KR100275670B1

KR100275670B1 - 웨이퍼 마운트 설비

Info

Publication number: KR100275670B1
Application number: KR1019980029112A
Authority: KR
Inventors: 조종천
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1998-07-20
Filing date: 1998-07-20
Publication date: 2001-01-15
Also published as: KR20000008979A

Abstract

쏘잉(sawing)될 웨이퍼가 얼라인먼트된 상태로 안착된 마운트 테이블에 웨이퍼보다 큰 내경을 갖는 링 형상의 마운트 프레임이 로딩될 때, 마운트 프레임이 마운트 테이블에 근접 설치된 마운트 프레임 로더에서 얼라인먼트된 상태로 마운트 테이블로 직접 로딩되도록 하여 웨이퍼 마운트 공정수를 절감시킨 웨이퍼 마운트 설비가 개시되고 있다.

본 발명에 의하면, 위치가 정렬되지 않은 마운트 프레임이 다수매 수납된 마운트 프레임 스톡커로부터 마운트 프레임이 마운트 테이블로 이송되기 이전에 마운트 프레임 스톡커 내부에서 마운트 프레임의 정렬이 이루어지도록 하여 마운트 프레임의 이송 횟수를 감소시켜 공정수의 단축 및 공정 시간을 단축시킨다.

Description

웨이퍼 마운트 설비

본 발명은 웨이퍼 마운트(wafer mount) 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 쏘잉(sawing)될 웨이퍼가 얼라인먼트된 상태로 안착된 마운트 테이블에 웨이퍼보다 큰 내경을 갖는 링 형상의 마운트 프레임이 로딩될 때, 마운트 프레임이 마운트 테이블에 근접 설치된 마운트 프레임 로더에서 얼라인먼트된 상태로 마운트 테이블로 직접 로딩되도록 하여 웨이퍼 마운트 공정수를 절감시킨 웨이퍼 마운트 설비에 관한 것이다.

일반적으로, 8", 12" 구경을 갖는 순수 실리콘 웨이퍼에는 반도체 고집적 박막 기술에 의하여 수많은 반도체 소자가 집적된 다수개의 반도체 칩이 형성된다.

반도체 칩이 형성된 웨이퍼는 일렉트로 다이 소팅(Electro Die Sorting;EDS)이라는 전기적 성능 검사를 받게 되는데, EDS에 의하여 웨이퍼상에 형성된 반도체 칩은 양부가 판별되고, 불량으로 판정된 반도체 칩중 리페어가 가능한 반도체 칩은 리페어 공정이 수행된다.

이후 웨이퍼의 불량 반도체 칩에는 마킹이 수행되고, 웨이퍼는 패키지 공정으로 이송되는데, 패키지 공정은 대략 웨이퍼 마운트(wafer mount) 공정-쏘잉(sawing) 공정-다이 어탯치(die attach) 공정-와이어 본딩(wire bonding) 공정-몰딩(molding) 공정-트리밍/포밍(triming/formning) 공정-디플래쉬(deflash) 공정-검사(test) 공정 등을 통하여 하나의 완성된 반도체 제품이 된다.

이들 공정중 비교적 초기 공정에 속하는 웨이퍼 마운트 공정은 EDS 완료된 웨이퍼의 뒷면에 두께가 얇고 접착성이 있는 테이프를 부착하고 테이프를 다시 마운트 프레임이라 불리우는 링(ring)에 부착하여 웨이퍼를 고정시킨 상태에서 웨이퍼를 쏘잉하여 반도체 칩을 개별화시키는 공정이다.

이와 같은 웨이퍼 마운트 공정을 진행하는 종래 웨이퍼 마운트 설비는 첨부된 도 1에 도시된 바와 같다.

웨이퍼 마운트 설비(100)의 본체(10)에는 작업자로부터 로트(lot) 단위 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 포함한 웨이퍼 스톡커(20)가 설치된다.

웨이퍼 스톡커(20)와 근접한 곳에는 웨이퍼 스톡커(20)로부터 웨이퍼 트랜스퍼(25)에 의하여 이송된 웨이퍼를 로딩받아 웨이퍼의 절단선 위치를 웨이퍼 쏘잉 블레이드(sawing blade;미도시)와 일치시켜주기 위한 웨이퍼 정렬 유닛(30)이 설치된다.

