JP2006344882A - 貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】張力を極力抑えた状態で、半導体ウエハ等の被着体に保護シート等の接着シートを貼付するのに好適な貼付装置及び貼付方法を提供する。
【解決手段】保護シートT1をウエハWに貼付するにあたり、前記ウエハWの貼付面が表出するよう前記ウエハWを保持し、前記保護シートT1を自重により垂れ下がった状態に繰り出し、前記保持されたウエハWに、前記繰り出された保護シートT1を、垂れ下がった状態を維持しつつ押圧しながら貼付するようにする。
【選択図】図2
【解決手段】保護シートT1をウエハWに貼付するにあたり、前記ウエハWの貼付面が表出するよう前記ウエハWを保持し、前記保護シートT1を自重により垂れ下がった状態に繰り出し、前記保持されたウエハWに、前記繰り出された保護シートT1を、垂れ下がった状態を維持しつつ押圧しながら貼付するようにする。
【選択図】図2
Description
本発明は、張力を極力抑えた状態で、半導体ウエハ等の被着体に保護シート等の接着シートを貼付するのに好適な、貼付装置及び貼付方法に関する。
従来より、この種の貼付装置として、例えば、特許文献1に記載されたものがある。同文献1の装置は、被着体である半導体ウエハの表面(回路面)に、接着シートである保護テープを貼付する保護テープ貼付装置である。同文献1の装置では、表面(回路面)を上にしたウエハ(W)が、チャックテーブル(17)に吸着保持されており、ウエハ(W)の表面高さと、このウエハ(W)の回りに配置された枠材(18)の表面高さとが略同じになるように、チャックテーブル(17)の高さ調節を行う、あるいは貼付ローラ(30)の高さ調節を行い、貼付ローラ(30)が保護テープ(T1)を押圧しながら、枠材(18)上をテープ走行方向とは逆方向に転動し、連続してウエハ(W)上を転動して保護テープ(T1)をウエハ(W)の表面全体に均一に貼り付けるように構成されている。なお、前記カッコ内の符号は特許文献1で用いられている符号であり、以下も同様である。
しかしながら、前記装置では、貼付ローラ(30)及びガイドローラ群(28)あるいは貼付ローラ(30)及び剥離ローラ(31)により、保護テープ(T1)をその繰り出し方向の前後で固定した状態で貼付が行われる構成であるため、必然的に保護テープ(T1)に張力が加わってしまう。するとその張力で保護テープ(T1)貼付後のウエハ(W)に反りが発生してしまうという不都合が生じる。特に、数十ミクロンオーダーで研削されるウエハであれば、その反りによって後工程への搬送や、位置決め等に支障を来たしたり、ウエハが割れてしまうといった問題が生じる。
本発明は前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、張力を極力抑えた状態で、半導体ウエハ等の被着体に保護シート等の接着シートを貼付するのに好適な貼付装置及び貼付方法を提供することである。
前記目的を達成するために、本発明の貼付装置は、接着シートを被着体に貼付する貼付装置において、前記被着体の貼付面が表出するように前記被着体を保持する保持ユニットと、前記接着シートを自重により垂れ下がった状態に繰り出すシート操出ユニットと、前記保持ユニットにより保持された被着体に、前記シート操出ユニットにより繰り出された接着シートを前記垂れ下がった状態を維持しつつ、押圧しながら貼付するシート貼付ユニットとを備えることを特徴とする。
前記本発明の貼付装置において、前記被着体に貼付された前記接着シートを所定形状に切断する切断ユニットを更に備えてもよい。
前記本発明の貼付装置において、前記切断ユニットによって所定形状に切断された前記接着シートを巻き取るシート巻取りユニットを更に備えてもよい。
前記本発明の貼付装置において、前記被着体は、半導体ウエハであり、前記接着シートは、前記半導体ウエハの回路面を保護する保護シートであってもよい。
前記目的を達成するために、接着シートを被着体に貼付する貼付方法において、前記被着体の貼付面が表出するように前記被着体を保持するステップと、前記接着シートを自重により垂れ下がった状態に繰り出すステップと、前記保持された被着体に、前記繰り出された接着シートを前記垂れ下がった状態を維持しつつ、押圧しながら貼付するステップとを備えることを特徴とする。
