JP2024061394A - 拡張方法及び拡張装置 - Google Patents

Abstract

【課題】エキスパンドシートを加熱することで発生するガスがワークに付着することを抑制しながらもチップ同士の接触を抑制することができること。【解決手段】拡張方法は、フレーム固定ユニットでワークユニットのフレームを固定するフレーム固定ステップ３０１と、エキスパンドシートを拡張しワークが分割されて形成されたチップ間に間隙を形成する拡張ステップ３０２と、保持テーブルでエキスパンドシートを介してワークを保持して間隙を維持する保持ステップ３０３と、エキスパンドシートを切断し、ワークとワークに固定されのり代がはみ出すようにくり抜かれたエキスパンドシートとからなるワーク部と、フレームとフレームに固定されたエキスパンドシートの残り部とからなるフレーム部とにワークユニットを分断する切断ステップ３０４と、のり代と残り部とを重ねて接着部材で固定する固定ステップ３０５と、を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、ワークがエキスパンドシートを介してフレームに装着されたワークユニットのエキスパンドシートを拡張する拡張方法及び拡張装置に関する。

ワークユニットのエキスパンドシートを拡張して、ワークを個々のチップに分割したり、チップ間の間隙を拡げるとエキスパンドシートには弛みが生じる。そこで、拡張後のエキスパンドシートを加熱して収縮させて弛みを除去する所謂ヒートシュリンクと呼ばれる手法が広く利用されている。

しかし、エキスパンドシートを加熱することで発生したガスの成分がワークに付着するおそれがあり、ガスの成分が付着することを抑制する拡張装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１９－１１０２６８号公報

しかし、特許文献１に示された拡張装置は、エキスパンドシートを加熱することで発生したガスの成分がワークに付着することを抑制できる点に関して、更なる改善が切望されている。

また、特許文献１等に示された拡張装置は、エキスパンドシートの種類によっては加熱しても十分に収縮しない場合もあり、エキスパンドシートの拡張後にチップ同士が接触してしまうおそれがある。

本発明の目的は、エキスパンドシートを加熱することで発生するガスがワークに付着することを抑制しながらもチップ同士の接触を抑制することができる拡張方法及び拡張装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張方法は、分割起点が形成された、または複数のチップへと分割されたワークがエキスパンドシートを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張方法であって、該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持部を有したフレーム固定ユニットで該フレームを固定するフレーム固定ステップと、該フレーム固定ステップを実施した後、該エキスパンドシートを拡張し、該ワークが分割されて形成されたチップ間に間隙を形成する拡張ステップと、該拡張ステップを実施した後、該ワークを保持する保持面を有した保持テーブルで該エキスパンドシートを介して該ワークを保持して該間隙を維持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該ワークの外側の該エキスパンドシートにのり代を持たせつつ該ワークの外側で該エキスパンドシートを切断し、チップ間の該間隙が維持された状態のワークと該ワークに固定され該のり代がはみ出すようにくり抜かれたエキスパンドシートとからなるワーク部と、該フレーム支持部で支持された該フレームと該フレームに固定された該エキスパンドシートの残り部とからなるフレーム部と、に該ワークユニットを分断する切断ステップと、該切断ステップを実施した後、該保持テーブルで保持された該ワーク部の該のり代と、該フレーム部の該残り部と、を重ねて接着部材で固定する固定ステップと、を備えたことを特徴とする。

前記拡張方法において、該フレーム支持部は、該フレームを支持するとともに該残り部を支持する支持面を有し、該固定ステップでは、該支持面で支持された該残り部に該のり代が重ねられて固定されても良い。

前記拡張方法において、該フレーム支持部には、該支持面の該残り部を支持する領域に開口する吸引口と、該吸引口に連通するとともに吸引源に接続された吸引路が形成され、該固定ステップでは、該残り部は該支持面に吸引保持された状態で該残り部と該のり代が固定されても良い。

前記拡張方法において、該接着部材は、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化樹脂からなっても良い。

本発明の拡張装置は、分割起点が形成された、または複数のチップへと分割されたワークがエキスパンドシートを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持部を有したフレーム固定ユニットと、該フレーム固定ユニットで固定された該フレームを含む該ワークユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張ユニットと、該拡張ユニットで該エキスパンドシートが拡張された状態で該エキスパンドシートを介して該ワークを保持する保持面を有した保持テーブルと、該ワークの外周側の該エキスパンドシートにのり代を持たせた状態で該ワークの外側で該エキスパンドシートを切断し、該のり代が該ワークからはみ出した状態で該エキスパンドシートが該ワークに固定されたワーク部と、該フレーム支持部で支持された該フレームと該フレームに固定された該エキスパンドシートの残り部とからなるフレーム部と、に該ワークユニットを分断するカッターと、該ワーク部の該のり代と該フレーム部の該残り部とを重ねて固定する接着部材を供給する接着部材供給ユニットと、を備えたことを特徴とする。

本発明は、エキスパンドシートを加熱することで発生するガスがワークに付着することを抑制しながらもチップ同士の接触を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、実施形態１に係る拡張装置の加工対象のワークユニットの一例を示す斜視図である。 図３は、図１に示された拡張装置の要部を一部断面で模式的に示す側面図である。 図４は、実施形態１に係る拡張方法の流れを示すフローチャートである。 図５は、図４に示された拡張方法のフレーム固定ステップにおいてフレーム支持部の上面にフレームが載置された状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図６は、図４に示された拡張方法のフレーム固定ステップにおいてフレームを固定した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図７は、図４に示された拡張方法の拡張ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。 図８は、図４に示された拡張方法の保持ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。 図９は、図４に示された拡張方法の切断ステップにおいてカッター刃をエキスパンドシートに切り込ませた状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１０は、図４に示された拡張方法の切断ステップにおいてエキスパンドシートを切断した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１１は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいて保持テーブルを下降した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１２は、図１１中のＸＩＩ部を拡大して示す断面図である。 図１３は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいてのり代と残り部に接着部材を供給する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１４は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいてのり代と残り部と供給された接着部材を拡大して示す断面図である。 図１５は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいてのり代と残り部と供給された接着部材に紫外線を照射する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１６は、図１５中のＸＶＩ部を拡大して示す断面図である。 図１７は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいて開閉弁を閉じた状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１８は、実施形態２に係る拡張方法の固定ステップにおいて残り部に接着部材を供給する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図１９は、実施形態２に係る拡張方法の固定ステップにおいて保持テーブルを下降した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図２０は、図１９中のＸＸ部を拡大して示す断面図である。 図２１は、実施形態２に係る拡張方法の固定ステップにおいて残り部に供給された接着部材に紫外線を照射する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図２２は、図２１中のＸＸＩＩ部を拡大して示す断面図である。 図２３は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る拡張方法の切断ステップにおいて残り部を上面に押し付けた状態を一部断面で模式的に示す側面図である。 図２４は、図２に示されたワークユニットの変形例を示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る拡張装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る拡張装置の加工対象のワークユニットの一例を示す斜視図である。図３は、図１に示された拡張装置の要部を一部断面で模式的に示す側面図である。

