JPH07125804A - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
- Publication number
- JPH07125804A JPH07125804A JP16641593A JP16641593A JPH07125804A JP H07125804 A JPH07125804 A JP H07125804A JP 16641593 A JP16641593 A JP 16641593A JP 16641593 A JP16641593 A JP 16641593A JP H07125804 A JPH07125804 A JP H07125804A
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- Japan
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- wafer
- wafer holding
- holding claw
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 移載時におけるパーティクルの発生およびウ
エハの欠損を低減することができるウエハ移載装置を提
供する。 【構成】 ウエハ１３を支持するための溝部１０ａ、１
１ａを有し且つ相対的に開閉自在な一対のウエハ保持爪
１０、１１を備えたウエハ移載装置であって、一方のウ
エハ保持爪１０の溝部１０ａは断面略Ｙ字形に形成さ
れ、他方のウエハ保持爪１１の溝部１１ａは断面略Ｖ字
形に形成されている。
エハの欠損を低減することができるウエハ移載装置を提
供する。 【構成】 ウエハ１３を支持するための溝部１０ａ、１
１ａを有し且つ相対的に開閉自在な一対のウエハ保持爪
１０、１１を備えたウエハ移載装置であって、一方のウ
エハ保持爪１０の溝部１０ａは断面略Ｙ字形に形成さ
れ、他方のウエハ保持爪１１の溝部１１ａは断面略Ｖ字
形に形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、装置内部又は装置間で
ウエハの移し替えを行う際に用いられるウエハ移載装置
に関するものである。
ウエハの移し替えを行う際に用いられるウエハ移載装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、熱拡散装置、ＣＶＤ装置、エッ
チング装置といった各種のウエハ処理装置では、処理装
置へのウエハの供給や、処理装置からのウエハの排出時
に、ウエハ移載装置によってウエハの移し替えが行われ
る。図４は、この種のウエハ移載装置の構成を説明する
図である。図示したウエハ移載装置において、１はステ
ージ、２は可動アーム、３は左右一対の垂下アームであ
り、各々の垂下アーム３の下端部にはウエハ保持爪４が
取り付けられている。これらのウエハ保持爪４は、垂下
アーム３の駆動により相対的に開閉自在に構成されてい
る。また、各々のウエハ保持爪４には、図５に示すよう
に、ウエハを保持するための溝部４ａが所定のピッチで
設けられている。さらに、ステージ１の下方には昇降自
在なリフター５が設置されており、このリフター５のほ
ぼ真上に、例えばウエハキャリア６がセットされるよう
になっている。
チング装置といった各種のウエハ処理装置では、処理装
置へのウエハの供給や、処理装置からのウエハの排出時
に、ウエハ移載装置によってウエハの移し替えが行われ
る。図４は、この種のウエハ移載装置の構成を説明する
図である。図示したウエハ移載装置において、１はステ
ージ、２は可動アーム、３は左右一対の垂下アームであ
り、各々の垂下アーム３の下端部にはウエハ保持爪４が
取り付けられている。これらのウエハ保持爪４は、垂下
アーム３の駆動により相対的に開閉自在に構成されてい
る。また、各々のウエハ保持爪４には、図５に示すよう
に、ウエハを保持するための溝部４ａが所定のピッチで
設けられている。さらに、ステージ１の下方には昇降自
在なリフター５が設置されており、このリフター５のほ
ぼ真上に、例えばウエハキャリア６がセットされるよう
になっている。
【０００３】ここで、図例のようにウエハキャリア６内
に収納された複数のウエハ７を、処理装置側のボート８
に移し替える場合は、以下のような手順でウエハ移載装
置の動作が行われる。先ず、ステージ１上にウエハキャ
リア６がセットされると、ウエハキャリア６内に収納さ
れたウエハ７が、リフター５の上昇によって所定の高さ
まで突き上げられる。次に、上記リフター５により突き
上げられたウエハ７は、垂下アーム３の開閉動作によっ
て左右からウエハ保持爪４により保持される。このと
き、個々のウエハ７の外周部は、図５に示すように、ウ
エハ保持爪４に形成された溝部４ａに入り込み、この状
態でウエハ７は左右からのウエハ保持爪４の挟持圧によ