前記本発明の貼付方法において、前記被着体に貼付された前記接着シートを所定形状に切断するステップを更に備えてもよい。
前記本発明の貼付方法において、前記所定形状に切断された前記接着シートを巻き取るステップを更に備えてもよい。
前記本発明の貼付方法において、前記被着体は、半導体ウエハであり、前記接着シートは、前記半導体ウエハの回路面を保護する保護シートであってもよい。
前記本発明にあっては、被着体の貼付面が表出する様被着体を保持し、接着シートを自重により垂れ下がった状態に繰り出し、この繰り出された接着シートを前記保持された被着体に、前記繰り出された接着シートを前記垂れ下がった状態を維持しつつ、押圧しながら貼付するという構成を採用した。このため、張力を極力抑えた状態で被着体に接着シートを貼付できるので、特に、半導体ウエハに保護シートを貼付した際、貼付後における反りが無くなり、その反りによって後工程への搬送や、位置決め等に支障を来たしたり、半導体ウエハが割れてしまうといった支障を来たすことも無くなった。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下において、被着体は半導体ウエハW(以下、「ウエハW」という。)、接着シートは保護シートT1として説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明を適用した貼付装置の平面図である。貼付装置1は、搬送ロボット2、ウエハ供給部3、シート貼付部4及びウエハ収容部5からなる。
図1は、本発明を適用した貼付装置の平面図である。貼付装置1は、搬送ロボット2、ウエハ供給部3、シート貼付部4及びウエハ収容部5からなる。
搬送ロボット2は、伸縮自在な多関節アーム21と、このアーム21の先端部に設けられ、ウエハWを吸着保持可能な略U字形状の吸着アーム21Aと、この吸着アーム21Aを軸心S周りに回動させる回転部21Bから構成されている。
ウエハ供給部3は、Z軸方向に上下動可能な第1の昇降テーブル31と、この昇降テーブル31の上にセットされたウエハ供給カセット32とからなる。ウエハ供給カセット32内には、ウエハWが、多段に複数枚収容されている。
シート貼付部4は、保持ユニット41、シート操出ユニット42、シート貼付ユニット43及び切断ユニット44からなる。このシート貼付部4においては、搬送ロボット2により搬送されたウエハWの表面に、保護シートT1を貼付し、貼付後、保護シートT1を所定形状に切断するという動作が行われる。詳細は後述する。
ウエハ収容部5は、Z軸方向に上下動可能な第2の昇降テーブル51と、この昇降テーブル51の上にセットされたウエハ収容カセット52とからなる。ウエハ収容カセット52には、シート貼付部4において、保護シートT1が回路面(以下「表面」という)に貼付されたウエハWが多段に複数枚収容される。
具体的には、搬送ロボット2が、多関節アーム21を伸ばし、吸着アーム21Aによりウエハ供給カセット32内のウエハWを裏面(回路面の反対面)から吸着保持し、アライメントユニットALにてウエハの位置決めを行った後、シート貼付部4に貼付面(本実施形態では表面)が表出するように受け渡し、ウエハWの表面に保護シートT1が貼付され、貼付後、保護シートT1が切断ユニット44により所定形状に切断される。そして、搬送ロボット2の吸着アーム21Aが再び保護シートT1が貼り付けられたウエハWを吸着保持し、ウエハ収容カセット52内に収容する。
次に、本発明の特徴部分であるシート貼付部4について、図2を用いて詳細に説明する。
図2は、図1の貼付装置1におけるシート貼付部4の概略構成を示す側面図であり、いわゆるスタンバイ状態を示している。
保持ユニット41は、ウエハWを吸着する円形の内側テーブル410と、この内側テーブル410を取り囲むように外側に設けられた略方形の外側テーブル411とを備える。内側テーブル410は、多孔質部材からなり、ウエハWを吸着保持可能に構成されている。この内側テーブル410は、第1の単軸ロボット412Aと、この第1の単軸ロボット412Aの周囲に配設された複数の第1のサポートシャフト413Aとにより、外側テーブル411の内側に取り付けられており、これら機構によりZ軸方向に移動可能に構成されている。尚、内側テーブル410の中央部は、図2中2点鎖線で示すように、吸着アーム21AのU字形状の間隔より小さな直径を有する昇降部410Aが、図示しないエアシリンダによりZ軸方向に移動可能な吸着面となっている。この昇降部410Aは、吸着アーム21Aから表面を表出した状態でウエハWを受け取り、内側テーブル410に受け渡すように構成されている。
