CN211386092U - 一种高频振动清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高频振动清洗机，涉及硅片清洗技术领域，其技术方案要点是包括机体，机体内设有超声槽，超声槽的开口处搭接有用于放置硅片的支架，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，超声槽内可拆卸设有过滤板，过滤板位于支架与超声槽底部之间，过滤板四周的周缘全部抵接于超声槽的内周侧壁使超声槽被分为上下两个腔室。过滤板上设有用于取放过滤板的手握结构；超声槽相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板的支撑杆。还包括用于固定过滤板的锁定结构。本实用新型通过过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低了工作人员清理超声槽的次数，只需要更换过滤板即可，操作简单快捷。

Description

一种高频振动清洗机

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，更具体地说，它涉及一种高频振动清洗机。

背景技术

随着微电子技术的进步，芯片的集成度不断提高，元器件的尺度不断缩小，相应地对硅片洁净度的要求也越来越高。因为硅片表面的残留污染物和杂质会导致电路或器件结构失效，所以在制造过程中需要对硅片进行清洗以去除硅片表面残留的杂质。

现有授权公告号为CN202427679U的中国专利公开了超声硅片清洗机，包括超声槽，超声槽的一侧设有排水阀门，超声槽的槽口处搭接有用于放置硅片的支架，超声槽的底部设有超声波振子。超声槽上还设有循环水管路，循环水管路上通过过滤装置和抽水泵连有喷头。上述公开专利中的超声硅片清洗机在排水的过程中，当超声槽内的水逐渐清澈时，开启抽水泵，使清水经过过滤装置后通过喷头喷出，喷头由人工操作控制水流方向和位置，可将清水重新打入超声槽内，达到循环清洗的作用。

但是，上述公开专利中的超声硅片清洗机，过滤装置是设置在超声槽的外侧，在清洗硅片时，硅片上的粉尘等杂质混入超声槽内的水中，超声槽内的水在流出超声槽时才能经由过滤装置过滤，而超声槽内仍然会有部分粉尘等杂质沉积在超声槽底部。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种高频振动清洗机，其通过过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低了工作人员清理超声槽的次数，只需要更换过滤板即可，操作简单快捷。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种高频振动清洗机，包括机体，所述机体内设有超声槽，超声槽的开口处搭接有用于放置硅片的支架，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，所述超声槽内可拆卸设有过滤板，所述过滤板位于支架与超声槽底部之间，所述过滤板四周的周缘全部抵接于超声槽的内周侧壁使超声槽被分为上下两个腔室；

所述过滤板上设有用于取放过滤板的手握结构；

所述超声槽相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板的支撑杆；

还包括用于固定过滤板的锁定结构。

通过采用上述技术方案，利用过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性，从而降低工作人员清理超声槽的次数。另外，现有技术中的超声硅片清洗机，在清理超声槽底部的粉尘时，需要将超声槽内的水全部排出后才能清理杂质。与现有技术相比，本方案不需要将超声槽内的水全部排出，只需要取出支架，解除锁定结构对过滤板的固定即可更换过滤板，操作简单快捷。

进一步地，所述支撑杆朝向超声槽开口的一侧开有卡槽，过滤板背离超声槽开口的侧面设有卡入卡槽的卡条。

通过采用上述技术方案，卡条卡入卡槽内可固定过滤板，降低高频振动清洗机在工作时过滤板因振动而发生位移的可能性，使过滤板的周缘脱离与超声槽内侧壁的抵接，从而影响过滤板的过滤效果。

进一步地，所述卡条为弹性橡胶条。

通过采用上述技术方案，弹性橡胶条卡入卡槽内在起到固定过滤板的作用的同时，弹性橡胶条的弹性可减缓过滤板与支撑杆之间的撞击，降低损坏过滤板的可能性。

进一步地，所述锁定结构包括螺栓，所述过滤板通过螺栓与支撑杆可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，利用螺栓将过滤板固定于支撑杆上，降低高频振动清洗机在工作时过滤板因振动而发生位移的可能性，避免过滤板的周缘脱离与超声槽内侧壁的抵接，从而影响过滤板的过滤效果。