（ワークユニット）
実施形態１に係る図１に示す拡張装置１は、図２に示すワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張する装置である。ワークユニット２００は、図２に示すように、ワーク２０１と、エキスパンドシート２０２と、フレーム２０３とを備える。

実施形態１では、ワーク２０１は、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素又はＳｉＣ（炭化ケイ素）などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。ワーク２０１は、図１に示すように、表面２０４の互いに交差する複数の分割予定ライン２０５で区画された各領域にそれぞれデバイス２０６が形成されている。実施形態１では、ワーク２０１は、表面２０４にデバイス２０６が形成された所謂シリコンウェーハである。

デバイス２０６は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又は各種のメモリ（半導体記憶装置）である。

ワーク２０１は、表面２０４の裏側の裏面２０７側から基板に対して透過性を有する波長のレーザ光線が分割予定ライン２０５に沿って照射されて、基板の内部に分割予定ライン２０５に沿って分割起点である改質層２０８（図２中に点線で示す）が形成されている。ワーク２０１は、改質層２０８を起点に個々のチップ２１０に分割される。なお、チップ２１０は、分割予定ライン２０５に沿って分割された基板の一部と、基板の表面に形成されたデバイス２０６とを備えている。

なお、改質層２０８とは、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。

エキスパンドシート２０２は、伸縮性を有する樹脂から構成され、加熱されると収縮する熱収縮性を有する。エキスパンドシート２０２は、ワーク２０１の外径よりもおおきい外径の円板状に形成され、かつ、伸縮性及び熱収縮性を有する合成樹脂から構成された基材層と、基材層上に積層されかつワーク２０１に貼着するとともに伸縮性及び熱収縮性を有する合成樹脂から構成された粘着層とを備える。

粘着層の表面は、ワーク２０１の裏面２０７及びフレーム２０３が貼着される被貼着面である。実施形態１では、エキスパンドシート２０２は、基材層と粘着層とを備えるが、本発明では、熱可塑性樹脂（ポリオレフィン系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、又はポリスチレン等）により構成されかつワーク２０１に熱圧着される基材層のみから構成されるシートでも良い。

フレーム２０３は、ワーク２０１の外径よりの内径が大きな円環状に形成されかつエキスパンドシート２０２の外縁が貼着されている。

前述した構成のワークユニット２００は、交差する複数の分割予定ライン２０５に沿って分割起点である改質層２０８が形成されたワーク２０１がエキスパンドシート２０２を介してワーク２０１を収容する開口２０９を有したフレーム２０３に装着されている。

（拡張装置）
図１に示す実施形態１に係る拡張装置１は、分割起点である改質層２０８が形成されたワーク２０１がエキスパンドシート２０２を介してワーク２０１を収容する開口２０９を有したフレーム２０３に装着されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張する装置である。即ち、実施形態１に係る拡張装置１は、ワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張して、改質層２０８が形成されたワーク２０１を、改質層２０８を起点に分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２１０に分割する装置である。

拡張装置１は、図１に示すように、チャンバー１０と、フレーム固定ユニット３０と、搬送ユニット３５と、拡張ユニット４０と、保持テーブル５０と、切断接着ユニット６０と、紫外線照射ユニット７０と、制御ユニット１００とを備える。

チャンバー１０は、箱状に形成され、フレーム固定ユニット３０と、拡張ユニット４０と、保持テーブル５０とを収容する。チャンバー１０は、ワークユニット２００を出し入れ自在とする搬入出口（図示せず）が設けられている。実施形態１では、搬入出口は、開閉扉により開閉される。

フレーム固定ユニット３０は、ワークユニット２００のフレーム２０３を固定するものである。フレーム固定ユニット３０は、フレーム支持部３１と、フレーム押さえプレート３２と、移動ユニットであるシリンダ３３とを有する。フレーム支持部３１は、平面形状が円形の開口部３１１が設けられ、かつ支持面である上面３１２が水平方向と平行に平坦に形成されている。フレーム支持部３１は、上面３１２にワークユニット２００のフレーム２０３が載置されて、上面３１２がワークユニット２００のフレーム２０３をエキスパンドシート２０２の外縁部を介して支持する。即ち、フレーム支持部３１は、フレーム２０３を支持するとともにエキスパンドシート２０３の外縁部を支持する上面３１２を有している。

フレーム支持部３１の開口部３１１の内径は、フレーム２０３の内径よりも小さく、ワーク２０１の外径よりも大きく形成されている。フレーム支持部３１は、図１に示すように、上面３１２の四隅に水平方向に移動自在に設けられ、かつ水平方向に移動することによりフレーム２０３の位置を調整して、ワーク２０１を開口部３１１と同軸となる位置に位置決めするセンタリングガイド３１３が設けられている。

また、フレーム支持部３１には、上面３１２にエキスパンドシート２０２を吸引するために開口する吸引口である吸引溝３１４が形成されている。実施形態１において、吸引溝３１４は、開口部３１１の外周側でかつセンタリングガイド３１３よりも内周側に配置され、開口部３１１に沿って環状に形成されている。実施形態１では、吸引溝３１４は、開口部３１１と同軸に３本設けられている。

フレーム支持部３１は、図３に示すように、吸引溝３１４に連通するとともに、開閉弁３１５を介して吸引源３１６に接続した吸引路３１７が形成されている。フレーム支持部３１は、開閉弁３１５が開き、吸引源３１６により吸引路３１７を介して吸引溝３１４が吸引されることで、ワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を上面３１２に吸引保持する。

