JP2014225587A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 60
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised Effects 0.000 description 1
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Description
請求項１の発明は、基板上に繰り出されたテープを該基板に貼り付けローラで押圧して貼り付ける基板へのテープ貼り付け装置において、
前記基板を保持する保持テーブルと、
前記テープを基板上に繰り出すテープ供給手段と、
前記テープを基板に貼り付けする貼り付けユニットと、
前記テープ供給手段と前記貼り付けユニットとの間に設けられた保持ローラとを備え、
前記貼り付けユニットは、
前記基板上を押圧転動する貼り付けローラと、
前記貼り付けローラの後方上位に設けられ前記テープを前記貼り付けローラとの間で傾斜状態に保持する一対の送り出しローラと、
前記テープに仮着されたセパレータをその途中で折り返して剥離する剥離手段と、
前記貼り付けローラ、前記送り出しローラ及び前記剥離手段を一体に保持すると共に前記基板の貼り付け面と平行に移動自在な移動枠とを有し、
前記保持ローラを前記送り出しローラと平行に設け、前記テープ供給手段で供給されたテープを前記送り出しローラとの間で平行に保持するように構成し、前記貼り付けユニットの移動により、前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持された長さのテープを使用して基板にテープを貼り付けるようにした基板へのテープ貼り付け装置である。
前記基板を保持する保持テーブルと、
前記テープを基板上に繰り出すテープ供給手段と、
前記テープを基板に貼り付けする貼り付けユニットと、
前記テープ供給手段と前記貼り付けユニットとの間に設けられた保持ローラとを備え、
前記貼り付けユニットは、
前記基板上を押圧転動する貼り付けローラと、
前記貼り付けローラの後方上位に設けられ前記テープを前記貼り付けローラとの間で傾斜状態に保持する一対の送り出しローラと、
前記テープに仮着されたセパレータをその途中で折り返して剥離する剥離手段と、
前記貼り付けローラ、前記送り出しローラ及び前記剥離手段を一体に保持すると共に前記基板の貼り付け面と平行に移動自在な移動枠とを有し、
前記保持ローラを前記送り出しローラと平行に設け、前記テープ供給手段で供給されたテープを前記送り出しローラとの間で平行に保持するように構成し、前記貼り付けユニットの移動により、前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持された長さのテープを使用して基板にテープを貼り付けるようにした基板へのテープ貼り付け装置である。
請求項５の発明は、基板上に繰り出されたテープを貼り付けローラで押圧して該基板に貼り付けるテープ貼り付け方法において、
テープ供給手段で予め貼り付けに使用される長さのテープを繰り出して送り出しローラと保持ローラとの間に保持し、
前記基板に貼り付けローラでテープを押圧転動しながら貼り付けていくと共に貼り付けユニットの移動枠を前記基板の貼り付け面と平行に移動させることで前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持された長さのテープを使用して基板にテープを貼り付けるようにした基板へのテープ貼り付け方法である。
テープ供給手段で予め貼り付けに使用される長さのテープを繰り出して送り出しローラと保持ローラとの間に保持し、
前記基板に貼り付けローラでテープを押圧転動しながら貼り付けていくと共に貼り付けユニットの移動枠を前記基板の貼り付け面と平行に移動させることで前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持された長さのテープを使用して基板にテープを貼り付けるようにした基板へのテープ貼り付け方法である。
