇 암에 있어서, 상기 로봇 암의 단부의 폭을 다른 부위의 폭보다 크게하여 제1 지지부와 제2 지지부의 폭을 넓힌 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 로봇 암을 제공한다. 여기에서, 상기 로봇 암은 세라믹으로 제조되고, 상기 제1 지지부와 제2 지지부는 20∼40㎜의 간격으로 분리되어 있는 것이 바람직하다. 따라서, 웨이퍼 이송시 텅스텐 핀이 부러지는 것을 감소시킬 수 있으며, 정전기 발생을 방지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 2는 본 발명에 따른 로봇 암을 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 로봇 암은 그 단부가 소정의 간격(s2)으로 분리되어 제1 지지부(10)와 제2 지지부(12)로 나뉘어져 있다. 여기에서 종래와는 달리 로봇 암의 단부는 그 폭이 일자형의 폭보다 넓게 만들어져 있으며, 따라서 제1 및 제2 지지부(10 및 12)의 폭이 종래와 동일한 경우, 제1 지지부(10)와 제2 지지부(12)사이의 간격(s2)은 종래보다 크게 된다.

또한, 본 발명에 따른 로봇 암은 알루미늄 대신 세라믹을 사용하였다. 따라서, 종래 발생되던 정전기를 방지할 수 있다.

상기와 같이 본 발명에 따르면, 제1 지지부 및 상기 제1 지지부와 소정간격 분리되어 있는 제2 지지부를 포함하는 로봇 암 단부의 폭을 일자형 로봇 암의 폭보다 크게하여 소정간격을 종래보다 넓힘으로써, 웨이퍼 이송시 텅스텐 핀이 부러지는 것을 감소시킬 수 있으며, 세라믹으로 제조함으로써 정전기 발생을 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 제1지지부 및 상기 제1지지부와 소정간격 분리되어 있는 제2지지부가 형성된 단부를 포함하는 로봇 암에 있어서, 상기 로봇 암의 단부의 폭을 다른 부위의 폭보다 크게하여 제1지지부와 제2지지부의 폭을 넓힌 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 로봇 암.
2. 제1항에 있어서, 상기 로봇 암은 세라믹으로 제조된 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 로봇 암.
3. 제1항에 있어서, 상기 제1지지부와 제2지지부는 20∼40㎜의 간격으로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 로봇 암.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임