外側テーブル411は、第2の単軸ロボット412Bと、この第2の単軸ロボット412Bの周囲に配設された複数の第2のサポートシャフト413Bとにより、略方形の回転プレート414に取り付けられており、これら機構によりZ軸方向に移動可能に構成されている。
回転プレート414は、回転軸415の一端に取り付けられており、回転軸415は、回転軸受416を介してフレームFに嵌合軸支されているとともに、この回転軸415の他端には、第1のプーリ417Aが嵌合固着されている。また、保持ユニット41は、モータ419を備えるとともに、このモータ419の回転軸には第2のプーリ417Bが嵌合固着されており、この第2のプーリ417Bと第1のプーリ417Aとの間にはベルト418が掛け回され、モータ419の回転により、回転プレート414に取り付けられた外側テーブル411、内側テーブル410が回転可能となっている。
なお、保持ユニット41は、図2に示すスタンバイ状態においては、ウエハWの表面と外側テーブル411の下端面411aは面一になるように設定される。このように面一にすることにより、後述するプレスローラ430での貼付の際、ウエハWに均一な押圧力が加わることとなるので、保護シートT1を精度よく貼付することが可能となる。
シート操出ユニット42は、供給ローラ420、ガイドローラ421、422、ピールプレート423、駆動ローラ424、駆動モータ425、ピンチローラ426及び巻取りローラ427からなる。このシート操出ユニット42においては、剥離シートT2に仮着された保護シートT1をロール状に巻回してなる原反Rが、供給ローラ420に装着されており、この原反Rは、ガイドローラ421、422、ピールプレート423にかけ回され、ピールプレート423により、剥離シートT2から保護シートT1が剥離される。その後、保護シートT1は、シート貼付ユニット43の後述するプレスローラ430上へ粘着面T11を上向きにして繰り出され、他方、剥離シートT2は、駆動ローラ424、ピンチローラ426間を経て、巻取りローラ427により巻き取られる。なお、巻取りローラ427は、図示しないベルトを介して駆動モータ425によって駆動される。
シート貼付ユニット43は、X軸方向へ移動可能なプレスローラ430と、このプレスローラ430をX軸方向へ移動させる単軸ロボット431とから構成されている。また、このプレスローラ430は、単軸ロボット431のスライダ432に回転可能に支持されているとともに、このプレスローラ430は、ウエハWとの間に保護シートT1を挟んでX軸方向へ回転移動することによって、ウエハWの表面に保護シートT1を貼付するように構成されている。
切断ユニット44は、先端部にカッター刃441を備え、図示しない2軸ロボットによりX、Y軸方向に移動可能に構成されている。更に、エアシリンダ442を備えており、当該エアシリンダ442のロッド443の伸縮により、カッター刃441はZ軸方向(斜め上方)へ移動可能となっている。切断ユニット44は、図2のようにウエハW側に傾斜して配置されているので、ウエハWの外周縁を切断する際に(後述する第2の切断工程)、保護シートT1がウエハW外周縁よりはみ出すことはない。なお、切断ユニット44は、前記構成に限定されるものではなく、保護シートT1を切断可能であればどのような構成であってもよい。
次に、上記の如く構成されたシート貼付部4における動作説明をする。本実施形態におけるシート貼付部4においては、繰り出し工程→貼付工程→第1の切断工程→第2の切断工程という動作が繰り返し行われ、全ての工程は図示しない制御手段においてシーケンス制御されている。以下図3〜図6を用いて詳細に説明する。なお、図3、4、5及び6は、それぞれ、図2のシート貼付部4における繰り出し工程、貼付工程、第1の切断工程、第2の切断工程を示す動作説明図である。
<繰り出し工程>
