KR20000026267A - 진공 카세트 엘리베이터 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원활한 공정진행을 수행하기 위한 진공 엘리베이터 장치에 관한 것으로, 진공 카세트 엘리베이터 장치는 챔버와, 로봇 아암과, 로봇 아암에 놓여지는 그리고 다수의 웨이퍼들이 장착된 웨이퍼 카세트와, 챔버 일측에 슬롯 입구를 갖는 그리고 챔버의 인솔레이션을 위하여 챔버의 일측에 장착된 슬롯 밸브와, 챔버에 설치되고 트랜스퍼 모듈로부터의 웨이퍼 카세트 내로의 웨이퍼 이송/반송시 웨이퍼 카세트로부터 이탈 또는 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 제 1 센싱부 및 제 2 센싱부로 이루어진다.
Description
본 발명은 진공 카세트 엘리베이터 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원활한 공정진행을 수행하기 위한 진공 엘리베이터 장치에 관한 것이다.
현존하는 수많은 매엽식(single wafer)방식의 진공 카세트 엘리베이터(Vacuum Cassette Elevator;VCE)에서 사용하고 있는 브룩 로드락 시스템(brook load lock system)에 있어서 웨이퍼의 카세트로부터 프로세스 챔버로까지의 IN/OUT시 각종 변수로 인하여 웨이퍼가 웨이퍼 카세트로부터 이탈된다. 예컨대, 상기 변수란 로봇 아암의 진동 및 장시간 사용으로 인한 얼라인 세팅 값 변경, 웨이퍼 카세트의 진공 카세트 엘리베이터에 로딩시 충격 등으로 인한 웨이퍼 카세트내의 웨이퍼 포지션 이동 등이 있다.
이와 같은 각종 변수로 인해 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼는 슬롯 밸브의 입구부분에 충돌하여 웨이퍼가 손상되고 그 충돌된 부분에서는 반도체 생산에 치명적으로 작용하는 파티클이 대량으로 발생되어 생산성을 저하시키게 되는 또 다른 문제점을 갖고 있다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼가 슬롯 밸브의 입구부분에 충돌하는 것을 방지할 수 있도록 한 새로운 형태의 진공 카세트 엘리베이터 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 엘리베이터 장치의 구조를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 진공 카세트 엘리베이터 12 : 챔버
14 : 로봇 아암 16 : 웨이퍼 카세트
18 : 슬롯 밸브 20 : 제 1 센서 발광부
22 : 제 1 센서 수광부 24 : 제 2 센서 발광부
26 : 제 2 센서 발광부
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 진공 카세트 엘리베이터 장치는 챔버와; 로봇 아암과; 상기 로봇 아암에 놓여지는 그리고 다수의 웨이퍼들이 장착된 웨이퍼 카세트와; 챔버 일측에 슬롯 입구를 갖는 그리고 상기 챔버의 인솔레이션을 위하여 챔버의 일측에 장착된 슬롯 밸브와; 상기 챔버에 설치되고 트랜스퍼 모듈로부터의 웨이퍼 카세트 내로의 웨이퍼 이송/반송시 웨이퍼 카세트로부터 이탈 또는 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 제 1 센싱부 및 제 2 센싱부를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 제 1 센싱부는 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구로부터 13mm 이격되어 설치되고, 상기 제 2 센싱부는 상기 제 1 센싱부와 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구사이에 설치되며 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구로부터 3mm 이격된다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 진공 카세트 엘리베이터 장치를 첨부된 도 1을 참조하면서 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 엘리베이터 장치의 구조를 보여주는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 진공 카세트 엘리베이터(VCE)(10)는 챔버(12), 로봇 아암(robot arm;14), 웨이퍼 카세트(16), 슬롯 밸브(slot valve;18) 제 1 센싱부 및 제 2 센싱부로 이루어지는 것을 알 수 있다.
