CN115743721B - 一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，本发明涉及晶圆贴膜技术领域，包括底座，所述底座的表面固定连接有装置壁，所述装置壁的表面固定连接有液压缸，所述液压缸输出端的活塞杆固定连接有压合机构，所述底座的内侧面固定连接有内置机构，所述内置机构包括滑动台，所述滑动台的表面与底座的内侧面滑动连接。该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，滑动台滑进装置壁，转动辊转动使得蓝膜卷辊表面的蓝膜被拉动在限位组件的上方位置，防护盖对蓝膜卷辊进行杂质防护，压合机构随液压缸的带动下移时，蓝膜与晶圆以及晶粒相贴，在相对密封的环境中自动对蓝膜进行带动并相贴，可以有效避免外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。

Description

一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备

技术领域

本发明涉及晶圆贴膜技术领域，具体为一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备。

背景技术

晶圆贴膜切割的主要作用是将晶圆上做好的晶粒切割分开成单个，以便后续的工作，在切割之前，要先将晶圆贴在晶圆框架的胶膜上，胶膜具有固定晶粒的作用，避免在切割时晶粒受力不均而造成切割品质不良，同时切割完成后可确保在运送过程中晶粒不会脱落或相互碰撞。蓝膜是国内晶圆切割主流的切割胶带之一，在封装切割过程中，经常会遇到一些切割相关的品质问题，引起的原因很多，膜的选型不当也会造成品质问题，当以滚筒作为贴膜动作的载体时，在待贴膜晶圆表面存在特定图案或者有多层结构时，由于晶圆存在凹陷的表面，滚筒难以完全覆盖凹陷面，从而使得贴合膜与晶圆间易产生气泡，造成贴合紧密度差的问题。

现有的晶圆贴膜设备，由于结构设计缺陷，存在对晶圆以及晶粒进行蓝膜贴膜时，如何减少气泡留存在蓝膜的内部造成缺陷的问题。

发明内容

本发明提供了一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，解决了上述背景技术中所提到的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，包括底座，所述底座的表面固定连接有装置壁，所述装置壁的表面固定连接有液压缸，所述液压缸输出端的活塞杆固定连接有压合机构，所述底座的内侧面固定连接有内置机构；

所述内置机构包括滑动台，所述滑动台的表面与底座的内侧面滑动连接，所述滑动台的顶部固定连接有限位组件，所述装置壁的内侧面固定连接有转动辊；

所述压合机构包括压合盖，所述压合盖的表面与液压缸输出端的活塞杆固定连接，所述压合盖内侧面的顶部固定连接有连接台，所述连接台底部靠近边缘的位置固定连接有防过热组件，所述连接台底部靠近中部的位置固定连接有增效组件，所述增效组件的底部固定连接有叠合组件，压合机构被液压缸的带动上下移动，使得压合机构与装置壁之间处于相对密封状态，滑动台滑出，将晶圆以及晶粒放置在限位组件的顶部，随后，滑动台滑进，转动辊转动使得蓝膜卷辊表面的蓝膜被拉动在限位组件的上方位置。

优选的，所述底座的内侧面固定连接有防护盖，所述防护盖的内侧面转动连接有蓝膜卷辊，所述转动辊远离蓝膜卷辊的位置。

优选的，所述限位组件包括限位台，所述限位台的底部与滑动台的顶部固定连接，所述限位台的顶部固定连接有橡胶圈，所述限位台顶部靠近橡胶圈的位置开设有切割槽，限位组件内部装有晶圆以及晶粒后，限位组件滑入装置壁的内部，上一个晶圆蓝膜切割后，蓝膜未被切断的位置被转动辊卷绕，转动辊带动蓝膜转动使得蓝膜处于限位组件的上方位置。

优选的，所述限位台的顶部设置有负压孔，所述限位台的内侧面开设有吸气孔，所述限位台顶部靠近边缘的位置开设有开槽，贴膜过程中，最先将蓝膜与晶圆相贴的是中部位置的压合壁，由于橡胶条的弹性收缩作用，旁侧的压合壁再与蓝膜直接接触并压覆蓝膜。

优选的，所述压合盖的底部固定连接有嵌合台，所述防过热组件包括板体，所述板体的顶部与连接台底部靠近边缘的位置固定连接。

优选的，所述板体的内部开设有圆孔，所述板体的表面固定连接有连接件，所述板体的数量为两个，两个板体之间设置有间隙，所述板体的底部固定连接有压环。

优选的，所述增效组件包括滑杆，所述滑杆的顶端与连接台底部靠近中部的位置固定连接，所述滑杆的底端固定连接有盘体。

优选的，所述盘体的底部固定连接有橡胶条，所述滑杆的表面滑动连接有带动设备，所述带动设备的输出端固定连接有割刀，带动设备可以带动割刀在滑杆的表面滑动，同时可以带动割刀转动从而使得晶圆被贴膜，该带动设备为现有技术。

