KR100269946B1 - 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치 - Google Patents

Abstract

웨이퍼와 마운트 프레임을 공급받아 웨이퍼와 마운트 프레임을 접착 테이프에 의하여 상호 부착시키는 마운트 테이블로 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 카세트가 적층된 웨이퍼 스톡커에 웨이퍼 스톡커용 슬라이드 타입 이송장치를 설치하여, 웨이퍼 카세트를 교체할 때 작업자가 불안한 자세로 무거운 웨이퍼 카세트를 교체함으로써 빈번하게 발생하는 웨이퍼 카세트의 낙하에 의한 웨이퍼 파손을 방지함과 동시에 작업자의 피로도를 감소시킨 웨이퍼 마운트 설비가 개시되고 있다.

본 발명에 의하면, 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커에 웨이퍼 스톡커 이송장치를 설치하여 웨이퍼 스톡커에 다수매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 로딩, 빈 웨이퍼 카세트를 언로딩할 때 작업자가 편안한 자세로 작업할 수 있도록 하여 웨이퍼 카세트의 낙하에 의한 웨이퍼의 파손을 방지한다.

Description

웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치

본 발명은 웨이퍼 마운트 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼와 마운트 프레임을 공급받아 웨이퍼와 마운트 프레임을 접착 테이프에 의하여 상호 부착시키는 마운트 테이블로 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 카세트가 적층된 웨이퍼 스톡커에 웨이퍼 스톡커용 슬라이드 타입 이송장치를 설치하여, 웨이퍼 카세트를 교체할 때 작업자가 불안한 자세로 무거운 웨이퍼 카세트를 교체함으로써 빈번하게 발생하는 웨이퍼 카세트의 낙하에 의한 웨이퍼 파손을 방지함과 동시에 작업자의 피로도를 감소시킨 웨이퍼 마운트 설비에 관한 것이다.

일반적으로, 8", 12" 구경을 갖는 순수 실리콘 웨이퍼에는 반도체 고집적 박막 기술에 의하여 수많은 반도체 소자가 집적된 다수개의 반도체 칩이 형성된다.

반도체 칩이 형성된 웨이퍼는 일렉트로 다이 소팅(Electro Die Sorting;EDS)이라는 전기적 성능 검사를 받게 되는데, EDS에 의하여 웨이퍼 상에 형성된 반도체 칩은 양부가 판별되고, 불량으로 판정된 반도체 칩중 리페어가 가능한 반도체 칩은 리페어 공정이 수행된다.

이후 웨이퍼의 불량 반도체 칩에는 마킹이 수행되고, 웨이퍼는 패키지 공정으로 이송되는데, 패키지 공정은 대략 웨이퍼 마운트(wafer mount) 공정-쏘잉(sawi-ng) 공정-다이 어탯치(die attach) 공정-와이어 본딩(wire bonding) 공정-몰딩(mo-lding) 공정-트리밍/포밍(triming/forming) 공정-디플래쉬(deflash) 공정-검사(te-st) 공정 등을 통하여 하나의 완성된 반도체 제품이 된다.

이들 공정중 비교적 초기 공정에 속하는 웨이퍼 마운트 공정은 EDS 완료된 웨이퍼의 뒷면에 두께가 얇고 접착성이 있는 테이프를 부착하고 테이프를 다시 마운트 프레임이라 불리는 링(ring)에 부착하여 웨이퍼를 고정시키는 공정이다.

이와 같은 웨이퍼 마운트 공정을 진행하는 종래 웨이퍼 마운트 설비는 첨부된 도 1에 도시된 바와 같다.

웨이퍼 마운트 설비(100)의 본체(10)에는 작업자로부터 로트(lot) 단위 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 포함한 웨이퍼 스톡커(20)가 설치된다.

웨이퍼 스톡커(20)와 근접한 곳에는 웨이퍼 스톡커(20)로부터 웨이퍼 트랜스퍼(25)에 의하여 이송된 웨이퍼를 로딩받아 웨이퍼의 절단선 위치를 웨이퍼 쏘잉 블레이드(sawing blade;미도시)와 일치시켜주기 위한 웨이퍼 정렬 유닛(30)이 설치된다.

웨이퍼 정렬 유닛(30)에 의하여 정렬된 웨이퍼는 턴 오버 트랜스퍼(35)에 의하여 뒤집혀지면서 마운트 테이블(40)로 이송된 후 고정된다.

