KR101048289B1 - 솔라 웨이퍼 카세트 - Google Patents

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KR101048289B1
KR101048289B1 KR1020100072623A KR20100072623A KR101048289B1 KR 101048289 B1 KR101048289 B1 KR 101048289B1 KR 1020100072623 A KR1020100072623 A KR 1020100072623A KR 20100072623 A KR20100072623 A KR 20100072623A KR 101048289 B1 KR101048289 B1 KR 101048289B1
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이강성
임이택
박기호
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(주)상아프론테크
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Abstract

본 발명은, 일정 간격으로 이격되어 서로 마주하게 배치된 한 쌍의 기립 플레이트(110); 상기 각 기립 플레이트(110)의 서로 마주하는 면에 양단이 각각 고정되어 서로 평행하게 배치되고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110) 사이에 내장되는 솔라웨이퍼(30)의 하부 및 양측을 지지하기 위한 다수의 슬롯(130)이 형성된 복수의 지지바(120) 및 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)에 지지된 채 상기 솔라웨이퍼(30)가 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)로부터 이탈됨을 차단하기 위한 솔라웨이퍼 이탈방지수단을 포함하는 솔라웨이퍼 카세트로서,
상기 이탈방지수단은, 이탈방지부(150A), 선회작용부(150B) 및 걸림부(150C)를 포함하되,
상기 이탈방지부(150A)는 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)를 가로지르게 배치되는 이탈방지바아(153)를 포함하며,
상기 선회작용부(150B)는 상기 이탈방지바아(153)의 양단부에 이탈방지바아에 대해 직교하는 방향으로 일체로 각각 형성되는 제1연결부(154)와, 상기 각 제1연결부(154)의 선단으로부터 직교하게 절곡 형성된 제2연결부(155)와, 상기 제2 연결부(155)의 선단으로부터 상기 이탈방지바아(153)와 나란한 방향으로 절곡되며 상기 각 기립 플레이트(110)에 회전 가능하게 끼움 결합되어 이탈방지수단의 선회작동 시 중심축 역할을 하는 힌지축부(156)로 구성되며,
상기 걸림부(150C)는 상기 이탈방지바아(153)의 양 단부에 이탈방지바아와 일직선을 이루도록 연장 형성되며, 단면이 원형이고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)의 서로 마주하는 면 중에서 어느 하나의 면에 선회가능하게 장착되는 돌출편(157)을 포함하여 구성되며,
상기 각 기립 플레이트(110)의 상부 일측에는 상기 선회작용부(150B)의 힌지축부(156)가 회전 가능하게 끼움 결합되는 축받이홈(118)이 형성되고, 상기 각 기립플레이트(110)의 상변에는 솔라웨이퍼의 세척시 상기 각 돌출편(157)이 삽입되는 제1 걸음홈(111)이 형성되되, 상기 제1 걸음홈(111)은 마주하는 두 개의 측벽(112,113)과, 상기 양 측벽(112,113)을 연결하는 바닥부(114)에 의해 구획 형성되고, 상기 제1 걸음홈(111)의 하단에는 상기 돌출편(157)과 형상적으로 끼워 맞춤되기 위해, 상기 두 개의 측벽(112,113) 중 어느 하나의 측벽(112)과 상기 바닥부(114)가 협력하여 이루어진 끼워맞춤부(115)가 형성되되, 상기 끼워맞춤부(115)는 상기 돌출편(157)의 원형 단면의 곡률과 같은 곡면을 가지고 있고, 그 곡면은 180도 보다 크고 270도 보다 작은 위상차를 갖는 길이를 갖고서 상기 돌출편(157)에 외접되며, 상기 각 기립 플레이트(110)의 하나의 측변에는 솔라웨이퍼의 비세척시 상기 제1 걸음홈(111)으로부터 이탈된 상기 각 돌출편(157)이 끼움되는 제2 걸음홈(117)이 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

솔라 웨이퍼 카세트{solar wafer cassette}
본 발명은 웨이퍼를 수납하는 카세트에 관한 것으로서, 구체적으로는 카세트에 수납된 솔라 웨이퍼의 세척작업에서, 웨이퍼의 이탈을 방지하는 이탈방지바가 장착된 솔라 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.
종래의 솔라 웨이퍼 카세트(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 일정 간격 이격되어 서로 마주하게 배치된 기립 플레이트(10); 상기 기립 플레이트(10)에 양단이 고정되어 서로에 평해하게 배치된 복수개의 지지바(20) 및 상기 지지바(20)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고서 형성되어 웨이퍼(30)를 지지하게 되는 슬롯(40)을 포함한다.
