KR100843961B1 - 반도체 제조 설비의 진공 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼를 적재 및 이송하는 기능을 하는 반도체 제조 설비의 진공 카세트에 관한 것으로, 본 발명의 진공 카세트는, 웨이퍼가 적재되는 슬롯들; 상기 슬롯들을 다단으로 설치하며, 상기 슬롯들의 후방에 배치되는 블록; 및 상기 블록의 내측면에 배치되는 몸체들과, 상기 몸체들을 일체로 연결하는 연결체를 구비하는 패드;를 포함하며, 상기 몸체는 테이퍼진 상부와, 웨이퍼의 유동을 방지하기 위한 유동 방지부와, 평면상의 하부로 이루어진다.

카세트, 패드, 블록, 웨이퍼, 에지, 유동,

Description

반도체 제조 설비의 진공 카세트{VACUUM CASSETTE OF SEMICONDUCTOR FABRICATING EQUIPMENT}

도 1은 종래 기술에 따른 진공 카세트의 평면도이고,

도 2는 종래 기술에 따른 진공 카세트를 구비하는 카세트 모듈의 개략 구성도이며,

도 3은 종래 기술에 따른 패드의 전면 사시도이고,

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공 카세트를 구비하는 카세트 모듈의 개략 구성도이며,

도 5는 도 4의 패드의 전면 사시도이다.

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼를 적재 및 이송하는 기능을 하는 반도체 제조 설비의 진공 카세트에 관한 것이다.

한 장의 웨이퍼는 여러 단계의 공정을 거치면서 제품화되는데, 상기한 웨이퍼를 각 공정으로 이동할 때에는 다수의 웨이퍼를 적재할 수 있는 카세트가 사용되며, 카세트에 적재된 웨이퍼는 로봇 등의 웨이퍼 이송장치에 의해 로딩/언로딩된 다.

특히, 고전류 이온 주입을 위한 공정에서 웨이퍼를 이송하는 데에는 진공 카세트가 사용되는데, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 종래의 진공 카세트(100)는 웨이퍼((W)가 적재되는 13개의 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13)을 구비한다.

이 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13)은 블록(110)에 다단으로 고정 설치되며, 상기한 블록(110)에는 웨이퍼(W)를 적재하기 위해 웨이퍼 이송장치의 로더(미도시함)가 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13) 사이의 공간으로 진입할 때 웨이퍼(W)의 에지 부분이 블록(110)에 접촉되어 손상되는 것을 방지하기 위한 패드(120)가 설치된다.

이에, 상기 패드(120)의 구성을 도 3을 참조하여 살펴보면, 패드(120)는 각 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13) 사이의 공간에 배치되는 12개의 몸체(122)들과, 각 몸체(122)들을 일체로 연결하는 연결체(124)로 이루어진다. 그리고, 상기한 몸체(122)들은 테이퍼진 상부(122a) 및 평면상의 하부(122b)로 이루어진다.

그리고, 도시하지는 않았지만, 각 슬롯의 상부에는 웨이퍼를 보호하기 위한 하부 패드가 각각 설치된다.

이러한 구성의 패드(120)는 하측으로부터 첫 번째 단과 6번째 단 및 11번째 단에서 각각 한 개씩의 스크류(미도시함)를 이용하여 블록(110)에 고정 설치된다.

한편, 상기한 구성의 카세트(100)는 웨이퍼(W)를 적재한 상태에서 챔버(130)의 내측에 배치되며, 공정 진행을 위해 필요한 경우 엘리베이터(132)에 의해 승강되어 챔버(130)의 외부에 배치된다. 그리고, 공정 진행이 완료된 웨이퍼(W)는 카 세트(100)에 다시 적재되며, 이후 엘리베이터(132)에 의해 챔버(130)의 내부로 하강된다.

그런데, 상기한 종래의 카세트(100)는 위에서 설명한 바와 같이 패드 몸체(122)의 하부(122b)가 평면으로 이루어져 있으므로 슬롯 사이의 공간에 웨이퍼를 적재할 때 약한 충격에 의해서도 웨이퍼가 돌출되는 돌출 에러가 발생되며, 이로 인해 파티클이 발생된다.

또한, 이온 주입 챔버 내의 디스크에 웨이퍼를 로딩하기 위한 사전 준비 작업으로 상기 진공 카세트가 90도의 경사 각도로 틸트될 때, 웨이퍼가 슬롯 사이에 정상적으로 위치되지 못하게 되면 웨이퍼 핸들러가 웨이퍼를 비정상적으로 클램핑하게 되고, 이로 인해 웨이퍼가 이온 주입 챔버 내로 떨어져 파손되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 웨이퍼 로딩 에러가 발생하지 않는 반도체 제조 설비의 진공 카세트를 제공함에 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,

웨이퍼가 적재되는 슬롯들과;

상기 슬롯들을 다단으로 설치하며, 상기 슬롯들의 후방에 배치되는 블록과;

상기 블록의 내측면에 배치되는 몸체들과, 상기 몸체들을 일체로 연결하는 연결체를 구비하는 패드;

를 포함하며, 상기 몸체는 웨이퍼의 유동을 방지하기 위한 유동 방지부를 구비하는 반도체 제조 설비의 카세트를 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 몸체는 테이퍼진 상부와, 유동 방지부 및 평면상의 하부로 이루어진다.

