KR20000028125A - 반도체 소자 제조에 이용되는 웨이퍼 풋셔 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼를 이동시키는 데 사용되는 웨이퍼 풋셔를 개시한다. 상기 웨이퍼 풋셔의 상부 표면이 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하도록 V자형의 홈이 형성되어 있다. 이에 따라, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 웨이퍼의 엣지가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 소자 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자를 제조하는 데 이용되는 웨이퍼 풋셔에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 제조 장치에서 웨이퍼를 이동시킬 때 웨이퍼 풋셔를 이용한다. 여기서, 종래의 웨이퍼 풋셔를 설명한다.
도 1 및 도 2는 각각 종래의 웨이퍼 풋셔의 평면도 및 측면도이다.
구체적으로, 종래의 웨이퍼 풋셔는 주 몸체(1)와, 상기 주 몸체(1)의 상부 표면에 배치형의 웨이퍼를 로딩하기 위한 Y자형 홈(3)을 구비한다. 여기서, Y자형 홈(3)은 배치형의 웨이퍼를 수직으로 유지하기 위하여 형성된 부분이다.
그런데, 종래의 웨이퍼 풋셔는 Y자형 홈(3)에 웨이퍼를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 할 때 핏치(pitch) 및 위치가 조금만 틀어지더라도 웨이퍼의 엣지부가 Y자형 홈(3)에 끼어 손상이 발생한다. 다시 말하면, 종래의 웨이퍼 풋셔는 Y자형 홈(3)이 3∼4mm로 깊어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위하여 상하로 이동하는 동안에 웨이퍼의 엣지 부분에 과도한 부하가 작용하여 웨이퍼의 엣지가 손상되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 웨이퍼 엣지의 손상을 억제할 수 있는 웨이퍼 풋셔를 제공하는 데 있다.
도 1 및 도 2는 각각 종래의 웨이퍼 풋셔의 평면도 및 측면도이다.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명에 의한 웨이퍼 풋셔의 평면도 및 측면도이다.
도 5는 종래 기술 및 본 발명에 의한 웨이퍼 풋셔의 상부 표면의 홈을 비교하여 설명한 도면이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼를 이동시키는 데 사용되는 웨이퍼 풋셔에 있어서, 상기 웨이퍼 풋셔의 상부 표면이 웨이퍼를 손상없이 로딩 및 언로딩하도록 V자형의 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 풋셔를 제공한다.
본 발명의 웨이퍼 풋셔는 상부 표면 홈을 V자형으로 구성함으로써 웨이퍼 로딩 및 언로딩시 웨이퍼의 엣지가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명에 의한 웨이퍼 풋셔의 평면도 및 측면도이다.
구체적으로, 본 발명에 의한 웨이퍼 풋셔는 주 몸체(11)와, 상기 주 몸체(11)의 상부 표면에 배치형의 웨이퍼를 로딩하기 위한 V자형 홈(13)을 구비한다. 여기서, V자형 홈(13)은 배치형의 웨이퍼를 수직으로 유지하기 위하여 형성된 부분이다.
특히, 본 발명의 웨이퍼 풋셔는 상부 표면에 종래와 다르게 V자형 홈(13)이 형성되어 있다. 상기 V자형 홈(13)은 배치형의 웨이퍼 이동시 웨이퍼 풋셔에 웨이퍼의 엣지 부분이 끼어 이로 인해 가해질 수 있는 과부하로 인하여 웨이퍼 엣지가 손상되는 것을 억제할 수 있다.
도 5는 종래 기술 및 본 발명에 의한 웨이퍼 풋셔의 상부 표면의 홈을 비교하여 설명한 도면이다.
구체적으로, 참조번호 a는 종래의 웨이퍼 풋셔의 상부 표면 홈이며, 참조번호 b는 본 발명의 웨이퍼 풋셔의 상부 표면 홈이다. 도 5에서 보듯이, 종래의 상부 표면 홈은 Y자형이며, 본 발명의 상부 표면 홈은 V자형이다. 결과적으로, 본 발명의 웨이퍼 풋셔는 웨이퍼 엣지가 종래와 같이 끼는 것을 방지할 수 있다.
이상, 실시예를 통하여 본 발명을 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식으로 그 변형이나 개량이 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 풋셔는 상부 표면 홈을 V자형으로 구성하여, 웨이퍼 로딩 및 언로딩시 웨이퍼의 엣지가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
Claims (1)
- 웨이퍼를 이동시키는 데 사용되는 웨이퍼 풋셔에 있어서,상기 웨이퍼 풋셔의 상부 표면이 웨이퍼를 손상없이 로딩 및 언로딩하도록 V자형의 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 풋셔.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980046262A KR20000028125A (ko) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | 반도체 소자 제조에 이용되는 웨이퍼 풋셔 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980046262A KR20000028125A (ko) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | 반도체 소자 제조에 이용되는 웨이퍼 풋셔 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000028125A true KR20000028125A (ko) | 2000-05-25 |
Family
ID=19556479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980046262A KR20000028125A (ko) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | 반도체 소자 제조에 이용되는 웨이퍼 풋셔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000028125A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112794053A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-05-14 | 德龙信息技术（苏州）有限公司 | RFID Wafer自动退料装置 |
-
1998
- 1998-10-30 KR KR1019980046262A patent/KR20000028125A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112794053A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-05-14 | 德龙信息技术（苏州）有限公司 | RFID Wafer自动退料装置 |
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