JPH11111814A - 基板検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 良好な検知感度を確保したまま、光の廻り込
みによる誤動作を低減するようにする。 【解決手段】 カセットにおける基板の収容状態を検知
する場合、複数の基板収容スロットのすべてに基板を収
容した場合は、図１（ｄ）に示すように、基板が存在す
る部分と存在しない部分との両方でロウレベルＬ（基板
有り）の検知出力Ｓ２１が得られ、複数の基板収容スロ
ットに１つおきに基板を収容した場合は、図１（ｅ）に
示すように、基板が存在する部分では、ロウレベルＬ
（基板有り）の検知出力Ｓ２２が得られ、基板が存在し
ない部分では、ハイレベルＨ（基板無し）の検知出力Ｓ
２２が得られるような感度で検知する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板収容体におけ
る基板の収容状態を検知する基板検知装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、基板に成膜処理等の処理を施す
基板処理装置においては、処理すべき基板は、カセット
と呼ばれる基板収容体に収容された状態で搬入されるよ
うになっている。このカセットは、通常、複数の基板収
容スロットを有し、各スロットに１つの基板を収容する
ようにして、複数の基板を同時に収容可能となってい
る。

【０００３】また、この基板処理装置においては、基板
が収容されたカセットが搬入されると、このカセットに
おける基板の収容状態を検知し、この検知結果に基づい
て、その後の処理を進めるようになっている。したがっ
て、この基板処理装置においては、カセットにおける基
板の収容状態を検知する基板検知装置が必要になる。な
お、カセットにおける基板の収容状態とは、各基板収容
スロットにおける基板の有無をいう。すなわち、基板の
収容パターンをいう。

【０００４】カセットにおける基板の収容状態を検知す
る基板検知装置としては、通常、光反射方式の基板検知
装置が用いられる。この光反射方式の基板検知装置は、
光センサと反射板との間にカセットを配置するともに、
光センサでカセットを走査し、基板の収容状態によって
光センサの受光量が変化することを利用して基板の収容
状態を検知するものである。

【０００５】この基板検知装置により基板の収容状態を
検知する場合、検知感度を所定の感度に設定する必要が
ある。この検知感度として、従来は、すべての基板収容
スロットに基板を収容した場合、基板が存在する部分で
は、基板有りとの検知結果が得られ、基板が存在しない
部分では、基板無しとの検知結果が得られるような感度
を用いるようになっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、検知感度が高いため、光の廻り込みによ
る誤動作が生じる場合が多いという問題があった。

【０００７】そこで、本発明は、良好な検知感度を確保
した状態で、光の廻り込みによる誤動作を低減すること
ができる基板検知装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の基板検知装置は、複数の基板収納スロ
ットを有し、各基板収容スロットに１つの基板を収容す
るようにして複数の基板を平行に収容可能な基板収容体
における基板の収容状態を検知する装置において、複数
の基板収容スロットのすべてに基板を収容した場合は、
基板が存在する部分と存在しない部分との両方で基板有
りとの検知結果が得られ、複数の基板収容スロットに１
つおきに基板を収容した場合は、基板が存在する部分で
は基板有りとの検知結果が得られ、前記基板が存在しな
い部分では基板無しとの検知結果が得られるような検知
感度で、基板の収容状態を検知するようにしたものであ
る。

【０００９】すなわち、請求項１記載の基板検知装置
は、基板収容体に対してこの基板収容体に収容されてい
る基板にほぼ平行な光を投射する投光手段と、この投光
手段により投光され、基板収容体を通過してきた光を反
射する反射手段と、投光手段により投射され、反射手段
により反射された光を受ける受光手段と、投光手段と受
光手段とによって基板収容体が基板の配列方向に走査さ
れるようにする走査手段と、複数の基板収容スロットの
すべてに基板を収容した場合は、基板が存在する部分と
存在しない部分との両方で基板有りとの検知結果が得ら
れ、複数の基板収容スロットに１つおきに基板を収容し
た場合は、基板が存在する部分では基板有りとの検知結
果が得られ、基板が存在しない部分では基板無しとの検
知結果が得られるような検知感度で、受光手段の受光出
力に基づいて基板の収容状態を検知する基板検知手段と
を備えたことを特徴とする。

【００１０】この基板検知装置では、基板検知時、カセ
ットに対して投光手段から光が投射される。また、カセ
ットが投光手段と受光手段とにより基板の配列方向に走
査される。この場合、投光部から投射された光は、基板
が存在する部分では、この基板により遮られる。これに
対し、基板が存在しない部分では、カセットを通過して
反射手段に当たり、この反射手段により反射された後、
受光手段により受光される。そして、この受光手段の受
光出力に基づいて、基板の収容状態が検知される。