図3に示すように、駆動モータ425を作動させると、駆動ローラ424及び巻取りローラ427が回転駆動し、原反Rからピールプレート423の方向に、剥離シートT2に仮着された保護シートT1が、繰り出されるとともに、このピールプレート423での鋭角な折り曲げにより、剥離シートT2から保護シートT1が剥離される。この剥離された剥離シートT2は、駆動ローラ424、ピンチローラ426を経て巻取りローラ427により巻き取られ、回収される。他方、剥離シートT2から剥離された保護シートT1は、ピールプレート423とプレスローラ430との間からプレスローラ430の外周面に沿うように粘着面T11がプレスローラ430の反対側に表出するように所定長さ繰り出され、この繰り出された保護シートT1の先端部T12は自由端となっているため、繰り出された保護シートT1の操出し部T13は、その自重によりプレスローラ430から垂れ下がった状態となる。
図3に示すように、駆動モータ425を作動させると、駆動ローラ424及び巻取りローラ427が回転駆動し、原反Rからピールプレート423の方向に、剥離シートT2に仮着された保護シートT1が、繰り出されるとともに、このピールプレート423での鋭角な折り曲げにより、剥離シートT2から保護シートT1が剥離される。この剥離された剥離シートT2は、駆動ローラ424、ピンチローラ426を経て巻取りローラ427により巻き取られ、回収される。他方、剥離シートT2から剥離された保護シートT1は、ピールプレート423とプレスローラ430との間からプレスローラ430の外周面に沿うように粘着面T11がプレスローラ430の反対側に表出するように所定長さ繰り出され、この繰り出された保護シートT1の先端部T12は自由端となっているため、繰り出された保護シートT1の操出し部T13は、その自重によりプレスローラ430から垂れ下がった状態となる。
<貼付工程>
次に、図4に示すように、単軸ロボット431をX軸方向へ移動させる。つまり、プレスローラ430を初期位置X1(2点鎖線で示す位置)から貼付終端位置X2(実線で示す位置)まで移動させることによって、プレスローラ430が保護シートT1をウエハWの表面に押圧しながら移動することとなり、保護シートT1がウエハWの表面に貼付され、貼付工程は終了する。
次に、図4に示すように、単軸ロボット431をX軸方向へ移動させる。つまり、プレスローラ430を初期位置X1(2点鎖線で示す位置)から貼付終端位置X2(実線で示す位置)まで移動させることによって、プレスローラ430が保護シートT1をウエハWの表面に押圧しながら移動することとなり、保護シートT1がウエハWの表面に貼付され、貼付工程は終了する。
<第1の切断工程>
次に、図5に示すように、前記貼付工程終了後、単軸ロボット431により、プレスローラ430を、貼付終端位置X2(2点鎖線で示す位置)から初期位置X1(実線で示す位置)に復帰させるとともに、切断ユニット44を第1の切断位置X10まで移動させる。次に、外側テーブル411とプレスローラ430との間の所定位置C1で、ロッド443を伸ばすとともに、保護シートT1の幅方向にカッター刃441を移動させることによって、保護シートT1は、その幅方向に切断される。なお、この切断の際、第2の単軸ロボット412Bにより外側テーブル411をZ軸上方に少し移動させると、この切断部分において保護シートT1にテンションが生じ、切断し易くなる。
次に、図5に示すように、前記貼付工程終了後、単軸ロボット431により、プレスローラ430を、貼付終端位置X2(2点鎖線で示す位置)から初期位置X1(実線で示す位置)に復帰させるとともに、切断ユニット44を第1の切断位置X10まで移動させる。次に、外側テーブル411とプレスローラ430との間の所定位置C1で、ロッド443を伸ばすとともに、保護シートT1の幅方向にカッター刃441を移動させることによって、保護シートT1は、その幅方向に切断される。なお、この切断の際、第2の単軸ロボット412Bにより外側テーブル411をZ軸上方に少し移動させると、この切断部分において保護シートT1にテンションが生じ、切断し易くなる。
<第2の切断工程>
次に、図6に示すように、前記第1の切断工程終了後、ロッド443を収縮させるとともに、切断ユニット44を所定の第2の切断位置X20まで移動させる。次に、この第2の切断位置X20において、ロッド443を伸ばし、ウエハWの外周縁の所定位置C2に、刃441により切込みを入れる。この状態から、モータ419を駆動させることにより、外側、内側テーブル411、410が回転し、保護シートT1はウエハWの外周縁に沿って切断されることとなる。この第2の切断工程終了後、切断ユニット44は初期位置X1まで移動しスタンバイ状態となる。なお、ウエハWにオリエンテーションフラット(以下「オリフラ」という。)やVノッチが形成されている場合は、前記回転動作に加えて切断ユニット44を適宜X、Y軸方向に移動させるようにすればよい。