웨이퍼 정렬 유닛(30)에 의하여 정렬된 웨이퍼는 턴 오버 트랜스퍼(35)에 의하여 뒤집혀지면서 마운트 테이블(40)로 이송된 후 고정된다.

한편, 웨이퍼가 안착된 마운트 테이블(40)에는 웨이퍼의 후면을 테이프로 부착하기 위한 전공정으로 두께가 얇은 링 형상을 갖는 마운트 프레임이 다시 로딩된다.

이를 위하여 마운트 테이블(40)에 근접한 곳에는 약 100매 정도의 마운트 프레임이 적재되는 마운트 프레임 스톡커(50)가 설치된다.

한편, 마운트 프레임 스톡커(50)에 근접한 곳에는 마운트 프레임을 정렬함과 동시에 마운트 테이블(40)로 마운트 프레임을 로딩 및 테이프에 의하여 웨이퍼가 부착된 마운트 프레임을 후술될 마운트 프레임 언로더 카세트로 이송하는 역할을 수행하는 마운트 프레임 이송 유닛(60)이 설치된다.

이와 같은 공정을 수행하기 위하여 마운트 프레임 이송 유닛(60)에는 마운트 프레임이 정렬된 상태로 마운트 테이블(40)에 로딩되도록 마운트 프레임 정렬 유닛(65)이 설치된다.

구체적으로, 마운트 프레임 스톡커(50)의 마운트 프레임은 이송 실린더(55)에 의하여 마운트 프레임 스톡커(50)로부터 마운트 프레임 이송 유닛(60)으로 이송되어 로딩되고, 마운트 프레임 정렬 유닛(65)에 의하여 정렬된다.

정렬된 마운트 프레임은 턴 오버 트랜스퍼(70)에 의하여 마운트 테이블(40)로 이송됨으로써, 마운트 테이블(40)에는 웨이퍼와 마운트 프레임이 모두 로딩된다.

이후, 웨이퍼와 마운트 프레임은 접착 테이프에 의하여 접착된 후 테이프는 마운트 프레임의 에지(edge)를 따라서 커팅되고, 커팅된 마운트 프레임은 다시 턴 오버 트랜스퍼(70)에 의하여 마운트 프레임 이송 유닛(60)으로 언로딩된다.

이어서, 웨이퍼가 부착된 마운트 프레임은 이송 실린더(80)에 의하여 마운트 프레임 언로더 카세트(80)에 수납된 후 후속 공정인 쏘잉 공정으로 이송된다.

참고로 첨부된 도 1의 점선 화살표는 웨이퍼의 이송 경로이며, 실선 화살표는 마운트 프레임의 이송 경로이며, 점선과 실선이 함께 표시된 화살표는 접착 테이프에 의하여 웨이퍼가 부착된 마운트 프레임의 이송 경로이다.

그러나, 종래 웨이퍼 마운트 설비는 마운트 프레임을 마운트 프레임 스톡커로부터 마운트 프레임 이송 유닛으로 이송하고 마운트 프레임 이송 유닛에서 마운트 프레임이 정렬된 후에야 비로서 마운트 프레임이 마운트 테이블로 이송되고, 더욱이 마운트 테이블에서 마운트 프레임과 웨이퍼가 접착 테이프에 의하여 접착된 후 다시 마운트 프레임 이송 유닛으로 이송되는 복잡한 메카니즘을 갖음으로써 웨이퍼 마운트 공정에 소요되는 시간이 증가되어 설비 효율이 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안한 것으로써 본 발명에 의한 웨이퍼 마운트 설비의 목적은 마운트 프레임 스톡커에서 직접 마운트 프레임을 정렬한 후 곧바로 마운트 테이블로 이송하여 접착 테이프에 의하여 웨이퍼와 마운트 프레임을 부착함으로써, 웨이퍼 마운트 공정의 수를 절감하여 웨이퍼 마운트 공정에 소요되는 시간을 단축시킴에 있다.

본 발명의 다른 목적들은 후술될 본 발명의 상세한 설명에서 보다 명확해질 것이다.

도 1은 종래 웨이퍼 마운트 설비를 도시한 블록도.

도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 마운트 설비를 도시한 블록도.

도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 마운트 설비를 전체적으로 도시한 평면도.

도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 어레인지 기능을 갖는 마운트 프레임 로더 유닛을 도시한 부분 분해 사시도.

