KR20050045108A - 웨이퍼 고정용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼의 고정용기에 대한 것이다. 본 발명의 웨이퍼 고정용기는, 웨이퍼의 외주면이 삽입되는 다수개의 슬롯이 형성되어 웨이퍼를 외부에서 지지하는 복수개의 슬롯바와; 상기 복수개의 슬롯바를 양단에서 지지하는 지지브라켓을 포함하는 웨이퍼 고정용기에 있어서, 상기 슬롯의 내부로 웨이퍼가 삽입되는 가이드부는 경사면을 이루며, 그 양측 슬롯의 가이드부는 서로 맞닿아 있어, 상기 웨이퍼가 상기 슬롯사이에 놓여지지 않고 각 슬롯으로 원활하게 가이드되도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 고정용기{An Apparatus For Wafer Fixing}

본 발명은 웨이퍼의 고정용기에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 운반이나 웨이퍼에 대한 습식공정에 사용되는 웨이퍼가 장착고정되는 웨이퍼의 고정용기에 대한 것이다.

도 1a는 종래의 웨이퍼 고정용기를 예시한 평면도이고, 도 1b는 그 예시 측면도이며, 도 1c는 그 예시 정면도이다. 그리고, 도 2a와 2b는 종래의 웨이퍼 고정용기의 슬롯바에 형성된 슬롯의 구조를 예시한 단면도이다.

도시된 바에 의하면, 종래의 웨이퍼 고정용기(10)는 다수장의 웨이퍼의 외주면을 지지하는 복수개의 슬롯바(11)와, 복수개의 슬롯바(11)를 양측에서 지지하는 지지블라켓(13)을 포함한다.

종래의 고정용기에는 웨이퍼(20)를 지지하기에 적합한 복수개의 슬롯바(11)가 구비되는데, 통상 복수개의 슬롯바(11)는 웨이퍼(20)의 원판상에서 일측 반원부분에 대해서만 접촉하도록 설치된다.

이는 슬롯바(11)가 설치되지 않는 다른 타측 반원부분에는 다른 웨이퍼 용기의 슬롯에 웨이퍼(20)의 에지가 접촉하여 일측용기에 웨이퍼(20)를 장착하거나 일측용기에서 웨이퍼(20)를 탈거할 수 있도록 하기 위한 것이다.

그리고, 종래의 슬롯바(11)에는 다수개의 슬롯(15)이 형성되는데, 웨이퍼가 삽입되는 슬롯(15)의 가이드부(17)는 내측으로 갈수록 좁아지는 경사면(17a)을 이루며, 슬롯(15) 내부(19)의 양측벽(19a)은 웨이퍼(20) 에지가 끼일 수 있는 정도의 폭으로 서로 평행을 이루게 된다.

웨이퍼 고정용기(10)의 슬롯바(11)의 외주면에서 슬롯(15)과 슬롯(15)의 사이 경계(18)는 홈이 형성되지 않은 원래상태인 원통모양으로, 단면도 상에서는 양측에 슬롯(15) 가이드부(17)의 경사면(17a)과 경사면(17a)을 연결하는 수평선으로 보여진다.

이와 같은 구성을 가지는 종래의 웨이퍼 고정용기(10)는 웨이퍼(20)의 습식공정중 배스에 담구어지는 용기인 웨이퍼보우트를 이루거나, 카세트로부터 웨이퍼를 탈거하여 이동시키는 웨이퍼 운반장비의 일부로 사용되는 것이 가능하다.

웨이퍼보우트로 사용되는 경우에는, 웨이퍼 운반장비로부터 다수장의 웨이퍼(20)가 운반되어 웨이퍼의 운반장비와 접촉되지 않는 반원부분이 웨이퍼보우트의 슬롯바(11)와 접촉하도록 놓여진다. 웨이퍼 운반장치에 의해 웨이퍼보우트로 하적된 웨이퍼(20)는 각 슬롯(15)의 가이드부(17)를 통하여 슬롯(15)의 내부(19)로 삽입되게 된다.

그러나, 상기와 같은 구성을 가지는 종래의 웨이퍼 고정용기에는 다음과 같은 문제점이 제기되고 있었다.

