KR20020080924A - 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체장치 생산라인 내의 각 공정설비로의 웨이퍼 이송시 사용되는 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것으로서, 이에 대한 구성은, 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어에 있어서, 복수의 웨이퍼를 수용하는 용기 형상으로 상부와 하부가 개방 형성되고, 복수 웨이퍼의 정렬 방향에 대한 양측 부위에 복수 웨이퍼의 간격을 지지하는 복수의 캐리어슬롯이 상측 단부에서 하측 단부까지 연장 형성되며, 복수의 웨이퍼가 수용되어 접촉 지지되는 상기 캐리어슬롯 하측의 소정 부위에 소정의 탄성력을 제공하는 탄성부재가 구비되어 이루어짐을 특징으로 한다. 이에 따르면, 웨이퍼와 직접적으로 접촉되는 캐리어 내부의 각 캐리어슬롯 하측 부위에 탄성부재가 구비됨으로써 캐리어 외측에서 작용하는 충격은 웨이퍼에 도달하기 전에 탄성부재에 의해 저감되어 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손을 방지하게 되고, 이에 따라 제조수율이 향상되는 효과가 있게 된다.

Description

반도체 웨이퍼 이송용 캐리어{semiconductor wafer conduction carrier}

본 발명은 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 생산라인 내의 각 공정설비로 웨이퍼를 이송토록 함에 있어서, 복수의 웨이퍼가 캐리어에 수용된 상태로 이송되는 과정에서 외부로부터의 충격에 대응하여 손상이나파손을 방지하도록 하는 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행함으로써 이루어지고, 이렇게 반도체소자로 형성되기까지의 웨이퍼는 각 공정간의 요구되는 위치로 이송되어 진다.

이러한 웨이퍼의 이송 관계에 있어서, 통상 동일한 공정을 수행하기 위한 복수개의 웨이퍼는 소정 단위 개수로 캐리어에 수용되어 각 공정 설비로 이송되고, 이들 각 공정 설비에는 수용된 웨이퍼를 캐리어로부터 인출하여 공정 수행 위치로 옮겨지게 된다.

이때 상술한 바와 같이, 복수의 웨이퍼가 수용된 상태에서 작업자 또는 별도의 이송수단에 의해 각 공정 설비로 이송하기 용이하도록 하는 캐리어의 종래 기술 구성에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

종래의 캐리어(10) 구성은, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 웨이퍼(W)가 상호 나란하게 배열되어 수용될 수 있는 용이 형상을 이루며, 그 내측의 대향하는 면에는 웨이퍼(W)가 소정 간격 상태를 이루도록 지지하는 캐리어슬롯(12)이 복수개 형성된다.

이러한 형상의 캐리어(10)에 있어서, 웨이퍼(W)는 상술한 캐리어슬롯(12) 상에 위치되고, 이때 하중이 작용하는 캐리어(10)의 하측 부위에 접촉 지지된 상태로 있게 된다.

그러나, 이러한 캐리어(10)의 구성에 의하면, 작업자 또는 별도의 이송수단에 의해 요구되는 웨치로 복수 웨이퍼(W)를 이송함에 있어서, 캐리어(10)를 위치시키는 과정에서 하측으로부터의 충격을 받게 되고, 이것은 접촉 지지되는 웨이퍼(W)에 직접적으로 전달되게 된다.

특히 웨이퍼(W)는 실리콘(Si) 단결정으로 되어 있어서, 미소한 충격에 의해서도 쉽게 균열 또는 파손되는 경우가 빈번하며, 상술한 바와 같이, 웨이퍼(W)를 이송하는 과정에서 계속적이고 정도 이상의 충격이 작용할 경우 반도체장치로 제조되기까지 각 공정을 수행한 웨이퍼(W)는 손상되거나 파손되는 문제가 발생되며, 이것은 반도체장치 제조수율에 직접적인 영향을 끼치게 된다.

본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 복수의 웨이퍼를 수용하여 용이하게 이송하도록 함에 있어서, 웨이퍼를 정렬하여 지지하는 캐리어슬롯 즉, 웨이퍼가 직접적으로 접촉 지지되는 부위에 외부로부터 가해지는 충격이 웨이퍼에 전달되는 정도를 감소시키도록 함으로써 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손을 방지하도록 하고, 이를 통해 반도체장치 제조수율을 향상시키도록 하는 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 종래의 캐리어 구성을 호환하여 사용할 수 있도록 함으로써 별도의 제작에 따른 비용을 절감할 수 있도록 하는 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어를 제공함에 있다.

도 1은, 종래의 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어의 구성 및 이 구성에 웨이퍼가 수용되는 관계를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어의 구성 및 이들 구성에 웨이퍼가 수용되는 관계를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10, 20: 캐리어 12: 캐리어슬롯

22: 탄성부재

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어 구성은, 복수의 웨이퍼를 수용하는 용기 형상으로 상부와 하부가 개방 형성되고, 복수 웨이퍼의 정렬 방향에 대한 양측 부위에 복수 웨이퍼의 간격을 지지하는 복수의 캐리어슬롯이 상측 단부에서 하측 단부까지 연장 형성되며, 복수의 웨이퍼가 수용되어 접촉 지지되는 상기 캐리어슬롯 하측의 소정 부위에 소정의 탄성력을 제공하는 탄성부재가 구비되어 이루어짐을 특징으로 한다.