り保持される。
に収納された複数のウエハ７を、処理装置側のボート８
に移し替える場合は、以下のような手順でウエハ移載装
置の動作が行われる。先ず、ステージ１上にウエハキャ
リア６がセットされると、ウエハキャリア６内に収納さ
れたウエハ７が、リフター５の上昇によって所定の高さ
まで突き上げられる。次に、上記リフター５により突き
上げられたウエハ７は、垂下アーム３の開閉動作によっ
て左右からウエハ保持爪４により保持される。このと
き、個々のウエハ７の外周部は、図５に示すように、ウ
エハ保持爪４に形成された溝部４ａに入り込み、この状
態でウエハ７は左右からのウエハ保持爪４の挟持圧によ
り保持される。
【０００４】続いて、リフター５が下降して、ウエハ７
からリフター５が離反すると、可動アーム２が所定の距
離だけ水平方向に移動して、ウエハ保持爪４により保持
されたウエハ７が処理装置側のボート８のほぼ真上に配
置される。最後は、ボート８の下方からリフター９が上
昇して、ウエハ保持爪４からウエハ７を受け取り、その
ままリフター９の下降によってウエハ７がボート８内に
収められる。
からリフター５が離反すると、可動アーム２が所定の距
離だけ水平方向に移動して、ウエハ保持爪４により保持
されたウエハ７が処理装置側のボート８のほぼ真上に配
置される。最後は、ボート８の下方からリフター９が上
昇して、ウエハ保持爪４からウエハ７を受け取り、その
ままリフター９の下降によってウエハ７がボート８内に
収められる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のウエハ移載装置においては、双方のウエハ保持爪４の
溝部４ａがいずれも断面略Ｙ字形に形成されていること
から、ウエハ保持爪４とウエハ７との接触面積が大きく
なり、これによって移載時におけるパーティクルの発生
が多くなるとともに、溝部４ａとの接触によってウエハ
７の表面にキズが付いてしまったり、ウエハ７自体に割
れが生じてしまうという問題があった。さらに、こうし
たウエハ７の破損を防止するためには、双方のウエハ保
持爪４の取付位置を精度良く調整しなければならず、こ
の調整作業が非常に面倒なものとなっていた。
のウエハ移載装置においては、双方のウエハ保持爪４の
溝部４ａがいずれも断面略Ｙ字形に形成されていること
から、ウエハ保持爪４とウエハ７との接触面積が大きく
なり、これによって移載時におけるパーティクルの発生
が多くなるとともに、溝部４ａとの接触によってウエハ
７の表面にキズが付いてしまったり、ウエハ７自体に割
れが生じてしまうという問題があった。さらに、こうし
たウエハ７の破損を防止するためには、双方のウエハ保
持爪４の取付位置を精度良く調整しなければならず、こ
の調整作業が非常に面倒なものとなっていた。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、移載時におけるパーティクル
の発生およびウエハの欠損を低減することができるウエ
ハ移載装置を提供することにある。
れたもので、その目的は、移載時におけるパーティクル
の発生およびウエハの欠損を低減することができるウエ
ハ移載装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、ウエハを支持するための
溝部を有し且つ相対的に開閉自在な一対のウエハ保持爪
を備えたウエハ移載装置において、上記一対のウエハ保
持爪のうち、一方のウエハ保持爪の溝部は断面略Ｙ字形
に形成され、他方のウエハ保持爪の溝部は断面略Ｖ字形
に形成されたものである。また、上記一方のウエハ保持
爪は、溝部の上下端の間にウエハ逃げ部を有するもので
ある。
成するためになされたもので、ウエハを支持するための
溝部を有し且つ相対的に開閉自在な一対のウエハ保持爪
を備えたウエハ移載装置において、上記一対のウエハ保
持爪のうち、一方のウエハ保持爪の溝部は断面略Ｙ字形
に形成され、他方のウエハ保持爪の溝部は断面略Ｖ字形
に形成されたものである。また、上記一方のウエハ保持
爪は、溝部の上下端の間にウエハ逃げ部を有するもので
ある。
【０００８】
【作用】本発明のウエハ移載装置においては、一方のウ
エハ保持爪の溝部が断面略Ｙ字形に形成されているのに
対して、他方のウエハ保持爪の溝部が断面略Ｖ字形に形
成されているため、上記他方のウエハ保持爪側では、溝
部とウエハ表面との接触が殆どなく、これにより従来装
置に比べてウエハ保持爪とウエハとの接触面積が小さく
なり、移載時におけるパーティクルの発生およびウエハ
の欠損が低減される。また、上記一方のウエハ保持爪側
においては、その溝部の上下端の間にウエハ逃げ部が形
成されているため、その分だけウエハ保持爪とウエハと
の接触面積が小さくなり、これにより移載時におけるパ
ーティクルの発生およびウエハの欠損が一層低減され
