JPS6258653A - ウエハ・カセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明トま、種々の半導体装置のウエノ・・カセットに
関するものである。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

ウエハ・カセット｛ユウエハ挿入後、カセットを移動す
るなどの場合、挿入口を上あるいは真横（＝向けていた
。しかし、操作ミス、カセット設置場所の傾きなどによ
って挿入口が下方に傾くと、ウェハがすべり落ちる事が
ある。これ（二よってウェハが割れたり、欠けたりする
と損害となり、歩留りも低下してしまう。

〔発明の目的〕

本発明は、カセットのウェハ挿入口が下方（二傾いても
中のウェハがすべり落ちない事を目的とする装置である
。

〔発明の概要〕

ウェハ・カセットのウェハ挿入側の片方に樹脂製の扉、
例えば静的応力（ウエハ重ｉ）Ｘ２［ｇ）以上の支持力
を持つ棒を備え付け、ウェハのすべり落ちを防止する。

〔発明の効果〕

本発明のウェハ・カセットだと操作ミスなどによって挿
入口が下方書二傾いてもウェハがすべり落ちて、割れた
り欠けたりする事がなくかなりの安全性が保障出来る。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。

第１図の１はウェハすべり落ち防止となる樹脂製の棒枠
を示す。容器（二トよ樹脂製（又は金属製）の止め具２
，３が設けられ、棒が押し込まれるようにされ、すべり
落ち防止を行なう際には２側（二棒を止めて置く。そう
すると、誤って挿入口を下方（−傾けた場合でも、挿入
口がウェハ直径より小さくなっているため、ウェハの１
点が、棒（二当りすべり落ちを止める。この際、棒が金
属製のものだと、ウェハが棒に轟たった際に欠ける可能
性も有るため、樹脂製の棒を用い、ウェハに与える衝撃
を緩和する。この棒を使用しない際（カセットの中にウ
ェハが無い、あるいはウェハを取り出す）は３側に止め
て固定しておく事が出来る。

カセット内の全ウェハの荷重が棒に急激（＝加わると静
的応力の２倍の応力が生ずるため、棒の支持力は１７ｇ
　（１ウ工ハ重ｆｉ）Ｘ２４（カセット内ウェハ枚数）
Ｘ２倍の８１６ｇ　以上の支持が必要である。

支持力がそれ以下だとウェハが落ちることがある。第２
図は樹脂棒を折り曲げて形成した、第１図で示した樹脂
棒製枠を示している。枠を全て樹脂とせず、ウェハの尚
るＡ−Ａ’　を樹脂、他を金属製としても良い。また、
枠状とせず、樹脂板で扉を構成してもよい。何れにして
も、樹脂部でウェハを受けるので、ウェハの破損が無く
、また、挿入口の全面を覆わないものとしたので取扱い
（＝場所を取らず、コスト的（二も有利である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の実施例を示す図である。 図において、 １・・・すべり落ち防止の樹脂製棒 ２・・・止め具（すべり落ち防止使用時）３・・・止め
具 ４・・・ウェハ ５・・・カセット本体 ６・・・取手 ７・・・軸受 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　在　喜久男 第　１　図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハ挿入口の一部にすべり落ち防止用の樹脂製
   の扉を具備したウェハ・カセット。
2. （２）扉が樹脂棒枠であることを特徴とする前記特許請
   求の範囲第１項記載のウェハ・カセット。