【００１１】この場合、基板の収容状態は、複数の基板
収容スロットのすべてに基板を収容した場合は、基板が
存在する部分と存在しない部分との両方で基板有りとの
検知結果が得られ、複数の基板収容スロットに１つおき
に基板を収容した場合は、基板が存在する部分では、基
板有りとの検知結果が得られ、基板が存在しない部分で
は、基板無しとの検知結果が得られるような感度で検知
される。これにより、良好な検知感度を確保したまま、
光の廻り込みによる誤動作を低減することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を詳細に説明する。

【００１３】図１は、本発明の一実施の形態の要部の構
成を説明するための信号波形図である。ここで、この図
１を用いて、本発明の一実施の形態の要部の構成を説明
する前に、図２を用いて本実施の形態の基板検知装置の
全体的な構成を説明する。図２は、この基板検知装置の
全体的な構成を示す図である。

【００１４】図示の基板検知装置は、投光機能と受光機
能とを有する光センサ１１と、この光センサ１１から投
射された光を反射するための反射板１２と、カセットＣ
を基板Ｗの配列方向に移動させることによりカセットＣ
が光センサ１１により基板Ｗの配列方向に走査されるよ
うにするカセット移載機１３と、光センサ１１の受光出
力Ｓ１に基づいてカセットＣにおける基板Ｗの収容状態
を検知する基板検知部１４とを有する。

【００１５】なお、カセット移載機１３は、本来は、カ
セットＣの移載に使用されるものであるが、本実施の形
態では、上記のごとく、光センサ１１によるカセットＣ
の走査にも使用されている。

【００１６】ここで、カセットＣの移載とは、処理すべ
き基板を基板処理装置に搬入する場合、図示しないカセ
ットステージに載置されたカセットを図示しないカセッ
ト棚に載置したり、処理の終了した基板を基板処理装置
から搬出する場合、カセット棚に載置されたカセットを
カセットステージに載置することをいう。ここで、カセ
ットステージとは、カセットＣの搬入、搬出を行う場合
に、カセットＣが一時的に載置される台をいう。また、
カセット棚とは、例えば、カセットＣとボートとの間
で、基板Ｗの受け渡しを行う場合に、カセットＣが一時
的に載置される棚をいう。

【００１７】上記光センサ１１は、カセットＣに光を投
射するための投光部１１１と、この投光部１１１から投
射された後、反射板１２により反射された光を受光する
ための受光部１１２とを有する。

【００１８】上記カセット移載機１３は、カセットＣが
載置されるカセット載置台１３１と、このカセット載置
台１３１を垂直方向に昇降駆動するための駆動軸１３２
とを有する。上記反射板１２は、カセット移載機１３の
カセット載置台１３１に垂直に起立するように取り付け
られている。これに対し、光センサ１１は、カセット載
置台１３１以外の部分に固定されている。

【００１９】上記カセットＣは、光センサ１１と反射板
１２との間に位置するようにして、カセット載置台１３
１に載置される。このカセットＣは、複数の基板収容ス
ロットを有する。各基板収容スロットには、１つの基板
Ｗが収容される。これにより、カセットＣには、複数の
基板Ｗを収容可能となっている。この場合、複数の基板
Ｗは平行に収容される。また、カセットＣは、基板Ｗが
水平になるようにして、カセット載置台１３１に載置さ
れる。光センサ１１の投光部１１１から投射される光
は、この基板Ｗにほぼ並行となるように設定されてい
る。

【００２０】上記構成において、カセットＣにおける基
板Ｗの収容状態を検知する基板検知動作を説明する。

【００２１】基板検知動作の開始時、カセットＣは、最
下段の基板収容スロットが光センサ１１と対向するよう
に位置決めされている。この状態で、基板検知動作を開
始すると、光センサ１１１からカセットＣに対して光が
投射される。また、カセット載置台１３１が下方に移動
させられる。これにより、カセットＣも下方に移動させ
られる。その結果、カセットＣが、基板Ｗの配列方向に
沿って下端部から上端部に向かって光りセンサ１１によ
り走査される。