フレーム押さえプレート３２は、フレーム支持部３１とほぼ同寸法の板状に形成され、中央に開口部３１１よりも大径な円形の開口部３２１が設けられている。開口部３２１は、開口部１１１と同軸となる位置に配置されている。フレーム押さえプレート３２は、フレーム支持部３１とともにワークユニット２００のフレーム２０３を挟持する。フレーム押さえプレート３２は、シリンダ３３によりフレーム支持部３１の上方の位置と、フレーム支持部３１の上方から退避した位置とに亘って移動自在である。

フレーム押さえプレート３２は、図１に示すように、四隅にセンタリングガイド３１３が侵入可能な長孔３２３が設けられている。なお、フレーム支持部３１の上方の位置は、フレーム押さえプレート３２が、フレーム支持部３１との間にワークユニット２００のフレーム２０３を挟持する位置である。

シリンダ３３は、伸縮自在なロッド３３１の先端にフレーム押さえプレート３２を取り付けている。シリンダ３３は、ロッド３３１が伸長すると、フレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方に位置付ける。シリンダ３３は、ロッド３３１が縮小すると、フレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方から退避させた位置に位置付ける。

フレーム固定ユニット３０は、フレーム押さえプレート３２がフレーム支持部３１の上方から退避した位置に位置付けられ、センタリングガイド３１３同士が互いに離れた状態で、フレーム支持部３１の上面３１２に搬送ユニット３５により搬送されてきたワークユニット２００のフレーム２０３が載置される。フレーム固定ユニット３０は、センタリングガイド３１３同士を近づけて、ワークユニット２００のフレーム２０３を位置決めする。フレーム固定ユニット３０は、フレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方に位置付けられて、ワークユニット２００のフレーム２０３をフレーム支持部３１とフレーム押さえプレート３２との間に挟持して固定する。

搬送ユニット３５は、フレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２にワークユニット２００を搬入するとともに、フレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２からワークユニット２００を搬出するものである。搬送ユニット３５は、図示しない移動ユニットにより水平方向に沿って移動自在に設けられ、フレーム支持部３１の上方で昇降磁材に設けられている。実施形態１では、搬送ユニット３５は、移動ユニットにより水平方向に沿って移動自在でかつ昇降自在な搬送アーム３５１と、搬送アーム３５１に設けられワークユニット２００のフレーム２０３を吸引保持する吸引パッド３５２とを備える。搬送ユニット３５は、吸引パッド３５２にフレーム２０３を吸引保持して、ワークユニット２００を搬入出する。

拡張ユニット４０は、フレーム固定ユニット３０で固定されたフレーム２０３を含むワークユニット２００のエキスパンドシート２０２のフレーム２０３の内周とワーク２０１の外周との間の領域２１１（図２に示す）を被貼着面の背面側である基材層側から押圧して、エキスパンドシート２０２を拡張するものである。拡張ユニット４０は、図３に示すように、拡張ドラム４１と、複数の拡張ローラー４２と、昇降ユニットであるシリンダ４３とを備える。

実施形態１において、拡張ドラム４１は、円筒状に形成され、外径がフレーム支持部３１の上面３１２に載置されるフレーム２０３の内径及びフレーム支持部３１の開口部３１１の内径よりも小さく、内径がエキスパンドシート２０２に貼着されるワーク２０１の外径よりも大きく形成されている。拡張ドラム４１は、フレーム固定ユニット３０の開口部３１１，３２１内に、フレーム固定ユニット３０と同軸に配置されている。

拡張ローラー４２は、円柱状に形成され、拡張ドラム４１の上端に軸心（以下回転軸と記す）回りに回転自在に支持されている。拡張ローラー４２は、拡張ドラム４１の周方向に等間隔に配置されている。拡張ローラー４２は、回転軸が平面視における拡張ドラム４１の接線と平行に配置されている。

拡張ドラム４１は、シリンダ４３に取り付けられ、シリンダ４３により鉛直方向に沿って昇降する。即ち、拡張ドラム４１は、シリンダ４３の伸縮自在なロッドの先端に取り付けられてシリンダ４３のロッドが伸縮することで鉛直方向に昇降自在に設けられている。

実施形態１では、拡張ドラム４１は、シリンダ４３により拡張ローラー４２の上端がフレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２よりも下側に位置する位置と、拡張ローラー４２の上端がフレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２よりも上側に位置する位置とに亘って鉛直方向に昇降する。

シリンダ４３により上昇すると拡張ローラー４２の上端がフレーム２０３を固定したフレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２よりも上側に位置するので、拡張ローラー４２は、フレーム固定ユニット３０により固定されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２のフレーム２０３の内周とワーク２０１の外周との間の領域２１１を押圧して、エキスパンドシート２０２を拡張する。

保持テーブル５０は、外径が拡張ドラム４１の内径よりも小さい円板状に形成され、拡張ドラム４１の内側に拡張ドラム４１と同軸に配置されている。保持テーブル５０は、拡張ユニット４０でエキスパンドシート２０２が拡張された状態でエキスパンドシート２０２を介してワークユニット２００のワーク２０１を吸引保持する保持面５１を有するものである。保持テーブル５０は、図３に示すように、フレーム２０３及び拡張ドラム４１の内径よりも外径が小径な円板形状でありステンレス鋼等の金属からなる円板状の枠体５２と、ポーラスセラミック等の多孔質材で構成されかつ枠体５２により囲繞された円板状の吸着部５３とを備える。

枠体５２と吸着部５３の上面は、同一平面上に配置されて、ワーク２０１を吸引保持する保持面５１を構成している。吸着部５３の外径は、ワーク２０１の外径よりも大きい。吸着部５３は、枠体５２等に形成された吸引路５４、開閉弁５５を介してエジェクタ等の吸引源５６に接続されている。

保持テーブル５０は、保持面５１に搬送ユニット３５により搬送されてきたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を介してワーク２０１の裏面２０７側が載置される。保持テーブル５０は、開閉弁５５が開き、吸引源５６により吸着部５３が吸引されることで、ワーク２０１の裏面２０７側を保持面５１に吸引保持可能である。