상기와 같이 구성된 솔라 웨이퍼 카세트(1)는 복수개의 웨이퍼(30)를 수납한 상태에서 세척공정에 이송되어 세척액이 담겨진 세척조에 침적되게 된다. 이때, 기립 플레이트(10)의 윗면에 형성된 결합공(12)에 결합된 로드는 요동운동하여 상기 세척조의 세척액에 침적된 상기 솔라 위에퍼 카세트(1)를 요동시킨다.
하지만, 상기와 같이 구성된 종래의 솔라 웨이퍼 카세트(1)는, 세척액에 침적되어 요동 될 시, 복수개의 웨이퍼(30)들이 상기 슬롯(40)에서 이탈되어 카세트 밖으로 빠져나가거나 파손된다는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 극복하고자, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기립 플레이트(10)의 상부에 관통구멍을 형성시키고, 상기 관통구멍에 이탈방지봉(2)을 삽입관통한 상태에서 상기 이탈방지봉(2)의 양단에 형성된 나사가공부(2a)에 너트(3)를 체결하여 솔라웨이퍼의 세척작업시에 솔라 웨이퍼가 카세트에서 이탈되는 것을 방지하였다.
즉, 상기 솔라 웨이퍼(30)가 출입하는 상부 개방부를 상기 이탈방지봉(2)이 가로질러 막음으로써, 상기 복수개의 솔라 웨이퍼(30)들이 세척작업에서 상기 상부 개방부로부터 이탈되지 못하도록 하였다.
하지만 위와 같은 방법은, 세척작업시에는 상기 이탈방지봉(2)을 상기 솔라 웨이퍼 카세트(1)의 관통구멍에 삽입관통시킨 뒤, 상기 너트(3)를 상기 이탈방지봉(2)의 양단에 체결해야하고 그리고 세척작업이 끝나면, 상기 솔라 웨이퍼(30)를 상기 카세트로부터 빼내기 위해, 너트(3)를 풀고 상기 이탈방지봉(2)을 상기 관통구멍에서 빼내야만 하는 번거로운 작업을 작업자가 반복 실시해야하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 카세트에 안착된 솔라 웨이퍼의 세척작업시에, 별도의 체결도구 없이 상기 카세트에 착탈가능하게 장착되어 상기 솔라 웨이퍼가 상기 카세트에서 이탈되는 것을 막아주는 이탈방지수단을 제공하는데 목적이 있다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 일정 간격으로 이격되어 서로 마주하게 배치된 한 쌍의 기립 플레이트(110); 상기 각 기립 플레이트(110)의 서로 마주하는 면에 양단이 각각 고정되어 서로 평행하게 배치되고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110) 사이에 내장되는 솔라웨이퍼(30)의 하부 및 양측을 지지하기 위한 다수의 슬롯(130)이 형성된 복수의 지지바(12) 및 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)에 지지된 채 상기 솔라웨이퍼(30)가 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)로부터 이탈됨을 차단하기 위한 솔라웨이퍼 이탈방지수단을 포함하는 솔라웨이퍼 카세트로서,
상기 이탈방지수단은, 이탈방지부(150A), 선회작용부(150B) 및 걸림부(150C)를 포함하되,
상기 이탈방지부(150A)는 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)를 가로지르게 배치되는 이탈방지바아(153)를 포함하며,
상기 선회작용부(150B)는 상기 이탈방지바아(153)의 양단부에 이탈방지바아에 대해 직교하는 방향으로 일체로 각각 형성되는 제1연결부(154)와, 상기 각 제1연결부(154)의 선단으로부터 직교하게 절곡 형성된 제2연결부(155)와, 상기 제2 연결부(155)의 선단으로부터 상기 이탈방지바아(153)와 나란한 방향으로 절곡되며 상기 각 기립 플레이트(110)에 회전 가능하게 끼움 결합되어 이탈방지수단의 선회작동 시 중심축 역할을 하는 힌지축부(156)로 구성되며,
상기 걸림부(150C)는 상기 이탈방지바아(153)의 양 단부에 이탈방지바아와 일직선을 이루도록 연장 형성되며, 단면이 원형이고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)의 서로 마주하는 면 중에서 어느 하나의 면에 선회가능하게 장착되는 돌출편(157)을 포함하여 구성되며,