【００２２】この場合、光センサ１１の投光部１１１か
ら投射された光は、基板Ｗが存在しない部分では、図３
（ａ）に示すように、カセットＣを通過して反射板１２
に当たる。そして、反射板１２に当たった光は、この反
射板１２により反射された後、受光部１１２により受光
される。この場合、反射板１２に当たった光は、この反
射板１２により反射される場合、９０度位相を変換され
る。受光部１１２は、受けた光のうち、この位相変換さ
れた光だけを取り込む。これにより、受光部１１２で
は、反射板１２により反射された光のみが取り込まれ、
反射板１１２以外の部分で反射された光は取り込まれな
い。

【００２３】これに対し、基板Ｗが存在する部分では、
図３（ｂ）に示すように、投光部１１１から投射された
光は、基板Ｗにより遮られ、カセットＣを通過しない。
これにより、基板Ｗが存在する部分と存在しない部分で
は、受光部１１２の受光量に差がでる。基板検知部１３
は、これ利用して、カセットＣにおける基板Ｗの収容状
態を検知する。

【００２４】すなわち、受光部１１２の受光出力Ｓ１
は、基板検知部１４に供給される。基板検知部１４は、
この受光出力Ｓ１に基づいて、予め定めた検知感度で基
板Ｗの収容状態を検知する。この検知処理は、例えば、
受光部１１２の受光出力Ｓ１と予め定めた閾値Ｔとを比
較することにより行われる。この場合、閾値Ｔの大きさ
が検知感度に対応する。なお、基板Ｗが存在しない部分
には、基板Ｗが存在しない基板収容スロットだけでな
く、隣接する２つの基板の間も含む。

【００２５】以上が、本実施の形態の全体的な構成であ
る。次に、本実施の形態の要部の構成を説明する。

【００２６】本実施の形態は、基板検知部１３の検知感
度（検知用の閾値）に特徴を有する。

【００２７】すなわち、従来の基板検知装置では、上記
のごとく、カセットＣのすべての基板収容スロットに基
板Ｗを収容した場合、基板Ｗが存在する部分では、基板
有りとの検知出力が得られ、基板Ｗが存在しない部分で
は、基板無しとの検知出力が得られるような感度で、基
板Ｗの収容状態を検知するようになっていた。

【００２８】これを図４を用いて説明する。図におい
て、Ｎｏ．は、基板収容スロットの番号を示す。図に
は、２５の基板収容スロットが存在する場合を示す。実
線は、基板Ｗが収容されていることを示す。図には、２
５個の基板収容スロットすべてに基板Ｗが収容されてい
る場合を示す。Ｓ２は、基板検知部１４の検知出力を示
す。ここで、ハイレベルＨは、基板Ｗが無いことを示
し、ロウレベルＬは、基板Ｗが有ることを示す。

【００２９】図示のごとく、従来の基板検知装置では、
検知感度として、すべての基板収容スロットに基板を収
容した場合、基板Ｗが存在する部分では、検知出力Ｓ２
のレベルがロウレベルＬとなり、基板Ｗが存在しない部
分では、検知出力Ｓ２のレベルがハイレベルＨとなるよ
うな感度が設定されていた。

【００３０】しかしながら、このような構成では、基板
Ｗの検知感度が高いため、光の廻り込みによる誤動作が
発生する場合があるという問題があった。

【００３１】すなわち、すべての基板収容スロットに基
板Ｗを収容すると、基板Ｗが存在しない部分であって
も、受光部１１２の受光量が少なくなる。したがって、
この部分で、基板Ｗが無いとの検知出力Ｓ２を得るため
には、検知感度を高める必要がある。検知感度を高める
ためには、検知用の閾値Ｔを小さくする必要がある。

【００３２】一方、受光部１１２の受光量は、現在の走
査位置に基板Ｗが存在する場合であっても、実際には零
ではなく、ある値を示す。これは、光の廻り込みが存在
するからである。ここで、光の廻り込みとは、投光部１
１１から投光された光が走査位置の周囲を通って反射板
１２に到達し、この反射板１２により反射された後、走
査位置の周囲を通って受光部１１２に到達することをい
う。

【００３３】この光の廻り込みによる受光部１１２の受
光量は、現在の走査位置の周囲における基板Ｗの収容状
態に大きく左右される。すなわち、現在の走査位置の周
囲に基板Ｗが存在しなければ、受光量が多くなり、基板
Ｗが存在する場合は、受光量が少なくなる。