前記テープ貼り付け部２４は、位置決めされた基板Ｗを載置して保持する保持テーブル９と、前記基板Ｗのノッチ７６から該基板Ｗを位置決めするアライメントテーブル１０と、位置決めされた基板Ｗをアライメントテーブル１０から前記保持テーブル９へと搬送する吸着ハンド１１と、前記基板Ｗ上に貼り付けするテープＴを供給するテープ供給リール１５と、前記基板Ｗ上にテープＴを引き出すテープチャックユニット２５と、前記基板ＷにテープＴを貼り付ける貼り付けユニット４０と、テープＴから剥離されたセパレータＳを巻き取るセパレータ回収リール２１と、前記基板Ｗに貼り付けられたテープＴを基板Ｗの形状に繰り抜くカッターユニット３０と、前記基板Ｗに貼り付けられた後の余剰部分のテープＴを巻き取るテープ回収リール１６とを備えて構成されている。
前記テンションローラ１８は、テープ供給リール１５の近傍に設けられ、該テープ供給リール１５から供給されるテープＴを折り返すように保持するようになっている。また、前記テンションローラ１８は、その両端がテンションアーム１７の先端に軸支されている。前記テンションアーム１７の他端側は、回転軸に軸支され、該回転軸は支持枠４を介してリンク板６５と接続されると共に該リンク板６５がシリンダ６４に接続されている。また、前記テンションローラ１８は、テープＴに適宜な張力を付与するようになっており、前記テープチャックユニット２５でテープＴが引き出される際に制御機構でテープＴに負荷がかかり過ぎないように制御される。前記テンションローラ１８で適宜な張力が付与されたテープＴは、保持ローラ４３へと供給される。
前記セパレータ回収リール２１は、図示しない適宜のモータが接続され、セパレータＳを巻き取って回収するようになっている。
また、前記移動枠４１、４１の貼り付けローラ４７の後方には、支持枠３９に軸支された補助ローラ４９が設けられ、前記補助ローラ４９は、前記支持枠３９に設けられたシリンダ５０によりガイド６９に沿って上下動するようになっている。なお、前記補助ローラ４９は、貼り付けローラ４７よりも上位に位置し、前記補助ローラ４９が下降した際に補助ローラ４９と貼り付けローラ４７との間でテープＴが適宜の角度に保持されるようになっている。この補助ローラ４９は、下降時にはテープＴの貼り付け角度を所定の角度に維持し、上昇時には、テープＴから離間して、該テープを自由状態にするようになっている。
まず、貼り付け動作に先立って基板収納部６から吸着ハンド８で基板Ｗを１枚取り出し、アライメントテーブル１０上に搬送する。前記アライメントテーブル１０上に搬送された基板Ｗは、アライメントテーブル１０上に吸着保持された後、アライメントテーブル１０を回転させて、センサ３３で基板Ｗに形成されたノッチ７６を検出し、位置決めする。
続いて、前記貼り付けユニット４０を二点鎖線位置から実線位置へと前進させると共に送り出しローラ４４のテープＴの送り出しと貼り付けユニット４０の移動とを同期させることでテープＴの弛んだ状態を維持させる。また、貼り付けユニット４０の移動と共に送り出しローラ４４と保持ローラ４３との間にテープＴが貼り付けに要する長さだけ前記保持テーブル９と平行に保持される。なお、前記貼り付けユニット４０は、テープチャック２８でテープＴを引き出すのと同時に二点鎖線位置から実線位置へと移動させるようにしても良い。
続いて、テープＴが貼り付けられた基板Ｗが保持テーブル９の図示しない突き上げピンによって上昇され、支持枠４の開口４ａから吸着ハンド８によって取り出され、基板収納部６に収納される。なお、収納用に前記基板収納部６とは別途に基板収納部を設けても良い。
以上が、本発明の第１実施形態に係る基板ＷへのテープＴの貼り付け動作である。このように前記貼り付け動作においては、貼り付けに要する長さのテープＴを張力がフリーとなるように保持テーブル９と平行に保持しておき、この予め平行に保持されたテープＴの長さだけ上記の平行に保持されたテープＴと平行に貼り付けローラ４７が移動するので、予め設定したテープＴの弛み状態の形状を維持したまま、貼り付けを行うことが可能となる。即ち、テープＴの送り出す量が絶えず一定となり、制御が至って容易となる。また、絶えずテープＴの送り出し量が一定であり、テープＴの弛み状態を維持しながら貼り付けることが可能であるので、限りなく低張力で基板ＷにテープＴを貼り付けることが可能であり、テープＴに残存応力が残らないため、基板Ｗを薄厚化しても反ったり、破損したりすることがなく、基板Ｗのエッジ部がテープＴの残存応力により欠けたりすることもない。
以上が、本発明の第２の実施形態に係る基板ＷへのテープＴの貼り付け動作である。このように、テープＴを所定の角度に保った状態で予め供給された長さのテープＴを使用して貼り付けを行うので、絶えずテープＴの供給量を一定にしながら、しかも貼り付け角度を一定に保つことができるので制御が容易となる。
