JPH0810735A - ディスク状物品の洗浄用容器およびその載置治具 - Google Patents

ディスク状物品の洗浄用容器およびその載置治具

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JPH0810735A
JPH0810735A JP16579594A JP16579594A JPH0810735A JP H0810735 A JPH0810735 A JP H0810735A JP 16579594 A JP16579594 A JP 16579594A JP 16579594 A JP16579594 A JP 16579594A JP H0810735 A JPH0810735 A JP H0810735A
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cleaning container
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 ディスク状物品を確実に洗浄でき、かつ、容
器への収容、取出も容易に行える洗浄用容器及び洗浄容
器の載置治具の提供。 【構成】 一対の側板21L,21R間に下部位置で下
部保持ロッド29a,29bを、さらに上方位置で中央
部保持ロッド23a〜23cを、また、さらに上方位置
で上部保持ロッド24a,24bを架設し、これら保持
ロッドに長手方向所定間隔で条溝を形成して収容用容器
20を構成する。ハードディスクDを外周部が各保持ロ
ッドの溝に遊合した状態で下部保持ロッドおよび中央部
保持ロッド上に載置して収容し、洗浄時や搬送時には上
部保持ロッドによりハードディスクDの上部を押さえ、
また、移載時には上部保持ロッドを平行移動させてハー
ドディスクDを積み込み、取り出すことができるように
構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、洗浄装置におけるデ
ィスク状物品の洗浄用容器と、この容器用の載置治具に
かかり、特に、洗浄槽内において超音波洗浄等を行う場
合に用いられる洗浄用容器であって、ハードディスク等
の超音波洗浄等に適した洗浄用容器と載置治具に関す
る。
【0002】
【従来の技術】ハードディスク等の物品の洗浄に際して
は洗浄溶剤を物品の周りで十分に流動させることが不可
欠であるが、また、洗浄時間等の制約からハードディス
ク等の物品を個別に洗浄することも不可能である。この
ため、ハードディスク等の洗浄に際しては、通常、搬入
コンベア等により搬送容器に収納された状態で搬入され
る物品を洗浄用容器に移し替え、この洗浄用容器をトロ
リコンベア等で吊り下げて洗浄槽内を通過させ、洗浄槽
内において洗浄用容器に収容された状態で物品を洗浄す
る。この後、洗浄槽から出た洗浄用容器から洗浄済の物
品を搬出コンベア上の搬送容器に移し替え、次の工程等
に搬送している。
【0003】従来、上述した洗浄用容器としては金網等
から構成したバケット状の容器が用いられ、そして、搬
入コンベアで搬入される搬送容器内の物品は作業者が手
作業でバケット状の容器に移し替えて洗浄槽内に送り出
し、また、洗浄槽から送り出される容器内の物品は作業
者が手作業で搬出コンベア上の搬送容器に移し替えてい
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の洗浄用容器にあっては、ハードディスク等のデ
ィスク状の物品を洗浄する場合、収容できる物品の数が
少なく、効率的に洗浄できないという問題があった。す
なわち、容器に物品を収容する場合は物品の全面を確実
に洗浄するため物品を重なり合わないように収容しなけ
ればならないが、ハードディスク等の物品の形状がディ
スク状で、また、容器がバケット状であるため収容でき
る物品の数が限られ、多数の物品を効率的に洗浄するこ
とができない。
【0005】また、上述した洗浄装置にあっては、搬入
コンベアで搬入される搬送用容器内の物品を作業者が手
作業で洗浄用容器に移し替えなければならないため、洗
浄に要する工数が大きく、作業者の作業負担も大きいと
いう問題があった。この発明は、上記問題に鑑みてなさ
れたもので、多くのディスク状物品を収容して効率的に