웨이퍼(20)를 고정용기(10)에 장착하는 경우에는 웨이퍼(20)가 슬롯(15)과 슬롯(15) 사이의 경계(18)에 걸쳐지거나, 슬롯(15)의 경사가 크기 않기 때문에 하나의 슬롯(15)에 다른 웨이퍼(20)가 겹쳐지기 쉽게 되어 작업과정에서 웨이퍼 불량이 발생하게 된다.

또한, 웨이퍼(20)가 장착된 용기를 배스에 담구어 습식공정을 하는 경우에는, 배스 내부의 부력등에 의해 웨이퍼(20)가 슬롯(15)의 내부를 이탈한 경우에 슬롯(15)과 슬롯(15) 사이의 경계(18)에 걸쳐지게 되거나, 다른 슬롯(15)에 겹쳐지게 되어 웨이퍼에 불량이 발생하게 된다.

이와 같은 웨이퍼(20)의 장착과 탈거 습식공정등에 있어서의 웨이퍼의 오장착은, 규격이 큰 웨이퍼일수록 웨이퍼의 행동범위가 커지기 때문에, 더 큰 문제로 대두되고 있다.

본 발명의 목적은, 웨이퍼의 운반용기나 습식공정을 위한 용기에 장착하는데 있어 웨이퍼를 외주에서 지지하는 슬롯바에 형성되는 각 슬롯으로 웨이퍼가 각각 정확하게 삽입될 수 있게 하는 웨이퍼의 고정용기를 구현하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 웨이퍼가 슬롯으로부터 이탈한 경우에도 슬롯의 내부로 다시 용이하게 복귀할 수 있도록 하는 웨이퍼의 고정용기를 구현하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 웨이퍼 고정용기는, 웨이퍼의 외주면이 삽입되는 다수개의 슬롯이 형성되며, 상기 웨이퍼가를 외부에서 지지하는 복수개의 슬롯바와; 상기 복수개의 슬롯바를 양단에서 지지하는 지지브라켓과; 상기 웨이퍼의 장착과 탈거시에는 상기 슬롯바를 이격시키고, 웨이퍼가 장착된 상태에서는 슬롯바를 복귀시켜 상기 슬롯바의 척킹을 가능하게 하는 조절수단을 포함하여 구성되는 웨이퍼의 운반용기에 있어서, 상기 슬롯의 내부로 웨이퍼가 삽입되는 가이드부는 경사면을 이루며, 그 양측 슬롯의 가이드부 경사면은 서로 맞닿아 있어, 상기 웨이퍼가 상기 슬롯사이에 놓여지지 않고 각 해당 슬롯으로 원활하게 가이드되도록 하는 것을 특징으로 한다.

슬롯의 가이드부는 상기 슬롯바에 수직인 선을 기준으로 30。 내지 60。기울어져 있는 것을 특징으로 한다.

웨이퍼 고정용기는, 습식공정이 이루어지는 배스 내에서 웨이퍼를 유지하거나 이동시키는 웨이퍼보우트인 것을 특징으로 한다.

웨이퍼 고정용기는, 카세트에 있는 다수개의 웨이퍼를 일거에 집어서 웨이퍼보우트로 전달하거나 웨이퍼보우트로부터 웨이퍼를 집어서 다른 공정으로 웨이퍼를 이동시키는 운반기기에 설치되는 로봇척인 것을 특징으로 한다.

본 발명은 상기와 같은 구성에 의해 웨이퍼의 장착시나 습식공정시에 웨이퍼가 슬롯에 겹쳐지게 놓여지거나 슬롯으로부터 용이 이탈되는 것을 방지할 수 있어 웨이퍼에 대한 작업공정에서의 불량률을 저하시키는 것이 가능하게 된다.

이하 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 웨이퍼 고정장치의 바람직한 실시예의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 3a는 본 실시예의 웨이퍼 고정용기를 예시한 평면도이고, 도 3b는 본 실시예의 슬롯바를 예시한 부분 단면도이다.

도시된 바에 의하면, 웨이퍼 고정용기(30)는 웨이퍼(20)의 외주면에 접촉하여 웨이퍼(20)를 지지하는 복수개의 슬롯바(31)와, 복수개의 슬롯바(31)를 양단에서 지지하는 지지브라켓(33)을 포함한다.