【００３４】これを図５を用いて説明する。図５（ａ）
は、現在、基板収容スロットｎ（ｎ＝２，３，…，２
４）を走査しているとした場合において、この基板収容
スロットｎとその両隣の基板収容スロット（ｎ−１），
（ｎ＋１）のいずれにも基板Ｗが存在する場合を示す。
これに対し、図５（ｂ）は、現在走査中の基板収容スロ
ットｎには基板Ｗが存在するが、その両隣の基板収容ス
ロット（ｎ−１），（ｎ＋１）には、基板Ｗが存在しな
い場合を示す。

【００３５】図５（ａ）の場合、廻り込んだ光が基板収
容スロット（ｎ−１），（ｎ＋１）に収容されている基
板Ｗによって遮られる。これにより、この場合は、受光
部１１２における受光量が少なくなる。これに対し、図
５（ｂ）の場合は、廻り込んだ光が、基板収容スロット
（ｎ−１），（ｎ＋１）で遮られることがない。これに
より、この場合は、受光部１１２における受光量が多く
なる。

【００３６】このように現在走査中の基板収容スロット
ｎに基板Ｗが存在するにもかかわらず、その周囲に基板
Ｗがないために、受光部１１２の受光量が多くなると、
この受光量が検知用の閾値Ｔを越えてしまうことがあ
る。このような状態になると、現在の走査位置に基板Ｗ
が存在するにもかかわらず、基板無しとの検知出力が得
られてしまう。

【００３７】これを図１を参照しながら説明する。図１
（ａ）において、Ｓ１１は、２５個の基板収容スロット
のすべてに基板Ｗを収容した場合の受光部１１２の受光
出力Ｓ１を示し、Ｓ１２は、２５個の基板収容スロット
に対して１つおきに基板Ｗを収容した場合の受光部１１
２の受光出力Ｓ１を示す。図には、偶数番目の基板収容
スロットに基板Ｗを収容する場合を示す。Ｔ１は、従来
の基板検知装置における検知用の閾値Ｔを示し、Ｔ２
は、本実施の形態の基板検知装置における検知用の閾値
Ｔを示す。なお、受光出力Ｓ１１，Ｓ１２は、実際に
は、例えば、なまった台形波信号となるが、（ａ）で
は、図を簡単にするために、矩形波信号で示す。

【００３８】図１（ａ）に示すごとく、閾値Ｔ１は、受
光出力Ｓ１１の最大値Ｍ１ｍａｘより小さい値に設定さ
れる。これは、基板Ｗが存在しない部分で、基板無しと
の検知結果が得られるようにするためである。これによ
り、受光出力Ｓ１１と閾値Ｔ１との比較により得られる
検知出力Ｓ２１は、図１（ｂ）に示すような矩形波信号
となる。すなわち、基板Ｗが存在する部分では、ロウレ
ベルＬとなり、基板Ｗが存在しない部分では、ハイレベ
ルＨとなるような矩形波信号となる。

【００３９】一方、受光出力Ｓ１２の値は、全体的に受
光出力Ｓ１１の値より大きくなる。これは、基板Ｗを２
５個の基板収容スロットに１つおきに収容した場合は、
すべてに収容した場合より光の廻り込みによる受光量が
多くなるからである。

【００４０】このように光の廻り込みによる受光量が大
きくなると、受光出力Ｓ１２の最小値Ｍ２ｍｉｎが閾値
Ｔ１より大きくなる場合がある。図１（ａ）は、このよ
うな場合を示す。このような状態になると、受光出力Ｓ
１２と閾値Ｔ１との比較により得られる検知出力Ｓ２２
は、図１（ｃ）に示すように、常時、ハイレベルＨとな
るような信号となる。これにより、基板Ｗの収容状態が
検知できないことになる。

【００４１】そこで、本実施の形態では、図１（ａ）に
示すように、検知用の閾値Ｔ２を受光出力Ｓ１１の最大
値Ｍ１ｍａｘと受光出力Ｓ１２の最大値Ｍ２ｍａｘとの
間に設定するようにしたものである。

【００４２】このような構成によれば、受光出力Ｓ１２
と閾値Ｔ２との比較により得られる検知出力Ｓ２２は、
図１（ｅ）に示すように、基板Ｗが存在する部分では、
ロウレベルＬとなり、基板Ｗが存在しない部分では、ハ
イレベルＨとなるような矩形波信号となる。これによ
り、基板Ｗの収容状態が検知されることになる。

【００４３】なお、このような構成では、受光出力Ｓ１
１と閾値Ｔ２との比較により得られる検知出力Ｓ２１
は、図１（ｄ）に示すように、常時ロウレベルＬとなる
ような信号となる。これにより、基板Ｗが存在しない部
分でも、基板有りとの検知結果が得られてしまう。しか
しながら、この場合は、「どの基板収容スロットに基板
Ｗが存在し、どの基板収容スロットに基板が収容しない
か」ということを問わない場合であるので、問題はな
い。