洗浄することができる洗浄用容器、また、搬送用容器か
ら洗浄用容器への物品の移し替えを作業者によること無
く自動的に行える洗浄装置を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、複数のディスク状物品を収
容して洗浄槽内を搬送される洗浄用容器であって、一対
の側板と、これら側板間に所定間隔を隔て平行に架設さ
れた少なくとも2本の下部保持棒および中央部保持棒
と、前記一対の側板間に前記中央部保持棒の上方位置で
該各保持棒と平行に該中央部保持棒の内側位置と外側位
置との間を前記ディスク状物品の径寸法に対応した距離
を斜め上下方向に平行移動可能に架設された上部保持棒
とを備え、前記各保持棒にそれぞれ前記ディスク状物品
の外周部が遊合可能な複数の溝を長手方向に同一の間隔
で形成した。
【0007】そして、請求項2記載の発明の洗浄用容器
は、前記下部保持棒を左右2本とし、前記中央部保持棒
を左右および中央の3本とし、前記上部保持棒の両端を
ガイド部当接案内部とするとともに、一対の側板の上方
部外方に掛止ピンを突設するとともに、係止凹部を形成
し、該側板下方部を連結棒で定着して構成される。
【0008】また、請求項3記載の発明は、前記下部保
持棒および前記上部保持棒の溝を断面略逆台形状で、底
面に前記ディスク状物品の外周縁が遊合可能な凹部を有
するように成形して構成される。
【0009】そして、請求項4記載の発明は、前記洗浄
用容器にディスク状物品の収容、取出に際して該洗浄用
容器を載置するための載置治具であって、台板上に、前
記洗浄用容器の連結棒の位置決め部材を設けるととも
に、前記上部保持部材の当接案内部をガイドする案内カ
ム部材を設けた。
【0010】
【作用】請求項1および請求項2記載の発明にかかる洗
浄用容器によれば、ディスク状の物品を上部保持棒およ
び下部保持棒の溝に外周部を遊合させて起立状態で一定
の間隔を隔てて収納できるため多数のディスク状物品を
互いが接触することが無く、また、これらディスク状物
品は上部保持棒により上方から押さえられるため脱落が
防止でき安定的に収容できる。そして、物品を収容する
場合や物品を取り出す場合には、上部保持棒を平行移動
させることで物品の収容や取出が上部保持棒と干渉する
こと無く容易に行える。
【0011】そして、請求項3記載の発明にかかる洗浄
用容器によれば、溝が断面略逆台形状で底部に凹部を有
するため、ディスク状物品を収容する際にはディスク状
物品の外周周縁部を断面逆台形状の溝の側面を滑らせて
底面の凹部に遊合させることができ、ディスク状物品を
確実に収容することができる。
【0012】また、請求項4記載の発明にかかる載置治
具によれば、洗浄用容器にディスク状の物品を受け部材
上に載置して上部が上部保持部材により押さえられた状
態で収納できるため、ディスク状物品を洗浄用容器に安
定した状態で収納できる。そして、洗浄用容器が載置さ
れと、洗浄用容器は上部保持部材(当接案内部)が載置
治具のカム部材と係合して受け部材上方から離脱するよ
うに平行移動するため、洗浄用容器へのディスク状物品
の収容や取出もディスク状物品が上部保持部材と干渉す
ること無く容易に行える。また、前記洗浄用容器の位置
決め用の位置決め部材が設けられているため、載置治具
に対する洗浄用容器の変位が規制され、載置治具上に洗
浄用容器を安定して載置でき、ディスク状物品の収納や
取出が確実かつ容易に行える。
【0013】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図1から図13はこの発明の一実施例にかかる
洗浄用容器と洗浄装置を表し、図1が洗浄装置の模式全
体平面図、図2が搬送用容器とロボットハンドとを示す
斜視図、図3がロボットハンドの側面図、図4が同ロボ
ットハンドの横断面図、図5が同ロボットハンドの一部
拡大側面図、図6が載置治具の正面図、図7が同載置治
具の平面図、図8が同載置治具の側面図、図9が洗浄用
容器の正面図、図10が同洗浄用容器の一部を断面した
側面図、図11が同洗浄用容器の平面図、図12が同洗
浄用容器の一部拡大平面図、図13が作用説明図であ
る。
【0014】図1において、10は超音波式の洗浄槽で
あり、洗浄槽10は、特開平1−304089号公報等