한편, 웨이퍼가 안착된 마운트 테이블(40)에는 웨이퍼의 후면을 테이프로 부착하기 위한 전공정으로 두께가 얇은 링 형상을 갖는 마운트 프레임이 다시 로딩된다.

이를 위하여 마운트 테이블(40)에 근접한 곳에는 약 100매 정도의 마운트 프레임이 적재되는 마운트 프레임 스톡커(50)가 설치된다.

한편, 마운트 프레임 스톡커(50)에 근접한 곳에는 마운트 프레임을 정렬함과 동시에 마운트 테이블(40)로 마운트 프레임을 로딩하고, 테이프에 의하여 웨이퍼가 부착된 마운트 프레임을 후술될 마운트 프레임 언로더 카세트로 이송하는 역할을 수행하는 마운트 프레임 이송 유닛(60)이 설치된다.

이와 같은 공정을 수행하기 위하여 마운트 프레임 스톡커(50)의 마운트 프레임은 마운트 프레임 이송 실린더(55)에 의하여 마운트 프레임 스톡커(50)로부터 마운트 프레임 이송 유닛(60)으로 이송되어 로딩된다. 이때 마운트 프레임은 마운트 프레임 이송 유닛(60)에 포함된 마운트 프레임 정렬 유닛에 의하여 정렬된다.

정렬된 마운트 프레임은 턴 오버 트랜스퍼(70)에 의하여 마운트 테이블(40)로 이송됨으로써, 마운트 테이블(40)에는 웨이퍼와 마운트 프레임이 모두 로딩된다.

이후, 웨이퍼와 마운트 프레임은 접착 테이프에 의하여 접착된 후 테이프는 마운트 프레임의 에지(edge)를 따라서 커팅되고, 커팅된 마운트 프레임은 다시 턴 오버 트랜스퍼(70)에 의하여 마운트 프레임 이송 유닛(60)으로 언로딩된다.

이어서, 웨이퍼가 부착된 마운트 프레임은 이송 실린더(80)에 의하여 마운트 프레임 언로더 카세트(85)에 수납된 후 후속 공정인 쏘잉 공정으로 이송된다.

참고로 첨부된 도 1의 점선 화살표는 웨이퍼의 이송 경로이며, 실선 화살표는 마운트 프레임의 이송 경로이며, 점선과 실선이 함께 표시된 화살표는 접착 테이프에 의하여 웨이퍼가 부착된 마운트 프레임의 이송 경로이다.

그러나, 종래 웨이퍼 스톡커에 적재된 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼가 모두 마운트 테이블로 언로딩 되었을 경우에는 공정이 일시적으로 중지된 상태에서 현재 웨이퍼 스톡커에 로딩되어 있는 빈 웨이퍼 카세트를 언로딩하고 다수매의 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트를 다시 웨이퍼 스톡커에 로딩한다.

이때, 웨이퍼 스톡커는 웨이퍼 마운트 설비의 레이 아웃(웨이퍼 트랜스퍼의 위치, 마운트 테이블의 위치)에 의하여 웨이퍼 마운트 설비의 전면에 설치되지 못하고 마운트 설비의 내부 중간 부분에 고정 설치됨으로 인하여 작업자는 본체 내측 깊숙한 곳에 위치한 웨이퍼 스톡커에 웨이퍼 카세트를 로딩하기 위하여 무거운 웨이퍼 카세트를 매우 불안정한 자세로 웨이퍼 마운트 설비의 내측으로 옮겨 놓게 되므로, 불안정한 작업 자세에 의하여 작업자는 취급에 주의를 요하는 웨이퍼 카세트를 떨어뜨릴 가능성이 높기 때문에 웨이퍼의 브로큰을 유발시키거나 작업자의 신체중 일부분 특히 머리 부분이 웨이퍼 마운트 설비와 충돌하여 안전사고가 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치는 이와 같은 종래 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 웨이퍼 스톡커 본연의 기능을 수행함과 동시에 웨이퍼 스톡커에 수납된 웨이퍼 카세트를 교체할 경우 웨이퍼 스톡커 자체가 작업자가 작업하기 용이한 곳으로 이송되어 웨이퍼 카세트를 교체할 수 있도록 하여 웨이퍼의 낙하에 의한 파손을 방지함과 동시에 작업자의 상해를 예방하는데 있다.

본 발명의 다른 목적들은 본 발명의 상세한 설명에서 보다 명확해질 것이다.

도 1은 종래 웨이퍼 마운트 설비를 도시한 블록도.

도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 마운트 설비를 도시한 블록도.