본 실시예의 슬롯바(31)에는 다수개의 슬롯(35)이 형성되는데, 각 슬롯바(31)에 형성된 슬롯(35)의 내부로 웨이퍼(20)가 삽입되는 가이드부(37)는 경사면(37a)을 이루며, 연속하는 두개의 슬롯(35)에 있어서 양측 가이드부(37)의 인접한 경사면(17a)는 서로 만나는 위치에 있다.

따라서 인접하는 일측 슬롯(35)의 오른쪽 가이드부 경사면(37a)과 타측 슬롯(35)의 왼쪽 가이드부 경사면(37a)은 서로 만나서, 가이드부(37)는 단면도 상에서 대략 삼각형상을 이루게 된다. 따라서 웨이퍼(20)는 일측 슬롯(35)이나 타측 슬롯(35)에 놓여지는 것만이 가능하며 슬롯(35)과 슬롯(35) 사이의 공간에 놓여질 가능성은 매우 작아지게 된다.

그리고, 슬롯(35)과 슬롯(35) 사이의 공간이 적기 때문에 반대급부로 각 슬롯(35)의 가이드부(37)는 종전보다 상대적으로 넓게 유지될 수 있어서, 웨이퍼(20)가 슬롯(35) 사이 경계에 놓여지지 않고 해당 슬롯(35)으로 원활하게 가이드는 것이 가능하게 된다.

본 실시예의 가이드부(37)의 경사면(37a)는 슬롯바(31)에 수직한 선에서 약 30 내지 60。의 각도를 이루며, 바람직하게는 약 45。의 각도로 형성되게 된다.

그리고, 본 실시예의 가이드부(37)의 경사면(37a)에 연결되는 슬롯(35)의 내부(39)의 양측벽(39a)은 서로 평행이고, 웨이퍼(20)의 에지가 끼일 수 있는 정도의 폭을 이룬다. 따라서 본 실시예의 슬롯(35) 내측으로 웨이퍼(20)의 에지가 삽입되는 경우에는 마찰력에 의해 슬롯의 외부로 잘 빠지지 않을 수 있는 구조를 이룬다.

본 실시예의 웨이퍼 고정용기(30)는 웨이퍼의 습식공정에 사용되는 웨이퍼보우트로서 웨이퍼 운송장치에 의해 다수개의 웨이퍼(20)가 운반되어 일거에 장착되게 된다.

본 발명의 다른 실시예에서는 웨이퍼 고정용기(30)는 웨이퍼 운송장치에서 다수개의 웨이퍼(20)를 일시에 집거나 웨이퍼보우트로 일시에 장착하는 경우에 사용되는 로봇척으로 구성되는 것도 가능하다. 이처럼 웨이퍼 고정용기(30)가 로봇척으로 제작되는 경우에는 웨이퍼 운송장치의 로봇암에 설치되어진다.

그리고 본 발명의 또 다른 실시예에서는 웨이퍼 고정용기(30)는 웨이퍼보우트와 로봇척 모두에 대해 적용되는 것도 가능하며, 실시예에 따라 웨이퍼의 가공과 운송 및 저장을 위한 다양한 공정에 대해 다양한 용도로 사용되는 것이 가능하다.

다음은 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 실시예의 웨이퍼 고정장치의 작용을 설명한다.

본 실시예의 웨이퍼 고정용기(30)가 웨이퍼보우트로 사용되는 경우에는 운송장치의 로봇척으로부터 다수장의 웨이퍼(20)가 일시에 웨이퍼보우트로 장착되게 된다.

이 경우에 슬롯(35)과 슬롯(35)의 사이에는 웨이퍼(20)가 걸쳐질 수 있는 공간이 없고 경사면(37a)만 있기 때문에, 각 웨이퍼(20)는 슬롯 가이드(37)를 따라 가이드되어 해당 슬롯(35)에 내부(39)에 삽입되게 된다.

그리고, 가이드 슬롯(35)의 경사면(37a)이 슬롯바(31)에 수직인 선을 기준으로 대략 45。정도를 이루기 때문에 슬롯(35)과 슬롯(35)의 간격을 감안할 때, 웨이퍼가 해당 슬롯(35)에서 벗어나 다른 슬롯(35)으로 삽입될 가능성은 극히 낮아지게 된다.