に周知の構成を有し、内部に洗浄溶剤が貯留されてい
る。図示および詳細な説明は割愛するが、この洗浄槽1
0には内部に被洗浄物入口と出口との間でチェーンコン
ベア19が延設され、このチェーンコンベア19がフッ
クに被洗浄物であるハードディスクDが収容された洗浄
用容器20を吊り下げて洗浄槽10内部を入口から出口
に向かって搬送する。そして、このチェーンコンベア1
9により搬送される洗浄用容器20内のハードディスク
Dは洗浄槽10内を搬送される間に洗浄溶剤中に浸漬さ
れて洗浄される。なお、周知のように、ハードディスク
Dは円板状をなし、中央に内孔Daが形成される。
【0015】洗浄用容器20は、図9から図12に示す
ように、複数のハードディスクDを同芯状に2列に配列
して収容する。この洗浄用容器20は、略W形状の一対
の側板21L,21R間に2本の連結ロッド22a,2
2b、3本の中央部保持ロッド23a,23b,23c
および2本の下部保持ロッド29a,29bを架設し、
また、側板21L,21R間に各下部保持ロッド29
a,29bの上方で上部保持ロッド(上部保持部材)2
4a,24bを橋架して構成される。なお、この洗浄用
容器20の側板21L,21R、連結ロッド22a,2
2b、中央部保持ロッド23a,23b,23cおよび
下部保持ロッド29a,29b等は同一の構成であるた
め、以下の説明では、必要に応じて添字の無い番号で代
表し、また、各部品の対応する部分に同一の符号を付し
て説明する。
【0016】側板21には、上方に向かって開口し底部
(下部)両側に半円状の凸部21cで区画される半円状
の一対の凹部21bを有する切欠21aが中央に、この
切欠21aの両側に長穴21dが形成され、また、上部
両側にそれぞれ掛止ピン25がネジにより固設されてい
る。上述した凹部21bは収容されるハードディスクD
と同芯に位置するように形成され、また、長穴21dは
凹部21bの中心を指向して収容されるハードディスク
Dの外径に等しい位置まで延在し、掛止ピン25は上述
したチェーンコンベア19のフックに引掛可能に設けら
れる。
【0017】連結ロッド22は、側板21の下部両側位
置で平行に架設され、端部がネジにより側板21に固定
される。各下部保持ロッド29および中央部保持ロッド
23は側板21に凹部21bの中心を中心としてハード
ディスクDの外径と等しい位置で端部をネジにより止着
される。これら中央部保持ロッド23は水平な面内に、
また、下部保持ロッド29は中央部保持ロッド23の配
置面よりも下方の水平な面内に配置される。上部保持ロ
ッド24は、両端部が側板21の長穴21d内に摺動自
在に挿通され(図9中、矢印)、端部(当接案内部に相
当)24aが長穴21dを貫通して所定寸法外側へ延出
する。この上部保持ロッド24は、後述するように、洗
浄用容器20が載置治具に載置されると側板21から延
出した端部24aが載置治具のカム面に係合して長穴2
1d内を上方へ平行移動し、また、洗浄用容器20が載
置治具から外されると自重により下方に移動する。な
お、この洗浄用容器20には上述した上部保持ロッド2
4を下方に付勢するスプリング等を設けることも可能で
ある。
【0018】また、図12に拡大して示すように、各中
央部保持ロッド23および下部保持ロッド29には長手
方向に所定間隔で断面略逆台形状で底面に凹部27aを
有する複数の条溝27が形成され、同様に、上部保持ロ
ッド24にも断面略逆台形状で底面に凹部27aを有す
る複数の条溝27が長手方向に中央部保持ロッド23お
よび下部保持ロッド29と同一の間隔で形成される。こ
れら各保持ロッド23,24,29の条溝27は凹部2
7aの幅寸法がハードディスクDの外周部が遊合可能な
寸法を有し、ハードディスクDは収容に際して外周縁部
が条溝27の側面(斜面)を滑り凹部27aに遊合する
(図12参照)。
【0019】また、洗浄槽10の周りには搬送コンベア
30が洗浄槽10の被洗浄物入口と出口とを結ぶ方向に
平行に延設されている。搬送コンベア30は、ベルトコ
ンベア等から構成され、洗浄槽10の入口側部分が搬入
コンベア(搬入コンベア部分30i)として、出口側の
部分が搬出コンベア(搬出コンベア部分30o)として
機能する。この搬送コンベア30は、搬入コンベア部分
30iで未洗浄のハードディスクDを搬送用容器31に