次に、図6に示すように、前記第1の切断工程終了後、ロッド443を収縮させるとともに、切断ユニット44を所定の第2の切断位置X20まで移動させる。次に、この第2の切断位置X20において、ロッド443を伸ばし、ウエハWの外周縁の所定位置C2に、刃441により切込みを入れる。この状態から、モータ419を駆動させることにより、外側、内側テーブル411、410が回転し、保護シートT1はウエハWの外周縁に沿って切断されることとなる。この第2の切断工程終了後、切断ユニット44は初期位置X1まで移動しスタンバイ状態となる。なお、ウエハWにオリエンテーションフラット(以下「オリフラ」という。)やVノッチが形成されている場合は、前記回転動作に加えて切断ユニット44を適宜X、Y軸方向に移動させるようにすればよい。
この第2の切断工程終了後、ウエハWの保護シートT1が貼付された面を再び搬送ロボット2の吸着アーム21Aによって吸着保持し、ウエハWをウエハ収容カセット52内に収容する。
外側テーブル411の下端面411aには、略方形状でウエハWの外形形状にくり抜かれた保護シートT1(以下「くり抜きカス」という)が取り残されるが、このくり抜きカスは、外側テーブル411からはみ出た部分を、図示しない剥離手段により把持し、下方に向けて剥がし取り、回収するように構成されている。
以上のように、本実施形態における貼付装置においては、ウエハWの貼付面が下方に表出するようウエハWを保持し、保護シートT1を自重により垂れ下がった状態に繰り出しておいてから、前記保持されたウエハWに、押圧しながら貼付する構成としたため、張力を極力抑えた状態でウエハW表面に保護シートT1を貼付することが可能となり、貼付後のウエハWにおける反りや、その反りによって生ずるウエハWの割れも解消し、後工程での位置決め等に支障を来たすことも無くなる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態における貼付装置は、上記第1の実施形態において、第1の切断工程を省略するとともに、第2の切断工程後の保護シートを、巻き取るためのシート巻取りユニット45を追加した構成である。以下に前記第1の実施形態と異なる部分につき図7を用いて詳細に説明し、同様の部分に関しては適宜省略して説明をする。
第2の実施形態における貼付装置は、上記第1の実施形態において、第1の切断工程を省略するとともに、第2の切断工程後の保護シートを、巻き取るためのシート巻取りユニット45を追加した構成である。以下に前記第1の実施形態と異なる部分につき図7を用いて詳細に説明し、同様の部分に関しては適宜省略して説明をする。
図7は、本実施形態に係る貼付装置におけるシート貼付部4の概略構成を示す側面図である。
本実施形態においては、第1の実施形態に係るシート貼付部4の構成に、更にシート巻取りユニット45を備えて構成されている。
このシート巻取りユニット45は、駆動ローラ451、ピンチローラ452及び巻取りローラ453を備えており、シート繰出ユニット42から繰り出された保護シートT1が、その自重により垂れ下がった状態を維持したまま、すなわち、保護シートT1の垂下り部T14をテンションフリー状態とし、駆動ローラ451、ピンチローラ452を経て巻取りローラ453に掛け回わされており、この図7に示す状態が、第1実施形態に係るシート貼付部4の図1に示すスタンバイ状態となる。
その他構成は第1の実施形態のものと同様なので説明を省略し、次に適宜図2〜6を用いて動作説明をする。
図7に示すスタンバイ状態から、まず、図4に示す前記第1の実施形態における貼付工程と同様にプレスローラ430をX軸方向に移動させると、保護シートT1が、ウエハWの表面及び外側テーブル411の下端面411aに貼付される。
次に、プレスローラ430が初期位置に戻り、切断ユニット44がウエハWの中心を回転中心として回転することによって、ウエハW外周縁に沿って保護シートT1を切断する。この切断終了後、ウエハWは、第1の実施形態と同様、再び搬送ロボット2の吸着アーム21Aによって吸着保持されウエハ収容カセット52内に収容される。