상기 각 기립 플레이트(110)의 상부 일측에는 상기 선회작용부(150B)의 힌지축부(156)가 회전 가능하게 끼움 결합되는 축받이홈(118)이 형성되고, 상기 각 기립플레이트(110)의 상변에는 솔라웨이퍼의 세척시 상기 각 돌출편(157)이 삽입되는 제1 걸음홈(111)이 형성되되, 상기 제1 걸음홈(111)은 마주하는 두 개의 측벽(112,113)과, 상기 양 측벽(112,113)을 연결하는 바닥부(114)에 의해 구획 형성되고, 상기 제1 걸음홈(111)의 하단에는 상기 돌출편(157)과 형상적으로 끼워 맞춤되기 위해, 상기 두 개의 측벽(112,113) 중 어느 하나의 측벽(112)과 상기 바닥부(114)가 협력하여 이루어진 끼워맞춤부(115)가 형성되되, 상기 끼워맞춤부(115)는 상기 돌출편(157)의 원형 단면의 곡률과 같은 곡면을 가지고 있고, 그 곡면은 180도 보다 크고 270도 보다 작은 위상차를 갖는 길이를 갖고서 상기 돌출편(157)에 외접되며, 상기 각 기립 플레이트(110)의 하나의 측변에는 솔라웨이퍼의 비세척시 상기 제1 걸음홈(111)으로부터 이탈된 상기 각 돌출편(157)이 끼움되는 제2 걸음홈(117)이 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 솔라 웨이퍼 카세트에 의하면, 세척 공정마다 이탈방지 봉에 대한 너트의 장착 및 탈착작업을 수행함 없이 이탈방지바의 선회운동만에 의해 간편하게 카세트에 대한 솔라웨이퍼의 출입을 가로막거나 허용하는 것을 가능하게 하여, 작업자 또는 기기의 번거로운 작업을 단순화시켜서 작업효율이 종래보다 향상될 수 있다.
도 1은 종래의 솔라 웨이퍼 카세트의 사시도.
도 2는 종래의 또 다른 솔라 웨이퍼 카세트의 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 솔라 웨이퍼 카세트의 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 솔라 웨이퍼 카세트의 측면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 이탈방지수단의 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 이탈방지수단의 돌출편이 제 2 걸음홈에 결합된 상태를 보여주는 솔라 웨이퍼 카세트의 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 이탈방지수단의 돌출편이 제 1 걸음홈에 결합된 상태를 보여주는 솔라 웨이퍼 카세트의 측면도.
이하, 첨부된 도 3 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 솔라 웨이퍼 카세트가 상세히 설명된다.
도 3에는 본 발명의 실시예에 따른 솔라 웨이퍼 카세트가 부호 100으로서 지시되어 있다.
도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 솔라 웨이퍼 카세트(100)는, 종래와 같이, 일정 간격 이격되어 서로 마주하게 배치된 한 쌍의 기립 플레이트(110); 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)가 서로 마주하는 면에 양단이 각각 고정되어 서로에 평행하게 배치되고, 솔라 웨이퍼(30)를 하부 및 양측부에서 지지하게 되는 슬롯(130)이 복수개 형성된 복수개의 지지바(120)를 포함한다.
또한, 상기 솔라 웨이퍼 카세트(100)는, 종래와 이탈방지봉과 다른 이탈방지수단(150)을 포함하고 있다.
상기 이탈방지수단(150)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 이탈방지부(150A), 선회작용부(150B) 및 걸림부(150C)를 일체로 포함하고 있다.
상기 이탈방지부(150A)는 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)를 가로지르게(x축 방향) 배치되는 이탈방지바아(153)를 포함하고 있다.
상기 선회작용부(150B)는 상기 이탈방지바아(153)의 양단에 각각 일체로 연결되어 있다.
상기 선회작용부(150B) 각각은 기단이 상기 이탈방지바아(153)의 양단부에 이탈방지바아(153)에 대해 직교하는 방향(y축 방향)으로 일체로 형성되는 제 1 연결부(154)와, 상기 제 1 연결부(154)의 선단으로부터 직교하게(z축 방향) 절곡 형성된 제 2 연결부(155) 및 상기 제 2 연결부(155)의 선단으로부터 상기 이탈방지바아(153)와 나란한 방향으로 절곡되며 상기 각 기립 플레이트(110)에 회전 가능하게 끼움 결합되어 이탈방지수단의 선회작동 시 중심축 역할을 하는 힌지축부(156)를 포함하고 있다.