収納された状態で洗浄槽10の入口側に向けて搬送し、
また、搬出コンベア部分30oで洗浄済のハードディス
クDを搬送用容器31に収納して搬出する(搬送方向は
図1中の矢印)。
【0020】搬送用容器31は、図2に概略的に示すよ
うに、略箱状をなし、上部に上方が開口する半円柱状の
凹部を形成されている。この搬送用容器31は、凹部内
面に所定の間隔で部分円弧状の複数の条溝が形成され、
これら条溝に外周部を遊合させて複数のハードディスク
Dを同芯状に配列した状態で収容する。
【0021】さらに、洗浄槽10の周りには、洗浄槽1
0の被洗浄物入口に近接して洗浄用容器20を載置可能
な載置治具40iと洗浄用容器20が供給される容器供
給機構50iとが、同様に、洗浄槽10の出口に近接し
て洗浄用容器20を載置可能な載置治具40oと洗浄用
容器20を払い出すための容器受取機構50oとが配設
される。またさらに、この洗浄槽10の周りには、載置
治具40iと搬入コンベア部分30iとの間にロボット
70iが、載置治具40oと搬出コンベア30oとの間
にロボット70oが設けられている。なお、載置治具4
0i,40oおよびロボット70i,70oは同一の構
成であるため、以下、必要に応じ添字の無い番号で代表
して一方のみを説明する。
【0022】載置治具40は、図6から図8に示すよう
に、装置フレーム等に設けられた平面視略矩形状の基板
41を有し、この基板41の4隅に支持板42がそれぞ
れボルトにより固定され、また、棒状の2つの位置決め
ブロック43が平行にボルトにより固定されている。支
持板42は、位置決めブロック43と平行に配置され、
上部に位置決めブロック43と平行な方向に対向するよ
うに延出する取付部42aが形成されている。これら支
持板42にはそれぞれ、取付部42aに第1のガイド板
44が2つのボルトにより固定され、また、取付部42
aの下方に第2のガイド板45がボルトにより固定され
ている。なお、49は基板41にその4隅で支持板42
と直角に固定された補強板であり、補強板49は支持板
42を補強する。
【0023】第1のガイド板(案内カム部材に相当)4
4はそれぞれ上部に位置決めブロック43の延在方向外
方に斜め下方に向かって傾斜するカム面44aが形成さ
れ、このカム面44aに載置治具40に載置される洗浄
用容器20の上部保持ロッド24の両端部が係合する。
第2のガイド板45はそれぞれ、位置決めブロック43
と直交する方向内側にガイド面45aを有し、このガイ
ド面45aが対向するように配置される。この第2のガ
イド板45には載置治具40に載置される洗浄用容器2
0の側板21が係合する。位置決めブロック43にはそ
れぞれ両端側の表面にV字状の溝43aが長手方向同一
位置で形成されている。この位置決めブロック43には
載置治具40に載置された洗浄用容器20の連結ロッド
22が遊合する。
【0024】図1に概略的に示すように、容器供給機構
50iと容器受取機構50oとはコンベア59で連絡さ
れ、容器供給機構50iは供給部51iに空の洗浄用容
器20がコンベア59により搬入され、また、容器受取
機構50oは払出部51oに空の洗浄用容器20が移載
され、この洗浄容器20がコンベア59により容器供給
機構50iに搬送される。容器供給機構50iの供給部
51i上の洗浄用容器20はロボット70iにより載置
治具40i上に移載され、容器受取機構50oの払出部
51oにはロボット70oにより載置治具40oから空
の洗浄用容器20が移載される。
【0025】ロボット70は、図1に示すように、基台
71にメインアーム72を旋回可能に支持し、このメイ
ンアーム72の先端に旋回可能かつ上下動可能な揺動ア
ーム74を介してロボットハンド73を取り付けて構成
される。ロボットハンド73は、図2から図5に示すよ
うに、棒状をなし、上面に断面略V字状で底部が部分円
弧状をなす複数の溝73aが長手方向に所定の間隔で形
成されている。これら溝73aは、底部の曲率がハード
ディスクDの内孔Daの曲率と略等しい。
【0026】なお、図示と詳細な説明は割愛するが、ロ
ボット70は収容用容器20を把持可能なロボットハン
ドも有する。そして、上述したように、ロボット70o
はロボットハンドで載置治具40o上の洗浄用容器20