도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 마운트 설비를 도시한 평면도.

도 4는 본 발명에 의한 웨이퍼 스톡커 이송장치를 도시한 A-A' 단면도.

도 5는 도 4의 원내 확대도.

이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치는 선행 공정이 종료된 후 쏘잉될 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트가 복수개 적층된 웨이퍼 스톡커에 웨이퍼 카세트를 교체할 때, 웨이퍼 스톡커가 웨이퍼 마운트 설비 내측 깊숙한 곳에 위치함으로써 발생하는 웨이퍼 카세트 교체의 어려움을 극복하기 위하여 웨이퍼 스톡커의 밑에 웨이퍼 스톡커를 작업자가 작업하기 용이한 곳으로 이송시키는 가이드 부재와 구동장치가 설치되어 있다.

이하, 본 발명 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 2에는 본 발명에 의한 웨이퍼 스톡커 이송장치를 포함하는 웨이퍼 마운트 설비의 블록도가 도시되어 있고, 도 3에는 웨이퍼 마운트 설비의 구체적인 평면도가 도시되어 있다.

첨부된 도 2, 도 3을 참조하면, 웨이퍼 마운트 설비(700)는 전체적으로 보아 본체(600), 웨이퍼 공급유닛(500), 마운트 프레임 공급 유닛(400), 웨이퍼 공급 유닛(500)과 마운트 프레임 공급 유닛(400)으로부터 각각 공급받은 웨이퍼와 마운트 프레임이 안착된 상태로 접착 테이프에 의하여 테이핑되는 마운트 테이블(300), 테이핑된 마운트 프레임을 수납하는 마운트 프레임 수납유닛(200)으로 구성된다.

마운트 테이블(300)은 웨이퍼 공급유닛(500)과 마운트 프레임 공급 유닛(400)으로부터 각각 웨이퍼와 마운트 프레임이 공급되기 때문에 본체(600)의 중앙부 부분에 설치되는 것이 바람직하다.

이와 같이 본체(600)의 중앙 부분에 설치된 마운트 테이블(300)은 일실시예로 8″또는 12″웨이퍼보다 큰 직경을 갖는 원판 형상으로 마운트 테이블(300)의 중심에는 8″또는 12″웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 영역(310)이 형성된다.

또한, 마운트 테이블(300)에는 8″웨이퍼용 마운트 프레임, 12″웨이퍼용 마운트 프레임이 안착되는 마운트 프레임 영역(320)이 형성된다. 이때, 12″웨이퍼와 8″웨이퍼용 마운트 프레임은 같은 영역을 사용하게 되지만 8″웨이퍼용 마운트 프레임과 12″웨이퍼를 동시에 사용하지는 않음으로 이는 문제되지 않을 것이다.

이때, 마운트 프레임 영역(320)과 웨이퍼 영역(310)에는 다수개의 진공 홀(vacuum hole;330)이 일정 간격으로 형성되어, 일단 마운트 프레임 또는 웨이퍼가 마운트 테이블(300)에 안착될 경우 진공홀(330)에서 발생한 진공압에 의하여 마운트 프레임, 웨이퍼는 고정되어 임의적인 위치 변경은 불가능한 상태가 된다.

한편, 본체(600)에 설치된 마운트 테이블(300)을 기준으로 좌측 영역에는 마운트 테이블(300)과 나란하게 설치된 마운트 프레임 공급 유닛(400)이 설치되는데, 마운트 프레임 공급 유닛(400)은 마운트 프레임 정렬 유닛(430)과 마운트 프레임 이송장치인 마운트 프레임 트랜스퍼(450)로 구성된다.

한편, 본체(600)중 마운트 테이블(300)을 기준으로 우측에는 본 발명의 핵심 부분인 웨이퍼 공급유닛(500)의 구성요소인 웨이퍼 스톡커(530), 웨이퍼 스톡커 이송 유닛(550), 웨이퍼 정렬 유닛(570), 웨이퍼 트랜스퍼(580), 턴 오버 트랜스퍼(590)가 설치된다.

구체적으로, 도 4, 도 5에 도시된 바와 같이 웨이퍼 스톡커(530)는 직각을 이루도록 접합된 두 개의 수직 플레이트(531,532)와, 두 개의 수직 플레이트(531,532) 사이에 수평으로 설치되어 2 개의 웨이퍼 카세트(533)가 적층 방식으로 수납되도록 하는 수평 플레이트(534,535)로 구성된다.