また、保持テーブル５０は、図３に示すように、シリンダ５７に取り付けられ、シリンダ５７により鉛直方向に昇降する。即ち、保持テーブル５０は、シリンダ５７の伸縮自在なロッドの先端に取り付けられてシリンダ５７のロッドが伸縮することで鉛直方向に昇降自在に設けられている。

実施形態１では、保持テーブル５０は、シリンダ５７により保持面５１が下降した拡張ローラー４２の上端よりも上方でかつフレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２よりも下側に位置する位置と、保持面５１がフレーム固定ユニット３０のフレーム支持部３１の上面３１２よりも上側でかつ上昇した拡張ローラー４２の上端と同一平面上に位置する位置とに亘って鉛直方向に昇降する。

切断接着ユニット６０は、円板部６１と、カッター６２と、接着部材供給ユニット６３と、図示しない移動ユニットとを備える。円板部６１は、円板状に形成され、移動ユニットにより水平方向に沿って移動自在で、かつ保持テーブル５０の上方で昇降自在であるとともに軸心回りに回転自在に設けられている。

カッター６２は、円板部６１の外縁に取り付けられた収容ケース６２１と、収容ケース６２１に突没自在に設けられ、収容ケース６２１に没して収容ケース６２１に収容されるとともに、収容ケース６２１内から突出するカッター刃６２２とを備える。カッター刃６２２は、収容ケース６２１から突出する際に下端が下方に向かって移動する。カッター６２は、円板部６１が保持テーブル５０の上方に位置に位置付けられると、保持テーブル５０に保持されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央と鉛直方向に沿って対面する。

カッター６２は、円板部６１が保持テーブル５０の上方に位置して下降されると、収容ケース６２１外に突出したカッター刃６２２が、保持テーブル５０に保持されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央に切り込んで、ワーク２０１の外周側でエキスパンドシート２０２にのり代２１２（図９等に示す）を持たせた状態でワーク２０１の外周側でエキスパンドシート２０２に切り込む。カッター６２は、カッター刃６２２がエキスパンドシート２０２に切り込んで、円板部６１が軸心回りに回転することで、エキスパンドシート２０２を切断する。カッター６２は、カッター刃６２２がエキスパンドシート２０２を切断することで、ワーク２０１を含んだワーク部２１４と、フレーム２０３を含んだフレーム部２１５とに、ワークユニット２００を分断する。

なお、ワーク部２１４は、のり代２１２がワーク２０１の外縁からはみ出した状態でエキスパンドシート２０２がワーク２０１に固定されたものである。フレーム部２１５は、フレーム支持部３１で支持されたフレーム２０３と、フレーム２０３に固定されたエキスパンドシート２０２の残り部２１３（図９等に示す）とからなるものである。なお、のり代２１２は、エキスパンドシート２０２の領域２１１のカッター刃６２２が切り込んだ位置よりもワーク２０１寄り（即ち、内周側）に位置する部分を含む。残り部２１３は、エキスパンドシート２０２の領域２１１のカッター刃６２２が切り込んだ位置よりもフレーム２０３寄り（即ち、外周側）に位置する部分を含む。

接着部材供給ユニット６３は、開閉弁６３１を介して接着部材供給源６３２から液状の接着部材６３３（図１３に示す）が供給されるものである。接着部材供給ユニット６３は、円板部６１の外縁に取り付けられ、かつ円板部６１が保持テーブル５０の上方に位置に位置付けられると、保持テーブル５０に保持されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央と鉛直方向に沿って対面する。

接着部材供給ユニット６３は、円板部６１が保持テーブル５０の上方に位置して下降されると、カッター６２により切断されかつ互いに重なったワーク部２１４ののり代２１２の外縁部と、フレーム部２１５の残り部２１３の内縁部とに接着部材供給源６３２からの接着部材６３３を供給する。接着部材６３３は、ワーク２０１ののり代２１２と、フレーム部２１５の残り部２１３とを重ねて固定するものである。実施形態１では、接着部材６３３は、紫外線７３（図１５に示す）の照射によって硬化する紫外線硬化樹脂からなる。

また、実施形態１において、カッター６２と接着部材供給ユニット６３とは、互いの間に円板部６１の軸心を位置付ける位置に配置されている。

紫外線照射ユニット７０は、カッター６２により切断されかつ互いに重なったワーク部２１４ののり代２１２の外縁部と、フレーム部２１５の残り部２１３の内縁部とに供給された接着部材６３３に紫外線７３を照射して、接着部材６３３を硬化して、ワーク部２１４とフレーム部２１５とを固定するものである。紫外線照射ユニット７０は、円板部７１と、複数の紫外線照射器７２と、図示しない移動ユニットとを備える。円板部７１は、円板状に形成され、移動ユニットにより水平方向に沿って移動自在で、かつ保持テーブル５０の上方で昇降自在であるとともに軸心回りに回転自在に設けられている。

紫外線照射器７２は、円板部７１の外縁に取り付けられ、かつ円板部７１が保持テーブル５０の上方に位置に位置付けられると、保持テーブル５０に保持されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央と鉛直方向に沿って対面する。実施形態１では、紫外線照射器７２は、円板部７１の外縁に周方向に間隔に複数設けられている。紫外線照射器７２は、円板部７１が保持テーブル５０の上方に位置して下降されて円板部７１が軸心回りに回転することで、カッター６２により切断されかつ互いに重なったワーク部２１４ののり代２１２の外縁部とフレーム部２１５の残り部２１３の内縁部とに供給された接着部材６３３に紫外線７３を照射する。

制御ユニット１００は、拡張装置１の上述した各構成要素を制御して、ワークユニット２００に対する加工動作を拡張装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、拡張装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して拡張装置１の上述した構成要素に出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工条件などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

次に、実施形態１に係る拡張方法を説明する。図４は、実施形態１に係る拡張方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る拡張方法は、拡張装置１が、改質層２０８が形成されたワーク２０１がエキスパンドシート２０２を介してワーク２０１を収容する開口２０９を有したフレーム２０３に装着されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張する方法である。また、実施形態１に係る拡張方法は、ワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張して、ワーク２０１を改質層２０８を起点に破断して、ワーク２０１を個々のチップ２１０に分割する方法でもある。即ち、実施形態１に係る拡張方法は、拡張装置１の加工動作でもある。

