CN211386091U - 一种可循环的高频振动清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可循环的高频振动清洗机，涉及硅片清洗技术领域，其技术方案要点是包括机体，机体内设有超声槽，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，排水口连接有循环装置，还包括过滤桶，所述过滤桶内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶，所述装载桶的深度小于过滤桶的深度。过滤桶位于超声槽内，过滤桶和装载桶的开口均朝向超声槽的槽口。本实用新型通过过滤桶过滤粉尘等杂质，使得粉尘等杂质集中在过滤桶内，从而降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。

Description

一种可循环的高频振动清洗机

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，更具体地说，它涉及一种可循环的高频振动清洗机。

背景技术

随着微电子技术的进步，芯片的集成度不断提高，元器件的尺度不断缩小，相应地对硅片洁净度的要求也越来越高。因为硅片表面的残留污染物和杂质会导致电路或器件结构失效，所以在制造过程中需要对硅片进行清洗以去除硅片表面残留的杂质。

现有授权公告号为CN202427679U的中国专利公开了超声硅片清洗机，包括超声槽，超声槽的一侧设有排水阀门，超声槽的槽口处搭接有用于放置硅片的支架，超声槽的底部设有超声波振子。超声槽上还设有循环水管路，循环水管路上通过过滤装置和抽水泵连有喷头。上述公开专利中的超声硅片清洗机在排水的过程中，当超声槽内的水逐渐清澈时，开启抽水泵，使清水经过过滤装置后通过喷头喷出，喷头由人工操作控制水流方向和位置，可将清水重新打入超声槽内，达到循环清洗的作用。

但是，上述公开专利中的超声硅片清洗机，过滤装置是设置在超声槽的外侧，在清洗硅片时，硅片上的粉尘等杂质混入超声槽内的水中，超声槽内的水在流出超声槽时才能经由过滤装置过滤，而超声槽内仍然会有部分粉尘等杂质沉积在超声槽底部。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种可循环的高频振动清洗机，其通过过滤桶过滤粉尘等杂质，使得粉尘等杂质集中在过滤桶内，从而降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种可循环的高频振动清洗机，包括机体，所述机体内设有超声槽，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，所述排水口连接有循环装置，还包括过滤桶，所述过滤桶内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶，所述装载桶的深度小于过滤桶的深度；

所述过滤桶位于超声槽内，过滤桶和装载桶的开口均朝向超声槽的槽口。

通过采用上述技术方案，需要清洗硅片时，将硅片放置于装载桶内，再将装载桶放置于过滤桶内，将过滤桶放置于超声槽内。超声槽内的水深小于过滤桶的深度并大于装载桶的深度，使得高频振动清洗机在清洗硅片时，硅片上的粉尘等杂质会集中在过滤桶内，从而降低了粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。

进一步地，所述过滤桶的内底壁沿过滤桶的轴线设有一根螺杆，所述装载桶的底面设有与螺杆螺纹连接的插孔。

通过采用上述技术方案，插孔与螺杆螺纹连接，使得装载桶与过滤桶固定连接，从而降低在按压过滤桶使装载桶沉入水中的过程中发生装载桶会因水的浮力而浮起的可能性，避免影响水进入装载桶内。

进一步地，所述过滤桶的内底壁沿过滤桶的轴线设有一根卡柱，所述卡柱的外周侧壁沿卡柱的径向设有卡条；

所述装载桶的底面开有供卡柱插入的插槽，插槽的内侧壁沿插槽的深度方向开有供卡条卡入的滑槽，所述插槽的内侧壁沿插槽的周向开有通槽，所述通槽的一端连通于滑槽远离装载桶底面的一端。

通过采用上述技术方案，将装载桶放置于过滤桶内时，卡柱卡入插槽内，卡条与滑槽滑移配合，卡条移动至滑槽远离装载桶底面的一端时，旋转装载桶，使得卡条卡入通槽内，从而达到将装载桶与过滤桶稳定连接的目的，降低了在将过滤桶放置于水中时发生装载桶因水的浮力而浮起的可能性，避免影响水进入装载桶内。

进一步地，所述卡条设有两根，两根卡条对称分布于过滤桶轴线的两侧。

通过采用上述技术方案，两根卡条分别卡入两通槽内，从而使得装载桶与过滤桶稳定连接，降低在将过滤桶放置于于水中时发生装载桶因水的浮力而浮起的可能性，避免影响水进入装载桶内。