优选的，所述叠合组件包括压合壁，所述压合壁的顶部与橡胶条的底端固定连接，所述压合壁的内侧面固定连接有塑胶片。

优选的，所述压合壁的内侧面固定连接有加热条，所述压合壁表面的上方位置固定连接有加油管，所述压合壁的数量为三个，且中部的压合壁处于最下方位置，压合壁与不同长度的橡胶条固定连接，与中部位置压合壁相连接的橡胶条长度最长，在压覆蓝膜的过程中，晶圆顶部的中部位置放置有晶粒。

本发明提供了一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备。具备以下有益效果：

1、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，滑动台滑进装置壁，转动辊转动使得蓝膜卷辊表面的蓝膜被拉动在限位组件的上方位置，防护盖对蓝膜卷辊进行杂质防护，压合机构随液压缸的带动下移时，蓝膜与晶圆以及晶粒相贴，在相对密封的环境中自动对蓝膜进行带动并相贴，可以有效避免外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。

2、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，压合盖被带动向下移动，防过热组件以及增效组件向下移动，该过程中，叠合组件与限位组件最先接触，叠合组件由内而外将蓝膜与晶圆相贴，增效组件将蓝膜切割，晶圆完成贴膜过程，叠合组件依次对晶圆以及晶粒进行压覆，可以避免同时压覆贴膜使得气泡留存在蓝膜的内部.

3、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，负压孔产生负压将晶圆限位，侧向的吸气孔将晶圆表面的气体引导，使得气体径向导出，流动使得气体不易留存在蓝膜的内部造成气泡缺陷，橡胶圈的顶部与蓝膜最后接触，切割槽对割刀的轨迹径向引导，橡胶圈表面开设的槽使得蓝膜划片后容易脱离，开槽使得晶圆贴膜切割后容易取下。

4、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，盘体带动叠合组件压覆蓝膜时，不同长度的橡胶条将蓝膜由中心向边缘压覆，被加热的蓝膜延展性能更好有利于排出气泡，板体中部位置的开孔使得割刀能够下移并转动，板体之间通过连接件连接，两个板体之间设置有间隙，可以将该热量迅速导出，避免蓝膜因为热量无法导出而出现材料变形的问题。

5、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，直接对晶圆与晶粒的搭接位置进行贴膜容易有气体留存，中部位置的压合壁最先将蓝膜与晶粒接触，旁侧的压合壁随后将靠近晶粒的蓝膜压下，加油管加入导热油，加热条对导热油进行加热，塑胶片避免油温过热，加热以及叠合的压合壁使得晶圆与晶粒的搭接位置被有效覆膜。

附图说明

图1为本发明防粘合气泡的晶圆贴膜设备整体的结构示意图；

图2为本发明防粘合气泡的晶圆贴膜设备内部的结构示意图；

图3为本发明内置机构的结构示意图；

图4为本发明限位组件的结构示意图；

图5为本发明压合机构的结构示意图；

图6为本发明防过热组件的结构示意图；

图7为本发明增效组件的结构示意图；

图8为本发明叠合组件的结构示意图。

图中：1、底座；2、装置壁；3、内置机构；31、滑动台；32、限位组件；321、限位台；322、橡胶圈；323、切割槽；324、吸气孔；325、开槽；326、负压孔；33、防护盖；34、蓝膜卷辊；35、转动辊；4、液压缸；5、压合机构；51、压合盖；52、嵌合台；53、连接台；54、防过热组件；541、板体；542、压环；543、连接件；55、增效组件；551、滑杆；552、带动设备；553、割刀；554、盘体；555、橡胶条；56、叠合组件；561、压合壁；562、塑胶片；563、加热条；564、加油管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

如图1-图3所示，本发明提供一种技术方案：一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，包括底座1，底座1的表面固定连接有装置壁2，装置壁2的表面固定连接有液压缸4，液压缸4输出端的活塞杆固定连接有压合机构5，底座1的内侧面固定连接有内置机构3，内置机构3包括滑动台31，滑动台31的表面与底座1的内侧面滑动连接，滑动台31的顶部固定连接有限位组件32，装置壁2的内侧面固定连接有转动辊35，底座1的内侧面固定连接有防护盖33，防护盖33的内侧面转动连接有蓝膜卷辊34，转动辊35远离蓝膜卷辊34的位置。