実施形態１に係る拡張方法は、入力ユニットを介して加工条件を制御ユニット１００が受け付けて記憶装置に記憶し、制御ユニット１００がオペレータからの加工開始指示を受け付けると、実施される。実施形態１に係る拡張方法は、図４に示すように、フレーム固定ステップ３０１と、拡張ステップ３０２と、保持ステップ３０３と、切断ステップ３０４と、固定ステップ３０５とを備える。

（フレーム固定ステップ）
図５は、図４に示された拡張方法のフレーム固定ステップにおいてフレーム支持部の上面にフレームが載置された状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図６は、図４に示された拡張方法のフレーム固定ステップにおいてフレームを固定した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。フレーム固定ステップ３０１は、ワークユニット２００のフレーム２０３を支持するフレーム支持部３１を有したフレーム固定ユニット３０でフレーム２０３を固定するステップである。

実施形態１において、フレーム固定ステップ３０１では、拡張装置１は、開閉弁５５，３１５，６３１を閉じ、拡張ユニット４０の拡張ドラム４１及び拡張ローラー４２、保持テーブル５０を下降し、フレーム固定ユニット３０のフレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方から退避した位置に位置付ける。実施形態１において、フレーム固定ステップ３０１では、拡張装置１は、図５に示すように、搬送ユニット３５によりワークユニット２００のフレーム２０３をフレーム支持部３１の上面３１２上に搬送し、ワークユニット２００のフレーム２０３をエキスパンドシート２０２の外縁部を介してフレーム支持部３１の上面３１２に載置する。

実施形態１において、フレーム固定ステップ３０１では、拡張装置１は、フレーム固定ユニット３０のセンタリングガイド３１３同士を近づけて、ワークユニット２００のフレーム２０３を位置決めする。フレーム固定ステップ３０１では、拡張装置１は、フレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方に位置付けて、図６に示すように、フレーム２０３をフレーム支持部３１とフレーム押さえプレート３２との間に挟持してワークユニット２００のフレーム２０３を固定する。

（拡張ステップ）
図７は、図４に示された拡張方法の拡張ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。拡張ステップ３０２は、フレーム固定ステップ３０１を実施した後、エキスパンドシート２０２を拡張し、ワーク２０１が分割されて形成されたチップ２１０間に間隙を形成するステップである。

実施形態１において、拡張ステップ３０２では、拡張装置１は、図７に示すように、拡張ドラム４１を上昇させる。すると、エキスパンドシート２０２の領域２１１に拡張ドラム４１の上端に設けられた拡張ローラー４２が当接し、拡張ローラー４２が領域２１１を下方から上方に向けて押圧し、エキスパンドシート２０２が面方向に拡張される。拡張ステップ３０２では、エキスパンドシート２０２の拡張の結果、エキスパンドシート２０２に放射状に引張力が作用する。

このように、ワーク２０１の裏面２０７に貼着されたエキスパンドシート２０２に放射状に引張力が作用すると、ワーク２０１は、分割予定ライン２０５に沿って改質層２０８が形成されているので、改質層２０８を基点として、分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２１０に分割される。また、ワーク２０１は、エキスパンドシート２０２が拡張するので、チップ２１０に分割されると、チップ２１０間が広がって、チップ２１０間に間隙が形成される。

（保持ステップ）
図８は、図４に示された拡張方法の保持ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。保持ステップ３０３は、拡張ステップ３０２を実施した後、ワーク２０１を保持する保持面５１を有した保持テーブル５０でエキスパンドシート２０２を介してワーク２０１を保持してチップ２１０間の間隙を維持するステップである。

実施形態１において、保持ステップ３０３では、保持ステップ３０３では、拡張装置１は、保持テーブル５０を上昇させて、保持テーブル５０の保持面５１にワーク２０１の裏面２０７に貼着されたエキスパンドシート２０２を接触させる。実施形態１において、保持ステップ３０３では、拡張装置１は、図８に示すように、開閉弁５５を開いて、吸引源５６により吸着部５３を吸引して、ワーク２０１の裏面２０７側をエキスパンドシート２０２を介して保持テーブル５０の保持面５１に吸引保持して、チップ２１０間の間隙を維持する。

（切断ステップ）
図９は、図４に示された拡張方法の切断ステップにおいてカッター刃をエキスパンドシートに切り込ませた状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１０は、図４に示された拡張方法の切断ステップにおいてエキスパンドシートを切断した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

切断ステップ３０４は、保持ステップ３０３を実施した後、ワーク２０１の外側のエキスパンドシート２０２にのり代２１２（図９に示す）を持たせつつワーク２０１の外側でエキスパンドシート２０２を切断し、チップ２１０間の間隙が維持された状態のワーク２０１とワーク２０１に固定されのり代２１２がはみ出すようにくり抜かれたエキスパンドシート２０２とからなるワーク部２１４（図１０に示す）と、フレーム支持部３１で支持されたフレーム２０３とフレーム２０３に固定されたエキスパンドシート２０２の残り部２１３とからなるフレーム部２１５と、にワークユニット２００を分断するステップである。

実施形態１において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、保持テーブル５０の上方に切断接着ユニット６０を位置付け、切断接着ユニット６０の円板部６１を下降させるとともにカッター刃６２２を収容ケース６２１外に突出させて、カッター６２のカッター刃６２２をワークユニット２００のエキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央に切り込ませる。実施形態１において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、図９に示すように、切断接着ユニット６０の円板部６１を軸心回りに少なくとも１回転させて、円板部６１の回転後にカッター刃６２２を収容ケース６２１内に収容する。

すると、実施形態１において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、図１０に示すように、エキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央をカッター刃６２２で切断して、ワーク２０１の外側のエキスパンドシート２０２にのり代２１２を持たせつつワーク２０１の外側でエキスパンドシート２０２を切断する。実施形態１において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、図１０に示すように、ワークユニット２００を、チップ２１０間の間隙が維持された状態のワーク２０１とワーク２０１に固定されのり代２１２がはみ出すようにくり抜かれたエキスパンドシート２０２とからなるワーク部２１４と、フレーム支持部３１で支持されたフレーム２０３とフレーム２０３に固定されたエキスパンドシート２０２の残り部２１３とからなるフレーム部２１５と、に分断する。

