CN102598238A - 晶圆载具 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种晶圆载具，包括：一对侧板，所述一对侧板具有在其顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述侧板的两侧，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定在所述侧板的底部，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；及屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；其中，形成所述插槽，以使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端。

Description

晶圆载具
技术领域
本发明涉及一种晶圆载具，尤其涉及一种可以防止容纳于晶圆载具中的大量的晶圆移动，通过固定突出部自然导向所容纳的晶圆，并且防止所述容纳的晶圆被损坏的晶圆载具。
背景技术
通常，制造半导体器件是通过选择性地进行例如曝光、刻蚀、扩散、沉积等工艺的一系列过程来实现的，其中，所述扩散和沉积工艺是通过在高温环境下注入工艺气体并且使工艺气体在硅片上进行反应来实现的。用于进行这种工艺的半导体制造设备主要使用管(tube)式炉(furnace)装置。通常，这种管式炉或类似装置使用一次装载大量的晶圆并且在其上进行工艺的分批(batch)方式，并且在制造半导体器件的工艺中用作形成薄膜或扩散杂质离子的装置。主要使用这类装置中的立式熔炉(vertical type furnace)。所述立式熔炉是化学气相沉积装置，其使用的工艺是：在高温真空环境下，若将工艺气体注入工艺室，工艺气体相互反应，以形成反应物质，同时在低气压的空间内扩散反应物质，以在晶圆的表面上叠薄膜。
作为用于容纳和传送大量晶圆的装置，载具已经被使用。在根据现有技术的常用载具中，在将板安装在载具的左右两侧的状态下，沿着板的周围表面固定多个座杆，使载具的顶部是敞开的，以在载具中容纳晶圆，并且将固定杆固定在敞开的顶部，以固定所容纳的晶圆并且保持晶圆在载具中安置的状态。此外，在所述座杆和固定杆的外周表面以预定的距离设置有多个固定突出部，从而可以将晶圆插入固定突出部之间。
但是，在固定突出部之间插入晶圆时，因晶圆和固定突出部之间的接触而产生摩擦，因此，会发生在与固定突出部接触的表面上生成斑点的问题。
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种可以防止容纳于晶圆载具中的大量的晶圆移动，通过固定突出部自然地导向所容纳的晶圆，并且防止所容纳的晶圆被损坏的晶圆载具。
解决技术问题的技术手段
为了实现本发明的上述目的，本发明具有下列配置。
根据本发明的实施方式，晶圆载具包括：一对侧板，所述一对侧板具有在其顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述侧板的两侧，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在其内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定在所述侧板的底部，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在其顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；及屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在其底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；其中，所述插槽形成为使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端。
此外，优选地，所述插槽的底表面可以以选自曲线和倾斜面中的任意一种形成的。
而且，优选地，所述固定突出部的截面形状可以具有所述固定突出部的宽度从底端向顶端逐渐变窄的形状。
此外，优选地，所述固定突出部可以具有弯曲形状。