使用时，压合机构5被液压缸4的带动上下移动，使得压合机构5与装置壁2之间处于相对密封状态，滑动台31滑出，将晶圆以及晶粒放置在限位组件32的顶部，随后，滑动台31滑进，转动辊35转动使得蓝膜卷辊34表面的蓝膜被拉动在限位组件32的上方位置，防护盖33对蓝膜卷辊34进行杂质防护，压合机构5随液压缸4的带动下移时，蓝膜与晶圆以及晶粒相贴，在相对密封的环境中自动对蓝膜进行带动并相贴，可以有效避免外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。

实施例2

如图3、图5所示，内置机构3包括滑动台31，滑动台31的表面与底座1的内侧面滑动连接，滑动台31的顶部固定连接有限位组件32，装置壁2的内侧面固定连接有转动辊35，底座1的内侧面固定连接有防护盖33，防护盖33的内侧面转动连接有蓝膜卷辊34，转动辊35远离蓝膜卷辊34的位置，压合机构5包括压合盖51，压合盖51的表面与液压缸4输出端的活塞杆固定连接，压合盖51内侧面的顶部固定连接有连接台53，连接台53底部靠近边缘的位置固定连接有防过热组件54，连接台53底部靠近中部的位置固定连接有增效组件55，增效组件55的底部固定连接有叠合组件56，压合盖51的底部固定连接有嵌合台52。

使用时，限位组件32内部装有晶圆以及晶粒后，限位组件32滑入装置壁2的内部，上一个晶圆蓝膜切割后，蓝膜未被切断的位置被转动辊35卷绕，转动辊35带动蓝膜转动使得蓝膜处于限位组件32的上方位置，压合盖51被带动向下移动，防过热组件54以及增效组件55向下移动，该过程中，叠合组件56与限位组件32最先接触，叠合组件56由内而外将蓝膜与晶圆相贴，增效组件55将蓝膜切割，晶圆完成贴膜过程，叠合组件56依次对晶圆以及晶粒进行压覆，可以避免同时压覆贴膜使得气泡留存在蓝膜的内部。

实施例3

如图4、图8所示，限位组件32包括限位台321，限位台321的底部与滑动台31的顶部固定连接，限位台321的顶部固定连接有橡胶圈322，限位台321顶部靠近橡胶圈322的位置开设有切割槽323，限位台321的顶部设置有负压孔326，限位台321的内侧面开设有吸气孔324，限位台321顶部靠近边缘的位置开设有开槽325，叠合组件56包括压合壁561，压合壁561的顶部与橡胶条555的底端固定连接，压合壁561的内侧面固定连接有塑胶片562，压合壁561的内侧面固定连接有加热条563，压合壁561表面的上方位置固定连接有加油管564，压合壁561的数量为三个，且中部的压合壁561处于最下方位置。

使用时，贴膜过程中，最先将蓝膜与晶圆相贴的是中部位置的压合壁561，由于橡胶条555的弹性收缩作用，旁侧的压合壁561再与蓝膜直接接触并压覆蓝膜，该过程中，负压孔326产生负压将晶圆限位，侧向的吸气孔324将晶圆表面的气体引导，使得气体径向导出，流动使得气体不易留存在蓝膜的内部造成气泡缺陷，橡胶圈322的顶部与蓝膜最后接触，切割槽323对割刀553的轨迹径向引导，橡胶圈322表面开设的槽使得蓝膜划片后容易脱离，开槽325使得晶圆贴膜切割后容易取下。

实施例4

如图6、图7所示，防过热组件54包括板体541，板体541的顶部与连接台53底部靠近边缘的位置固定连接，板体541的内部开设有圆孔，板体541的表面固定连接有连接件543，板体541的数量为两个，两个板体541之间设置有间隙，板体541的底部固定连接有压环542，增效组件55包括滑杆551，滑杆551的顶端与连接台53底部靠近中部的位置固定连接，滑杆551的底端固定连接有盘体554，盘体554的底部固定连接有橡胶条555，滑杆551的表面滑动连接有带动设备552，带动设备552的输出端固定连接有割刀553。

使用时，带动设备552可以带动割刀553在滑杆551的表面滑动，同时可以带动割刀553转动从而使得晶圆被贴膜，该带动设备552为现有技术，盘体554带动叠合组件56压覆蓝膜时，不同长度的橡胶条555将蓝膜由中心向边缘压覆，被加热的蓝膜延展性能更好有利于排出气泡，板体541中部位置的开孔使得割刀553能够下移并转动，板体541之间通过连接件543连接，两个板体541之间设置有间隙，可以将该热量迅速导出，避免蓝膜因为热量无法导出而出现材料变形的问题。

