KR200205147Y1 - 반도체웨이퍼용티이저 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼용 티이저(TWEEZER)에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저는 적재위치조정이 용이하지 않아 카세트에 반도체 웨이퍼를 적재하는 것이 용이하지 못하였고, 또 상기 티이저의 몸체에 상기 반도체 웨이퍼의 중심부가 위치하지 않게 됨과 아울러 그 몸체에 형성되어 있는 진공홈에 진공이 완벽하게 작용하지 않게 되면 이송중에 상기 몸체에 고정된 상기 반도체 웨이퍼가 이탈하게 되어 그 반도체 웨이퍼가 파손되는 문제점을 초래하였다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저는 상기 몸체에 상기 반도체 웨이퍼의 일단부를 지지할 수 있도록 걸림턱을 형성하므로써, 상기 카세트에 적재된 반도체 웨이퍼의 적재위치가 항상 일정하게 되어 상기 반도체 웨이퍼를 적재하기 용이하게 되고, 또 상기 반도체 웨이퍼를 이송중에 상기 몸체에 작용시킨 진공이 완벽하지 못하더라도 상기 걸림턱이 상기 반도체 웨이퍼를 지지하게 되어 상기 티이저에서 그 반도체 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지함과 더불어 상기 반도체 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼용 티이저{TWEEZER FOR SEMICONDUCTOR WAFER}

본 고안은 반도체 웨이퍼용 티이저(TWEEZER)에 관한 것으로, 특히 진공홈이 형성된 몸체에 반도체 웨이퍼의 일단부를 지지할 수 있는 걸림턱을 형성하여 상기 반도체 웨이퍼가 장착되는 카세트에 용이하게 적재함과 아울러 상기 적재위치조정이 용이하고, 또 상기 반도체 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼용 티이저에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼는 여러공정을 진행하기 위하여 다수의 상기 반도체 웨이퍼가 장착된 카세트에서 픽업하게 되는데, 이때 사용하는 도구의 하나가 티이저이다.

상기 티이저(1)는 상기 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 이송할 상기 반도체 웨이퍼(w)가 위치할 수 있도록 소정의 폭과 길이 및 두께를 갖는 몸체(1a)가 형성되어 있고, 그 몸체(1a)에는 상기 반도체 웨이퍼(w)에 진공을 걸어 그 반도체 웨이퍼(w)를 잡아줄 수 있도록 하는 진공홈(1b)이 형성되어 있으며, 또 상기 몸체(1a)의 일 측에는 상기 진공홈(1b)과 연결된 진공라인(1c)이 있는 연장부(1d)가 형성되어 있다.

상기와 같이 형성된 티이저(1)는, 상기 카세트에 장착되어 있는 반도체 웨이퍼(w)의 저면에 슬라이딩하여 상기 몸체(1a)가 위치함과 아울러 그 몸체(1a)에 형성되어 있는 진공홈(1b)에 진공을 작용시키게 되면 상기 반도체 웨이퍼(w)는 상기 몸체(1a)에 고정되게 된다.

이와 같은 상태에서 상기 티이저의 몸체(1a)에 고정된 반도체 웨이퍼(w)는 계속적인 공정을 진행하기 위해서 이송할 수 있게 되고, 이송된 위치에서 상기 티이저(1)가 위치하게 됨과 아울러 상기 진공홈(1b)에 작용시킨 진공을 제거하게 되면 상기 티이저의 몸체(1a)에 고정된 상기 반도체 웨이퍼(w)는 그 몸체(1a)에서 이탈할 수 있게 되어 다른 상기 카세트에 적재할 수 있게 되는 것이다.

그러나, 상기와 같이 형성된 반도체 웨이퍼용 티이저는 적재위치조정이 용이하지 않아 상기 카세트에 상기 반도체 웨이퍼를 적재하는 것이 용이하지 못하였고, 또 상기 티이저의 몸체에 상기 반도체 웨이퍼의 중심부가 위치하지 않게 됨과 아울러 그 몸체에 형성되어 있는 진공홈에 진공이 완벽하게 작용하지 않게 되면 이송중에 상기 몸체에 고정된 상기 반도체 웨이퍼가 이탈하게 되어 그 반도체 웨이퍼가 파손되는 문제점을 초래하였다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 카세트에 적재되는 상기 반도체 웨이퍼의 적재위치조정을 용이하게 조절함과 아울러 상기 카세트에 상기 반도체 웨이퍼를 용이하게 적재하고, 또 이송중에 상기 반도체 웨이퍼의 이탈을 방지하여 그 반도체 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼용 티이저를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 개략적인 구조를 보인 평면도.

