KR20030006222A - 웨이퍼 미끄러짐 방지 장치 - Google Patents

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KR20030006222A
KR20030006222A KR1020010041919A KR20010041919A KR20030006222A KR 20030006222 A KR20030006222 A KR 20030006222A KR 1020010041919 A KR1020010041919 A KR 1020010041919A KR 20010041919 A KR20010041919 A KR 20010041919A KR 20030006222 A KR20030006222 A KR 20030006222A
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Abstract

챔버 내부의 급격한 압력 변화에 따른 웨이퍼의 미끄러짐을 방지한 장치가 제시된다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼를 안착하는 척은 상기 웨이퍼의 직경과 동일한 크기의 둥근 홈을 갖는다.

Description

웨이퍼 미끄러짐 방지 장치{APPARATUS FOR PREVENTING SLIDE OF WAFER}
본 발명은 반도체 웨이퍼 제조 장치에 관한 것으로, 더 자세하게는 챔버 내부의 압력 변화에 따른 웨이퍼의 손상을 방지한 웨이퍼의 미끄러짐 방지 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 제조 공정중 하나인 화학 기상 증착 공정에서 DCS WSi 막질을 형성하는 GENUS 3.9 챔버 내부의 급격한 압력 변화로 인해 웨이퍼의 미끄러짐이 자주 발생되고 있다.
도 1a는 종래의 웨이퍼 척을 보여주는 정면도이다. 도 1a를 참조하여, 상기 척(10) 상면에는 웨이퍼의 움직임을 제한하기 위한 복수 개의 팁들(12)이 부착된다. 도 1b는 상기 도 1a의 평면도를 보여준다. 상기 도 1b를 참조하여, 상기 척의 끝단에는 상기 팁들 위로 안착되는 웨이퍼를 들어올리는 복수 개의 핑거들(14)이 부착된다. 이때 상기 핑거들 각각은 척의 상면과 수평하게 형성된다. 도 1c는 웨이퍼가 안착된 척의 정면도이다. 도 1c를 참조하여, 상기 웨이퍼(16)는 상기 팁들 위에 안착된다. 상기 핑거들 각각은 웨이퍼를 들어올릴 수 있도록 척의 가장자리로부터 웨이퍼가 안착되는 팁들의 위치까지 형성된다. 도 1d는 챔버 내부의 압력 변화로 인해 웨이퍼의 움직임 현상이 발생된 경우를 보여주는 정면도이다. 종래기술에 따르면, 챔버 내부의 공정이 진행되기 전에는 도 1c에 도시된 바와 같이 웨이퍼가 척의 정 중앙에 위치하여 별다른 문제가 발생하지 않는다. 즉, 복수 개의 팁들 위에 안착되는 웨이퍼는 공정 초기에 복수 개의 핑거들 위에 안정적으로 위치한다. 한편, 웨이퍼의 공정이 진행되어 챔버 내부의 압력이 변화하면 웨이퍼의 움직임 현상이 발생한다. 가령, 챔버 내부의 압력이 1200mT에서 0mT로 변화되는 경우 도 1d에 도시된 바와 같이 척의 정 중앙에 위치해 있던 웨이퍼가 핑거로부터 이탈하게된다(18). 이러한 웨이퍼의 이탈은 공정 작업이 완료된 후 로봇을 통해 상기 웨이퍼를 이송할 때 문제가 발생한다. 즉, 이탈된 웨이퍼를 핑거가 들어올리고 로봇이 이를 이송하는 과정에서 웨이퍼가 파손되는 일이 발생한다. 결국, 종래기술에 따르면, 챔버 내부의 급격한 압력 변화로 인해 웨이퍼의 미끄러짐이 발생하여 웨이퍼가 손상되는 단점이 있다.
본 발명의 목적은 챔버 내부의 급격한 압력 변화에 따른 웨이퍼의 미끄러짐을 방지하는 장치를 제공하는 것이다.
도 1a는 종래기술에 따른 웨이퍼 척의 정면도;
도 1b는 도 1a의 평면도;
도 1c는 종래기술에 따른 웨이퍼를 안착한 척의 정면도;
도 1d는 종래기술에 따른 챔버 내부의 압력 변화에 따른 웨이퍼의 위치 상태를 보여주는 정면도;
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 척의 정면도;
도 2b는 도 2a의 평면도; 및
도 2c는 본 발명에 따른 웨이퍼를 안착한 척의 정면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10: 척12: 팁
14,22: 핑거16: 웨이퍼
20: 홈
(구성)
본 발명에 따르면, 척의 내부에 웨이퍼의 직경과 동일한 크기의 홈이 형성되어 챔버 내부의 압력 변화에도 웨이퍼는 핑거로부터 이탈되지 않는다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 장치는 척의 내부에 웨이퍼의 직경과 동일한 크기의 둥근 홈이 형성된 척; 상기 홈의 내부에 부착되어 웨이퍼를 고정하는 복수 개의 팁들 및 상기 척의 끝단으로부터 상기 팁 사이에 형성되어 공정 작업이 완료 후 상기 웨이퍼를 들어올리는 복수 개의 핑거들을 포함한다. 상기 홈은 상기 척의 끝단으로부터 떨어진 소정의 위치에 형성된다. 상기 팁들은 상기 홈의 내부에 일정한 간격을 두고 고정된다. 그리고, 상기 핑거들 각각은 상기 홈의 상면과 수평하게 형성된다.
(작용)
본 발명에 따르면, 웨이퍼를 안착시킬 수 있는 둥근 홈이 척 내부에 형성되어 있어 챔버 내부의 압력이 급격히 변화하더라도 공정 진행 초기에 척의 정 중앙에 위치해 있던 웨이퍼는 홈으로부터 이탈되지 않으며, 더 나아가 핑거들 각각으로부터 이탈되지 않는다. 또한, 핑거들 각각은 상기 홈의 상면과 동일한 높이로 수평하게 설치되므로 공정 작업이 완료된 후 웨이퍼를 안정적으로 들어올릴 수 있다.
