JP2007313599A - シート切断装置及び切断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWの外周からはみ出る大きさのシートSを半導体ウエハWに貼付した後、当該半導体ウエハWの外周に沿って切断するシート切断装置10である。同装置におけるカッター刃13は、多関節型のロボット12又は保持手段50に保持されている。カッター刃13の刃13Bは、シートSに差し込まれた状態で、R面取り部RとウエハWの平面との交点位置P又はR面取り部Rの中心C1を回転中心として回転することで角度調整可能に設けられており、これにより、シートSがウエハWの外周側にはみ出すことがないように構成されている。
【選択図】図1
Description
すなわち、図6において、半導体ウエハWのように、その外周側に面取り加工が施された形状である場合、カッター刃100の刃縁とシートとが接触する切断部位Pを中心にしてカッター刃100の角度を実線で示される位置から二点鎖線で示される位置に変更しようとすると、カッター刃100がウエハWに干渉してしまい、当該ウエハWを傷つけてしまうことになる。そのような干渉を避けようとすると、カッター刃100をウエハWの径方向(面方向)へシフトする再調整が余儀なくされることとなる。また、図7のようにカッター刃100を実線で示される位置から二点鎖線で示される位置に変更すると、シートSのはみ出しLが大きいので、この場合にもカッター刃100をウエハWの径方向へ再調整しなければならないので調整に手間取るものとなる。はみ出しLに関しては、ウエハWの裏面を研削する場合、はみ出しLがグラインダーに巻き込まれ、ウエハWを破損させてしまうという不都合を招来する。特に、面取りが大きい場合には、前記はみ出しLが大きくなり、かかる不都合は一層顕著なものとなる。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、カッター刃の角度調整を行う場合、板状部材の外形形状に合わせてカッター刃の姿勢を適切に変位させることのできるシート切断装置及び切断方法を提供することにある。
前記カッター刃は、前記板状部材の平面部とR面取り部との交点、又は、R面取り部の中心を回転中心とする角度調整機能を備えた保持手段に保持される、という構成を採っている。
前記カッター刃は、前記板状部材の平面部とC面取り部との交点を回転中心とする角度調整機能を備えた保持手段に保持される、という構成を採ることもできる。
前記板状部材の平面部とR面取り部との交点、又は、R面取り部の中心が回転中心となるようにカッター刃を角度調整し、当該カッター刃を前記交点又はR面取り部に沿って相対移動させることで前記板状部材の外周からシートをはみ出すことなく切断する、という方法を採っている。
前記平面部とR面取り部との交点をP1として当該交点P1における前記R面取り部の接線と前記平面部とで形成される角度をθ1とし、前記R面取り部と外周平面部との交点をP2として当該交点P2における前記R面取り部の接線と前記平面部とで形成される角度をθ2としたときに、
設定される切断角度がθ1以下の場合に前記交点P1を回転中心としてカッター刃の角度調整を行う一方、
前記切断角度がθ1を越えてθ2以下の場合に前記R面取り部の中心を回転中心としてカッター刃の角度調整を行い、
前記切断角度がθ2を越えた場合に前記交点P2を回転中心としてカッター刃の角度調整を行う、という方法を採ることができる。
前記板状部材の平面部とC面取り部との交点が回転中心となるようにカッター刃を角度調整し、当該カッター刃を前記交点又はC面取り部に沿って相対移動させることで前記板状部材の外周からシートをはみ出すことなく切断する、という方法を採ることもできる。
前記平面部とC面取り部との交点をP1として当該C面取り部の延長線と前記平面部とで形成される角度をθ3とし、前記C面取り部と外周平面部との交点をP2としたときに、
設定される切断角度がθ3以下の場合に前記交点P1を回転中心としてカッター刃の角度調整を行う一方、
前記切断角度がθ3を越えた場合に前記交点P2を回転中心としてカッター刃の角度調整を行う、という方法をとることができる。
図1(A)には、本実施形態に係るシート切断装置10と、当該シート切断装置10の側方に位置するとともに、板状部材としてのウエハWを支持して当該ウエハWの上面(回路面)に保護用の接着性シートSを貼付するテーブル11の概略正面図が示され、図1(B)には、図1(A)のA部拡大図が示されている。ここで、本発明におけるウエハWは、図1(B)に示されるように、外周に面取りされたR面取り部Rが形成されたものが対象とされている。
実際の切断において、切断角度θがθ1以下の場合は、交点P1を回転中心としてカッター刃13の角度調整が行われ、切断角度θがθ1を越えてθ2以下の場合はR面取り部Rの中心C1を回転中心としてカッター刃13の角度調整が行われる。そして、切断角度θがθ2を越えた場合は、交点P2を回転中心としてカッター刃13の角度調整が行われることとなる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
このような保持手段50では、一軸ロボット52が駆動装置51を介して平面内で回転することで、カッター刃13がウエハWの外周に沿って移動可能となり、シートSを切断することができる。また、カッター刃13の角度調整は、回転体56が鉛直面内でスロット61に沿って回転することで、カッター刃13がウエハWのR面取り部Rに沿って移動することとなる。
12 ロボット(保持手段)
13 カッター刃
13B 刃
50 保持手段
52 一軸ロボット(ベース部材)
53 カッター刃保持ユニット
P 交点位置
C1 R面取り中心
S シート
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (8)
- 外周にR面取り部を有する板状部材を対象として当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材の平面部に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断装置において、
前記カッター刃は、前記板状部材の平面部とR面取り部との交点、又は、R面取り部の中心を回転中心とする角度調整機能を備えた保持手段に保持されていることを特徴とするシート切断装置。 - 外周にC面取り部を有する板状部材を対象として当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材の平面部に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断装置において、
前記カッター刃は、前記板状部材の平面部とC面取り部との交点を回転中心とする角度調整機能を備えた保持手段に保持されていることを特徴とするシート切断装置。 - 前記保持手段は多関節型のロボットにより構成され、当該ロボットは、複数の関節を有するとともに、各関節が数値制御されて前記カッター刃の角度調整を行うことを特徴とする請求項1又は2記載のシート切断装置。
