KR100697266B1 - 이송 로봇의 척 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼의 습식 식각 설비에서 사용되는 웨이퍼 이송 로봇의 척을 세정하기 위한 장치에 관한 것으로, 본 장치는 이송 로봇의 척이 삽입될 수 있도록 상면이 개방된 용기와, 용기의 상단에 설치되는 그리고 용기 내부로 들어온 이송 로봇의 척에 퍼지 가스를 분사하기 위한 제 1 노즐과, 제 1 노즐보다 아래에 위치되도록 용기에 설치되는 그리고 이송 로봇의 척에 세정액을 분사하기 위한 제 2 노즐과, 용기 하단에 설치되고, 이송 로봇의 척이 내부에 위치될 수 있도록 척 삽입을 위한 오프닝을 가지며, 오프닝을 통해 삽입된 척을 건조시키기 위한 고온의 챔버 및 용기의 측면에 설치되어, 챔버에서 발생되어 상승하는 열을 용기 상부로 유출시키기 않고 배기 덕트로 강제 배기 시키기 위한 배기구를 구비한다.

Description

이송 로봇의 척 세정장치{A CHUCK CLEANING APPARATUS FOR TRANSFER ROBOT}
도 1은 종래 로봇 척의 세정장치를 보여주는 도면;
도 2는 본 발명에 따른 로봇 척의 세정장치를 보여주는 도면;
도 3은 도 2에서 로봇 척의 세정 과정을 설명하기 위한 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 용기 20 : 제 1 노즐
30 : 제 2 노즐 40 : 챔버
42 : 오프닝 50 : 히터
60 : 배기구 70 : 퍼지가스 공급라인
250 : 이송 로봇 252 : 로봇 척
본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 습식 식각 설비에서 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 이송 로봇의 척 세정장치에 관한 것이다.
현재 사용되고 있는 습식 식각 장비에는 웨이퍼와 웨이퍼에 형성된 막질 및 감광액 등을 크리닝, 식각, 스트립 하기 위한 여러 종류의 화학 용액과 초순수가 사용된다.
이러한 습식 식각 장비의 공정조(처리조)로는 웨이퍼를 에칭 또는 크리닝 하기 위한 약액 배스(chemical bath)및 초순수 린스 배스(DIW rinse bath)가 있으며, 습식 식각 설비에서는 웨이퍼를 이들 공정조에 담그기 위하여 이송 로봇이 사용된다. 이러한 용도로 사용되는 이송 로봇(250)은 주기적으로 로봇 척(252)에 묻어 있는 약액(불순물)을 제거하는 세정 공정을 거치게 된다. 도 1에는 습식 식각 설비의 이송 로봇를 세정하기 위한 장치(200)가 도시되어 있다. 도 1에서 보여주는 바와 같이, 세정 장치(200)에서는 로봇 척(252)이 용기(210)상에서 상하 이동될 때, 용기에 설치된 제 1 노즐(220)에서 초순수를 분사하여 세정하고, 용기 상부에 설치된 제 2 노즐(230)에서 질소가스를 분사하여 로봇 척(252)에 묻은 초순수를 제거하게 된다.
그러나, 이러한 종래 이송 로봇의 척 세정 장치(200)에서는 로봇 척(252)에 묻은 세정액(특히, 척의 하단부분 묻은 세정액)을 완벽하게 제거하지 못하고 있다. 따라서, 세정액이 남아 있는 상태에서, 로봇 척(252)이 웨이퍼를 척킹하거나 이동하며, 로봇 척(252)에 남아 있는 세정액이 웨이퍼와 그 주변을 오염시키고, 캐리어(carrier)에 떨어져서 후속공정의 웨이퍼 및 설비를 오염시키는 악영향을 끼치게 된다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 로 봇 척에 잔존하는 세정액을 완전히 제거할 수 있는 새로운 형태의 이송 로봇의 척 세정장치를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 웨이퍼의 습식 식각 설비에서 사용되는 웨이퍼 이송 로봇의 척을 세정하기 위한 장치는 이송 로봇의 척이 삽입될 수 있도록 상면이 개방된 용기와; 상기 용기의 상단에 설치되는 그리고 상기 용기 내부로 들어온 이송 로봇의 척에 퍼지 가스를 분사하기 위한 제 1 노즐과; 상기 제 1 노즐보다 아래에 위치되도록 상기 용기에 설치되는 그리고 상기 이송 로봇의 척에 세정액을 분사하기 위한 제 2 노즐과; 상기 용기 하단에 설치되고, 상기 이송 로봇의 척이 내부에 위치될 수 있도록 척 삽입을 위한 오프닝을 가지며, 상기 오프닝을 통해 삽입된 척을 건조시키기 위한 고온의 챔버 및; 상기 용기의 측면에 설치되어, 상기 챔버에서 발생되어 상승하는 열을 용기 상부로 유출시키기 않고 배기 덕트로 강제 배기 시키기 위한 배기구를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 챔버의 내부 온도를 높이기 위하여 상기 챔버 내부에 설치되는 히터를 더 포함할 수 있다. 그리고 상기 챔버 내부로 고온의 퍼지 가스를 주입하기 위한 공급 라인을 더 포함할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 2 내지 도 3에 의거하여 상세히 설명한다. 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 이송 로봇의 척 세정장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 3은 도 2에서 이송 로봇의 척 세정을 보여주는 도면이다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 이송 로봇의 척 세정장치(100)는 용기(10), 제 1 노즐(20), 제 2 노즐(30), 챔버(40), 히터(50), 배기구(60) 그리고 퍼지가스 공급 라인(70)을 구비한다. 상기 용기(10)는 이송 로봇(250)의 척이 삽입될 수 있도록 상면이 개방되어 있다. 상기 제 1 노즐(20)은 상기 용기(10)의 상단에 설치된다. 상기 제 2 노즐(30)은 상기 제 1 노즐(20)보다 아래쪽에 위치되도록 상기 용기(10)에 설치된다. 상기 제 1 노즐(20)에서는 상기 용기(10) 내부로 들어온 상기 로봇 척(252)에 퍼지 가스를 분사한다. 그리고 상기 제 2 노즐(30)에서는 상기 용기(10) 내부로 들어온 이송 로봇의 척(252)에 세정액을 분사한다.
한편, 상기 챔버(40)는 상기 용기(10) 하단에 설치되며, 이송 로봇(250)의 척(252)이 내부 공간에 위치될 수 있도록 척 삽입을 위한 오프닝(42)을 가진다. 상기 챔버(40)는 상기 오프닝(42)을 통해 삽입된 로봇 척(252)을 건조시키기 위하여 내부 온도가 높게 설정된다. 상기 챔버(40) 내부의 온도를 높이기 위하여 상기 챔버(40)에는 히터(50)가 설치된다. 그리고, 상기 퍼지 가스 공급 라인(70)은 질소가스를 상기 챔버(40) 내부로 주입하기 위한 것으로, 상기 히터(50)에 의해 가열된 챔버 내부에 열은 상기 퍼지 가스 공급라인(70)을 통해 주입된 질소 가스에 의해 확산된다.
한편, 상기 배기구(60)는 상기 용기(10)의 측면에 설치된다. 상기 용기(10)의 측면에 배기구(60)를 형성한 것은 상기 챔버(40)에서 발생되어 상승하는 열을 설비 외부로 유출시키지 않기 위한 것으로, 상기 챔버(40)에서 발생되어 상승하는 열은 용기(10) 상부로 유출되지 않고 상기 배기구(60)를 통해 배기 덕트로 강제 배기된다.
상술한 바와 같은 세정장치(100)에서의 로봇 척의 세정 작업은 다음과 같이 이루어진다. 먼저, 상기 제 2 노즐(30)에서 크리닝용 초순수를 상기 로봇 척(252)에 분사하여 로봇 척(252)에 묻어 있는 약액을 제거한다. 그리고 제 1 노즐(20)에서 질소 가스를 분사하여 로봇 척(252)에 묻은 초순수를 1차로 떨어뜨린다. 그런 후 상기 로봇 척(252)에 남아 있을 지도 모르는 물기를 완전히 제거하기 위하여 상기 로봇 척(252)을 상기 오프닝(42)을 통해 상기 챔버(40) 내부로 삽입시킨다. 상기 챔버(40)에서는 히터(50)와 질소 가스에 의한 열의 확산을 이용하여 상기 로봇 척(252)에 제거되지 않고 남아있는 물방울을 완전히 건조시키게 된다.
이상에서, 본 발명에 따른 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 로봇 척에 잔존하는 세정액을 완전히 제거함으로써 척에 묻어 있는 세정액에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있다.

