KR20060082486A - 기판 냉각 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 냉각 플레이트의 상부면과 기판사이의 진공형성을 방지하여 기판 손상을 예방할 수 있는 기판 냉각 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 냉각 장치는 냉각 플레이트와; 상기 냉각 플레이트로/로부터 기판을 로딩/언로딩시키기 위한 리프트 부재; 상기 냉각 플레이트의 상면에 형성되어 상기 기판과 냉각 플레이트 상면 사이의 공기를 냉각 플레이트의 외곽으로 유도하는 홈을 포함한다.

Description

기판 냉각 장치{wafer cooling apparatus}

도 1은 일반적인 냉각 장치에서 발생되는 문제점들을 보여주는 도면;

도 2는 본 발명의 실시예인 기판 냉각 장치의 사이도;

도 3은 본 발명의 실시예인 기판 냉각 장치의 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

110 : 냉각 플레이트

120 : 리프트 부재

130 : 홈

본 발명은 기판 냉각 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 상부면과 기판사이의 진공형성을 방지하여 기판 손상을 예방할 수 있는 기판 냉각 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하는 공정에서 기판은 열처리 공정을 거치게 되며, 이러한 열처리 공정 이후에는 다음 공정으로 기판 이송을 하기 위해 반드시 가열된 상태의 기판을 별도로 냉각시켜주어야만 한다. 이를 위해서 구비되는 것이 냉각 장 치이다.

도 1의 (a)는 기판이 냉각 장치에 놓여진 상태를 보여준다. 그러나 도 1의 (b) 내지 (d)에서와 같이, 휘어짐(warpage)이 심한 기판(w)이 냉각 플레이트(10)에 놓여지는 경우, 기판의 저면이 냉각 플레이트(10)의 상면에 밀착되면서 내부 진공이 형성되고, 그 상태에서 리프트 핀(14)의 승강되면 기판과 냉각 플레이트 사이의 진공압에 의해 기판이 퉁겨져 나가면서 기판의 위치 불량이 발생되고(도 1의 c), 심한 경우에는 기판 브로킨이 발생된다(도 1의 d).

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 기판과 냉각 플레이트 상면 사이에 진공 형성을 방지하여 기판의 퉁겨짐이나 기판의 파손을 방지할 수 있는 새로운 형태의 기판 냉각 장치를 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 냉각 장치는 냉각 플레이트와; 상기 냉각 플레이트로/로부터 기판을 로딩/언로딩시키기 위한 리프트 부재; 상기 냉각 플레이트의 상면에 형성되어 상기 기판과 냉각 플레이트 상면 사이의 공기를 냉각 플레이트의 외곽으로 유도하는 홈을 포함한다.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 3에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 2는 본 발명의 실시예인 기판 냉각 장치의 사이도이고, 도 3은 본 발명의 실시예인 기판 냉각 장치의 평면도이다.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 냉각 장치는 열처리가 완료된 고온의 기판을 상온으로 냉각시키기 위한 것으로, 상기 기판 냉각 장치(100)는 챔버(미도시됨) 내부에 설치되는 냉각 플레이트(110), 냉각하고자 하는 기판(w)을 상기 냉각 플레이트(110) 상면에 올려놓기 위한 리프트 부재(120) 그리고 상기 냉각 플레이트의 상면에 형성된 홈(130)을 갖는다.

상기 리프트 부재(120)는 냉각 플레이트(110)로부터 승강이 가능하게 구비되므로 가공전의 웨이퍼(w)를 우선 각 리프트 핀(122)의 상단에 안착시킨 뒤 리프트 핀(122)을 하강시켜 냉각 플레이트(110)에 기판이 안착되도록 한다.

한편, 상기 홈(130)은 상기 냉각 플레이트(110) 상부면(112)에 중앙에 원형의 홈(132)과, 이 원형의 홈(132)으로부터 가장자리 방향으로 곧게 방사상으로 뻗은 3개의 직선홈(134)이 네트(net)의 구조로 이루어진다.

이처럼, 본 발명의 기판 냉각 장치는 상기 홈에 의해 기판과 냉각 플레이트 사이에 형성되는 진공을 방지하여 리프트 핀의 승강시 기판이 퉁기는 현상을 방지할 수 있다.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 냉각 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명에 의하면, 기판과 냉각 플레이트 상면 사이에 진공 형성을 방지하여 기판의 퉁겨짐이나 기판의 파손을 방지할 수 있다.

Claims (1)

1. 기판 냉각 장치에 있어서:

   냉각 플레이트와;

   상기 냉각 플레이트로/로부터 기판을 로딩/언로딩시키기 위한 리프트 부재;

   상기 냉각 플레이트의 상면에 형성되어 상기 기판과 냉각 플레이트 상면 사이의 공기를 냉각 플레이트의 외곽으로 유도하는 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 냉각 장치.

Images