进一步地，所述插槽内设有用于产生驱使卡柱远离插槽作用力的弹性件。

通过采用上述技术方案，卡柱卡入插槽时，弹性件产生的弹力作用于插槽和卡柱，使得卡柱具有远离插槽的趋势，从而使得卡条能够稳定的卡在通槽内，使得装载桶与过滤桶稳定连接，降低在将过滤桶放置于于水中时发生装载桶因水的浮力而浮起的可能性，避免影响水进入装载桶内。

进一步地，所述弹性件为压缩弹簧，所述压缩弹簧的一端连接于插槽的底部。

通过采用上述技术方案，压缩弹簧产生的弹力作用于插槽和卡柱，使得卡柱能够稳定的卡在同槽内，从而使得装载桶与过滤桶稳定连接。

进一步地，所述机体的侧壁开有连通于超声槽的进水孔，所述循环装置包括排水管，所述排水管连接有抽水泵，所述排水管的一端连通于排水口，排水管的另一端插入进水孔并连通于超声槽；

还包括用于固定排水管的固定结构。

通过采用上述技术方案，利用抽水泵可将排水的水重新注入到超声槽，从而达到循环用水的效果。

进一步地，所述固定结构包括挂钩，所述挂钩设于排水管远离排水口的一端，所述机体侧壁设有靠近进水孔的挂环。

通过采用上述技术方案，需要更换超声槽内的水时，取下挂钩，将排水管的端部从进水孔内拔出，从而排出超声槽的水。另外，也可利用抽水泵将水重新注入到超声槽内，从而达到循环用水的效果。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、装载桶放置于过滤桶，使得高频振动清洗机在清洗硅片时，硅片上的粉尘等杂质会集中在过滤桶内，从而降低了粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性；

2、通过设置螺杆和插孔，使得装载桶与过滤桶稳定连接，从而降低在按压过滤桶使装载桶沉入水中的过程中发生装载桶会因水的浮力而浮起的可能性，避免影响水进入装载桶内。

附图说明

图1为实施例1中一种可循环的高频振动清洗机的整体结构示意图；

图2为实施例1中一种可循环的高频振动清洗机的剖视图；

图3为图2中B部分的放大图；

图4为图1中A部分的放大图；

图5为实施例2中过滤桶的剖视图；

图6为实施例2中装载桶的结构示意图；

图7为实施例2中装载桶的仰视图；

图中：1、机体；11、机盖；12、超声波振子；13、排水口；131、挂钩；14、进水孔；15、排水管；16、抽水泵；17、挂环；2、超声槽；3、过滤桶；31、螺杆；32、卡柱；321、卡条；4、装载桶；41、插孔；42、插槽；421、滑槽；422、通槽；423、压缩弹簧。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：

一种可循环的高频振动清洗机，参照图1和图2,包括方形的机体1，机体1铰接有机盖11，机体1内设有方形的超声槽2，超声槽2内设有超声波振子12。超声槽2内放置有呈中空圆柱形的过滤桶3，过滤桶3内可拆卸放置有呈中空圆柱形的装载桶4，装载桶4用于装载硅片。

参照图2和图3，过滤桶3的内底壁于圆心处设有一根螺杆31，螺杆31沿过滤桶3的轴线设置。装载桶4的底面开有供螺杆31插入的插孔41，螺杆31与插孔41螺纹连接。

参照图1和图2，机体1的侧壁开有靠近超声槽2底部的排水口13，排水口13与超声槽2连通。排水口13连接有排水管15，排水管15连接有抽水泵16。机体1的侧壁开有靠近超声槽2槽口的进水孔14，排水管15远离排水口13的一端插入进水孔14内。利用抽水泵16可将排出的水重新注入到超声槽2内，从而达到循环用水的效果。

参照图1和图4，排水管15远离排水口13的一端设有挂钩131，机体1的侧壁设有靠近进水孔14的挂环17。排水管15的端部插入进水孔14后，可将挂钩131勾住挂环17，从而降低排水管15脱离进水孔14的可能性。需要排出超声槽2内的水时，可经挂钩131与挂环17脱离，将排水管15的端部从进水孔14内拔出，从而排出超声槽2内的水。

工作原理如下：将装载桶4放置于过滤桶3内，旋动装载桶4，使插孔41与螺杆31螺纹配合，从而使得装载桶4与过滤桶3稳定连接，进而降低在按压过滤桶3使装载桶4沉入水中的过程中发生装载桶4会因水的浮力而浮起的可能性，避免影响水进入装载桶4内。将硅片放置于装载桶4后，启动高频振动清洗机对硅片进行清洗。超声槽2内的水深大于装载桶4的深度并小于过滤桶3的深度，硅片清洗完成后，硅片上的粉尘等杂质会集中在过滤桶3内，从而降低了硅片上的粉尘等杂质沉积在超声槽2底部的可能性。