본 실시예의 웨이퍼 보우트에 웨이퍼(20)를 장착하고 습식공정을 수행하는 경우에는 웨이퍼보우트에 장착된 웨이퍼(20)가 배스내 부력에 의하여 슬롯 내부를 이탈하는 일이 발생할 수 있다.

그러나 이처럼 웨이퍼(20)가 슬롯(35)을 이탈하는 경우에도 여러장의 다른 웨이퍼(20)와 나란하게 세워져 있기 때문에 웨이퍼가 행동할 수 있는 각도의 범위가 작고 가이드 슬롯의 각도가 완만하기 때문에 해당 슬롯(35)에서 다른 슬롯(35)으로 이동될 가능성은 적어지게 되고, 웨이퍼(20)가 슬롯(35)과 슬롯(35) 사이의 공간에 걸쳐질 가능성도 적어지게 된다.

따라서, 웨이퍼(20)는 부력에 의해 슬롯 내부(39)를 이탈하는 경우라도 해당 슬롯(35)의 가이드부(37)를 통하여 용이하게 원래의 위치로 복귀할 수 있게 된다.

본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 기재된 사항에 의해 정해지며, 특허청구범위에 기재된 사항과 동일성 범위에서 당업자가 행한 다양한 변형과 개작을 포함한다.

본 발명은 상기와 같은 구성에 의해 웨이퍼의 장착과 탈거시에 있어서, 웨이퍼의 에지가 슬롯에 겹쳐지거나 슬롯사이에 걸쳐지지 않고 해당 슬롯으로 용이하게 가이드될 수 있게 되어 웨이퍼의 운반과 장착과정에 의한 불량률을 감소시키는 것이 가능하게 된다.

또한 웨이퍼에 대한 습식공정이 진행되는 경우에 웨이퍼가 부력에 의해 슬롯을 벗어나게 되는 경우에도, 슬롯사이에 걸쳐지지 않으면 슬롯 가이드부를 따라 슬롯 내부로 복귀가 용이하기 때문에 웨이퍼 작업공정에서의 웨이퍼의 이탈에 따른 불량율을 감소시키는 것이 가능하게 된다.

도 1a은 종래의 웨이퍼 고정용기를 예시한 평면도.

도 1b는 상기 웨이퍼 고정용기의 예시 측면도.

도 1c는 상기 웨이퍼 고정용기의 예시 정면도.

도 2a는 종래의 웨이퍼 고정용기의 슬롯바에 형성된 슬롯의 구조를 예시한 단면도.

도 2b는 종래의 슬롯바의 구성을 예시한 부분단면도.

도 3a은 본 발명에 의한 웨이퍼 고정용기의 바람직한 실시예의 구성을 예시한 단면도.

도 3b는 본 발명에 의한 웨이퍼 고정용기의 바람직한 실시예의 구성을 예시한 부분단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

20.........웨이퍼 30........웨이퍼 고정용기

31.........슬롯바 33........지지브라켓

35.........슬롯 37........가이드부

37a........경사면

Claims (4)

1. 웨이퍼의 외주면이 삽입되는 다수개의 슬롯이 형성되어 웨이퍼를 외부에서 지지하는 복수개의 슬롯바와;

   상기 복수개의 슬롯바를 양단에서 지지하는 지지브라켓을 포함하는 웨이퍼 고정용기에 있어서,

   상기 슬롯의 내부로 웨이퍼가 삽입되는 가이드부는 경사면을 이루며, 그 양측 슬롯의 가이드부는 서로 맞닿아 있어,

   상기 웨이퍼가 상기 슬롯사이에 놓여지지 않고 각 슬롯으로 원활하게 가이드되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정용기.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 슬롯의 가이드부는 상기 슬롯바에 수직인 선을 기준으로 30。 내지 60。기울어져 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정용기.
3. 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 웨이퍼 고정용기는, 습식공정이 이루어지는 배스 내에 웨이퍼를 유지하거나 이동시키는 웨이퍼보우트인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정용기.
4. 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 웨이퍼 고정용기는, 카세트에 있는 다수개의 웨이퍼를 일거에 집어서 웨이퍼보우트로 전달하거나 웨이퍼보우트로부터 웨이퍼를 집어서 다른 공정으로 웨이퍼를 이동시키는 운반기기의 로봇척인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 고정용기.