웨이퍼 스톡커 이송장치는 수평 플레이트(534,535)중 하부에 설치된 수평 플레이트(535)와, 이 수평 플레이트(535)와 대향하는 본체(600) 사이에 형성된다.

수평 플레이트(535)의 밑면에는 일실시예로 단면이 더브테일(dovetail) 형상인 한 쌍의 더브테일 블록(dovetail block;551a,551b)이 수평 플레이트(535)의 중심으로부터 소정 간격 이격된 상태로 웨이퍼 카세트(533)가 이송되는 방향으로 연장되어 고정 설치된다.

이와 같이 수평 플레이트(535)에 설치된 더브테일 블록(551a,551b)의 사이에는 실린더 블록(552)이 설치된다.

한편, 본체(600)의 상면에는 더브테일 블록(551a,551b)이 가이드되도록 더브테일 그루브(dovetail groove)가 형성된 더브테일 가이드 블록(dovetail guide block;553a,553b)이 설치되는데, 더브테일 가이드 블록(553a,553b)의 양단부는 수평 플레이트(535)로부터 외측으로 연장되어 돌출된다.

또한, 본체(600) 상면중 더브테일 가이드 블록(553a,553b)의 사이에는 실린더 블록(552)과 일측 단부가 결합되고 타측 단부는 본체(600) 상면에 결합되며 로드 없이 이송 대상물을 이송하는 로드리스 실린더(554)가 설치된다.

로드리스 실린더(554)의 양단부에는 유체를 공급/배출시키는 유체 공급관(미도시)이 연결되며, 유체 공급관은 다시 통상 디지털 제어 신호에 의하여 개폐되는 솔레노이드 밸브(미도시)가 설치된 유체 분배장치(미도시)와 연통된다.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이 본체(600)와 수평 플레이트(535)에는 웨이퍼 스톡커(530)의 위치를 감지하는 위치감지 센서(555)가 설치되는 것이 바람직하다. 위치 감지 센서(555)로는 자기 감지 센서, 광센서 등 위치를 검출하는 다양한 센서가 사용될 수 있다.

이 로드리스 실린더(554)의 길이는 더브테일 가이드 블록(553a,553b)의 길이와 대응되도록 설치된다. 이와 같이 실린더 로드가 없는 로드리스 실린더(554)를 사용할 경우 본체(600) 외부로 실린더가 돌출되지 않음으로써 설비 면적의 증대를 방지함과 동시에 작업자가 작업할 때 불편함을 최대한 방지하게 된다.

이와 같이 웨이퍼 스톡커 이송장치(550)가 설치된 웨이퍼 스톡커(530)에 안착된 웨이퍼 카세트(553)에 수납된 웨이퍼(w)는 웨이퍼 트랜스퍼(580)에 의하여 웨이퍼 정렬 유닛(570)으로 공급된다.

웨이퍼 트랜스퍼(580)는 웨이퍼 카세트(533) 전면에 설치되어 수직 방향 변위가 발생되는 트랜스퍼 엘리베이터(581)와, 웨이퍼 카세트(533)로부터 웨이퍼(w)를 언로딩하는 방향과 동일한 방향으로 뻗도록 트랜스퍼 엘리베이터(581)에 설치된 로드리스 실린더(582)와, 로드리스 실린더(582)에 설치된 이송 블록(583)과, 이송 블록(583)에 설치된 연결 플레이트(584)와, 연결 플레이트(584)에 설치되어 평면상에서 보았을 때 웨이퍼 카세트(533)로부터 흡착한 웨이퍼(w)를 흡착 고정함과 동시에 웨이퍼(w)가 언로딩된 방향에 대하여 직각으로 회동되도록 하는 진공 흡착 플레이트(585)와, 진공 흡착 플레이트(585)에 형성된 진공 흡착 패드(586)로 구성된다.

이와 같이 구성된 웨이퍼 트랜스퍼(580)에 의하여 웨이퍼(w)를 이송받은 웨이퍼 정렬 유닛(570)은 웨이퍼 트랜스퍼(580)와 마운트 테이블(530)의 사이에 설치되어 웨이퍼(w)를 흔들어 지정된 위치에 정렬시킨다.

이와 같이 형성된 웨이퍼 정렬 유닛(570)에서 정렬된 웨이퍼(w)는 마운트 테이블(530)과 웨이퍼 정렬 유닛(570)의 사이에 형성된 웨이퍼 턴 오버 트랜스퍼(590)에 의하여 고정된 상태에서 뒤집힌 후 마운트 테이블(530)의 웨이퍼 영역(310)에 안착된 후 고정된다.