ウエハ外形形状にくり抜かれ、外側テーブル411の下端面411aに貼付されている保護シートT1は、図示しない剥がし装置によって当該下端面411aから剥がし取られ、シート巻取りユニット45に巻き取られつつ、シート繰出ユニット42から新しい保護シートT1が繰り出され、次の貼付に備えることとなる。
以上のように、前記第2の実施形態においては、前記第1の実施形態の構成にシート巻取りユニット45を更に備えるという構成を採用したことにより、前記第1の実施形態における効果に加えて、第1実施形態における第1の切断工程が不要となるので、作業効率の向上が図れる。更に、保護シートT1の切断後において、前記くり抜きカスが発生しないので、第1実施形態における前記くり抜きカス剥離手段も必要なくなる。
以上の本発明の実施形態では、ウエハWの貼付面が下方に表出するようウエハWを保持し、保護シートT1を自重により垂れ下がった状態で押圧しながら貼付する構成としたが、図8に示すようにウエハの貼付面を横方向に表出するようにしてもよい。この場合、図8のように内側テーブル410が垂直方向となるように保持ユニット41を配置しておき、搬送ロボット2により、ウエハWの表面が表出するように、回転部21Bを回転させ、内側テーブル410にウエハWを受け渡し、その後は、前記第1の実施形態における工程を同様に行うように構成すればよい。
1 貼付装置
41 保持ユニット
42 シート操出ユニット
43 シート貼付ユニット
44 切断ユニット
45 シート巻取りユニット
T1 保護シート(接着シート)
W 半導体ウエハ(被着体)
41 保持ユニット
42 シート操出ユニット
43 シート貼付ユニット
44 切断ユニット
45 シート巻取りユニット
T1 保護シート(接着シート)
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (8)
- 接着シートを被着体に貼付する貼付装置において、
前記被着体の貼付面が表出するように前記被着体を保持する保持ユニットと、
前記接着シートを自重により垂れ下がった状態に繰り出すシート操出ユニットと、
前記保持ユニットにより保持された被着体に、前記シート操出ユニットにより繰り出された接着シートを前記垂れ下がった状態を維持しつつ、押圧しながら貼付するシート貼付ユニットと
を備えることを特徴とする貼付装置。 - 前記被着体に貼付された前記接着シートを所定形状に切断する切断ユニットを更に備えたこと
を特徴とする請求項1に記載の貼付装置。 - 前記切断ユニットによって所定形状に切断された前記接着シートを巻き取るシート巻取りユニットを更に備えたこと
を特徴とする請求項2に記載の貼付装置。 - 前記被着体は、半導体ウエハであり、
前記接着シートは、前記半導体ウエハの回路面を保護する保護シートであること
を特徴とする請求項1乃至3いずれか1項に記載の貼付装置。 - 接着シートを被着体に貼付する貼付方法において、
前記被着体の貼付面が表出するように前記被着体を保持するステップと、
前記接着シートを自重により垂れ下がった状態に繰り出すステップと、
前記保持された被着体に、前記繰り出された接着シートを前記垂れ下がった状態を維持しつつ、押圧しながら貼付するステップと
を備えることを特徴とする貼付方法。 - 前記被着体に貼付された前記接着シートを所定形状に切断するステップを更に備えたことを特徴とする請求項5に記載の貼付方法。
- 前記所定形状に切断された前記接着シートを巻き取るステップを更に備えたこと
を特徴とする請求項6に記載の貼付方法。 - 前記被着体は、半導体ウエハであり、
前記接着シートは、前記半導体ウエハの回路面を保護する保護シートであること
を特徴とする請求項5乃至7いずれか1項に記載の貼付方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2011155099A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
-
2005
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011091118A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Csun Mfg Ltd | ウェハーラミネートダイシングソー |
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