即ち、実施形態１において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、カッター６２でエキスパンドシート２０２の領域２１１をのり代２１２と残り部２１３とに分断する。また、エキスパンドシート２０２の領域２１１の径方向の中央が切断されると、残り部２１３がフレーム支持部３１の上面３１２に載置される。

こうして、切断ステップ３０４では、エキスパンドシート２０２の領域２１１が切断されると、フレーム支持部３１は、上面３１２にフレーム２０３を支持するとともに、上面３１２に残り部２１３を支持することとなる。なお、上面３１２に支持された残り部２１３は、上面３１２に形成された吸引溝３１４を塞ぐこととなる。このために、吸引溝３１４，上面３１２の残り部２１３を支持する領域に開口している。また、実施形態１において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、エキスパンドシート２０２の切断後、図１０に示すように、開閉弁３１５を開いて、吸引源３１６により吸引溝３１４を吸引して、残り部２１３を上面３１２に吸引保持する。

（固定ステップ）
図１１は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいて保持テーブルを下降した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１２は、図１１中のＸＩＩ部を拡大して示す断面図である。図１３は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいてのり代と残り部に接着部材を供給する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１４は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいてのり代と残り部と供給された接着部材を拡大して示す断面図である。図１５は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいてのり代と残り部と供給された接着部材に紫外線を照射する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１６は、図１５中のＸＶＩ部を拡大して示す断面図である。図１７は、図４に示された拡張方法の固定ステップにおいて開閉弁を閉じた状態を一部断面で模式的に示す側面図である。

固定ステップ３０５は、切断ステップ３０４を実施した後、保持テーブル５０で保持されたワーク部２１４ののり代２１２と、フレーム部２１５の残り部２１３と、を重ねて接着部材６３３で固定するステップである。実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図１１に示すように、保持テーブル５０を下降させて、保持テーブル５０の保持面５１をフレーム支持部３１の上面３１２よりも下方に位置付ける。すると、拡張ステップ３０２においてエキスパンドシート２０２が拡張され、保持ステップ３０３においてワーク２０１がエキスパンドシート２０２を介して吸引保持されているので、図１２に示すように、フレーム支持部３１の上面３１２に吸引保持されたフレーム部２１５の残り部２１３の内縁部にワーク部２１４ののり代２１２の外縁部が重なることとなる。

実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図１３に示すように、切断接着ユニット６０の円板部６１を更に下降させて、開閉弁６３１を開いて接着部材供給ユニット６３から接着部材６３３を互いに重なった残り部２１３とのり代２１２上に供給しながら円板部６１を少なくとも軸心回りに１回転させる。すると、図１４に示すように、全周に亘って、残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部上に接着部材６３３が塗布される。実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、接着部材６３３の塗布後、開閉弁６３１を閉じる。

実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、切断接着ユニット６０の円板部６１を保持テーブル５０の上方から退避させて、紫外線照射ユニット７０の円板部７１を保持テーブル５０の上方に位置付ける。実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図１５に示すように、紫外線照射ユニット７０の円板部７１を下降させて、紫外線照射器７２から紫外線７３を残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部上に供給された接着部材６３３に照射しながら円板部７１を少なくとも軸心回りに１回転させる。すると、固定ステップ３０５では、図１６に示すように、全周に亘って、残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部上に供給された接着部材６３３が硬化して、フレーム支持部３１の上面３１２で支持された残り部２１３の内縁部にのり代２１２の外縁部が重ねられて互いに固定される。こうして、固定ステップ３０５では、上面３１２で支持された残り部２１３にのり代２１２が重ねられて固定されるとともに、残り部２１３は、フレーム支持部３１の上面３１２に吸引保持された状態で、残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部とが互いに重ねられて固定される。

実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図１７に示すように、紫外線照射ユニット７０を保持テーブル５０の上方から退避させ、開閉弁５５，３１５を閉じて保持テーブル５０の保持面５１のワーク２０１の吸引保持を停止するとともに、フレーム支持部３１の上面３１２の残り部２１３の吸引保持を停止する。拡張装置１は、フレーム固定ユニット３０のフレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方から退避させ、フレーム支持部３１の上面３１２及び保持テーブル５０の保持面５１上からワークユニット２００を搬送ユニット３５により搬出させて、実施形態１に係る拡張方法即ち拡張動作を終了する。

以上説明したように、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、拡張ステップ３０２においてワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張した後、保持ステップ３０３においてエキスパンドシート２０２を介して保持テーブル５０でワーク２０１を保持した状態で、切断ステップ３０４において、エキスパンドシート２０２の領域２１１を切断してワークユニット２００をワーク部２１４とフレーム部２１５とに分断する。次いで、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、固定ステップ３０５において、ワーク部２１４のエキスパンドシート２０２ののり代２１２とフレーム部２１５のエキスパンドシート２０２の残り部２１３とを重ねた状態で接着部材６３３で固定するため、拡張後にエキスパンドシート２０２を拡張する必要が生じない。

また、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、固定ステップ３０５では、ワーク２０１を吸引保持した保持テーブル５０を下降させて、保持テーブル５０の保持面５１をフレーム支持部３１の上面３１２よりも下方に位置付けて、残り部２１３の内縁部にのり代２１２の外縁部を重ねて、これらを接着部材６３３で固定する。このために、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、接着部材６３３による残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部との固定後に、保持テーブル５０の吸引保持を解除して、エキスパンドシート２０２の弾性復元力が作用しても、チップ２１０間の間隙を維持することができる。よって、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、チップ２１０同士の接触を抑制することができる。

また、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、固定ステップ３０５では、ワーク２０１を吸引保持した保持テーブル５０を下降させて、保持テーブル５０の保持面５１をフレーム支持部３１の上面３１２よりも下方に位置付けて、残り部２１３の内縁部にのり代２１２の外縁部を重ねて、これらを接着部材６３３で固定する。このために、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、加熱しても収縮しない又は収縮しにくいエキスパンドシート２０２であっても、拡張により生じる弛みを除去することができる。