웨이퍼 턴 오버 트랜스퍼(590)는 마운트 테이블(530)과 웨이퍼 정렬 유닛(570)의 사이에 설치된 구동 모터(591)와, 구동 모터(591)의 회동축(미도시)에 일측 단부가 결합되고 타측 단부는 웨이퍼 정렬 유닛(570)의 중심을 향하는 턴 오버 로드(592)와, 턴 오버 로드(592)의 단부에 설치되어 웨이퍼(w)의 중심까지 연장된 진공 흡착 패드(593)로 구성된다.

이와 같이, 턴 오버 로드(592)가 회동축의 축방향을 기준으로 소정 각도 만큼 비스듬하게 결합된 이유는 턴 오버 로드(592)가 180°회전 동작을 수행할 때 턴 오버 로드(592)의 스트로크 거리 및 높이를 현저하게 감소시키기 위함이다.

한편, 본체(600)에 설치된 마운트 테이블(300)을 기준으로 좌측에는 마운트 테이블(300)과 나란하게 설치된 마운트 프레임 공급 유닛(400)이 설치되는데, 마운트 프레임 공급 유닛(400)은 마운트 프레임 정렬 유닛(430)과 마운트 프레임 이송장치인 마운트 프레임 트랜스퍼(450)로 구성된다.

한편, 본체(600)중 마운트 테이블(300)과는 대각선 방향을 갖고, 마운트 프레임 공급 유닛(400)과는 근접한 곳에는 마운트 프레임 수납 유닛(200)이 설치된다.

마운트 프레임 수납 유닛(200)은 앞서 언급한 마운트 프레임 공급 유닛(400)에 의하여 공급된 마운트 프레임과, 웨이퍼 공급 유닛(500)에 의하여 공급된 웨이퍼(w)가 정렬된 상태로 마운트 테이블(300)로 이송되어 접착 테이프에 의하여 상호 부착된 후 이들을 후속 공정으로 이송하기 위하여 카세트 등에 다시 수납하는 역할을 한다.

마운트 프레임 수납 유닛(200)은 마운트 테이블(300)과 대각선 방향에 마운트 프레임 이송 유닛(230)과 마운트 프레임 이송 유닛(230)에 근접 설치된 마운트 프레임 언로더 스톡커(250)로 구성된다.

구체적으로, 마운트 프레임 이송 유닛(230)은 다시 턴 오버 트랜스퍼(232)와, 마운트 프레임 언로더 이송장치(234)로 구성된다.

턴 오버 트랜스퍼(232)는 마운트 테이블(300)에 안착된 마운트 프레임을 흡착하는 복수개의 진공 흡착 패드(232a)가 설치된 진공 흡착 패드 프레임(232b)과, 진공 흡착 패드 프레임(232b)에 일측 단부가 결합된 소정 길이를 갖는 턴 오버 로드(232c)와, 턴 오버 로드(232c)의 타측 단부에 결합되어 턴 오버 로드(232c)를 본체(600)의 상면에 대하여 직각 방향으로 180°회동시키는 턴 오버 로드 구동장치(232d)를 포함한다.

마운트 프레임 언로더 이송장치(234)는 턴 오버 로드 구동장치(232d)에 의하여 이송된 마운트 프레임이 안착된 상태로 후술될 마운트 프레임 언로더 스톡커(250)로 이송하기 위한 가이드 레일(234a)과 가이드 레일(234a)에 놓여진 마운트 프레임의 측면을 밀어 마운트 프레임 언로더 스톡커(250)로 이송하기 위한 로드리스 실린더(234b)로 구성된다.

마운트 프레임 언로더 스톡커(250)에는 복수매의 마운트 프레임이 수납되도록 카세트 엘리베이터(252)가 설치된다.

이와 같이 구성된 본 발명 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치의 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 작업자가 최초 공정 개시 명령을 웨이퍼 마운트 설비(700)로 입력하면, 웨이퍼 마운트 설비(700)는 초기화되면서 웨이퍼 스톡커 이송 유닛(500)을 초기화시킨다.

이때, 웨이퍼 스톡커 이송 유닛(500)의 로드리스 실린더(582)가 작동되면서 웨이퍼 스톡커(533)의 더브테일 블록(551a,551b)은 더브테일 가이드 블록(553a,553b)을 따라서 본체(600)중 작업자가 웨이퍼 카세트(533)를 로딩할 부분으로 이송된 후 대기한다.