进一步地，所述过滤板朝向超声槽开口的侧面向远离超声槽开口方向弯曲形成有曲面。

通过采用上述技术方案，过滤板的侧面为曲面可增大过滤板与水的接触面积，进而提高过滤效果。

进一步地，所述机体的侧壁开有连通于超声槽的进水孔，所述排水口连接有排水管，所述排水管连接有抽水泵，所述排水管远离排水口的一端插入进水孔并连通于超声槽；

还包括用于固定排水管的固定结构。

通过采用上述技术方案，需要更换超声槽内的水时，可将进水管从进水孔内拔出，使超声内的水经由排水管排出。另外，也可利用抽水泵将排出的水重新注入到超声槽内，从而达到循环用水的效果。

进一步地，所述固定结构包括设于机体侧壁的挂环，所述排水管设有靠近进水孔的挂钩。

通过采用上述技术方案，将挂钩挂在挂环上，从而防止排水管远离排水口的一端脱离进水孔，使得超声槽内的水在抽水泵的作用下可通过排水管进入到超声槽内，从而达到循环用水的效果。

进一步地，所述手握结构为提手。

通过采用上述技术方案，过滤板上设有提手，便于工作人员取放过滤板。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、利用过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性，从而降低工作人员清理超声槽的次数；

2、超声槽内的水在排出时，利用抽水泵将水重新注入到超声槽内，从而达到循环用水的效果，降低水资源的浪费。

附图说明

图1为实施例1中一种高频振动清洗机的整体结构示意图；

图2为实施例1中一种高频振动清洗机的剖视图；

图3为实施例1中一种高频振动清洗机的爆炸图；

图4为图1中A部分的放大图；

图5为实施例2中过滤板的结构示意图。

图中：1、机体；11、超声槽；12、超声波振子；13、容纳盒；131、通孔；14、搭钩；15、支撑杆；151、卡槽；16、排水口；17、进水孔；18、挂环；19、挂钩；2、过滤板；21、卡条；22、螺栓；23、提手；24、曲面；3、抽水泵；31、排水管。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：

一种高频振动清洗机，参照图1,包括方形的机体1，机体1内设有方形的超声槽11，超声槽11的底部设有超声波振子12。超声槽11内可拆卸搭接有支架，支架包括用于放置硅片的容纳盒13，容纳盒13的底部开有若干通孔131，容纳盒13沿宽度方向的两边均设有两个搭钩14，搭钩14搭在机体1的侧壁上。

参照图2，超声槽11内设有一块方形的过滤板2，过滤板2位于支架的下方。过滤板2四周的周缘全部抵接于超声槽11的内周侧壁，使得超声槽11被分为上下两个腔室，从而利用过滤板2过滤水中的粉尘等杂质，减低粉尘等杂质沉积在超声槽11底部的可能性。

参照图3，超声槽11沿宽度方向的两内侧壁均沿超声槽11的的宽度方向设有长条形的支撑杆15，支撑杆15的长度小于超声槽11的宽度。支撑杆15朝向超声槽11开口的侧面沿支撑杆15的长度方向开有卡槽151，过滤板2背离超声槽11开口的侧面设有卡入卡槽151的卡条21，卡条21由弹性橡胶制成。卡条卡入卡槽151内在起到固定过滤板2的作用的同时，弹性橡胶条的弹性可减缓过滤板2与支撑杆之间的撞击，降低损坏过滤板2的可能性。