Claims (3)

  1. 삭제
  2. 웨이퍼 이송 로봇의 척을 세정하기 위한 장치에 있어서,
    이송 로봇의 척이 삽입될 수 있도록 상면이 개방된 용기;
    상기 용기의 상단에 설치되는 그리고 상기 용기 내부로 들어온 이송 로봇의 척에 퍼지 가스를 분사하기 위한 제1 노즐;
    상기 제1 노즐보다 아래에 위치되도록 상기 용기에 설치되는 그리고 상기 이송 로봇의 척에 세정액을 분사하기 위한 제2 노즐;
    상기 용기 하단에 설치되고, 상기 이송 로봇의 척이 내부에 위치될 수 있도록 척 삽입을 위한 오프닝을 가지며, 상기 오프닝을 통해 삽입된 척을 건조시키기 위한 고온의 챔버;
    상기 용기의 측면에 설치되어, 상기 챔버에서 발생되어 상승하는 열을 용기 상부로 유출시키지 않고 배기 덕트로 강제배기시키기 위한 배기구; 및
    상기 챔버의 내부 온도를 높이기 위하여 상기 챔버 내부에 설치되는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇의 척 세정장치.
  3. 웨이퍼 이송 로봇의 척을 세정하기 위한 장치에 있어서,
    이송 로봇의 척이 삽입될 수 있도록 상면이 개방된 용기;
    상기 용기의 상단에 설치되는 그리고 상기 용기 내부로 들어온 이송 로봇의 척에 퍼지 가스를 분사하기 위한 제1 노즐;
    상기 제1 노즐보다 아래에 위치되도록 상기 용기에 설치되는 그리고 상기 이송 로봇의 척에 세정액을 분사하기 위한 제2 노즐;
    상기 용기 하단에 설치되고, 상기 이송 로봇의 척이 내부에 위치될 수 있도록 척 삽입을 위한 오프닝을 가지며, 상기 오프닝을 통해 삽입된 척을 건조시키기 위한 고온의 챔버;
    상기 용기의 측면에 설치되어, 상기 챔버에서 발생되어 상승하는 열을 용기 상부로 유출시키지 않고 배기 덕트로 강제배기시키기 위한 배기구; 및
    상기 챔버 내부로 고온의 퍼지 가스를 주입하기 위한 공급 라인을 포함하되,
    상기 퍼지 가스는 질소인 것을 특징으로 하는 이송 로봇의 척 세정장치.
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