而且，优选地，所述固定突出部可以具有其侧面的倾斜面在顶端相互接触的形状。
此外，所述固定突出部的底端还可以设置有角形体。
而且，所述角形体可以具有竖直形成的侧面或具有与所述固定突出部的倾斜面相比相对小的倾斜角。
有益效果
本发明具有如下效果：防止容纳于晶圆载具中的大量的晶圆移动，通过固定突出部自然地导向所容纳的晶圆，并且防止晶圆被损坏。
本发明还具有如下效果：通过使容纳于插槽中的晶圆位于所述插槽的中心，防止晶圆因固定突出部而被损坏。
本发明还具有如下效果：通过使结合部件具有各种形状，提高载具内的附着力，从而防止晶圆水平移动，并且可以防止晶圆因在湿法或干法工艺中发生的温度变化或化学反应而被扭曲。
附图说明
图1是示意性地示出本发明的实施方式的晶圆载具的透视图；
图2是示出图1所示的屏蔽杆的部分透视图；
图3是示出图2所示的屏蔽杆的操作状态的部分截面图；
图4和图5是示出根据本发明的实施方式的插槽的形状的部分截面图；
图6至图9是示出容纳根据本发明的实施方式的晶圆的固定突出部的形状的部分截面图；
图10至图12是示出本发明的实施方式的晶圆载具的操作状态的示意图。
具体实施方式
下文，将参照附图更详细地描述本发明的示例性实施例。可以以各种形式对本发明的示例性实施例进行变型，并且本发明的范围不应解释为受限于下文描述的示例性实施例。本发明的示例性实施例是为了给本领域的技术人员更详细地传达本发明的构思而提供的。因此，为了阐明本发明的描述，附图中示出的各组件的形状可能被放大。
图1是示意性示出本发明的实施方式的晶圆载具的透视图，图2是示出图1所示的屏蔽杆的部分透视图。图3是示出图2所示的屏蔽杆的操作状态的部分截面图，图4和图5是示出根据本发明的实施方式的插槽的形状的部分截面图，图6至图9是示出容纳根据本发明的实施方式的晶圆的固定突出部的形状的部分截面图，以及图10至图12是示出本发明的实施方式的晶圆载具的操作状态的示意图。
现在，将参照附图详细描述本发明的示例性实施例。
参照图1和图2，晶圆载具10配置成包括侧板110、侧支撑杆120、底部支撑杆120a及屏蔽杆130。
所述侧板110的顶部的两侧设置有环形吊孔112，插入孔114形成在所述吊孔112之间，并且所述侧板110的一侧设置有与所述插入孔114连接的支撑面119。而且，在所述插入孔114的下方形成比所述插入孔114更扩大的弧形座孔116，并且沿着所述座孔116的表面形成结合孔118。即，形成一对侧板110，并且在侧板的彼此面对的位置设置有支撑面119，以使下文描述的支撑板131可以结合在所述支撑面上。
所述侧支撑杆120与所述侧板110的两侧连接，以保持侧板间的间隔恒定，并且在所述侧支撑杆120的内侧设置有插槽123，所述插槽123由固定突出部122在纵向方向上以预定的间隔形成。
所述底部支撑杆120a设置在侧板的底端，以保持侧板间的间隔恒定。如同所述侧支撑杆120，在所述底部支撑杆120a的顶部设置有插槽123a，所述插槽123a由固定突出部122a在纵向方向上形成。
所述屏蔽杆130可拆卸地插入所述插入孔114，插入插槽中的晶圆可以被固定在晶圆载具上，并且在所述屏蔽杆130的底部可以设置有插槽133，所述插槽133由固定突出部132在纵向方向上形成。此外，屏蔽杆130的两端设置有固定在支撑面119上的支撑板131，并且设置有从所述支撑板131延伸的结合部件134和从所述结合部件134延伸的板形把手136。此外，在所述结合部件134上设置有沿着其外周表面突出的阶梯件135。
即，在晶圆载具中，在使侧板110彼此相隔恒定距离的状态下，形成有插槽123和123a的侧支撑杆120和底部支撑杆120a固定所述侧板之间，并且在晶圆载具的顶部形成可以设置晶圆的空间，以将屏蔽杆130插入插入孔，并使晶圆固定地在载具的内部移动。在这种配置中，在弧形结合部件134中形成的阶梯件135被插入座孔116中的结合孔118的状态下，固定所述屏蔽杆130，从而通过阶梯件和结合孔防止所述屏蔽杆横向移动。
例如，如图3所示，在将屏蔽杆130设置在侧板110的顶部的状态下，将晶圆W插入侧板之间，以固定在插槽上。此后，将安装在屏蔽杆130的两端的结合部件134插入所述插入孔114，并且在被插入的结合部件134安置在座孔116中的状态下，将阶梯件135插入结合孔118。在这种状态下，利用把手136旋转结合部件，以使结合部件和座孔紧密结合，并且将阶梯件结合在结合孔中，以将屏蔽杆牢固地固定在侧板上，从而防止屏蔽杆移动。