本発明は、上記の実施形態に限定されず、発明の範囲内で適宜の変更ができる。例えば本発明においては基板Ｗとして半導体ウエハに各種のテープを貼り付けるようにしたが、各種の薄板状部材にテープを貼り付ける際に適用できる。また、基板の形状も円形だけでなく、例えば矩形状のものにも適用できる。また、貼り付けするテープも保護テープやダイボンドテープだけでなく、各種の粘着テープが適用可能である。
Ｗ 基板
Ｔ テープ
Ｓ セパレータ
１ テープ貼り付け装置
２ 機枠
３ 機台
４ 支持枠
４ａ 開口
４ｂ 開口
４ｃ 開口
４ｄ 開口
５ 支持板
６ 基板収納部
７ 搬送ロボット
８ 吸着ハンド
９ 保持テーブル
９ａ ポーラス体
１０ アライメントテーブル
１１ 吸着ハンド
１２ レール
１３ スライドガイド
１４ ボールネジ
１５ テープ供給リール（テープ供給手段）
１６ テープ回収リール（テープ回収手段）
１７ テンションアーム
１８ テンションローラ
１９ ガイドローラ
２０ テンションローラ
２１ セパレータ回収リール
２２ テンションローラ
２３ シリンダ
２４ テープ貼り付け部
２５ テープチャックユニット
２７ シリンダ
２８ テープチャック
２９ ガイドローラ
３０ カッターユニット
３１ カッター
３２ モータ
３３ センサ
３４ ピンチローラ
３６ 支持板
３７ 支持枠
３８ 支持枠
３９ 支持枠
４０ 貼り付けユニット
４１ 移動枠
４２ 上部枠
４３ 保持ローラ
４４ 送り出しローラ
４５ シリンダ
４６ ガイドローラ
４７ 貼り付けローラ
４８ シリンダ
４９ 補助ローラ
５０ シリンダ
５１ 剥離板（剥離手段）
５２ ピンチローラ
５３ レール
５４ レール
５５ モータ
５６ ボールネジ
５７ ナット部材
５８ ガイドローラ
６０ ガイド
６１ スライドガイド
６２ シリンダ
６３ レール
６４ シリンダ
６５ リンク板
６６ モータ
６７ スライドガイド
６８ ガイド
６９ ガイド
７０ レール
７１ スライドガイド
７２ ナット部材
７３ シリンダ
７４ モータ
７５ レール
７６ ノッチ
７７ モータ
Ｔ テープ
Ｓ セパレータ
１ テープ貼り付け装置
２ 機枠
３ 機台
４ 支持枠
４ａ 開口
４ｂ 開口
４ｃ 開口
４ｄ 開口
５ 支持板
６ 基板収納部
７ 搬送ロボット
８ 吸着ハンド
９ 保持テーブル
９ａ ポーラス体
１０ アライメントテーブル
１１ 吸着ハンド
１２ レール
１３ スライドガイド
１４ ボールネジ
１５ テープ供給リール（テープ供給手段）
１６ テープ回収リール（テープ回収手段）
１７ テンションアーム
１８ テンションローラ
１９ ガイドローラ
２０ テンションローラ
２１ セパレータ回収リール
２２ テンションローラ
２３ シリンダ
２４ テープ貼り付け部
２５ テープチャックユニット
２７ シリンダ
２８ テープチャック
２９ ガイドローラ
３０ カッターユニット
３１ カッター
３２ モータ
３３ センサ
３４ ピンチローラ
３６ 支持板
３７ 支持枠
３８ 支持枠
３９ 支持枠
４０ 貼り付けユニット
４１ 移動枠
４２ 上部枠
４３ 保持ローラ
４４ 送り出しローラ
４５ シリンダ
４６ ガイドローラ
４７ 貼り付けローラ
４８ シリンダ
４９ 補助ローラ
５０ シリンダ
５１ 剥離板（剥離手段）
５２ ピンチローラ
５３ レール
５４ レール
５５ モータ
５６ ボールネジ
５７ ナット部材
５８ ガイドローラ
６０ ガイド
６１ スライドガイド
６２ シリンダ
６３ レール
６４ シリンダ
６５ リンク板
６６ モータ
６７ スライドガイド
６８ ガイド
６９ ガイド
７０ レール
７１ スライドガイド
７２ ナット部材
７３ シリンダ
７４ モータ
７５ レール
７６ ノッチ
７７ モータ
Claims (2)
- 基板上に繰り出されたテープを該基板に貼り付けローラで押圧して貼り付ける基板へのテープ貼り付け装置において、
前記基板を保持する保持テーブルと、
前記テープを基板上に繰り出すテープ供給手段と、
前記テープを基板に貼り付けする貼り付けユニットと、
前記テープ供給手段と前記貼り付けユニットとの間に設けられた保持ローラとを備え、
前記貼り付けユニットは、
前記基板上を押圧転動する貼り付けローラと、
前記貼り付けローラの後方上位に設けられ前記テープを前記貼り付けローラとの間で傾斜状態に保持する一対の送り出しローラと、