を容器受取機構50oの払出部51oに移送し、また、
ロボット70iは容器供給機構50iの供給部51i上
の洗浄用容器20。を載置治具40iに移送する。
【0027】この実施例にあっては、搬送用容器31に
収容されて複数のハードディスクDが搬送コンベア30
の搬入コンベア部分30iにより洗浄槽10の入口側に
搬入され、また、この搬送用容器31の搬送に合わせて
洗浄槽10の入口側の載置治具40i上に容器供給機構
50iの供給部51iから空の洗浄用容器20がロボッ
ト70iによって移載される。
【0028】ここで、図6に示すように、洗浄用容器2
0は載置治具40i上に載置されることで上部保持ロッ
ド22の端部が載置治具40iの第1のガイド板44の
カム面44aに係合して長穴21dを斜め外上方へ平行
移動するため後述するハードディスクDの収容に際して
ハードディスクDが上部保持ロッド24に干渉すること
がなく、ハードディスクDを円滑に収容することができ
る。また、洗浄用容器20を載置治具40i上に載置す
る場合も第2のガイド板45のガイド面45aが側板2
1と係合して案内するため洗浄用容器20を一定の位置
に載置することができ、さらに、洗浄用容器20が載置
治具40i上に載置された状態では連結ロッド22が位
置決めブロック43の溝43aに遊合するため洗浄用容
器20の位置ずれも有効に防止できる。
【0029】そして、搬送コンベア30により搬送され
る搬送用容器31が所定位置に到達すると、ロボット7
0iがロボットハンド73を図13の矢印a,b,cの
順序で作動させてハードディスクDを移載する。すなわ
ち、先ず、ロボット70iは、ロボットハンド73を搬
送容器31内のハードディスクDの内孔に挿通させて上
昇させ(矢印a)、ハードディスクDを搬送容器31か
ら持ち上げる。ここで、搬送用容器31には複数のハー
ドディスクDが同芯状に所定間隔で整列された状態で収
容されているため、ハードディスクDはそれぞれが内孔
の周縁をロボットハンド73の溝73aに遊合させた状
態でロボットハンド73に掛止し、ハードディスクDは
ロボットハンド73の上昇で搬送用容器31の凹部から
持ち上げられる。
【0030】次いで、ロボット70iはメインアーム7
2と揺動アーム74とを揺動させ(矢印b)、載置治具
40i上の洗浄用容器20の上方でロボットハンド73
を下降させてロボットハンド73に掛止したハードディ
スクDを洗浄用容器20の下部保持軸23上に載置する
(矢印c)。この時、上述したように、載置治具40i
上に載置された洗浄用容器20は、上部保持ロッド24
が外側に移動した状態にあり、また、規定の位置に連結
ロッド22を位置決めブロック43の溝43aに遊合さ
せて位置するため、ハードディスクDの洗浄用容器20
への移載を確実に行える。また、ハードディスクDは内
孔の内周部をロボットハンド73の溝73aに遊合させ
て互いに所定間隔を隔て掛止し、また、洗浄用容器20
の各中央部および下部保持ロッド23,29には条溝2
7が形成されているため、各ハードディスクDは個々の
外周部を条溝27に遊合させて所定間隔を隔てた状態に
移載される。
【0031】この後は、載置治具40i上の洗浄用容器
20は掛止ピン25にチェーンコンベアのフックが掛止
して載置治具40iの上方に吊り下げられ、チェーンコ
ンベアによって洗浄槽10内に導入される。ここで、洗
浄用容器20は載置治具40iの上方に持ち上げられる
ことで、上部保持ロッド24が自重により長穴21dを
その下端まで下方に平行移動する。このため、洗浄槽1
0内においてハードディスクDの脱落も有効に防止で
き、また、上述のようにハードディスクDは適宜な間隔
をもって洗浄用容器20に収容されるためハードディス
クDの洗浄も確実に行える。
【0032】一方、洗浄後においては、ハードディスク
Dを収容した洗浄用容器20が洗浄槽10の出口から出
て載置治具40o上に載置される。そして、洗浄用容器
20は載置治具40o上に載置される際には、載置治具
40iに空の洗浄用容器20を載置する場合と同様に、
第2のガイド板45のガイド面45aにより側板21が
案内され、また、上部保持ロッド24の端部が第1のガ
イド板44のカム面44aに係合して上部保持ロッド2
4が長穴21d内を斜め外上方に平行移動し、さらに、