その結果、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、エキスパンドシート２０２を加熱することで発生するガスがワーク２０１に付着することを抑制しながらもチップ２１０同士の接触を抑制することができるという効果を奏する。

〔実施形態２〕
次に、実施形態２に係る拡張方法を図面に基づいて説明する。図１８は、実施形態２に係る拡張方法の固定ステップにおいて残り部に接着部材を供給する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図１９は、実施形態２に係る拡張方法の固定ステップにおいて保持テーブルを下降した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図２０は、図１９中のＸＸ部を拡大して示す断面図である。図２１は、実施形態２に係る拡張方法の固定ステップにおいて残り部に供給された接着部材に紫外線を照射する状態を一部断面で模式的に示す側面図である。図２２は、図２１中のＸＸＩＩ部を拡大して示す断面図である。なお、図１８、図１９、図２０、図２１及び図２２は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図１８に示すように、切断接着ユニット６０の円板部６１を更に下降させて、開閉弁６３１を開いて、接着部材供給ユニット６３から接着部材６３３をフレーム支持部３１の上面３１２に吸引保持された残り部２１３の内縁部上に供給しながら円板部６１を少なくとも軸心回りに１回転させる。すると、全周に亘って、残り部２１３の内縁部上に接着部材６３３が塗布される。実施形態２において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、接着部材６３３の塗布後、開閉弁６３１を閉じる。

実施形態２において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図１９に示すように、保持テーブル５０を下降させる。すると、拡張ステップ３０２においてエキスパンドシート２０２が拡張され、保持ステップ３０３においてワーク２０１がエキスパンドシート２０２を介して吸引保持されているので、図２０に示すように、フレーム支持部３１の上面３１２に吸引保持されたフレーム部２１５の残り部２１３の内縁部にワーク部２１４ののり代２１２の外縁部が接着部材６３３を介して重なることとなる。

実施形態２において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、切断接着ユニット６０の円板部６１を保持テーブル５０の上方から退避させて、紫外線照射ユニット７０の円板部７１を保持テーブル５０の上方に位置付ける。実施形態１において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、図２１に示すように、紫外線照射ユニット７０の円板部７１を下降させて、紫外線照射器７２から紫外線７３を残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部上に供給された接着部材６３３に照射しながら円板部７１を少なくとも軸心回りに１回転させる。すると、固定ステップ３０５では、図２２に示すように、全周に亘って、残り部２１３の内縁部上に供給された接着部材６３３が硬化して、フレーム支持部３１の上面３１２で支持された残り部２１３の内縁部にのり代２１２の外縁部が重ねられて互いに固定される。

実施形態２において、固定ステップ３０５では、拡張装置１は、紫外線照射ユニット７０を保持テーブル５０の上方から退避させ、開閉弁５５，３１５を閉じ、実施形態１と同様に、フレーム固定ユニット３０のフレーム押さえプレート３２をフレーム支持部３１の上方から退避させ、ワークユニット２００を搬送ユニット３５により搬出させて、拡張方法即ち拡張動作を終了する。

実施形態２に係る拡張方法及び拡張装置１は、ワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張した後、エキスパンドシート２０２を介して保持テーブル５０でワーク２０１を保持した状態で、エキスパンドシート２０２の領域２１１を切断してワークユニット２００をワーク部２１４とフレーム部２１５とに分断し、ワーク部２１４のエキスパンドシート２０２ののり代２１２とフレーム部２１５のエキスパンドシート２０２の残り部２１３とを重ねた状態で接着部材６３３で固定するため、実施形態１と同様に、エキスパンドシート２０２を加熱することで発生するガスがワーク２０１に付着することを抑制しながらもチップ２１０同士の接触を抑制することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る拡張方法及び拡張装置１は、固定ステップ３０５において、残り部２１３の内縁部に接着部材６３３を塗布した後、接着部材６３３を介して残り部２１３の内縁部にのり代２１２の外縁部を重ねるので、接着部材６３３が残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部とを確実に固定することができる。

〔変形例〕
次に、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る拡張方法を図面に基づいて説明する。図２３は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る拡張方法の切断ステップにおいて残り部を上面に押し付けた状態を一部断面で模式的に示す側面図である。なお、図２３は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１及び実施形態２の変形例に係る拡張方法は、拡張装置１は、図２３に示すように、切断接着ユニット６０に押圧ユニット６４を備えて、切断ステップ３０４において、エキスパンドシート２０２の切断後に、残り部２１３を押圧ユニット６４でフレーム支持部３１の上面３１２に押し付けること以外、実施形態１及び実施形態２と同じである。

変形例において、押圧ユニット６４は、円板部６１の外縁部に設けられて、切断接着ユニット６０が保持テーブル５０の上方に位置付けられると、フレーム支持部３１の上面３１２と鉛直方向に沿って対面する。変形例において、押圧ユニット６４は、円板部６１の周方向に沿ってカッター６２と接着部材供給ユニット６３との間に配置されている。押圧ユニット６４は、伸縮自在で伸長すると下端がフレーム支持部３１の上面３１２に近付くロッド６４１を備える。

変形例において、拡張装置１は、図２３に示すように、切断接着ユニット６０に押圧ユニット６４を備えて、切断ステップ３０４において、エキスパンドシート２０２の切断後に、押圧ユニット６４のロッド６４１を伸長させて、伸長したロッド６４１で残り部２１３をフレーム支持部３１の上面３１２に押し付ける。変形例において、切断ステップ３０４では、拡張装置１は、残り部２１３を押圧ユニット６４のロッド６４１でフレーム支持部３１の上面３１２に押し付けた後、開閉弁３１５を開いて、残り部２１３をフレーム支持部３１の上面３１２に吸引保持するとともに、ロッド６４１を縮小させる。変形例において、拡張装置１は、以降、実施形態１又は実施形態２と同様に固定ステップ３０５を実施する。

変形例に係る拡張方法は、ワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張した後、エキスパンドシート２０２を介して保持テーブル５０でワーク２０１を保持した状態で、エキスパンドシート２０２の領域２１１を切断してワークユニット２００をワーク部２１４とフレーム部２１５とに分断し、ワーク部２１４のエキスパンドシート２０２ののり代２１２とフレーム部２１５のエキスパンドシート２０２の残り部２１３とを重ねた状態で接着部材６３３で固定するため、実施形態１と同様に、エキスパンドシート２０２を加熱することで発生するガスがワーク２０１に付着することを抑制しながらもチップ２１０同士の接触を抑制することができるという効果を奏する。

