KR20020094509A - 반도체 제조 공정에서 사용되는 정전척 어셈블리 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 에지 부위를 클램핑하는 클램프를 갖는 정전척에 관한 것으로, 식각 설비에 사용되는 정전척은 웨이퍼가 놓여지는 플레이트와, 플레이트에 놓여진 웨이퍼의 에지 부위를 덮는 클램프와, 클램프를 3포인트에서 지지하는 리프트 핀과, 리프트 핀 각각에 연결되고 클램프를 상하 이동시키기 위한 실린더를 갖으며, 실린더와 상기 리프트 핀은 스크류 방식으로 결합된다.

Description

반도체 제조 공정에서 사용되는 정전척 어셈블리{A ESC ASSEMBLY IN USE THE PROCESS OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE}

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 웨이퍼 에지 부위를 클램핑하는 클램프를 갖는 정전척에 관한 것이다.

에칭 공정 진행시 정전척에는 웨이퍼의 에지 부위를 보호하기 위해 클램프를 사용한다. 그리고 이 클램프를 무빙시키기 위해 실린더와 이 실린더에 연결된 3개의 리프트 핀이 사용된다. 상기 클램프는 3개의 리프트 핀에 의해 지지되어 지며, 실린더의 구동에 의해 상하 무빙된다.

그러나 기존 정전척에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 실린더(12)와 리프트 핀(14)이 볼 타입으로 연결되어 있어, 리프트 핀(14a)의 볼 및 실린더(12)의 핀 연결부분(12a)의 마모로 체결 상태가 불안정하게 되어, 클램프(20)가 불안정하게 무빙되게 된다.

이로 인하여 잦은 무빙시 실린더(12)의 핀 연결부(12a)로부터 리프트 핀(14)이 분리되거나 조금 빠진 상태로 클램프 다운시 클램프(20)가 틀어지게 되어, 공정 진행시 웨이퍼 에지부위에 영향을 주어 공정 불량의 원인으로 작용하게 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 클램프의 무빙이 안정적으로 이루어질 수 있도록 한 새로운 형태의 정전척을 제공하는데 있다.

도 1은 종래 정전척에서 실린더와 리프트 핀 그리고 클램프의 고정 구조를 보여주는 도면;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조공정에서 사용되는 정전척 어셈블리를 개략적으로 보여주는 도면;

도 3은 실린더와 리프트 핀 그리고 클램프의 연결 부분을 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

110 : 플레이트120 : 클램프

140 : 리프트 핀142 : 나사부

144 : 돌기150 : 실린더

152 : 핀 연결부154 : 나사홀

w : 웨이퍼

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 특징에 따른 정전척은 웨이퍼가 놓여지는 플레이트와; 플레이트에 놓여진 웨이퍼의 에지 부위를 덮는 클램프와; 상기 클램프를 3포인트에서 지지하는 리프트 핀과; 상기 리프트 핀 각각에 연결되고 상기 클램프를 상하 이동시키기 위한 실린더를 포함하되; 상기 실린더와 상기 리프트 핀은 스크류 방식으로 결합된다.

이와 같은 본 발명에서 상기 실린더는 핀 연결부에 나사홀이 형성되며, 상기 리프트 핀은 상기 실린더의 핀 연결부에 형성된 나사홀에 결합되는 나사부가 형성된다.

이와 같은 본 발명에서 상기 클램프는 상기 리프트 핀이 지지하는 부분에 끼움홀을 형성하고, 상기 리프트 핀은 상기 끼움홀에 끼워지는 돌기가 형성될 수 있다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 3에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조공정에서 사용되는 정전척 어셈블리를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 3은 실린더와 리프트 핀 그리고 클램프의 연결 부분을 보여주는 도면이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 정전척 어셈블리(100)는 웨이퍼(w)가놓여지는 플레이트(110)와, 플레이트(110)에 놓여진 웨이퍼(w)의 에지 부위를 덮는 클램프(120)와, 상기 클램프(120)를 3포인트에서 지지하는 3개의 리프트 핀(140)들과, 상기 리프트 핀(140)들 각각에 연결되고 상기 클램프(120)를 상하 이동시키기 위한 실린더(150)를 갖는다.

본 발명에서는 상기 실린더(150)의 핀 연결부(152)에서 상기 리프트 핀(140)이 빠지거나 흔들림 없이 안정적으로 업/다운 동작이 가능하도록, 상기 실린더(150)와 리프트 핀(140)의 고정 방법을 기존의 볼 타입에서 나사 체결방식으로 변경하였다.

나사 체결을 위해 상기 실린더(150)는 상기 핀 연결부(152)에 나사홀(154)을 형성하고, 상기 리프트 핀(140)은 상기 실린더의 핀 연결부(152)에 형성된 나사홀(154)에 결합되는 나사부(142)를 형성한다.

그 뿐만 아니라, 상기 리프트 핀(140)이 상기 클램프(120)를 보다 안정적으로 지지할 수 있도록 상기 클램프(120)는 지지부(122)에 끼움홀(124)을 갖으며, 리프트 핀(140)은 상단에 상기 끼움홀(124)에 끼워지는 돌기(144)를 갖는다.

여기서 본 발명의 구조적인 특징은 실린더와 리프트 핀이 나사 체결에 의해 상호 결합된다는데 있다. 이러한 특징에 의해 본 발명의 정전척에서는 실린더와 리프트 핀의 체결이 안정적이기 때문에 클램프의 상하 이동시 흔들림이 없다.

이상에서, 본 발명에 따른 정전척의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 공정 진행 과정에서 작업자가 모니터를 보고 손쉽게 약액 용기에 남아있는 잔량을 확인할 수 있어, 약액 저장 장치의 교체 시기 및 안전 상태 등의 확인이 용이한 이점이 있다.

Claims (4)

1. 식각 설비에 사용되는 정전척에 있어서:

   웨이퍼가 놓여지는 플레이트와;

   플레이트에 놓여진 웨이퍼의 에지 부위를 덮는 클램프와;

   상기 클램프를 3포인트에서 지지하는 리프트 핀과;

   상기 리프트 핀 각각에 연결되고 상기 클램프를 상하 이동시키기 위한 실린더를 포함하되;

   상기 실린더와 상기 리프트 핀은 스크류 방식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 정전척.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 실린더는 핀 연결부에 나사홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 리프트 핀은 상기 실린더의 핀 연결부에 형성된 나사홀에 결합되는 나사부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전척.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 플램프는 상기 리프트 핀이 지지하는 부분에 끼움홀을 형성하고,

   상기 리프트 핀은 상기 끼움홀에 끼워지는 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정전척.