도 5는 도 4의 평면도.

도 6은 도 5의 I-I' 단면도.

이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 웨이퍼 마운트 설비는 다수매의 마운트 프레임이 공급된 마운트 프레임 스톡커에 마운트 프레임의 정렬 기준이 되는 기준 위치를 설정하고, 정렬되지 않은 상태로 공급된 마운트 프레임을 기준 위치에 맞도록 정렬한 후 정렬된 상태의 마운트 프레임을 흡착 고정하여 별다른 부속 공정 없이 곧바로 마운트 테이블로 이송하여 접착 테이프에 의하여 마운트 프레임에 웨이퍼를 부착 한 후 마운트 프레임을 마운트 프레임 언로더 카세트로 이송한다.

이하, 본 발명에 의한 웨이퍼 마운트 설비를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 2의 블록도를 참조하면 웨이퍼 마운트 설비(700)는 전체적으로 보아 본체(600), 웨이퍼 공급유닛(500), 마운트 프레임 공급 유닛(400), 웨이퍼 공급 유닛(500)과 마운트 프레임 공급 유닛(400)으로부터 각각 공급받은 웨이퍼와 마운트 프레임이 안착된 상태로 접착 테이프에 의하여 테이핑되는 마운트 테이블(300), 테이핑된 마운트 프레임을 수납하는 마운트 프레임 수납유닛(200)으로 구성된다.

도 3 내지 도 5를 참조하여 웨이퍼 마운트 설비를 구체적이면서도 상세하게 설명하면 다음과 같다.

마운트 테이블(300)은 웨이퍼 공급유닛(500)과 마운트 프레임 공급 유닛(400)으로부터 각각 웨이퍼와 마운트 프레임이 공급되기 때문에 본체(600)의 중앙부 부분에 설치되는 것이 바람직하다.

이와 같이 본체(600)의 중앙 부분에 설치된 마운트 테이블(300)은 일실시예로 8″또는 12″웨이퍼보다 큰 직경을 갖는 원판 형상으로 마운트 테이블(300)의 중심에는 8″또는 12″웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 영역(310)이 형성된다.

마운트 테이블(300)에는 8″웨이퍼용 마운트 프레임, 12″웨이퍼용 마운트 프레임이 안착되는 마운트 프레임 영역(320)이 형성된다. 이때, 12″웨이퍼와 8″웨이퍼용 마운트 프레임은 같은 영역을 사용하게 되지만 8″웨이퍼용 마운트 프레임과 12″웨이퍼를 동시에 사용하지는 않음으로 이는 문제되지 않을 것이다.

이때, 마운트 프레임 영역(320)과 웨이퍼 영역(310)에는 다수개의 진공 홀(vaccum hole;330)이 일정 간격으로 형성되어, 일단 마운트 프레임 또는 웨이퍼가 마운트 테이블(300)에 안착될 경우 진공홀에서 발생한 진공압에 의하여 마운트 프레임, 웨이퍼의 임의적인 위치 변경은 불가능한 상태가 된다.

한편, 본체(600)에 설치된 마운트 테이블(300)을 기준으로 좌측에는 마운트 테이블(300)과 나란하게 설치된 마운트 프레임 공급 유닛(400)이 설치되는데, 마운트 프레임 공급 유닛(400)은 마운트 프레임 정렬 유닛과 마운트 프레임 이송장치인 마운트 프레임 트랜스퍼(450)로 구성된다.

마운트 프레임 트랜스퍼(450)는 도 4, 도 5에 도시된 바와 같이 본체(600) 상면에 형성되며 마운트 프레임 공급 유닛(400)으로부터 마운트 테이블(300)까지 연장된 로드리스 실린더(440)와, 로드리스 실린더(440)에 형성된 연결 블록(430)과, 연결 블록(430)에 결합된 연결 플레이트(425)와, 연결 플레이트(425)의 단부에 설치되며 수직 실린더 로드(410)를 갖는 실린더(415)와, 수직 실린더 로드(410)의 단부에 설치된 마운트 프레임 흡착 플레이트(405)로 구성된다.

수직 실린더 로드(410)의 스트로크 길이는 적재된 마운트 프레임중 가장 밑에 위치한 마운트 프레임에 마운트 프레임 흡착 플레이트(405)가 도달 가능한 길이인 것이 바람직하다.