また、変形例に係る拡張方法は、固定ステップ３０５において押圧ユニット６４で残り部２１３をフレーム支持部３１の上面３１２に押し付けた後、残り部２１３を上面３１２に吸引保持するので、残り部２１３を上面３１２に確実に吸引保持することができるとともに、残り部２１３の内縁部とのり代２１２の外縁部とを確実に固定することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１では、分割起点として改質層２０８を形成したが、本発明では、これに限定されることなく、分割起点としてレーザ加工溝又は切削溝を形成しても良い。

また、実施形態１では、ワークユニット２００のワーク２０１が図２４に示すように分割予定ライン２０５に形成された分割溝２１６により、分割予定ライン２０５に沿って個々のチップ２１０に分割されていても良い。

なお、図２４は、図２に示されたワークユニットの変形例を示す斜視図である。図２４は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。分割溝２１６は、ワーク２０１を貫通して、ワーク２０１を個々のチップ２１０に分割するものであり、ワーク２０１に切削加工又はレーザーアブレーション加工が施されて形成される。

即ち、本発明では、拡張方法及び拡張装置１は、複数のチップ２１０へと分割されたワーク２０１がエキスパンドシート２０２を介してワーク２０１を収容する開口２０９を有したフレーム２０３に装着されたワークユニット２００のエキスパンドシート２０２を拡張する方法及び装置であっても良い。この場合、拡張方法及び拡張装置１は、拡張ステップ３０２においてチップ２１０間の間隙を拡張ステップ３０２前よりも広げることとなる。

また、本発明では、拡張装置１は、フレーム支持部３１の上面３１２に吸引溝３１４を形成せずに、上面３１２に残り部２１３を吸引保持しなくても良い。本発明では、拡張方法及び拡張装置１は、切断ステップ３０４においてエキスパンドシート２０２の領域２１２の径方向の中央を全周に亘って切断した後、実施形態のように、拡張ユニット４０の拡張ローラー４２でのり代２１２を支持しても良く、拡張ドラム４１を下降させてのり代２１２から拡張ローラー４２を退避させても良い。

また、本発明では、拡張方法及び拡張装置１は、拡張ステップ３０２において、保持テーブル５０が拡張ローラー４２と同時に上昇しても良い。

１ 拡張装置
３０ フレーム固定ユニット
３１ フレーム支持部
４０ 拡張ユニット
５０ 保持テーブル
５１ 保持面
６２ カッター
６３ 接着部材供給ユニット
７３ 紫外線
２００ ワークユニット
２０１ ワーク
２０２ エキスパンドシート
２０３ フレーム
２０８ 改質層（分割起点）
２０９ 開口
２１０ チップ
２１２ のり代
２１３ 残り部
２１４ ワーク部
２１５ フレーム部
３０１ フレーム固定ステップ
３０２ 拡張ステップ
３０３ 保持ステップ
３０４ 切断ステップ
３０５ 固定ステップ
３１２ 上面（支持面）
３１４ 吸引溝（吸引口）
３１６ 吸引源
３１７ 吸引路
６３３ 接着部材

Claims (5)

1. 分割起点が形成された、または複数のチップへと分割されたワークがエキスパンドシートを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張方法であって、
   該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持部を有したフレーム固定ユニットで該フレームを固定するフレーム固定ステップと、
   該フレーム固定ステップを実施した後、該エキスパンドシートを拡張し、該ワークが分割されて形成されたチップ間に間隙を形成する拡張ステップと、
   該拡張ステップを実施した後、該ワークを保持する保持面を有した保持テーブルで該エキスパンドシートを介して該ワークを保持して該間隙を維持する保持ステップと、
   該保持ステップを実施した後、該ワークの外側の該エキスパンドシートにのり代を持たせつつ該ワークの外側で該エキスパンドシートを切断し、チップ間の該間隙が維持された状態のワークと該ワークに固定され該のり代がはみ出すようにくり抜かれたエキスパンドシートとからなるワーク部と、該フレーム支持部で支持された該フレームと該フレームに固定された該エキスパンドシートの残り部とからなるフレーム部と、に該ワークユニットを分断する切断ステップと、
   該切断ステップを実施した後、該保持テーブルで保持された該ワーク部の該のり代と、該フレーム部の該残り部と、を重ねて接着部材で固定する固定ステップと、
   を備えた拡張方法。
2. 該フレーム支持部は、該フレームを支持するとともに該残り部を支持する支持面を有し、
   該固定ステップでは、該支持面で支持された該残り部に該のり代が重ねられて固定される、請求項１に記載の拡張方法。
3. 該フレーム支持部には、該支持面の該残り部を支持する領域に開口する吸引口と、該吸引口に連通するとともに吸引源に接続された吸引路が形成され、
   該固定ステップでは、該残り部は該支持面に吸引保持された状態で該残り部と該のり代が固定される、請求項２に記載の拡張方法。
4. 該接着部材は、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化樹脂からなる、請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の拡張方法。
5. 分割起点が形成された、または複数のチップへと分割されたワークがエキスパンドシートを介してワークを収容する開口を有したフレームに装着されたワークユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、
   該ワークユニットの該フレームを支持するフレーム支持部を有したフレーム固定ユニットと、
   該フレーム固定ユニットで固定された該フレームを含む該ワークユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張ユニットと、
   該拡張ユニットで該エキスパンドシートが拡張された状態で該エキスパンドシートを介して該ワークを保持する保持面を有した保持テーブルと、
   該ワークの外周側の該エキスパンドシートにのり代を持たせた状態で該ワークの外側で該エキスパンドシートを切断し、該のり代が該ワークからはみ出した状態で該エキスパンドシートが該ワークに固定されたワーク部と、該フレーム支持部で支持された該フレームと該フレームに固定された該エキスパンドシートの残り部とからなるフレーム部と、に該ワークユニットを分断するカッターと、
   該ワーク部の該のり代と該フレーム部の該残り部とを重ねて固定する接着部材を供給する接着部材供給ユニットと、
   を備えた拡張装置。

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