CN112278386A

CN112278386A - 一种手摇式晶圆贴膜机

Info

Publication number: CN112278386A
Application number: CN201910682382.3A
Authority: CN
Inventors: 黄运军
Original assignee: Shanghai Hongyi Electronic Technology Co ltd
Current assignee: Shanghai Hongyi Electronic Technology Co ltd
Priority date: 2019-07-26
Filing date: 2019-07-26
Publication date: 2021-01-29

Abstract

本发明公开了一种手摇式晶圆贴膜机，包括底座，底座设有带吸附板的真空吸附台、带放料辊的放料室以及收料辊的带收料室，放料室和收料室之间固定有防尘罩，防尘罩中部的导向套中滑动连接有压杆，压杆设有提手、摇把手、限位板、拉伸弹簧、预压板组件、转杆、限位块和裁切组件；裁切组件包括套设在转杆外侧的滑套，滑套的一半部通过紧固螺钉与转杆固定，另一半部的下端固定有切刀。本发明结构设计合理，一方面增设有收料辊，能够及时收卷肥料，收卷的同时可完成胶膜上料工作，适用于手动批量贴膜；另一方面优化裁切机构，裁切组件的位置可根据需要进行调整，从而能够裁切适用于非标晶圆的贴膜规格。

Description

一种手摇式晶圆贴膜机

技术领域

本发明涉及晶圆生产设备技术领域，尤其涉及一种手摇式晶圆贴膜机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。硅是由石英砂所精练出来的，晶圆便是硅元素加以纯化，接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。

现有的手摇式晶圆贴膜机在使用时存在不足之处，一是胶膜裁切后的废料不能快速收卷，影响下个晶圆的贴膜准备时间；二是裁切机构设计不够合理，裁切的圆规格固定，不能根据需要进行调节，即不能裁切适用于非标晶圆的贴膜规格。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种手摇式晶圆贴膜机。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明是通过以下技术方案实现：

一种手摇式晶圆贴膜机，包括底座，所述底座的中部设有能够侧向推拉活动的真空吸附台，所述真空吸附台的上端设有吸附板，侧端固定有推手，所述真空吸附台的周部设有若干导向柱，所述底座的中部凹槽内壁设有与导向柱配合的导向槽，所述底座的上端两侧对称设有放料室和收料室，所述放料室、收料室分别设有放料辊、收料辊，所述收料辊由外置的卷膜把手进行驱动旋转，所述放料室和收料室之间固定有防尘罩，所述防尘罩的柱形管部内侧开设有环形限位槽，柱形管部靠近放料室和收料室处设有便于胶膜穿过的穿孔，所述防尘罩的盖板中部设有导向套，所述导向套中滑动连接有压杆，所述压杆的顶端固定有提手，靠近顶端的侧部固定有摇把手，所述压杆的杆体外侧固定有两个限位板，所述导向套的上端设有端板，所述端板与其下方的限位板之间连接有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧套设在压杆的外侧，所述压杆的底端固定有预压板组件，靠近底端的侧部固定有转杆，所述转杆的外端设有限制在环形限位槽中的限位块，所述转杆的外侧固定有裁切组件；

所述裁切组件包括套设在转杆外侧的滑套，所述滑套的一半部通过若干紧固螺钉与转杆固定，另一半部的下端固定有切刀。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述导向柱的横截面呈半圆形，所述导向柱通过焊接固定在真空吸附台外壁。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述转杆为矩形杆，所述滑套为与转杆配合的矩形套。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述转杆的杆体上设有刻度标示。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述转杆靠近环形限位槽中也安装有预压板组件。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述预压板组件包括滑杆、压板和压缩弹簧，所述滑杆上端为T形头，且滑动限制在所在的基体中，下端与压板固定，所述压缩弹簧套设在滑杆外露的杆体外侧。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述压缩弹簧的回复力远小于拉伸弹簧的回复力。

进一步地，上述手摇式晶圆贴膜机中，所述放料室、收料室、防尘罩的壳体为一体结构，所述放料室、收料室壳体中设有便于取放其内辊体的活动盖。

本发明的有益效果是：

本发明结构设计合理，一方面增设有收料辊，能够及时收卷肥料，收卷的同时可完成胶膜上料工作，适用于手动批量贴膜；另一方面优化裁切机构，裁切组件的位置可根据需要进行调整，从而能够裁切适用于非标晶圆的贴膜规格。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明手摇式晶圆贴膜机的结构示意图；

图2为本发明中放料辊、收料辊的连接示意图；

图3为本发明中预压板组件的结构示意图；

图4为本发明中裁切组件的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-底座，2-真空吸附台，3-吸附板，4-推手，5-导向柱，6-放料室，7-放料辊，8-收料室，9-收料辊，10-防尘罩，11-环形限位槽，12-导向套，13-压杆，14-提手，15-摇把手，16-端板，17-限位板，18-拉伸弹簧，19-预压板组件，191-滑杆，192-压板，193-压缩弹簧，20-转杆，21-限位块，22-裁切组件，221-滑套，222-紧固螺钉，223-切刀，23-卷膜把手。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4所示，本实施例为一种手摇式晶圆贴膜机，包括底座1，底座1的中部设有能够侧向推拉活动的真空吸附台2，真空吸附台2的上端设有吸附板3，侧端固定有推手4。真空吸附台2的周部设有若干导向柱5，底座1的中部凹槽内壁设有与导向柱5配合的导向槽，导向柱5的横截面呈半圆形，导向柱通过焊接固定在真空吸附台2外壁。真空吸附台2的工作原理参照现有技术中真空吸附台，本实施例并未对其进行改进，只是为了便于取放晶圆，将其设计为可活动式结构。