마운트 프레임 흡착 플레이트(405)의 양단부에는 바람직하게 2 개의 진공 흡착 패드(404)가 설치된다.

한편, 마운트 프레임 정렬 유닛(490)은 도 3, 도 6에 도시된 바와 같이 적재된 마운트 프레임(401)을 지지하는 4 개의 폴중 마운트 프레임(401)에 형성된 위치 정렬 홈(401a,401b)과 대응하는 부분에 설치된 2 개의 위치 정렬 폴(480,485)과, 위치 정렬 폴(480,485)에 마운트 프레임(401)을 정렬시키 위하여 마운트 프레임(401)의 유, 무를 감지하는 마운트 프레임 인식 센서(470)와, 마운트 프레임 위치 정렬 실린더(477)로 구성된다.

마운트 프레임(401)에 형성된 2 개의 위치 정렬 홈(401a,401b)중 어느 하나(401b)는 위치 정렬 폴(485)와 단순 접촉되며, 나머지 하나의 위치 정렬 홈(401a)은 예각을 갖는 삼각형 형상으로 예리하게 형성되어 나머지 하나의 위치 정렬 폴(480)에 밀착되었을 때 정렬이 정밀하게 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.

마운트 프레임 인식 센서(470)는 마운트 프레임 흡착 플레이트(405)의 뒷면에 설치된 센서 프레임(475)의 일부에 설치되어 마운트 프레임(401)의 유, 무를 감지하는 광센서, 또는 초음파 센서인 것이 바람직하다.

마운트 프레임 위치 정렬 실린더(477)는 센서 프레임(475)에 설치된다.

마운트 프레임 정렬 실린더(477)는 앞서 언급한 마운트 프레임(401)에 형성된 2 개의 위치 정렬 홈(401a,401b)을 2 개의 위치 정렬 폴(480,485)쪽으로 가압하여 마운트 프레임(401)이 지정된 정렬 위치에 놓여지도록 하는 실린더 로드(477a)와, 실린더 로드(477a)에 변위를 발생시키는 실린더 몸체(477a)와, 실린더 로드(477b) 선단부에 설치된 반달형 충격완충부재(477c)로 구성된다. 반달형 충격완충부재(477c)는 폴리테트라플루오르에틸렌 재질 예를 들어 "듀퐁"사의 "테프론(teflon;상품명)"을 사용하는 것이 무방하다.

한편, 본체(600)중 마운트 테이블(300)을 기준으로 우측에는 웨이퍼 공급유닛(500)의 구성요소인 웨이퍼 스톡커(520)와, 웨이퍼 정렬 유닛(540), 웨이퍼 트랜스퍼(560), 턴 오버 트랜스퍼(580)가 설치된다.

이들 구성 요소중 웨이퍼 정렬 유닛(540)은 웨이퍼 스톡커(520)와 마운트 테이블(300)의 사이에 설치된다. 또한, 웨이퍼 스톡커(520)와 웨이퍼 정렬 유닛(540)의 사이에는 웨이퍼 스톡커(520)의 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 언로딩하여 웨이퍼 정렬 유닛(540)으로 이송시키는 웨이퍼 트랜스퍼(560)가 설치되고, 웨이퍼 정렬 유닛(540)과 마운트 테이블(300)의 사이에는 정렬된 웨이퍼가 뒤집힌 상태로 마운트 테이블(300)로 이송되도록 웨이퍼 턴 오버 트랜스퍼(580)가 설치된다.

구체적으로, 웨이퍼 스톡커(520)는 본체(600) 상면에 고정되며, 로트(lot) 단위의 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 케리어(510)를 2 층으로 수납할 수 있도록 구성된다.

이와 같이 2 층으로 나누어져 수납된 웨이퍼 케리어(510)에서 웨이퍼(505)를 인출하기 위해서는 앞서 언급한 웨이퍼 트랜스퍼(560)가 설치되는데, 웨이퍼 트랜스퍼(560)는 웨이퍼 케리어(510) 전면에 설치되어 수직 방향 변위가 발생되는 트랜스퍼 엘리베이터(550)와, 웨이퍼 카세트(510)로부터 웨이퍼(505)를 언로딩하는 방향과 동일한 방향으로 뻗도록 트랜스퍼 엘리베이터(550)에 설치된 로드리스 실린더(555)와, 로드리스 실린더(555)에 설치된 이송 블록(554)과, 이송 블록(554)에 설치된 연결 플레이트(553)와, 연결 플레이트(553)에 설치되어 평면상에서 보았을 때 웨이퍼 카세트(510)로부터 흡착한 웨이퍼(505)를 흡착 고정함과 동시에 웨이퍼(505)가 언로딩된 방향에 대하여 직각으로 회동되도록 하는 진공 흡착 플레이트(552)와, 진공 흡착 플레이트(552)에 형성된 진공 흡착 패드(551)로 구성된다.

