JP4640766B2 - 粘着テープの貼付方法及び貼付装置 - Google Patents
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Description
2 ウエハ
3 チャックテーブル
4 粘着テープ
5 テープ供給部
6 離型ライナー
7 離型機構部
8 離型ライナー巻き取り部
9 貼付機構部
10 粘着テープ切抜き手段
11a,11b ウエハ収納部
14 アライメントステージ
15 不要テープ巻き取り部
16 巻き取りローラ(中太円筒状)
17 ウエハ保持部
20 刃先
21 テープボビン
22 回収ボビン
23 フレーム
24 レール
25 貼付ローラ
26 カッターユニット
27 昇降駆動部
30 不要テープ剥離機構部
31 フレーム
32 剥離ローラ
33 回収ボビン
35 ボール軸
Claims (3)
- 半導体ウエハの表面に粘着テープを貼り付けて、前記粘着テープを前記半導体ウエハの外周縁に沿って切断した後、不要な粘着テープを回収する粘着テープの貼付方法であって、
前記半導体ウエハの外周に沿って切り抜かれた部分に回転軸の両端から中央に向かって膨出した形状の巻き取りローラの中太円筒状の太軸部分を入れ込みながら当該切断されていない粘着テープ部分が幅方向に縮まないように当該巻き取りローラの両端側によって引っ張られるようにして巻き取り回収する
ことを特徴とする粘着テープの貼付方法。 - 半導体ウエハを収納する収納部と、
前記収納部から半導体ウエハを搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送される半導体ウエハを載置し、位置決めする位置決め手段と、
位置決めされた前記半導体ウエハを保持する半導体ウエハ保持部と、
前記半導体ウエハ保持部上に載置された前記半導体ウエハに粘着テープを供給するテープ供給部と、
前記粘着テープから離型ライナーを離型する離型機構部と、
前記離型機構部で離型された前記離型ライナーを巻き取るライナー巻き取り部と、
前記テープ供給部から供給される粘着テープを前記半導体ウエハ表面に貼り付ける貼付機構部と、
前記半導体ウエハに貼り付けられた粘着テープを半導体ウエハの外周に沿って切り抜く粘着テープ切抜き手段と、
不要となった粘着テープを巻き取る不要テープ巻き取り部と、を備えてなり、
前記不要テープ巻き取り部に、回転軸の両端から中央に向かって膨出した形状の巻き取りローラが少なくとも1本以上設けられ、前記巻き取りローラの中太円筒状の太軸部分を前記半導体ウエハの外周に沿って切り抜かれた不要な粘着テープの部分に入れ込みながら当該不要な粘着テープの切断されていない部分の粘着テープを幅方向に縮まないように当該巻き取りローラの両端側によって引っ張られるようにして巻き取る
ことを特徴とする粘着テープの貼付装置。 - 前記中太円筒状の巻き取りローラは、その回転軸の両端から回転軸中央に向かって膨出し、その周側面の曲率半径がR100000mm〜R1000mmである請求項2に記載の粘着テープの貼付装置。
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KR101581009B1 (ko) * | 2014-07-18 | 2015-12-30 | 주식회사 영진비앤비 | 디바이스 웨이퍼용 접착제시트 부착장치 |
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6360349U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-21 | ||
JPH0312854U (ja) * | 1989-06-21 | 1991-02-08 | ||
JPH0480170A (ja) * | 1990-07-21 | 1992-03-13 | Hitoshi Suzuki | 粘着テープ貼着装置 |
JPH06177243A (ja) * | 1992-12-01 | 1994-06-24 | Deisuko Eng Service:Kk | テープ貼り機 |
JPH08187996A (ja) * | 1995-01-09 | 1996-07-23 | General Kk | 転写具 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6360349U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-21 | ||
JPH0312854U (ja) * | 1989-06-21 | 1991-02-08 | ||
JPH0480170A (ja) * | 1990-07-21 | 1992-03-13 | Hitoshi Suzuki | 粘着テープ貼着装置 |
JPH06177243A (ja) * | 1992-12-01 | 1994-06-24 | Deisuko Eng Service:Kk | テープ貼り機 |
JPH08187996A (ja) * | 1995-01-09 | 1996-07-23 | General Kk | 転写具 |
JPH09283471A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 保護テープの剥離方法及びその装置 |
JP2002124500A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体ウエハのテープ貼り付け装置およびその貼り付け方法 |
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