도 2는 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 개략적인 구조를 보인 측면도.

도 3은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 개략적인 구조를 보인 평면도.

도 4는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 개략적인 구조를 보인 측면도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 **

11 : 티이저 11a : 몸체

11b : 진공홈 11e : 삽입지지홈

11f : 걸림턱 w : 반도체 웨이퍼

본 고안의 목적은 진공을 작용시켜 반도체 웨이퍼의 저면을 고정할 수 있도록 진공홈이 형성된 몸체와, 그 몸체에 고정된 상기 반도체 웨이퍼의 일단부이 삽입 지지되는 삽입지지홈이 형성된 걸림턱과, 상기 몸체에 형성된 진공홈과 연결 형성된 진공라인을 갖는 연장부가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 티이저에 의하여 달성된다.

다음은, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 3은 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 개략적인 구조를 보인 평면도이고, 도 4는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저의 개략적인 구조를 보인 측면도이다.

본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 티이저(11)는 상기 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 이송할 상기 반도체 웨이퍼(w)가 위치할 수 있도록 소정의 폭과 길이 및 두께를 갖는 몸체(11a)가 형성되어 있고, 그 몸체(11a)에는 상기 반도체 웨이퍼(w)에 진공을 작용시켜 그 반도체 웨이퍼(w)를 잡아줄 수 있도록 하는 진공홈(11b)이 형성되어 있으며, 또 상기 몸체(11a)의 일 측에는 상기 진공홈(11b)과 연결된 진공라인(11c)이 있는 연장부(11d)가 형성되어 있고, 그 연장부(11d)가 시작되는 상기 몸체(11a)의 상부에는 상기 반도체 웨이퍼(w)의 두께를 갖는 삽입지지홈(11e)이 형성된 걸림턱(11f)이 형성되어 있다.

상기와 같이 형성된 반도체 웨이퍼용 티이저(11)는 먼저, 상기 카세트에 적재된 반도체 웨이퍼(w)의 저부로 상기 티이저의 몸체(11a)가 슬라이딩함과 아울러 상기 반도체 웨이퍼(w)의 일단부가 상기 걸림턱(11f)의 삽입지지홈(11e)에 위치하게 되어 그 반도체 웨이퍼(w)의 일단부는 지지되고, 이와 같은 상태에서 상기 몸체(11a)에 형성되어 있는 진공홈(11b)에 진공을 작용시키게 되면 상기 반도체 웨이퍼(w)는 완전하게 그 몸체(11a)에 고정되게 된다.

상기와 같이 고정된 상기 반도체 웨이퍼(w)는 계속적인 공정을 진행하기 위해서 이송할 수 있게 되고, 이송된 위치에서 상기 티이저(11)가 위치하게 됨과 아울러 상기 진공홈(11b)에 작용시킨 진공을 제거하게 되면 상기 티이저의 몸체(11a)에 고정된 상기 반도체 웨이퍼(w)는 그 몸체(11a)에서 이탈할 수 있게 되어 다른 상기 카세트에 적재할 수 있게 되는 것이다.

상기와 같이 몸체에 상기 반도체 웨이퍼의 일단부를 지지할 수 있도록 걸림턱을 형성하므로써, 상기 카세트에 적재된 반도체 웨이퍼의 적재위치가 항상 일정하게 되어 상기 반도체 웨이퍼를 적재하기 용이하게 되고, 또 상기 반도체 웨이퍼를 이송중에 상기 몸체에 작용시킨 진공이 완벽하지 못하더라도 상기 걸림턱이 상기 반도체 웨이퍼를 지지하게 되어 상기 티이저에서 그 반도체 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지함과 더불어 상기 반도체 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

Claims (1)

1. 진공을 작용시켜 반도체 웨이퍼의 저면을 고정할 수 있도록 진공홈이 형성된 몸체와, 그 몸체에 고정된 상기 반도체 웨이퍼의 일단부이 삽입 지지되는 삽입지지홈이 형성된 걸림턱과, 상기 몸체에 형성된 진공홈과 연결 형성된 진공라인을 갖는 연장부가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 티이저.