또한, 상기 탄성부재는 러버 재질을 사용함이 바람직하다. 그리고, 상기 탄성부재의 두께는 상기 캐리어슬롯의 깊이 길이 보다 작은 범위로 제작토록 함이 바람직하다.

보다 바람직하기로는 상기 캐리어슬롯의 깊이의 절반 이하의 길이로 형성함이 효과적이다.

이에 더하여 상술한 탄성부재는 상기 캐리어슬롯의 하측 부위 상에 잴 상태의 합성고무 재질을 접착시켜 형성토록 함이 효과적이다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어 구성 및 이 구성에 의한 웨이퍼의 수용 관계를 개략적으로 나타낸 단면도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.

본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어(20) 구성은, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수개의 웨이퍼(W)를 정렬되게 수용하도록 형성된 용기 형상으로 상부와 하부가 개방된 형상을 이루는 캐리어(20)가 있고, 이 캐리어(20)의 내벽, 즉, 복수개의 웨이퍼(W)가 정렬되는 방향으로부터 상호 대향하게 되는 양 측벽 상에는 복수의 웨이퍼(W)를 상호 소정 간격으로 나란하게 지지토록 하는 캐리어슬롯(12)이 형성된다. 또한, 이들 캐리어슬롯(12)은 상측 단부 부위에서 하측 단부 부위까지 연장 형성되며, 이들 캐리어슬롯(12)의 하측 부위 즉, 복수의 웨이퍼(W)가 직접적으로 접촉되어 지지력을 받게 되는 부위에 캐리어(20)의 외측으로부터 작용하는 각종 충격을 각 웨이퍼(W)에 전달되지 않도록 그 충격을 저감토록 하는 탄성부재(22)가 각 캐리어슬롯(12) 상에 구비된다. 또한, 이렇게 구비되는 탄성부재(22)는 그 두께가 캐리어슬롯(12)의 깊이 이하의 길이로 형성토록 하여 웨이퍼(W)가 탄성부재(22)에 접촉 지지됨과 동시에 각 캐리어슬롯(12)에 의해서도 상호간의 간격을 유지하며 지지되게 그 두께가 결정된다. 여기서, 상술한 탄성부재(22)의 두께는 캐리어슬롯(12) 깊이의 절반 이하로 형성함이 바람직하고, 또 그 형성에 있어서도 종래의 캐리어(10)를 호환하여 사용할 수 있도록 상술한 캐리어슬롯(12) 상에 잴 상태의 합성고무를 접착되게 하여 형성함이 보다 효과적이라 할 수 있다.

이러한 구성의 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어(20)에 의하면, 복수의 웨이퍼(W)를 수용한 상태에서 요구되는 위치로 웨이퍼(W)를 이송토록 함에 있어서, 캐리어(20)를 요구되는 위치에 놓이는 과정 또는 이송과정에서 다른 외부로부터의 작용하는 충격이 있게 되면, 캐리어(20) 내부의 각 캐리어슬롯(12) 사이에 위치되는 탄성부재(22)는 그 충격을 웨이퍼(W)이 손상이 없도록 저감시키게 된다.

이에 따라 이송되는 웨이퍼(W)는 외부의 각종 형태의 충격으로부터 탄력적으로 지지되어 손상 및 파손됨이 방지됨으로써 안정적인 상태를 유지하게 되고, 이것은 다시 반도체장치로 제조되는 제조수율을 높이게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면, 웨이퍼와 직접적으로 접촉되는 캐리어 내부의 각 캐리어슬롯 하측 부위에 탄성부재가 구비됨으로써 캐리어 외측에서 작용하는 충격은 웨이퍼에 도달하기 전에 탄성부재에 의해 저감되어 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손을 방지하게 되고, 이에 따라 제조수율이 향상되는 효과가 있게 된다.

본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.

Claims (5)

1. 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어에 있어서,

   복수의 웨이퍼를 수용하는 용기 형상으로 상부와 하부가 개방 형성되고, 복수 웨이퍼의 정렬 방향에 대한 양측 부위에 복수 웨이퍼의 간격을 지지하는 복수의 캐리어슬롯이 상측 단부에서 하측 단부까지 연장 형성되며, 복수의 웨이퍼가 수용되어 접촉 지지되는 상기 캐리어슬롯 하측의 소정 부위에 소정의 탄성력을 제공하는 탄성부재가 구비되어 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성부재는 러버 재질임을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성부재의 두께는 상기 캐리어슬롯의 깊이 길이 보다 작은 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 탄성부재의 두께는 상기 캐리어슬롯의 깊이의 절반 이하의 길이로 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성부재는 상기 캐리어슬롯의 하측 부위 상에 잴 상태의 합성고무 재질을 접착시켜 그 형상이 유지되도록 하여 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어.