載置された状態では連結ロッド22が位置決めブロック
43の溝43aに遊合する。
【0033】この後、ロボット70oは上述した場合と
逆に矢印c’,b’,a’の順序で作動して洗浄済のハ
ードディスクDを搬送用容器31に移載する。すなわ
ち、ロボット70oは先ずロボットハンド73を洗浄用
容器20に整列状態で載置されたハードディスクdの内
孔に挿通させて持ち上げる(矢印c’)。したがって、
上述した場合と同様に、ハードディスクDは内孔の周辺
部をロボットハンド73の溝73aに遊合させた状態で
持ち上げられ、ハードディスクDが互いに当接すること
を防止できる。
【0034】次いで、ロボットハンド70oはメインア
ーム71等を揺動させ(矢印b’)、ロボットハンド7
3に掛止されたハードディスクDを搬送コンベア30の
搬出コンベア部分30o上の搬送用容器20の直上に位
置させた後に下降させ(矢印a’)、ハードディスクD
を搬送コンベア30上の搬送用容器30に移載する。こ
の時、ロボットハンド73に掛止したハードディスクD
は溝73aにより規定される間隔が隔てられているた
め、ハードディスクDを搬送用容器30に移載する際に
もハードディスクDが相互に当接することがなく、ま
た、搬送用容器30に所定の間隔をもって載置すること
ができる。
【0035】なお、上述した実施例では、被洗浄物とし
てハードディスクDを例示するが、ハードディスクDに
限らず、種々の円板状の物品に適用することができる。
また、上述した実施例では、洗浄槽の具体的構造を記載
しないが、超音波式洗浄装置等、公知の種々の洗浄装置
に適用することができる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1および請
求項2記載のディスク状物品の洗浄用容器によれば、上
部保持棒、下部保持棒および中央部保持棒にそれぞれ長
手方向所定間隔で溝を形成し、下部および中央部保持棒
の溝にディスク状物品の外周縁部を遊合させてディスク
状物品を収容可能に構成するとともに、上部保持棒をデ
ィスク状物品の上方位置から離脱可能に設け、中央部お
よび下部保持棒に載置されたディスク状物品を上部保持
棒により押さえることができるようにしたため、ディス
ク状物品の脱落を確実に防止でき、また、ディスク状物
品の洗浄も確実に行えるという効果が得られる。
【0037】そして、請求項3記載のディスク状物品の
洗浄用容器によれば、上部保持棒、中央部保持棒および
下部保持棒の溝をそれぞれ断面略台形状で底部にディス
ク状物品の外周縁部が遊合可能な凹部を形成したため、
ディスク状物品の収納を確実に行え、また、より確実に
保持することができる。
【0038】また、請求項4記載の載置治具によれば、
受け部材の上方で上部保持部材を移動可能に構成して該
上部保持部材により受け部材上に載置されたディスク状
物品の上部を押さえることができるように構成された洗
浄用容器を載置する際に、カム部材が洗浄用容器の上部
保持棒と係合して上部保持棒を受け部材の上方位置から
離脱する方向に移動させるため、洗浄用容器からのディ
スク状物品の取出、洗浄用容器へのディスク状物品の収
容が容易に行えるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例が適用される洗浄装置を模
式的に示す全体平面図である。
【図2】同洗浄装置における洗浄用容器とロボットハン
ドとの状態を模式的示す斜視図ある。
【図3】同ロボットハンドの側面図である。
【図4】同ロボットハンドの横断面図である。
【図5】同ロボットハンドの一部拡大側面図である。
【図6】同洗浄装置における載置治具の正面図である。
【図7】同載置治具の平面図である。
【図8】同載置治具の側面図である。
【図9】同洗浄装置の洗浄用容器の正面図である。
【図10】同洗浄用容器の一部を断面した側面図であ
る。
【図11】同洗浄用容器の平面図である。
【図12】同洗浄用容器の一部拡大平面図である。
【図13】同洗浄装置の搬送用容器と洗浄用容器との間
のディスク状物品の移載を示す作用説明図である。
【符号の説明】