이러한 구성의 카세트에 의하면, 상기 패드의 유동 방지부에 의해 웨이퍼의 유동이 방지된다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공 카세트를 갖는 카세트 모듈의 개략적인 구성을 나타내는 측면도를 도시한 것이고, 도 5는 도 4의 패드의 전면 사시도를 도시한 것이다.

진공 카세트(10)는 웨이퍼((W)가 적재되는 13개의 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13)을 다단으로 고정하는 블록(12)을 구비한다.

그리고, 상기한 블록(12)에는 웨이퍼(W)를 적재하기 위해 웨이퍼 이송장치의 로더(미도시함)가 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13) 사이의 공간으로 진입할 때 웨이퍼(W)의 에지 부분이 블록(12)에 접촉되어 손상되는 것을 방지하기 위한 패드(14)가 설치된다.

이에, 상기 패드(14)의 구성을 도 5를 참조하여 살펴보면, 본 실시예의 패드(14)는 각 슬롯들(S-1,S-2,...,S-12,S-13) 사이의 공간에 배치되는 12개의 몸체(14')들과, 각 몸체(14')들을 일체로 연결하는 연결체(14")로 이루어진다. 그리 고, 상기한 몸체(14')들은 테이퍼진 상부(14'a)와, 평면상의 하부(14'c) 및 이들 상부와 하부 사이의 요동 방지부(14'b)로 이루어진다.

상기 요동 방지부(14'b)는 슬롯 사이에 적재된 웨이퍼(W)의 요동을 방지함으로써 웨이퍼 돌출 에러를 방지함과 아울러, 웨이퍼 핸들러에 의한 정상적인 클램핑이 가능하도록 하기 위한 것으로, 상기 요동 방지부(14'b)는 전체적으로 요홈 형태로 이루어진다.

그리고, 도시하지는 않았지만, 각 슬롯의 상부에는 웨이퍼를 보호하기 위한 하부 패드가 각각 설치된다.

한편, 상기한 구성의 카세트(10)는 웨이퍼(W)를 적재한 상태에서 챔버(16)의 내측에 배치되며, 공정 진행을 위해 필요한 경우 엘리베이터(18)에 의해 승강되어 챔버(16)의 외부에 배치된다. 그리고, 공정 진행이 완료된 웨이퍼(W)는 카세트(10)에 다시 적재되며, 이후 엘리베이터(18)에 의해 챔버(16)의 내부로 하강된다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하였지만 본원 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면, 블록에 고정되는 패드의 형상을 변경하여 웨이퍼의 요동을 방지하는 요동 방지부를 형성함으로써, 슬롯 사이의 공간에 웨이퍼를 로딩할 때의 웨이퍼 돌출 에러를 방지할 수 있다.

또한, 웨이퍼 핸들러에 의한 웨이퍼 로딩을 위해 진공 카세트가 90°의 각도로 틸트될 때, 웨이퍼 위치 에러로 인한 클램핑 불량을 방지할 수 있어 웨이퍼 파손을 방지할 수 있고, 웨이퍼 파손으로 인한 생산성 저하도 방지할 수 있는 등의 효과가 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼가 적재되는 슬롯들;

   상기 슬롯들을 다단으로 설치하며, 상기 슬롯들의 후방에 배치되는 블록; 및

   상기 블록의 내측면에 배치되는 몸체들과, 상기 몸체들을 일체로 연결하는 연결체를 구비하여 상기 웨이퍼의 에지 부분이 상기 블록에 접촉되는 것을 방지하는 패드를 포함하며,

   상기 몸체는 상기 웨이퍼의 에지 부분과 대응하여 형성되며 상기 웨이퍼가 상기 슬롯들 사이의 공간으로 진입할 때 상기 웨이퍼의 요동을 방지하기 위한 요동 방지부를 구비하는 반도체 제조 설비의 진공 카세트.
2. 제 1항에 있어서, 상기 몸체는 테이퍼진 상부와, 상기 요동 방지부 및 상기 웨이퍼의 에지 부분과 평행한 평면상의 하부로 이루어지는 반도체 제조 설비의 진공 카세트.
3. 제 2항에 있어서, 상기 요동 방지부는 요홈 형상으로 이루어지는 반도체 제조 설비의 진공 카세트.

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