웨이퍼 정렬 유닛(540)은 웨이퍼 트랜스퍼(560)로부터 이송된 웨이퍼를 흔들어서 지정된 위치에 웨이퍼(505)를 정렬하여 고정시키는 역할을 한다.

이와 같이 형성된 웨이퍼 정렬 유닛(540)에서 정렬된 웨이퍼(505)는 마운트 테이블(300)과 웨이퍼 정렬 유닛(540)의 사이에 형성된 웨이퍼 턴 오버 트랜스퍼(580)에 의하여 고정된 상태에서 뒤집힌 후 마운트 테이블(300)의 웨이퍼 영역(310)에 안착된 후 고정된다.

웨이퍼 턴 오버 트랜스퍼(580)는 마운트 테이블(300)과 웨이퍼 정렬 유닛(540)의 사이에 설치된 구동 모터(575)와, 구동 모터(575)의 회동축에 일측 단부가 결합되고 타측 단부는 웨이퍼 정렬 유닛(540)의 중심을 향하는 턴 오버 로드(570)와, 턴 오버 로드(570)의 단부에 설치되어 웨이퍼(505)의 중심까지 연장된 진공 흡착 패드(573)로 구성된다.

이와 같이, 턴 오버 로드(570)가 회동축의 축방향을 기준으로 소정 각도 만큼 비스듬하게 결합된 이유는 턴 오버 로드(570)가 180°회전 동작을 수행할 때 턴 오버 로드(570)의 스트로크 거리 및 높이를 현저하게 감소시키기 위함이다.

한편, 본체(600)중 마운트 테이블(300)과는 대각선 방향을 갖고, 마운트 프레임 공급 유닛(400)과는 근접한 곳에는 마운트 프레임 수납 유닛(200)이 설치된다.

마운트 프레임 수납 유닛(200)은 앞서 언급한 마운트 프레임 공급 유닛(400)과 웨이퍼 공급 유닛(500)에 의하여 공급된 웨이퍼(505)와 마운트 프레임(401)이 정렬된 상태로 마운트 테이블(300)로 이송되어 접착 테이프에 의하여 상호 부착된 후 이들을 후속 공정으로 이송하기 위하여 카세트 등에 다시 수납하는 역할을 한다.

마운트 프레임 수납 유닛(200)의 마운트 프레임 이송 유닛(250)은 마운트 테이블(300)과 대각선 방향에 설치되고, 마운트 프레임 이송 유닛(250)과 근접한 곳에는 마운트 프레임 언로더 카세트(290)가 설치된다.

구체적으로, 마운트 프레임 이송 유닛(250)은 마운트 테이블(300)에 안착된 마운트 프레임(401)을 흡착하는 복수개의 진공 흡착 패드(240)가 설치된 진공 흡착 패드 프레임(230)과, 진공 흡착 패드 프레임(230)에 일측 단부가 결합된 소정 길이를 갖는 턴 오버 로드(220)와, 턴 오버 로드(220)의 타측 단부에 결합되어 턴 오버 로드(220)를 본체(600)의 상면에 대하여 직각 방향으로 180°회동시키는 턴 오버 로드 구동장치(210)를 포함한다.

이에 더하여 턴 오버 로드 구동장치(210)에 의하여 이송된 마운트 프레임(401)이 안착된 상태로 후술될 마운트 프레임 언로더 카세트(290)로 이송하기 위한 가이드 레일(205)과 가이드 레일(205)에 놓여진 마운트 프레임(401)의 측면을 밀어 마운트 프레임 언로더 카세트(290)로 이송하기 위한 마운트 프레임 언로더 이송장치(203)로 구성된다.

마운트 프레임 언로더 카세트(290)에는 복수매의 마운트 프레임(401)이 수납되도록 카세트 엘리베이터(280)가 설치된다.