る。
エハ保持爪の溝部が断面略Ｙ字形に形成されているのに
対して、他方のウエハ保持爪の溝部が断面略Ｖ字形に形
成されているため、上記他方のウエハ保持爪側では、溝
部とウエハ表面との接触が殆どなく、これにより従来装
置に比べてウエハ保持爪とウエハとの接触面積が小さく
なり、移載時におけるパーティクルの発生およびウエハ
の欠損が低減される。また、上記一方のウエハ保持爪側
においては、その溝部の上下端の間にウエハ逃げ部が形
成されているため、その分だけウエハ保持爪とウエハと
の接触面積が小さくなり、これにより移載時におけるパ
ーティクルの発生およびウエハの欠損が一層低減され
る。
【０００９】
【実施例】図１は本発明に係わるウエハ移載装置の一実
施例を説明するための要部断面図である。本発明のウエ
ハ移載装置は、ウエハを保持する一対のウエハ保持爪を
備えたものであり、図１はそのウエハ保持爪の断面形状
を示している。図において、１０、１１はウエハ保持爪
であり、これらのウエハ保持爪１０、１１は、例えば図
２に示すように垂下アーム１２の下端にて相対的に開閉
自在に取り付けられている。また、これらのウエハ保持
爪１０、１１には、それぞれ溝部１０ａ、１１ａが形成
されており、このうち、一方のウエハ保持爪１０の溝部
１０ａは断面略Ｙ字形に形成され、他方のウエハ保持爪
１１の溝部１１ａは断面略Ｖ字形に形成されている。
施例を説明するための要部断面図である。本発明のウエ
ハ移載装置は、ウエハを保持する一対のウエハ保持爪を
備えたものであり、図１はそのウエハ保持爪の断面形状
を示している。図において、１０、１１はウエハ保持爪
であり、これらのウエハ保持爪１０、１１は、例えば図
２に示すように垂下アーム１２の下端にて相対的に開閉
自在に取り付けられている。また、これらのウエハ保持
爪１０、１１には、それぞれ溝部１０ａ、１１ａが形成
されており、このうち、一方のウエハ保持爪１０の溝部
１０ａは断面略Ｙ字形に形成され、他方のウエハ保持爪
１１の溝部１１ａは断面略Ｖ字形に形成されている。
【００１０】さらに、一方のウエハ保持爪１０は、図２
に示すように、その溝部１０ａの上下端の間にウエハ逃
げ部１４を有しており、このウエハ逃げ部１４は、例え
ば溝部１１ａの上下端の間をウエハ１３の外周に沿って
略凹状に切欠することで形成されるものである。
に示すように、その溝部１０ａの上下端の間にウエハ逃
げ部１４を有しており、このウエハ逃げ部１４は、例え
ば溝部１１ａの上下端の間をウエハ１３の外周に沿って
略凹状に切欠することで形成されるものである。
【００１１】加えて本実施例のウエハ移載装置では、一
方のウエハ保持爪１０の溝幅Ｗ１がウエハ１３の厚みｔ
よりも僅かに大きくなるように設定されており、これに
対して他方のウエハ保持爪１１の溝幅Ｗ２は、上記一方
のウエハ保持爪１０の溝幅Ｗ１よりも幾分大きく、ウエ
ハ１３の厚みｔに対しては十分な余裕をもって設定され
ている。
方のウエハ保持爪１０の溝幅Ｗ１がウエハ１３の厚みｔ
よりも僅かに大きくなるように設定されており、これに
対して他方のウエハ保持爪１１の溝幅Ｗ２は、上記一方
のウエハ保持爪１０の溝幅Ｗ１よりも幾分大きく、ウエ
ハ１３の厚みｔに対しては十分な余裕をもって設定され
ている。
【００１２】上記構成からなるウエハ保持爪１０、１１
を備えた本実施例のウエハ移載装置においては、一方の
ウエハ保持爪１０と他方のウエハ保持爪１１とでウエハ
１３を左右から挟み込むことで、図１に示すように、一
方のウエハ保持爪１０の溝部１０ａと他方のウエハ保持
爪１１の溝部１１ａとにウエハ１３の外周部が入り込
み、この状態でウエハ１３がウエハ保持爪１０、１１に
より保持される。
を備えた本実施例のウエハ移載装置においては、一方の
ウエハ保持爪１０と他方のウエハ保持爪１１とでウエハ
１３を左右から挟み込むことで、図１に示すように、一
方のウエハ保持爪１０の溝部１０ａと他方のウエハ保持
爪１１の溝部１１ａとにウエハ１３の外周部が入り込
み、この状態でウエハ１３がウエハ保持爪１０、１１に
より保持される。
【００１３】その際、一方のウエハ保持爪１０の溝部１
０ａが断面略Ｙ字形に形成されているのに対して、他方
のウエハ保持爪１１の溝部１１ａが断面略Ｖ字形に形成
されているため、他方のウエハ保持爪１１側では、溝部
１１ａとウエハ１３表面との接触が殆ど起こらない。し
たがって、従来のようにウエハ保持爪の溝部を双方とも
断面略Ｙ字形に形成した場合に比べて、ウエハ１３に対
するウエハ保持爪１０、１１の接触面積は半分程度に削
減されるため、移載時におけるパーティクルの発生およ
びウエハの欠損は大幅に低減する。
０ａが断面略Ｙ字形に形成されているのに対して、他方
のウエハ保持爪１１の溝部１１ａが断面略Ｖ字形に形成
されているため、他方のウエハ保持爪１１側では、溝部
１１ａとウエハ１３表面との接触が殆ど起こらない。し