实施例2：

一种可循环的高频振动清洗机，参照图5，以实施例1为基础，本实施例与实施例1的区别在于：过滤桶3的内底壁于圆心处设有圆柱形的卡柱32，卡柱32的外周侧壁设有两根长条形的卡条321，两根卡条321对称分布于过滤桶3轴线的两侧。

参照图6和图7，装载桶4的底面设有供卡柱32插入的圆柱形的插槽42，插槽42的内侧壁沿插槽42的深度方向开有两滑槽421，滑槽421的一端与装载桶4的底面齐平。插槽42的内侧壁沿插槽42的周向开有两通槽422，两通槽422分别与一滑槽421连通，两通槽422沿插槽42的周向呈阵列分布。卡条321卡入滑槽421后，旋转装载桶4，使得两卡条321分别卡入两通槽422内，从而使得装载桶4与过滤桶3稳定连接。

参照图7，插槽42内设有一压缩弹簧423，压缩弹簧423的一端固定连接于插槽42的底部。卡柱32插入插槽42内的过程中，卡条321与滑槽421滑移配合，卡条321移动至滑槽421远离装载桶4底面的一端时，旋转装载桶4，使得卡条321卡入通槽422内。卡条321卡入通槽422时，压缩弹簧423收缩，压缩弹簧423产生的弹力作用插槽42底部和卡柱32，使得卡柱32具有远离插槽42的趋势，从而使得卡条321抵紧于通槽422，使得装载桶4与过滤桶3稳定连接。

上述具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种可循环的高频振动清洗机，包括机体(1)，所述机体(1)内设有超声槽(2)，机体(1)的一侧设有与超声槽(2)连通的排水口(13)，所述排水口(13)连接有循环装置，其特征在于：还包括过滤桶(3)，所述过滤桶(3)内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶(4)，所述装载桶(4)的深度小于过滤桶(3)的深度；

所述过滤桶(3)位于超声槽(2)内，过滤桶(3)和装载桶(4)的开口均朝向超声槽(2)的槽口。

2.根据权利要求1所述的可循环的高频振动清洗机，其特征在于：所述过滤桶(3)的内底壁沿过滤桶(3)的轴线设有一根螺杆(31)，所述装载桶(4)的底面设有与螺杆(31)螺纹连接的插孔(41)。

3.根据权利要求1所述的可循环的高频振动清洗机，其特征在于：所述过滤桶(3)的内底壁沿过滤桶(3)的轴线设有一根卡柱(32)，所述卡柱(32)的外周侧壁沿卡柱(32)的径向设有卡条(321)；

所述装载桶(4)的底面开有供卡柱(32)插入的插槽(42)，插槽(42)的内侧壁沿插槽(42)的深度方向开有供卡条(321)卡入的滑槽(421)，所述插槽(42)的内侧壁沿插槽(42)的周向开有通槽(422)，所述通槽(422)的一端连通于滑槽(421)远离装载桶(4)底面的一端。

4.根据权利要求3所述的可循环的高频振动清洗机，其特征在于：所述卡条(321)设有两根，两根卡条(321)对称分布于过滤桶(3)轴线的两侧。

5.根据权利要求4所述的可循环的高频振动清洗机，其特征在于：所述插槽(42)内设有用于产生驱使卡柱(32)远离插槽(42)作用力的弹性件。

6.根据权利要求5所述的可循环的高频振动清洗机，其特征在于：所述弹性件为压缩弹簧(423)，所述压缩弹簧(423)的一端连接于插槽(42)的底部。

7.根据权利要求1所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述机体(1)的侧壁开有连通于超声槽(2)的进水孔(14)，所述循环装置包括排水管(15)，所述排水管(15)连接有抽水泵(16)，所述排水管(15)的一端连通于排水口(13)，排水管(15)的另一端插入进水孔(14)并连通于超声槽(2)；

还包括用于固定排水管(15)的固定结构。

8.根据权利要求7所述的高频振动清洗机，其特征在于：所述固定结构包括挂钩(131)，所述挂钩(131)设于排水管(15)远离排水口(13)的一端，所述机体(1)侧壁设有靠近进水孔(14)的挂环(17)。

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