상기 걸림부(150C)는 상기 이탈방지바아(153)의 양단에 각각 일체로 연결되어 있다.
상기 걸림부(150C) 각각은 기단이 상기 이탈방지바아(153)에 일체로 결합되어 선단이 X축 방향(이탈방지바아와 일직선을 이루는 방향)으로 연장형성되어 있는 돌출편(157)을 포함하고 있다.
또한, 본 발명의 상기 솔라 웨이퍼 카세트(100)는, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110) 각각의 상변에 형성된 제 1 걸음홈(111), 그리고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110) 각각의 일 측변에 형성된 제 2 걸음홈(117)을 포함한다.
상기 돌출편(157)은 상기 제 1 및 제 2 걸음홈(111, 117)에 용이하게 삽입되기 위하여 원형의 단면을 갖는다.
상기 제 1 걸음홈(111)은 상기 돌출편(157)이 삽입되어 걸음될 수 있는 크기와 형상을 가지고 있으며, 두 개의 측벽(112, 113)과 상기 측벽(112, 113)을 연결하는 바닥부(114)에 의해 구획 형성된다.
상기 제 1 걸음홈(111)의 하단에는, 원형의 단면을 갖는 상기 돌출편(157)과 형상적으로 끼워맞춤되기 위해서, 상기 두 개의 측벽(112, 113)중 어느 하나의 측벽(112)과 상기 바닥부(114)가 협력하여 이루어진 끼워맞춤부(115)가 형성되어 있다.
상기 끼워맞춤부(115)는 상기 돌출편(157)의 원형 단면의 곡률과 같은 곡면을 가지고 있고, 그 곡면은 180도 보다 크고 270도 보다 작은 위상차를 갖는 길이를 가지고서 상기 돌출편(157)에 외접된다.
그리고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)가 서로 마주하는 면에는 상기 선회작용부(150B)의 힌지축부(150C)가 회전가능하게 삽입될 수 있는 축받이홈(118)이 형성되어 있다.
상기 축받이홈(118)은 상기 복수개의 지지바(120)에 의해서 구획형성되는 공간 바깥측에 위치되며, 본 발명의 실시예에서는 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)의 상단 일측 모서리에 위치되어 있다.
이하, 상기와 같이 구성된 본원 발명의 솔라 웨이퍼 카세트(100)는 다음과 같이 사용된다.
먼저, 솔라 웨이퍼(30)가 슬롯(130)에 의해 지지된 상태에서 세척공정에 이송되기 전에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 돌출편(157)이 상기 제 2 걸음홈(117)에 삽입되어 걸음된 상태로 상기 이탈방지수단(150)이 위치되어 있다.
위와 같은 상태에서, 상기 솔라 웨이퍼(30)의 세척공정을 실시할 시에는, 작업자는 상기 제 이탈방지바아(153)를 당겨 상기 제 2 걸이홈(117)에서 상기 돌출편(157)을 이탈시키고, 상기 이탈방지바아(153)를 상기 축받이홈(118)의 회전중심축선을 중심으로 상향 선회시킨다.
그 다음, 작업자는 상기 돌출편(157)을 상기 제 1 걸음홈(111)에 삽입시킨다.
위와 같은 상태에서, 작업자가 상기 이탈방지바아(153)를 하방으로 가압하면, 상기 돌출편(157)은 상기 제 1 걸음홈(111)의 두 개의 측벽(112, 113) 사이에서 가이드 되면서 이동되다가, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 끼워맞춤부(115)에 삽입되어 걸림된다.
그러면, 상기 돌출편(157)의 외주는 상기 끼워맞춤부(115)가 구획형성하고 있는 공간에 감싸지기 때문에, 결국, 상기 제 1 걸림홈(111)에서 이탈되지 않는다.
그러면, 상기 슬롯(130)에 지지되는 웨이퍼(30)가 세척 공정시에 세척액이 저장된 세척조 투입되어 요동되어도, 상기 이탈방지수단(150)의 이탈방지바아(153)가 상기 솔라 웨이퍼(30)의 출입방향인 솔라 웨이퍼 카세트(100)의 상부 개방부를 가로막은 상태이기 때문에, 상기 솔라 웨이퍼 카세트(100)에서 이탈되지 않을 수 있다.