底座1的上端两侧对称设有放料室6和收料室8，放料室6、收料室8分别设有放料辊7、收料辊9，收料辊9由外置的卷膜把手23进行驱动旋转。放料室6和收料室8之间固定有防尘罩10。防尘罩10的柱形管部内侧开设有环形限位槽11，柱形管部靠近放料室6和收料室8处设有便于胶膜穿过的穿孔。放料室6、收料室8、防尘罩10的壳体为一体结构，放料室6、收料室8壳体中设有便于取放其内辊体的活动盖。

防尘罩10的盖板中部设有导向套12，导向套12中滑动连接有压杆13，压杆13的顶端固定有提手14，靠近顶端的侧部固定有摇把手15。压杆13的杆体外侧固定有两个限位板17，导向套12的上端设有端板16，端板16与其上方的限位板17之间连接有拉伸弹簧18，拉伸弹簧18套设在压杆13的外侧，压杆13的底端固定有预压板组件19，靠近底端的侧部固定有转杆20，转杆20的外端设有限制在环形限位槽11中的限位块21，转杆20的外侧固定有裁切组件22。

裁切组件22包括套设在转杆13外侧的滑套221，滑套221的一半部通过若干紧固螺钉222与转杆13固定，另一半部的下端固定有切刀223。转杆13为矩形杆，滑套221为与转杆13配合的矩形套。转杆13的杆体上设有刻度标示。

转杆13靠近环形限位槽11中也安装有预压板组件19。预压板组件19包括滑杆191、压板192和压缩弹簧193，滑杆191上端为T形头，且滑动限制在所在的基体中，下端与压板192固定。压缩弹簧193套设在滑杆191外露的杆体外侧，压缩弹簧193的回复力远小于拉伸弹簧18的回复力。

本实施例的一个具体应用为：使用时，先将真空吸附台2向外推出，将待贴膜的晶圆放置在吸附板，利用提手14将压杆向上提起，推入真空吸附台2使其复位，而后旋转卷膜把手23使得真空吸附台2上方的胶膜位置移动，当未使用的胶膜可以覆盖住晶圆时停止，而后松开提手14，压杆13在拉伸弹簧18作用下下移，下移时预压板组件19会推动胶膜贴靠在晶圆上，启动真空吸附台2将晶圆及胶膜吸附，而后利用摇把手15带动压杆13旋转一周，裁切组件22将胶膜裁切，裁切后的圆形膜贴附在晶圆上，再提起压杆13即可推出真空吸附台2，取出贴有胶膜的晶圆。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims

1.一种手摇式晶圆贴膜机，包括底座，其特征在于：所述底座的中部设有能够侧向推拉活动的真空吸附台，所述真空吸附台的上端设有吸附板，侧端固定有推手，所述真空吸附台的周部设有若干导向柱，所述底座的中部凹槽内壁设有与导向柱配合的导向槽，所述底座的上端两侧对称设有放料室和收料室，所述放料室、收料室分别设有放料辊、收料辊，所述收料辊由外置的卷膜把手进行驱动旋转，所述放料室和收料室之间固定有防尘罩，所述防尘罩的柱形管部内侧开设有环形限位槽，柱形管部靠近放料室和收料室处设有便于胶膜穿过的穿孔，所述防尘罩的盖板中部设有导向套，所述导向套中滑动连接有压杆，所述压杆的顶端固定有提手，靠近顶端的侧部固定有摇把手，所述压杆的杆体外侧固定有两个限位板，所述导向套的上端设有端板，所述端板与其下方的限位板之间连接有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧套设在压杆的外侧，所述压杆的底端固定有预压板组件，靠近底端的侧部固定有转杆，所述转杆的外端设有限制在环形限位槽中的限位块，所述转杆的外侧固定有裁切组件；

2.根据权利要求1所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述导向柱的横截面呈半圆形，所述导向柱通过焊接固定在真空吸附台外壁。

3.根据权利要求1所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述转杆为矩形杆，所述滑套为与转杆配合的矩形套。

4.根据权利要求1所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述转杆的杆体上设有刻度标示。

5.根据权利要求1所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述转杆靠近环形限位槽中也安装有预压板组件。

6.根据权利要求1所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述预压板组件包括滑杆、压板和压缩弹簧，所述滑杆上端为T形头，且滑动限制在所在的基体中，下端与压板固定，所述压缩弹簧套设在滑杆外露的杆体外侧。

7.根据权利要求6所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述压缩弹簧的回复力远小于拉伸弹簧的回复力。

8.根据权利要求1所述的手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述放料室、收料室、防尘罩的壳体为一体结构，所述放料室、收料室壳体中设有便于取放其内辊体的活动盖。