实施例5

如图7、图8所示，增效组件55包括滑杆551，滑杆551的顶端与连接台53底部靠近中部的位置固定连接，滑杆551的底端固定连接有盘体554，盘体554的底部固定连接有橡胶条555，滑杆551的表面滑动连接有带动设备552，带动设备552的输出端固定连接有割刀553，叠合组件56包括压合壁561，压合壁561的顶部与橡胶条555的底端固定连接，压合壁561的内侧面固定连接有塑胶片562，压合壁561的内侧面固定连接有加热条563，压合壁561表面的上方位置固定连接有加油管564，压合壁561的数量为三个，且中部的压合壁561处于最下方位置。

使用时，压合壁561与不同长度的橡胶条555固定连接，与中部位置压合壁561相连接的橡胶条555长度最长，在压覆蓝膜的过程中，晶圆顶部的中部位置放置有晶粒，直接对晶圆与晶粒的搭接位置进行贴膜容易有气体留存，中部位置的压合壁561最先将蓝膜与晶粒接触，旁侧的压合壁561随后将靠近晶粒的蓝膜压下，加油管564加入导热油，加热条563对导热油进行加热，塑胶片562避免油温过热，加热以及叠合的压合壁561使得晶圆与晶粒的搭接位置被有效覆膜。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，包括底座（1），所述底座（1）的表面固定连接有装置壁（2），所述装置壁（2）的表面固定连接有液压缸（4），其特征在于：所述液压缸（4）输出端的活塞杆固定连接有压合机构（5），所述底座（1）的内侧面固定连接有内置机构（3）；

所述内置机构（3）包括滑动台（31），所述滑动台（31）的表面与底座（1）的内侧面滑动连接，所述滑动台（31）的顶部固定连接有限位组件（32），所述装置壁（2）的内侧面固定连接有转动辊（35）；

所述压合机构（5）包括压合盖（51），所述压合盖（51）的表面与液压缸（4）输出端的活塞杆固定连接，所述压合盖（51）内侧面的顶部固定连接有连接台（53），所述连接台（53）底部靠近边缘的位置固定连接有防过热组件（54），所述连接台（53）底部靠近中部的位置固定连接有增效组件（55），所述增效组件（55）的底部固定连接有叠合组件（56）；

所述底座（1）的内侧面固定连接有防护盖（33），所述防护盖（33）的内侧面转动连接有蓝膜卷辊（34），所述转动辊（35）远离蓝膜卷辊（34）的位置；

所述限位组件（32）包括限位台（321），所述限位台（321）的底部与滑动台（31）的顶部固定连接，所述限位台（321）的顶部固定连接有橡胶圈（322），所述限位台（321）顶部靠近橡胶圈（322）的位置开设有切割槽（323）；

所述限位台（321）的顶部设置有负压孔（326），所述限位台（321）的内侧面开设有吸气孔（324），所述限位台（321）顶部靠近边缘的位置开设有开槽（325）；

所述增效组件（55）包括滑杆（551），所述滑杆（551）的顶端与连接台（53）底部靠近中部的位置固定连接，所述滑杆（551）的底端固定连接有盘体（554）；

所述盘体（554）的底部固定连接有橡胶条（555），所述滑杆（551）的表面滑动连接有带动设备（552），所述带动设备（552）的输出端固定连接有割刀（553）；

所述叠合组件（56）包括压合壁（561），所述压合壁（561）的顶部与橡胶条（555）的底端固定连接，所述压合壁（561）的内侧面固定连接有塑胶片（562）；

所述压合壁（561）的内侧面固定连接有加热条（563），所述压合壁（561）表面的上方位置固定连接有加油管（564），所述压合壁（561）的数量为三个，且中部的压合壁（561）处于最下方位置；

贴膜过程中，最先将蓝膜与晶圆相贴的是中部位置的压合壁（561），由于橡胶条（555）的弹性收缩作用，旁侧的压合壁（561）再与蓝膜直接接触并压覆蓝膜，该过程中，负压孔（326）产生负压将晶圆限位，侧向的吸气孔（324）将晶圆表面的气体引导，使得气体径向导出，流动使得气体不易留存在蓝膜的内部造成气泡缺陷，橡胶圈（322）的顶部与蓝膜最后接触，切割槽（323）对割刀（553）的轨迹径向引导，橡胶圈（322）表面开设的槽使得蓝膜划片后容易脱离，开槽（325）使得晶圆贴膜切割后容易取下。

2.根据权利要求1所述的一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述压合盖（51）的底部固定连接有嵌合台（52），所述防过热组件（54）包括板体（541），所述板体（541）的顶部与连接台（53）底部靠近边缘的位置固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述板体（541）的内部开设有圆孔，所述板体（541）的表面固定连接有连接件（543），所述板体（541）的数量为两个，两个板体（541）之间设置有间隙，所述板体（541）的底部固定连接有压环（542）。