たがって、従来のようにウエハ保持爪の溝部を双方とも
断面略Ｙ字形に形成した場合に比べて、ウエハ１３に対
するウエハ保持爪１０、１１の接触面積は半分程度に削
減されるため、移載時におけるパーティクルの発生およ
びウエハの欠損は大幅に低減する。
【００１４】ちなみに、移載時におけるパーティクルの
発生数およびウエハ欠損の発生頻度について、従来装置
と本実施例のウエハ移載装置とで比較したところ、パー
ティクルの発生数では約４０％の低減が確認され、ウエ
ハ欠損の発生頻度では約８５％の低減が確認されるな
ど、きわめて顕著な改善効果が得られた。
発生数およびウエハ欠損の発生頻度について、従来装置
と本実施例のウエハ移載装置とで比較したところ、パー
ティクルの発生数では約４０％の低減が確認され、ウエ
ハ欠損の発生頻度では約８５％の低減が確認されるな
ど、きわめて顕著な改善効果が得られた。
【００１５】また本実施例では、一方のウエハ保持爪１
０の溝部１０ａにおいて、その上下端の間にウエハ逃げ
部１４が形成されているため、従来と同様に断面略Ｙ字
形の溝部が形成された一方のウエハ保持爪１０側でも、
ウエハ逃げ部１４を設けた分だけウエハ保持爪１０とウ
エハ１３との接触面積が小さくなり、これによって移載
時におけるパーティクルの発生およびウエハの欠損は一
層低減する。
０の溝部１０ａにおいて、その上下端の間にウエハ逃げ
部１４が形成されているため、従来と同様に断面略Ｙ字
形の溝部が形成された一方のウエハ保持爪１０側でも、
ウエハ逃げ部１４を設けた分だけウエハ保持爪１０とウ
エハ１３との接触面積が小さくなり、これによって移載
時におけるパーティクルの発生およびウエハの欠損は一
層低減する。
【００１６】さらに、他方のウエハ保持爪１１の溝幅Ｗ
２がウエハ１３の厚みｔに対して十分な余裕をもって設
定されているため、ウエハ保持爪１０、１１の取付精度
の許容範囲が広がって位置調整が簡便になるとともに、
たとえ双方の取付位置に若干のずれが生じた場合でも、
ウエハ１３に割れや欠けなどの欠損が生じることはな
い。
２がウエハ１３の厚みｔに対して十分な余裕をもって設
定されているため、ウエハ保持爪１０、１１の取付精度
の許容範囲が広がって位置調整が簡便になるとともに、
たとえ双方の取付位置に若干のずれが生じた場合でも、
ウエハ１３に割れや欠けなどの欠損が生じることはな
い。
【００１７】なお、上記実施例の構成では、ウエハ保持
爪１０の溝部１１ａの上下端の間に一つのウエハ逃げ部
１４を形成するようにしたが、本発明はこれに限らず、
例えば図３に示すように、溝部１０ａの上下端の間に所
定のピッチで２つ又はそれ以上のウエハ逃げ部１４を形
成するようにしてもよい。
爪１０の溝部１１ａの上下端の間に一つのウエハ逃げ部
１４を形成するようにしたが、本発明はこれに限らず、
例えば図３に示すように、溝部１０ａの上下端の間に所
定のピッチで２つ又はそれ以上のウエハ逃げ部１４を形
成するようにしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明のウエハ移載
装置によれば、一方のウエハ保持爪の溝部が断面略Ｙ字
形に形成され、他方のウエハ保持爪の溝部が断面略Ｖ字
形に形成されているので、他方のウエハ保持爪側では、
溝部とウエハ表面との接触が殆どなく、これにより従来
装置に比べてウエハ保持爪とウエハとの接触面積が小さ
くなるため、移載時におけるパーティクルの発生および
ウエハの欠損を低減することが可能となる。また、上記
一方のウエハ保持爪側においては、溝部の上下端の間に
ウエハ逃げ部が形成されているので、その分だけウエハ
保持爪とウエハとの接触面積が小さくなり、これによっ
て移載時におけるパーティクルの発生およびウエハの欠
損をより一層低減することが可能となる。その結果、ウ
エハ表面へのパーティクルの付着や、ウエハ自体の欠損
に伴う不良品の発生が大幅に低減されるため、ウエハ処
理工程での歩留りの向上が大いに期待できる。
装置によれば、一方のウエハ保持爪の溝部が断面略Ｙ字
形に形成され、他方のウエハ保持爪の溝部が断面略Ｖ字
形に形成されているので、他方のウエハ保持爪側では、
溝部とウエハ表面との接触が殆どなく、これにより従来
装置に比べてウエハ保持爪とウエハとの接触面積が小さ
くなるため、移載時におけるパーティクルの発生および
ウエハの欠損を低減することが可能となる。また、上記
一方のウエハ保持爪側においては、溝部の上下端の間に
ウエハ逃げ部が形成されているので、その分だけウエハ
保持爪とウエハとの接触面積が小さくなり、これによっ
て移載時におけるパーティクルの発生およびウエハの欠
損をより一層低減することが可能となる。その結果、ウ
エハ表面へのパーティクルの付着や、ウエハ自体の欠損
に伴う不良品の発生が大幅に低減されるため、ウエハ処