상기 웨이퍼 카세트(16)는 상기 로봇 아암(14)위에 놓여진다. 상기 웨이퍼 카세트(16)에는 다수의 웨이퍼들(50)이 장착된다. 상기 슬롯 밸브(18)는 상기 챔버의 인솔레이션을 위하여 상기 챔버(12)에 연결된다. 상기 챔버(12)에는 슬롯 밸브(18)와 연결되는 슬롯 입구(19)가 형성된다.
상기 제 1 센싱부는 트랜스퍼 모듈(transfer module)로부터의 웨이퍼 카세트(16) 내로의 웨이퍼(50) 이송/반송시 웨이퍼 카세트(16)로부터 이탈 또는 돌출된 웨이퍼(50')를 감지하기 위한 것으로, 상기 챔버(12)에 설치된다. 상기 제 1 센싱부는 제 1 센서 발광부(20)와 이에 대응되는 제 1 센서 수광부(22)로 이루어진다. 예컨대, 상기 제 1 센싱부는 상기 슬롯 밸브(18)의 슬롯 입구(19)로부터 13-14mm 이격되어 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 제 2 센싱부는 제 1 센싱부와 동일하게 웨이퍼 카세트(16)로부터 이탈 또는 돌출된 웨이퍼(50')를 감지하기 위한 것으로, 상기 챔버(12)에 설치된다. 상기 제 2 센싱부는 제 2 센서 발광부(24)와 이에 대응되는 제 2 센서 수광부(26)로 이루어진다. 예컨대, 상기 제 2 센싱부는 제 1 센싱부와 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구(19)사이에 설치되며, 상기 슬롯 입구(19)로부터 3-2mm 이격되는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성으로 이루어진 진공 카세트 엘리베이터(10)에서 웨이퍼 카세트(16)로부터 프로세스 챔버로까지의 IN/OUT시 각종 변수로 인하여 웨이퍼가 웨이퍼 카세트로부터 이탈되는 경우가 발생되더라도, 상기 제 1 센싱부 및 제 2 센싱부에 의해 곧바로 감지되어 보다 효과적으로 대응할 수 있게 된다. 따라서, 각종 변수로 인해 웨이퍼 카세트(16)로부터 돌출된 웨이퍼(50')가 슬롯 밸브의 입구부분(19)에 충돌되는 문제는 발생되지 않는다.
이와 같은 본 발명을 적용하면 두 개의 센싱부가 웨이퍼 카세트로부터 돌출되는 웨이퍼를 감지하기 때문에 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼가 슬롯 밸브의 입부에 충돌되는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다. 그리고, 웨이퍼 파손으로 인한 파티클이 발생되지 않아 그 결과 반도체 소자의 생산성이 향상되는 효과가 있다.
Claims (2)
- 챔버와;로봇 아암과;상기 로봇 아암에 놓여지는 그리고 다수의 웨이퍼들이 장착된 웨이퍼 카세트와;챔버 일측에 슬롯 입구를 갖는 그리고 상기 챔버의 인솔레이션을 위하여 챔버의 일측에 장착된 슬롯 밸브와;상기 챔버에 설치되고 트랜스퍼 모듈(transfer module)로부터의 웨이퍼 카세트 내로의 웨이퍼 이송/반송시 웨이퍼 카세트로부터 이탈 또는 돌출된 웨이퍼를 감지하기 위한 제 1 센싱부 및 제 2 센싱부를 포함하여,웨이퍼 카세트로부터 이탈 또는 돌출된 웨이퍼가 슬롯 밸브의 슬롯 입구부분에 부딪치는 것을 미연에 방지할 수 있는 진공 카세트 엘리베이터 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 센싱부는 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구로부터 13mm 이격되어 설치되고,상기 제 2 센싱부는 상기 제 1 센싱부와 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구사이에 설치되며 상기 슬롯 밸브의 슬롯 입구로부터 3mm 이격되는 것을 특징으로 하는 지공 카세트 엘리베이터 장치.
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| KR1019980043731A KR20000026267A (ko) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | 진공 카세트 엘리베이터 장치 |
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|---|---|
| KR (1) | KR20000026267A (ko) |
-
1998
- 1998-10-19 KR KR1019980043731A patent/KR20000026267A/ko not_active Application Discontinuation
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