그리고, 솔라 웨이퍼(30)의 세척작업이 끝나면, 작업자는 상기 이탈방지바아(153)를 당겨 상기 제 1 걸음홈(111)에서 상기 돌출편(157)을 이탈시킨 후, 상기 이탈방지바아(153)를 상기 축받이홈(118)의 중심축선을 중심으로 하향 선회시킨다.
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 돌출편(157)을 상기 제 2 걸음홈(117)에 삽입시켜 걸음 시킨 뒤, 상기 솔라 웨이퍼 카세트(100)의 상부 개방부를 개방시킨다.
그러면, 작업자는 세척이 완료된 솔라 웨이퍼(130)를 상기 솔라 웨이퍼 카세트(100)에서 빼낼 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형, 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다.
100 : 솔라 웨이퍼 카세트 110 : 기립 플레이트
111 : 제 1 걸음홈 115 : 끼워맞춤부
117 : 제 2 걸음홈 118 : 축받이홈
150 : 이탈방지수단 150A : 이탈방지부
150B : 선회작용부 150C : 걸림부
153 : 이탈방지바아 154 : 제 1 연결부
155 : 제 2 연결부 156 : 힌지축부

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 일정 간격으로 이격되어 서로 마주하게 배치된 한 쌍의 기립 플레이트(110); 상기 각 기립 플레이트(110)의 서로 마주하는 면에 양단이 각각 고정되어 서로 평행하게 배치되고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110) 사이에 내장되는 솔라웨이퍼(30)의 하부 및 양측을 지지하기 위한 다수의 슬롯(130)이 형성된 복수의 지지바(120) 및 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)에 지지된 채 상기 솔라웨이퍼(30)가 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)로부터 이탈됨을 차단하기 위한 솔라웨이퍼 이탈방지수단을 포함하는 솔라웨이퍼 카세트로서,
    상기 이탈방지수단(150)은, 이탈방지부(150A), 선회작용부(150B) 및 걸림부(150C)를 포함하되,
    상기 이탈방지부(150A)는 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)를 가로지르게 배치되는 이탈방지바아(153)를 포함하며,
    상기 선회작용부(150B)는 상기 이탈방지바아(153)의 양단부에 이탈방지바아에 대해 직교하는 방향으로 일체로 각각 형성되는 제1연결부(154)와, 상기 각 제1연결부(154)의 선단으로부터 직교하게 절곡 형성된 제2연결부(155)와, 상기 제2 연결부(155)의 선단으로부터 상기 이탈방지바아(153)와 나란한 방향으로 절곡되며 상기 각 기립 플레이트(110)에 회전 가능하게 끼움 결합되어 이탈방지수단의 선회작동 시 중심축 역할을 하는 힌지축부(156)로 구성되며,
    상기 걸림부(150C)는 상기 이탈방지바아(153)의 양 단부에 이탈방지바아와 일직선을 이루도록 연장 형성되며, 단면이 원형이고, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(110)의 서로 마주하는 면 중에서 어느 하나의 면에 선회가능하게 장착되는 돌출편(157)을 포함하여 구성되며,
    상기 각 기립 플레이트(110)의 상부 일측에는 상기 선회작용부(150B)의 힌지축부(156)가 회전 가능하게 끼움 결합되는 축받이홈(118)이 형성되고, 상기 각 기립플레이트(110)의 상변에는 솔라웨이퍼의 세척시 상기 각 돌출편(157)이 삽입되는 제1 걸음홈(111)이 형성되되, 상기 제1 걸음홈(111)은 마주하는 두 개의 측벽(112,113)과, 상기 양 측벽(112,113)을 연결하는 바닥부(114)에 의해 구획 형성되고, 상기 제1 걸음홈(111)의 하단에는 상기 돌출편(157)과 형상적으로 끼워 맞춤되기 위해, 상기 두 개의 측벽(112,113) 중 어느 하나의 측벽(112)과 상기 바닥부(114)가 협력하여 이루어진 끼워맞춤부(115)가 형성되되, 상기 끼워맞춤부(115)는 상기 돌출편(157)의 원형 단면의 곡률과 같은 곡면을 가지고 있고, 그 곡면은 180도 보다 크고 270도 보다 작은 위상차를 갖는 길이를 갖고서 상기 돌출편(157)에 외접되며, 상기 각 기립 플레이트(110)의 하나의 측변에는 솔라웨이퍼의 비세척시 상기 제1 걸음홈(111)으로부터 이탈된 상기 각 돌출편(157)이 끼움되는 제2 걸음홈(117)이 형성된 것을 특징으로 하는 솔라웨이퍼 카세트.
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