参照图3，过滤板2长度方向的两端均设有一个螺栓22，螺栓22位于过滤板2宽边的中点处，螺栓22的端部沿过滤板2的厚度方向贯穿过滤板2插入支撑杆15，使得过滤板2通过螺栓22与支撑杆15可拆卸连接。利用螺栓22将过滤板2固定于支撑杆15上，降低高频振动清洗机在工作时，过滤板2因振动而发生位移的可能性，避免过滤板2的周缘脱离与超声槽11内侧壁的抵接，从而影响过滤板2的过滤效果。

参照图3，过滤板2朝向超声槽11开口的侧面设有两个呈U型的提手23，两提手23分别位于过滤板2长度方向的两端，便于工作人员握住提手23取放过滤板2。

参照图3和图4，机体1的侧壁开有排水口16，排水口16位于过滤板2的下方且靠近超声槽11底部。排水口16连接有排水管31，排水管31连接有抽水泵3。机体1的侧壁开有靠近超声槽11开口的进水孔17，排水管31远离排水口16的一端插入进水孔17。机体1的侧壁设有呈U型的挂环18，排水管31设有与挂环18配合使用的挂钩19。

工作原理如下：利用过滤板2过滤水中的粉尘等杂质，降低粉尘等杂质沉积在超声槽11底部的可能性，从而降低工作人员清理超声槽11底部的次数。另外，现有技术中的超声硅片清洗机，在清理超声槽11底部的粉尘时，需要将超声槽11内的水全部排出后才能清理杂质。与现有技术相比，本实施例不需要将超声槽11内的水全部排出，只需要取出支架，解除锁定结构对过滤板2的固定即可更换过滤板2，操作简单快捷。

需要更换超声槽11内的水时，可将挂钩19脱离挂环18，将排水管31远离排水口16的一端从进水孔17内拔出，从而排出超声槽11内的水，也可利用抽水泵3将排出的水重新注入到超声槽11，进而达到循环用水的效果。

实施例2：

一种高频振动清洗机，参照图5，以实施例1为基础，本实施例与实施例1的区别在于：过滤板2朝向超声槽11开口的侧面向背离超声槽11开口方向弯曲形成曲面24，从而增加过滤板2与水的接触面积，提高整体的过滤效果。

上述具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种高频振动清洗机，包括机体(1)，所述机体(1)内设有超声槽(11)，超声槽(11)的开口处搭接有用于放置硅片的支架，机体(1)的一侧设有与超声槽(11)连通的排水口(16)，其特征在于：所述超声槽(11)内可拆卸设有过滤板(2)，所述过滤板(2)位于支架与超声槽(11)底部之间，所述过滤板(2)四周的周缘全部抵接于超声槽(11)的内周侧壁使超声槽(11)被分为上下两个腔室；

所述过滤板(2)上设有用于取放过滤板(2)的手握结构；

所述超声槽(11)相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板(2)的支撑杆(15)；

还包括用于固定过滤板(2)的锁定结构。

2.根据权利要求1所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述支撑杆(15)朝向超声槽(11)开口的一侧开有卡槽(151)，过滤板(2)背离超声槽(11)开口的侧面设有卡入卡槽(151)的卡条(21)。

3.根据权利要求2所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述卡条(21)为弹性橡胶条。

4.根据权利要求1所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述锁定结构包括螺栓(22)，所述过滤板(2)通过螺栓(22)与支撑杆(15)可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述过滤板(2)朝向超声槽(11)开口的侧面向远离超声槽(11)开口方向弯曲形成有曲面(24)。

6.根据权利要求1所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述机体(1)的侧壁开有连通于超声槽(11)的进水孔(17)，所述排水口(16)连接有排水管(31)，所述排水管(31)连接有抽水泵(3)，所述排水管(31)远离排水口(16)的一端插入进水孔(17)并连通于超声槽(11)；

还包括用于固定排水管(31)的固定结构。

7.根据权利要求6所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述固定结构包括设于机体(1)侧壁的挂环(18)，所述排水管(31)设有靠近进水孔(17)的挂钩(19)。

8.根据权利要求1所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述手握结构为提手(23)。

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