理工程での歩留りの向上が大いに期待できる。
【図１】本発明のウエハ移載装置の一実施例を説明する
ための要部断面図である。
ための要部断面図である。
【図２】本発明のウエハ移載装置の一実施例を説明する
ための要部側面図である。
ための要部側面図である。
【図３】他の実施態様を説明するための要部側面図であ
る。
る。
【図４】ウエハ移載装置の構成を説明する図である。
【図５】従来のウエハ移載装置を説明する要部断面図で
ある。
ある。
１０、１１ ウエハ保持爪 １０ａ、１１ａ 溝部 １４ ウエハ逃げ部
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｄ
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハを支持するための溝部を有し且つ
相対的に開閉自在な一対のウエハ保持爪を備えたウエハ
移載装置において、 前記一対のウエハ保持爪のうち、一方のウエハ保持爪の
溝部は断面略Ｙ字形に形成され、他方のウエハ保持爪の
溝部は断面略Ｖ字形に形成されたことを特徴とするウエ
ハ移載装置。 - 【請求項２】 前記一方のウエハ保持爪は、前記溝部の
上下端の間にウエハ逃げ部を有することを特徴とする請
求項１記載のウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16641593A JPH07125804A (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16641593A JPH07125804A (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | ウエハ移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07125804A true JPH07125804A (ja) | 1995-05-16 |
Family
ID=15831006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16641593A Pending JPH07125804A (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07125804A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003095429A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Seiko Corp | 容器把持装置 |
| KR100467915B1 (ko) * | 1998-02-24 | 2005-01-24 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판보지구 및 그 세정·건조장치 |
| JP2016222987A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | 三菱電機株式会社 | Ｃｖｄ装置用ボートおよびｃｖｄ装置 |
| CN109342699A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-02-15 | 麦加涂料(南通)有限公司 | 一种冷凝水试验装置及采用该冷凝水试验装置的试验方法 |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP16641593A patent/JPH07125804A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100467915B1 (ko) * | 1998-02-24 | 2005-01-24 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판보지구 및 그 세정·건조장치 |
| JP2003095429A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Seiko Corp | 容器把持装置 |
| JP2016222987A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | 三菱電機株式会社 | Ｃｖｄ装置用ボートおよびｃｖｄ装置 |
| CN109342699A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-02-15 | 麦加涂料(南通)有限公司 | 一种冷凝水试验装置及采用该冷凝水试验装置的试验方法 |
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