KR200233842Y1 - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조공정시 사용되는 웨이퍼 캐리어(Carrier)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 적재되는 웨이퍼의 싸이즈(Size)에 구애받지 알고 캐리어의 외측 싸이즈를 동일하게 제작하여 캐리어가 장착되는 장비를 개조하지 않고도 공용으로 사용할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 수납되는 웨이퍼의 규격에 관계없이 동일한 외측 싸이즈를 갖는 본체와; 상기 본체의 내부에 수납되는 복수개의 웨이퍼가 서로 접촉되지 않도록 하는 복수개의 안내홈과; 상기 웨이퍼의 가장자리와 접속되며 웨이퍼 규격에 상응하는 돌출길이를 갖는 복수개의 돌기;를 포함한 웨이퍼 캐리어가 제공된다.

Description

웨이퍼 캐리어

제1도는 종래의 웨이퍼 캐리어를 나타낸 종단면도.

제2도는 본 고안을 나타낸 웨이퍼 캐리어의 종단면도로써,

(a)는 5"용 캐리어를 나타낸 상태도.

(b)는 6"용 캐리어를 나타낸 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 본체 2 : 웨이퍼

4 : 돌기

본 고안은 반도체 제조공정시 사용되는 웨이퍼 캐리어(Carrier)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 적재되는 웨이퍼의 싸이즈(Size)에 구애받지 않고 캐리어의 외측 싸이즈를 동일하게 제작하여 캐리어가 장착되는 장비를 개조하지 않고도 공용으로 사용할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 캐리어는 웨이퍼를 담은 상태에서 화학용액 등 모든 액체를 이용하는 모든 제조공정에 사용된다.

즉 식각이나, 세정 등을 행할 때 웨이퍼를 캐리어에 담아 공정에 투입하는 것으로써, 재질은 통상 고온공정을 고려하여 400℃까지 견디는 내열성재질인 테프론으로 제작된다.

첨부도면 제1도는 종래의 웨이퍼 캐리어를 나타낸 종단면도로써, 캐리어본체(1)의 내부에 웨이퍼(2)가 담겨져 지지되는 안내홈이 형성되어 있어 상기 안내홈(3)에 웨이퍼(2)를 차례로 적재하여 상기 캐리어 본체(1)를 장비(도시는 생략함)내에 장착하게 된다.

그러나 종래의 캐리어 본체(1)의 외경 싸이즈가 상기 본체에 담겨지는 웨이퍼(2)의 싸이즈(4",5",6",8")에 따라 각각 다르게 형성되어 있기 때문에 상기 캐리어가 장착되는 습식장비 또는 스핀드라이어와 같은 장비도 웨이퍼의 규격에 따라 캐리어의 장착부위 싸이즈를 달리 구성하여야 되었으므로 캐리어가 장착되는 장비의 호환성이 없었다.

또한, 웨이퍼(2)가 캐리어 본체(1)에 담겨진 상태에서는 웨이퍼의 가장자리가 안내홈(3)과 비교적 많이 접속되므로 접속된 부위의 세정효율이 저하됨은 물론 세정완료후 건조시에도 물의 표면장력에 의해 웨이퍼(2)와 안내홈(3)의 접속부위가 완전히 건조되지 않고 워터마크(Water mark)가 남게 되는 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 개선하여 담겨지는 웨이퍼의 규격에 구애받지 않고 캐리어 본체를 모든 장비에 장착할 수 있도록 함과 동시에 웨이퍼의 가장자리와 캐리어 본체와의 접속면적을 최소화할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 수납되는 웨이퍼의 규격에 관계없이 동일한 외측 싸이즈를 갖는 본체와; 상기 본체의 내부에 수납되는 복수개의 웨이퍼들이 서로 접촉되지 않도록 하는 복수개의 안내홈과; 상기 웨이퍼의 가장자리와 접속되며 웨이퍼 규격에 상응하는 돌출길이를 갖는 복수개의 돌기; 를 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어가 제공된다.

이하 본 고안을 실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본 고안을 나타낸 웨이퍼 캐리어의 종단면도로써, 본 고안은 담겨지는 웨이퍼(2)의 규격에 관계없이 본체의 외측 싸이즈(L,H)가 동일하게 형성되게 있고, 상기 본체의 내부에는 복수의 웨이퍼가 분리 수납되도록 구분짓는 안내홈(3)과, 웨이퍼(2)의 가장자리가 접속되는 복수개의 돌기(4)가 형성되어 있다.

상기 돌기(4)의 크기는 담겨지는 웨이퍼(2)의 규격(지름)에 따라 각각 다르게 형성된다. 또한, 웨이퍼 수납의 편의성을 위해 돌기와 웨이퍼가 정확히 일치하여 발생할 수 있는 웨이퍼를 넣고 빼는 어려움을 방지하도록 돌기와 웨이퍼간에 약간의 여유간격을 형성함도 바람직하다.

즉, 담겨지는 웨이퍼(2)의 지름이 크면 돌기(4)는 작게 형성되고, 이와는 반대로 웨이퍼(2)의 지름이 작으면 돌기(4)는 크게 형성된다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 공정을 진행하기 위한 웨이퍼(2)를 캐리어 본체(1)에 형성된 공간부(5)내의 안내홈(3)에 끼우면 상기 웨이퍼의 가장자리가 본체(1)의 내부에 형성된 돌기(4)에 접속되어 지지되므로 이들의 접속면적이 최소화된다.

상기한 바와 같은 상태에서 에칭공정을 수행하면 웨이퍼(2)의 가장자리와 돌기(4)의 접속면적이 최소화되어 있으므로 에칭이 불균일하게 되는 현상을 줄일수 있게 된다

또한, 세정공정시에도 물(순수)방울들이 표면장력에 의해 건조가 되지 않는 현상을 미연에 방지하게 된다.

한편, 5" 웨이퍼를 제조하다가 6" 웨이퍼를 제조하고자 할 경우에는 5" 웨이퍼용 캐리어 본체를 장비에서 분리시킴과 동시에 5" 웨이퍼가 담겨지던 본체의 돌기보다 작은 돌기가 형성된 본체를 사용하므로써 장비의 구조변경없이도 계속적인 공정의 진행이 가능해지게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 웨이퍼가 담겨지는 캐리어 본체의 구조를 변경하여 담겨지는 웨이퍼의 싸이즈에 구애받지 않고 모든 장비에 적용할 수 있게 되므로 장비의 공용화가 가능해지게 되고, 이에 따라 생산성이 향상됨은 물론 웨이퍼의 가장자리와 본체와의 접속면적이 최소화되므로 공정진행시 파티클(Particle)의 발생이 최소화되며, 워터 마크 등이 생기는 현상을 미연에 방지하게 된다.

Claims (1)

1. 수납되는 웨이퍼의 규격에 관계없이 동일한 외측 싸이즈를 갖는 본체와; 상기 본체의 내부에 수납되는 복수개의 웨이퍼들이 서로 접촉되지 않도록 하는 복수개의 안내홈과; 상기 웨이퍼의 가장자리와 접속되며 웨이퍼 규격에 상응하는 돌출길이를 갖는 복수개의 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.