前記テープに仮着されたセパレータをその途中で折り返して剥離する剥離手段と、
前記貼り付けローラ、前記送り出しローラ及び前記剥離手段を一体に保持すると共に前記基板の貼り付け面と平行に移動自在な移動枠とを有し、
前記保持ローラを前記送り出しローラと平行に設け、前記テープ供給手段で供給されたテープを前記送り出しローラとの間で平行に保持するように構成し、前記貼り付けユニットの移動により、前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持された長さのテープを使用して基板にテープを貼り付けるようにしたことを特徴とする基板へのテープ貼り付け装置。 - 基板上に繰り出されたテープを貼り付けローラで押圧して該基板に貼り付けるテープ貼り付け方法において、
テープ供給手段で予め貼り付けに使用される長さのテープを繰り出して送り出しローラと保持ローラとの間に保持し、
前記基板に貼り付けローラでテープを押圧転動しながら貼り付けていくと共に貼り付けユニットの移動枠を前記基板の貼り付け面と平行に移動させることで前記送り出しローラと保持ローラとの間に保持された長さのテープを使用して基板にテープを貼り付けるようにしたことを特徴とする基板へのテープ貼り付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013104624A JP2014225587A (ja) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 基板へのテープ貼り付け装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013104624A JP2014225587A (ja) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 基板へのテープ貼り付け装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014225587A JP2014225587A (ja) | 2014-12-04 |
| JP2014225587A5 true JP2014225587A5 (ja) | 2016-06-30 |
Family
ID=52124050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013104624A Pending JP2014225587A (ja) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 基板へのテープ貼り付け装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014225587A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6857763B2 (ja) * | 2020-03-17 | 2021-04-14 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
| CN112086386A (zh) * | 2020-10-21 | 2020-12-15 | 开异智能技术(上海)有限公司 | 晶圆全自动贴膜机 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251248A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの自動貼付け装置 |
| JPH03127849A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Nitto Denko Corp | ウエハの移送装置 |
| JP4922371B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-04-25 | リンテック株式会社 | ウエハ処理装置及び処理方法 |
-
2013
- 2013-05-17 JP JP2013104624A patent/JP2014225587A/ja active Pending
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