이와 같이 구성된 본 발명 웨이퍼 마운트 설비에 의하여 일실시예로 한 장의 웨이퍼와 한 장의 마운트 프레임을 테이프에 의하여 웨이퍼 마운팅하는 과정을 앞서 설명한 본 발명의 구성에 의하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 작업자는 마운트 프레임 공급 유닛(400)에 마운트 프레임(401)이 적재되어 있는 가를 확인하여 마운트 프레임(401)의 잔량이 얼마 되지 않을 경우 4 개의 폴 사이에 마운트 프레임(401)을 보충한다.

이후, 작업자는 선행 공정이 종료된 상태의 웨이퍼(505)가 수납된 웨이퍼 카세트(510)를 웨이퍼 스톡커(520)에 2 단으로 적층시켜 공정 개시 준비를 완료한다.

이어서, 작업자의 개시 명령에 의하여 웨이퍼 트랜스퍼(560)의 트랜스퍼 엘리베이터(550)가 구동되어 진공 흡착 패드(551)가 웨이퍼(505)와 웨이퍼(505) 사이에 위치하게 되면, 로드리스 실린더(555)가 웨이퍼 카세트(510) 방향으로 전진하여 진공 흡착 패드(551)는 웨이퍼(505)와 웨이퍼(505) 사이로 유입된 후, 진공 흡착 패드(551)는 지정된 웨이퍼(505)의 뒷면을 흡착 고정한다.

계속해서, 진공 흡착 패드(551)가 웨이퍼(505)의 뒷면을 흡착하면, 로드리스 실린더(555)는 역진하여 웨이퍼(505)를 웨이퍼 카세트(510)로부터 언로딩시킨다.

이후, 로드리스 실린더(555)는 지정된 위치까지 이송된 후 정지되고, 진공 흡착 플레이트(552)는 진공 흡착 플레이트(551)가 웨이퍼(505)를 흡착한 상태로 직각 회동하여 웨이퍼(505)를 웨이퍼 정렬 유닛(540)에 안착시킨다.

이후, 진공 흡착 플레이트(551)는 다른 웨이퍼(505)를 이송하기 위하여 역회동함과 동시에 원위치되어 초기화되고, 웨이퍼 정렬 유닛(540)에 안착된 웨이퍼(505)는 웨이퍼 정렬 유닛(540)에 의하여 지정된 위치에 정렬된다.

계속해서, 웨이퍼 정렬 유닛(540)에 안착된 웨이퍼(505)는 마운트 테이블(300)에 대기중이던 웨이퍼 턴 오버 트랜스퍼(580)의 구동장치(575)에 의하여 180°만큼 회동된 턴 오버 로드(570)의 진공 흡착 패드(573)에 의하여 흡착된 후, 다시 턴 오버 로드(570)이 구동장치(575)에 의하여 역회동됨으로써 마운트 테이블(300)로 이송된다.

이와 같이 마운트 테이블(300)에 웨이퍼(505)가 올려지면 도 4에 도시된 바와 같은 마운트 프레임 공급 유닛(400)의 마운트 프레임 트랜스퍼(450)의 마운트 프레임 인식 센서(470)가 마운트 프레임(401)을 인식할 때까지 실린더(415)는 수직 실린더 로드(410)를 구동시킨다.

이후, 마운트 프레임 인식 센서(470)가 마운트 프레임(401)에 근접되어 마운트 프레임(401)이 인식되면 실린더(415)는 수직 실린더 로드(410)의 구동을 정지시킨 상태에서 도 6에 도시된 바와 같이 정렬되지 않은 상부 마운트 프레임(401) 한 개 또는 두 개 정도를 마운트 프레임 위치 정렬 실린더(447)의 실린더 로드(477)에 의하여 2 개의 위치 정렬 폴(480,485) 측으로 밀어 마운트 프레임(401)의 위치 정렬 홈(410a,410b)과 위치 정렬 폴(480,485)이 서로 밀착되도록 하여 위치를 정렬시킨다.

마운트 프레임(401)의 위치 정렬 홈(410a,410b)과 위치 정렬 폴(480,485)이 밀착되어 위치가 정렬되면 마운트 프레임(401)이 위치 정렬된 상태로 수직 실린더 로드(410) 단부에 설치된 마운트 프레임 흡착 플레이트(405)의 진공 흡착 패드(404)가 정렬된 마운트 프레임(401)을 흡착한다.