(실시예)
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 구체적으로 기술한다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 챔버 내부의 압력 변화로 인해 웨이퍼가 핑거 상부로부터 이탈되는 것을 방지한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼가 안착되는 척의 상면에는 상기 웨이퍼의 직경과 동일한 크기의 둥근 홈이 형성된다. 상기 홈의 내부에는 상기 웨이퍼를 고정시킬 수 있는 복수 개의 팁들이 일정한 간격을 두고 부착된다. 또한, 상기 척의 끝단과 상기 팁들 사이에는 상기 홈의 상면과 수평하게 복수 개의 핑거들이 형성되어 공정 작업이 완료된 후 웨이퍼를 안정적으로 들어올릴 수 있다.
도 2a는 본 발명에 따른 웨이퍼 척의 정면도이다. 도 2a를 참조하여, 본 발명에 따른 척(10)은 웨이퍼의 직경과 동일한 크기의 둥근 홈(20)을 갖는다. 상기 홈은 척의 가장자리로부터 떨어진 소정의 위치에 형성된다. 또한, 척의 상면에 형성되는 홈의 깊이는 웨이퍼를 안착할 시 웨이퍼의 하면이 상기 홈의 가장자리에 걸칠 수 있는 정도이면 충분하다. 도 2b는 상기 도 2a의 평면도이다. 도 2b를 참조하여, 본 발명에 따른 척은 홈의 내부의 상면에 안착되는 웨이퍼를 고정하는 복수 개의 팁들(12)을 더 포함한다. 또한, 본 발명에 따른 척은 상기 척의 끝단과 상기 팁들의 사이에 형성되는 복수 개의 핑거들(22)을 더 포함한다. 이때 복수 개의 핑거들은 상하로 이동 가능하다. 도 2c는 본 발명의 실시예에 따른 척의 상면에 웨이퍼가 안착된 상태를 보여주는 정면도이다. 도 2c를 참조하여, 본 발명에 따른 척에 안착되는 웨이퍼는 척 상면에 일정한 깊이로 형성되는 홈 내부에 위치하게 된다. 안착되는 웨이퍼는 복수 개의 팁들과 직접적으로 접촉된다. 도 2c에는 도시되지 않고 있지만, 척의 끝단과 팁들 사이에는 안착된 웨이퍼를 들어올릴 수 있는 복수 개의 핑거들이 형성된다. 물론, 이때 형성되는 핑거들은 상기 홈의 밑면과 수평하게 형성된다.
요약하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 미끄러짐 방지 장치는 챔버 내부의 급격한 압력 변화로 인해 핑거로부터 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지한다. 좀더 구체적으로는, 기존의 척 상면에 웨이퍼의 직경과 동일한 크기의 둥근 홈을 형성하여 웨이퍼를 상기 홈의 내부에 안착시킨다. 또한, 상기 홈의 내부에는 안착된 홈을 고정시킬 수 있는 복수 개의 팁들이 부착된다. 더 나아가, 상기 홈의 팁들과 척의 가장자리 사이에는 공정 작업이 완료된 후 상기 웨이퍼를 들어올릴 수 있도록 복수 개의 핑거들이 추가로 구비된다. 본 발명에 따르면, 공정 진행 초기에 척의 정 중앙(즉, 홈의 내부)에 안착된 웨이퍼는 진공을 잡아주기 위해 진행되는 챔버 내부의 압력이 급격히 변화하더라도 초기의 위치로부터 일정한 범위를 벗아나지 않는다. 즉, 홈의 끝단에 의해 웨이퍼는 일정하게 지지되기 때문이다. 결국, 웨이퍼는 챔버 내부의 압력이 급격히 변화하더라도 핑거들로부터 이탈되지 않는다.
지금까지 첨부도면에 도시된 실시예를 통해 본 발명을 기술하고 있지만, 본 발명의 기술적 사상은 여기에 한정되지 않는다. 더 나아가, 본 발명은 다양한 수정, 변경 등에 의해 얼마든지 변형 가능하다. 따라서, 청구항에 기재된 발명을 해석함에 있어서는 이러한 다양한 수정, 변경 등을 포함하는 최광의의 개념으로 해석되어야 할 것이다.
본 발명에 따르면, 챔버 내부의 압력이 급격히 변화하더라도 웨이퍼는 일정한 범위 이내에서 이탈하지 않는다. 즉, 핑거 위에 안착된 웨이퍼는 챔버 내부의 압력이 변화하더라도 초기의 위치를 그대로 유지하므로 웨이퍼의 이송에 따른 파손 및 제품의 손실을 방지하는 이점이 있다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼의 직경에 대응하는 크기의 둥근 홈이 형성된 척;
    상기 홈의 내부에 부착되어 상기 웨이퍼를 고정하는 복수 개의 팁들; 및
    상기 척의 끝단에 형성되고 상기 홈에 안착되는 웨이퍼를 들어올리는 복수 개의 핑거들을 포함하는 웨이퍼 미끄러짐 방지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 핑거들 각각은 상기 홈의 끝단과 상기 팁 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 미끄러짐 방지 장치.
KR1020010041919A 2001-07-12 2001-07-12 웨이퍼 미끄러짐 방지 장치 KR20030006222A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100737451B1 (ko) * 2006-02-28 2007-07-10 삼성전자주식회사 웨이퍼 검사장치용 척

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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