10 洗浄槽 19 チェーンコンベア 20 洗浄用容器 21L,21R 側板 21d 長穴 22a,22b 連結ロッド 23a,23b,23c 中央部保持ロッド 24a,24b 上部保持ロッド 25 掛止ピン 27 条溝 29a,29b 下部保持ロッド 30 搬送コンベア 30a 搬入コンベア部分 30b 搬出コンベア部分 31 搬送用容器 40i,40o 載置治具 41 基板 42 支持板 43 位置決めブロック 43a 溝 44 第1のガイド板 44a カム面 45 第2のガイド板 45a ガイド面 50i 容器供給機構 51i 供給部 50o 容器受取機構 51o 受取部 59 コンベア 70 ロボット 72 メインアーム 73 ロボットハンド 73a 溝 D ハードディスク(ディスク状物品) Da 内孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 T

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のディスク状物品を収容して洗浄槽
    内を搬送される洗浄用容器であって、 一対の側板と、 これら側板間に所定間隔を隔て平行に架設された少なく
    とも2本の下部保持棒および中央部保持棒と、 前記一対の側板間に前記中央部保持棒の上方位置で該各
    保持棒と平行に該中央部保持棒の内側位置と外側位置と
    の間を前記ディスク状物品の径寸法に対応した距離を斜
    め上下方向に平行移動可能に架設された上部保持棒とを
    備え、 前記各保持棒にそれぞれ前記ディスク状物品の外周部が
    遊合可能な複数の溝を長手方向に同一の間隔で形成した
    ことを特徴とするディスク状物品の洗浄用容器。
  2. 【請求項2】 前記下部保持棒を左右2本とし、前記中
    央部保持棒を左右および中央の3本とし、前記上部保持
    棒の両端をガイド部当接案内部とするとともに、一対の
    側板の上方部外方に掛止ピンを突設するとともに、係止
    凹部を形成し、該側板下方部が連結棒で定着された請求
    項1記載のディスク状物品の洗浄用容器。
  3. 【請求項3】 前記下部保持棒および前記上部保持棒の
    溝は断面略逆台形状で、底面に前記ディスク状物品の外
    周縁が遊合可能な凹部を有する請求項1または請求項2
    記載の洗浄容器。
  4. 【請求項4】 前記洗浄用容器にディスク状物品の収
    容、取出に際して該洗浄用容器を載置するための載置治
    具であって、 台板上に、前記洗浄用容器の連結棒の位置決め部材を設
    けるとともに、前記上部保持部材の当接案内部をガイド
    する案内カム部材を設けたことを特徴とする載置治具。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009196797A (ja) * 2008-02-22 2009-09-03 Neturen Takuto Co Ltd ワーク整列集積装置
KR101048289B1 (ko) * 2010-07-27 2011-07-15 (주)상아프론테크 솔라 웨이퍼 카세트
WO2011025280A3 (ko) * 2009-08-26 2011-08-25 엠파워(주) 웨이퍼 케리어
KR101456618B1 (ko) * 2013-02-22 2014-11-03 주식회사 엠엠테크 에칭 공정에 적용되는 기판 적재용 카세트

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009196797A (ja) * 2008-02-22 2009-09-03 Neturen Takuto Co Ltd ワーク整列集積装置
WO2011025280A3 (ko) * 2009-08-26 2011-08-25 엠파워(주) 웨이퍼 케리어
CN102598238A (zh) * 2009-08-26 2012-07-18 Emp有限公司 晶圆载具
KR101048289B1 (ko) * 2010-07-27 2011-07-15 (주)상아프론테크 솔라 웨이퍼 카세트
KR101456618B1 (ko) * 2013-02-22 2014-11-03 주식회사 엠엠테크 에칭 공정에 적용되는 기판 적재용 카세트

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