이와 같은 상태에서 다시 수직 실린더 로드(410)는 실린더(415)의 역회동에 의하여 상부로 이송된 후 로드리스 실린더(440)에 의하여 이미 웨이퍼(505)가 안착된 마운트 테이블(300)의 지정된 위치로 이송된다.

이후, 마운트 프레임(401)과 웨이퍼(505)는 도시되지 않은 접착 테이프에 의하여 동시에 접착된다.

마운트 프레임(401)과 웨이퍼(505)가 접착 테이프에 의하여 접착되면 마운트 프레임 이송 유닛(250)의 진공 흡착 패드 프레임(230)에 설치된 턴 오버 로드(220)가 턴 오버 로드 구동장치(210)에 의하여 구동되어 마운트 테이블(300)로 180°회동된 상태에서 마운트 테이블(300)의 마운트 프레임(401)을 진공 흡착 패드(240)가 흡착하여 마운트 프레임(401)을 고정시킨다.

이후, 턴 오버 로드(220)가 턴 오버 로드 구동장치(210)에 의하여 역회동하여 마운트 프레임(401)을 마운트 프레임 이송 유닛(250)의 가이드 레일(205)의 상면으로 이송한 후 진공 흡착 패드(240)가 진공을 해제하면 마운트 프레임 언로더 이송장치(203)가 마운트 프레임(401)을 마운트 프레임 언로더 카세트(290)로 밀어 접착 테이프에 의하여 부착된 웨이퍼(505)와 마운트 프레임(401)은 마운트 프레임 언로더 카세트(290) 내부에 수납한다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 위치가 정렬되지 않은 마운트 프레임이 다수매 수납된 마운트 프레임 스톡커로부터 마운트 프레임이 마운트 테이블로 이송되기 이전에 마운트 프레임 스톡커 내부에서 마운트 프레임의 정렬이 이루어지도록 하여 마운트 프레임의 이송 횟수를 감소시켜 공정수의 단축 및 공정 시간을 단축시키는 효과가 있다.

Claims

쏘잉될 웨이퍼와 마운트 프레임이 안착된 상태로 상기 웨이퍼와 상기 마운트 프레임을 접착 테이프에 부착시키는 마운트 테이블과, 상기 마운트 테이블로 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 공급유닛과, 상기 마운트 테이블로 상기 마운트 프레임을 공급하는 마운트 프레임 공급 유닛과, 상기 접착 테이프에 의하여 상기 웨이퍼가 부착된 상기 마운트 프레임을 이송받아 수납하는 마운트 프레임 수납장치를 포함하며,

상기 마운트 프레임 공급유닛은 상기 마운트 프레임을 정렬하는 마운트 프레임 정렬 장치와;

정렬된 상기 마운트 프레임을 고정한 상태로 상기 마운트 프레임으로 이송하는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 마운트 프레임 정렬 장치는

상기 이송장치에 설치된 센서 프레임에 설치되어 상기 마운트 프레임을 감지하는 마운트 프레임 감지 센서와;

상기 센서 프레임에 설치되며 상기 마운트 프레임 감지 센서에 의하여 감지된 상기 마운트 프레임을 소정 방향으로 밀어내는 실린더 로드가 형성된 마운트 프레임 위치 정렬 실린더와;

상기 실린더 로드에 의하여 밀려나는 상기 마운트 프레임에 형성된 위치 정렬 홈과 정렬되어 정합되는 마운트 프레임 위치 정렬 폴(pole)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 실린더 로드의 선단부에는 폴리테트라플루오르에틸렌 재질인 반원형 충격 완충 부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 위치 정렬 홈과 정합되는 마운트 프레임 위치 정렬 홈은 각각 2 개인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비.
제 4 항에 있어서, 상기 위치 정렬 홈중 어느 하나는 정확한 위치 정렬을 위하여 삼각형 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 이송장치는

상기 마운트 프레임 공급 유닛으로부터 상기 마운트 테이블까지 연장된 로드리스 실린더와;

상기 로드리스 실린더에 결합된 연결 플레이트와;

상기 연결 플레이트에 설치되어 상기 마운트 프레임 적재 방향으로 이동되는 실린더 로드를 포함하는 실린더와;

상기 실린더의 단부에 설치되며 상기 마운트 프레임을 진공 흡착하는 진공 흡착 패드가 형성된 진공 흡착 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비.