同时，如图4所示，形成在所述侧支撑杆120、底部支撑杆120a及屏蔽杆130上的插槽123、123a、133形成在固定突出部132之间，并且具有从插槽133的底表面133a的宽度(W)方向的两端向中心侧越来越低的曲线形状，因此可以最小化被插入插槽133的晶圆受到固定突出部的干涉。此外，如图5所示，插槽133的底表面133a具有从其两端向中心倾斜的形状，从而使得晶圆受到固定突出部的干涉最小。
尤其是，如图6所示，所述固定突出部132具有向上突出的曲线形状，因此，可以防止当晶圆被插入插槽时所述晶圆被固定突出部损坏。如图7所示，通过以从底部向顶部宽度逐渐变窄的倾斜面132a的顶端相互接触的三角形形成固定突出部132，可以获得相同的效果。
此外，如图8所示，固定突出部132的倾斜面132a的下侧还可以设置有角形体132b，并且如图9所示，所述角形体132b的侧面132c具有比所述倾斜面132a更小的倾斜角，因此，被插入的晶圆可以被自然地导向至插槽内。
参照附图描述本发明的示例性实施例的操作状态，如图10至12所示，在定位晶圆载具10的状态下，可以将侧板110与屏蔽杆130分离，以将晶圆W插入由侧支撑杆120和底部支撑杆120a形成的空间内。将被插入的晶圆固定至在所述侧支撑杆120和底部支撑杆120a上形成的插槽123和123a上，并且按顺序层叠。在这种情况下，如图4和图5所示，插槽的底表面是以向下弯曲或倾斜的形状形成的，因此，可以将被插入的晶圆设置在所述插槽的中心部分。如图6至图9所示，固定突出部具有倾斜的形状，因此，被插入的晶圆可以被自然地导向至插槽。
将所有的晶圆插入晶圆载具后，将屏蔽杆设置在侧板的顶部，以使屏蔽杆的结合部件插入所述插入孔的同时使被插入的结合部件安置在座孔中。利用把手以预定的角度旋转安置后的结合部件，以将所述安置后的结合部件牢固地固定在座孔中，从而防止屏蔽杆从侧板分离或移动。此后，利用吊孔将晶圆结合至传送部件，以使其被传送。在这种情况下，优选地，还包括缓冲垫等，用于当晶圆被插入插槽时防止晶圆因摩擦而被损坏。
同时，在所述侧支撑杆和底部支撑杆牢固地固定在侧板的状态下，当将屏蔽杆可拆卸地插入所述侧板时，通过阶梯件或止动件增强结合力，从而可以防止晶圆载具因利用湿法或干法方式进行半导体制造的工艺中发生的温度变化而变形(翘曲等)。
尽管已经参考具体实施方式描述本发明，然而明显的是，本领域的技术人员可以对本发明进行各种变型和修改，而不偏离附属权利要求中定义的本发明的精神和范围。

Claims (7)

1.一种晶圆载具，包括：
一对侧板，所述一对侧板具有在所述一对侧板的顶端形成的吊孔和插入孔；
侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述一对侧板的两侧，以使所述一对侧板相隔预定的距离，并且所述侧支撑杆具有在所述侧支撑杆的内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；
底部支撑杆，所述底部支撑杆固定至所述一对侧板的底表面，以使所述一对侧板相隔预定的距离，并且所述底部支撑杆具有在所述底部支撑杆的顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；以及
屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；
其中，所述插槽形成为使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端。
2.如权利要求1所述的晶圆载具，其中，所述插槽的底表面是以选自曲线和倾斜面中的任意一种形成的。
3.如权利要求1所述的晶圆载具，其中，所述固定突出部的截面形状为：宽度从其底端向顶端逐渐变窄。
4.如权利要求1所述的晶圆载具，其中，所述固定突出部具有曲线形状。
5.如权利要求3所述的晶圆载具，其中，所述固定突出部具有侧面的倾斜面在顶端相互接触的形状。
6.如权利要求5所述的晶圆载具，其中，所述固定突出部的底端还设置有角形体
7.如权利要求6所述的晶圆载具，其中，所述角形体具有垂直形成的侧面或具有与所述固定突出部的倾斜面相比相对小的倾斜角。
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