- 前記保持手段は、ベース部材と、当該ベース部材に支持されたカッター刃保持ユニットとを含み、当該カッター刃保持ユニットは、前記ベース部材に対して略鉛直面内で回転可能に設けられて前記カッター刃の角度調整を行うことを特徴とする請求項1,2又は3記載のシート切断装置。
- 外周にR面取り部を有する板状部材を対象として当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材の平面部に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断方法において、
前記板状部材の平面部とR面取り部との交点、又は、R面取り部の中心が回転中心となるようにカッター刃を角度調整し、当該カッター刃を前記交点又はR面取り部に沿って相対移動させることで前記板状部材の外周からシートをはみ出すことなく切断することを特徴とするシート切断方法。 - 前記板状部材は、前記R面取り部の外側に前記平面部と略直交する外周平面部が形成された形状をなし、
前記平面部とR面取り部との交点をP1として当該交点P1における前記R面取り部の接線と前記平面部とで形成される角度をθ1とし、前記R面取り部と外周平面部との交点をP2として当該交点P2における前記R面取り部の接線と前記平面部とで形成される角度をθ2としたときに、
設定される切断角度がθ1以下の場合に前記交点P1を回転中心としてカッター刃の角度調整を行う一方、
前記切断角度がθ1を越えてθ2以下の場合に前記R面取り部の中心を回転中心としてカッター刃の角度調整を行い、
前記切断角度がθ2を越えた場合に前記交点P2を回転中心としてカッター刃の角度調整を行うことを特徴とする請求項5記載のシート切断方法。 - 外周にC面取り部を有する板状部材を対象として当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを前記板状部材の平面部に貼付した後に、カッター刃を介して前記シートを板状部材の外周に沿って切断するシート切断方法において、
前記板状部材の平面部とC面取り部との交点が回転中心となるようにカッター刃を角度調整し、当該カッター刃を前記交点又はC面取り部に沿って相対移動させることで前記板状部材の外周からシートをはみ出すことなく切断することを特徴とするシート切断方法。 - 前記板状部材は、前記C面取り部の外側に前記平面部と略直交する外周平面部が形成された形状をなし、
前記平面部とC面取り部との交点をP1として当該C面取り部の延長線と前記平面部とで形成される角度をθ3とし、前記C面取り部と外周平面部との交点をP2としたときに、
設定される切断角度がθ3以下の場合に前記交点P1を回転中心としてカッター刃の角度調整を行う一方、
前記切断角度がθ3を越えた場合に前記交点P2を回転中心としてカッター刃の角度調整を行うことを特徴とする請求項7記載のシート切断方法。
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Cited By (6)
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JP2011171561A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法 |
JP2011198979A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
CN108381569A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-08-10 | 广州蒙娜丽莎卫浴股份有限公司 | 切割、开孔、打磨机器人 |
CN113064326A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-02 | 中电科风华信息装备股份有限公司 | 一种用于晶圆片的去胶边机构 |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104626252B (zh) * | 2014-12-20 | 2016-03-02 | 山东诺博泰智能科技有限公司 | Pu切割机器人工作站 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06310480A (ja) * | 1993-04-27 | 1994-11-04 | Fuji Film Micro Device Kk | 半導体ウエハの裏面研削方法および保護テープ貼付機 |
JP2000353682A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 半導体保護テープの切断方法 |
JP2002057208A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-22 | Nitto Denko Corp | 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06310480A (ja) * | 1993-04-27 | 1994-11-04 | Fuji Film Micro Device Kk | 半導体ウエハの裏面研削方法および保護テープ貼付機 |
JP2000353682A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 半導体保護テープの切断方法 |
JP2002057208A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-22 | Nitto Denko Corp | 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011171562A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法 |
JP2011171561A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート切断装置及び切断方法 |
JP2011198979A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
EP3442342B1 (en) * | 2016-02-17 | 2023-12-13 | Haas Food Equipment GmbH | Method and device for cutting dough output by an extrusion machine |
CN108381569A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-08-10 | 广州蒙娜丽莎卫浴股份有限公司 | 切割、开孔、打磨机器人 |
CN113064326A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-02 | 中电科风华信息装备股份有限公司 | 一种用于晶圆片的去胶边机构 |
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