이후, 작업자가 이송된 웨이퍼 스톡커(530)에 웨이퍼 카세트(533)를 모두 로딩한 후 후속 작업 수행 명령을 웨이퍼 마운트 설비(700)로 입력하면 웨이퍼 스톡커 이송 유닛(550)은 웨이퍼 스톡커(530)를 역으로 이송시켜 지정된 위치로 이송시킨다.

웨이퍼 스톡커(530)가 웨이퍼 스톡커 이송 유닛(550)에 의하여 지정된 위치로 이송되면, 웨이퍼 트랜스퍼(580)의 진공 흡착 패드(586)는 웨이퍼 카세트(533)에 수납된 웨이퍼(w)를 진공 흡착한 후 웨이퍼(w)는 웨이퍼 정렬 유닛(570)으로 로딩하고, 웨이퍼 정렬 유닛(570)은 공급받은 웨이퍼(w)를 정렬한다.

이후, 웨이퍼 정렬 유닛(570)에 정렬된 웨이퍼(w)는 턴 오버 트랜스퍼(590)에 의하여 뒤집히면서 마운트 테이블(300)로 다시 로딩된 후 마운트 테이블(300)의 진공 홀(330)에 흡착 고정된다.

마운트 테이블(300)에 웨이퍼(w)가 고정되면, 마운트 프레임 공급 유닛(400)에서 정렬된 마운트 프레임은 다시 마운트 프레임 트랜스퍼(450)에 의하여 마운트 테이블(300)로 이송된 후 접착 테이프(미도시)에 의하여 마운트 프레임과 이미 로딩된 웨이퍼(w)가 부착된 후 접착 테이프는 절단된다.

이후, 접착 테이프에 의하여 부착된 웨이퍼(w)는 마운트 테이블(300)과 대각선 방향으로 형성되어 마운트 테이블(300)의 마운트 프레임은 턴 오버 트랜스퍼(232)에 의하여 마운트 프레임 이송 유닛(230)으로 이송된 후, 다시 마운트 프레임 언로더 이송장치(234)에 의하여 마운트 프레임 언로더 스톡커(250)로 수납된 후 후속 공정으로 이송된다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커에 웨이퍼 스톡커 이송장치를 설치하여 웨이퍼 스톡커에 다수매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트를 로딩, 빈 웨이퍼 카세트를 언로딩할 때 작업자가 편안한 자세로 작업할 수 있도록 하여 웨이퍼 카세트의 낙하에 의한 웨이퍼의 파손을 방지하는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 본체와, 본체에 설치되며 쏘잉될 웨이퍼와 마운트 프레임이 안착된 상태로 상기 웨이퍼와 상기 마운트 프레임을 접착 테이프에 부착시키는 마운트 테이블과, 상기 마운트 테이블로 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 스톡커와, 상기 마운트 테이블로 상기 마운트 프레임을 공급하는 마운트 프레임 공급 유닛과, 상기 접착 테이프에 의하여 상기 웨이퍼가 부착된 상기 마운트 프레임을 이송받아 수납하는 마운트 프레임 수납장치를 포함하며,

   상기 본체와 상기 웨이퍼 스톡커 사이에는 상기 본체로부터 상기 웨이퍼 스톡커를 슬라이드 방식에 의하여 이재하고 상기 본체로 상기 웨이퍼 스톡커를 적재하기 위한 웨이퍼 스톡커 이송 유닛이 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 스톡커 이송 유닛은 상기 본체상에 설치되며 상기 웨이퍼 스톡커의 이재 및 적재 방향으로 연장되고 상호 소정 간격 이격된 한 쌍의 가이드 레일과;

   상기 가이드 레일의 사이에 설치되며 상기 웨이퍼 스톡커의 이재 및 적재 방향으로 연장된 로드리스 실린더와;

   상기 가이드 레일과 결합되어 상기 웨이퍼 스톡커가 상기 로드리스 실린더에 의하여 이송되도록 상기 웨이퍼 스톡커의 밑면에 설치된 가이드 블록과;

   상기 로드리스 실린더와 결합되도록 상기 웨이퍼 스톡커의 밑면에 설치된 결합 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 웨이퍼 스톡커의 밑면에는 위치 감지 센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 가이드 레일은 더브테일 형상의 홈을 갖는 더브테일 가이드 블록이고, 상기 가이드 블록은 상기 더브테일 홈에 결합되는 더브테일 블록인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운트 설비의 웨이퍼 스톡커 이송장치.