【００４４】また、このような構成では、基板Ｗを２５
個の基板収容スロットに２つおき以上で収容した場合
は、光の廻り込みによる誤動作が生じる場合がある。し
かしながら、基板Ｗを１つおきに収容した場合に誤動作
が生じないようにした分だけ、従来の基板検知装置より
光りの廻り込みによる誤動作を低減することができる。

【００４５】図６は、２５個の基板収容スロットすべて
に基板Ｗを収容した場合の検知出力Ｓ２１を図４と同じ
ようにして示す信号波形図である。同様に、図７は、基
板Ｗを２５個の基板収容スロットに１つおきに収容した
場合の検知出力Ｓ２２を図４と同じようにして示す信号
波形図である。ここで、破線は、基板Ｗが無いことを示
す。

【００４６】以上が、本実施の形態の要部の構成であ
る。次に、本実施の形態の閾値Ｔ２の設定方法（調整方
法）の一例を説明する。

【００４７】この場合、まず、閾値Ｔを最小値に設定す
る（検知感度を最大感度に設定する）。次に、２５個の
基板収容スロットのすべてに基板Ｗを収容して、基板検
知動作を実行する。この状態で、閾値Ｔを徐々に大きく
する（検知感度を徐々に下げる）。そして、検知出力Ｓ
２１が図１（ｂ）に示すような矩形波信号から図１
（ｄ）に示すようなロウレベル信号に変化したとき、基
板検知動作と閾値調整操作（検知感度調整操作）とを停
止する。このときの閾値ＴをＴａとする。

【００４８】次に、２５個の基板収容スロットに１つお
きに基板Ｗを収容し、基板検知動作を再開する。この状
態で、再び閾値ＴをＴａから徐々に大きくする（検知感
度を徐々に下げる）。そして、検知出力Ｓ２２が図１
（ｅ）に示すような矩形波信号からロウレベル信号に変
化したとき、基板検知動作と閾値調整操作（検知感度調
整操作）とを停止する。このときの閾値ＴをＴｂとす
る。

【００４９】次に、閾値Ｔを、例えば、ＴｂとＴａとの
間くらいまで戻す。これにより、閾値Ｔ２が設定された
ことになる。以上が、本実施の形態の閾値Ｔ２の設定方
法の一例である。

【００５０】なお、以上の説明では、閾値Ｔ２を設定す
る場合、閾値Ｔを徐々に大きくすることによって設定す
る場合を説明した。しかしながら、本実施の形態では、
閾値Ｔを徐々に小さくすることによって設定するように
してもよい。この場合は、最初、閾値Ｔを最大値に設定
すればよい。また、基板検知動作を行う場合は、まず、
複数の基板収容スロットに基板Ｗを１つのおきに収容し
た場合の基板検知動作を実行し、次に、すべての基板収
容スロットに基板Ｗを収容した場合の基板検知動作を実
行するようにすればよい。

【００５１】以上詳述した本実施の形態によれば、受光
部１１２の受光出力Ｓ１に基づいて基板Ｗの収容状態を
検知する場合、複数の基板収容スロットのすべてに基板
Ｗを収容した場合は、基板Ｗが存在する部分と存在しな
い部分との両方で基板有りとの検知結果が得られ、複数
の基板収容スロットに１つおきに基板を収容した場合
は、基板Ｗが存在する部分では、基板有りとの検知結果
が得られ、基板Ｗが存在しない部分では、基板無しとの
検知結果が得られるような感度で検知するようにしたの
で、良好な検知感度を確保したまま、光の廻り込みによ
る誤動作を低減することができる。

【００５２】以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明
したが、本発明は、上述したような実施の形態に限定さ
れるものではない。例えば、先の実施の形態では、本発
明を、カセットＣを移動させることにより、光センサ１
１でカセットＣを走査する構成の基板検知装置に適用す
る場合を説明した。しかしながら、本発明は、光センサ
１１を移動させることにより、この光センサ１１でカセ
ットＣを走査する構成の基板検知装置にも適用すること
ができる。この他にも、本発明は、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論である。

【００５３】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の基板
検知装置によれば、受光手段の受光出力に基づいて基板
Ｗの収容状態を検知する場合、複数の基板収容スロット
のすべてに基板Ｗを収容した場合は、基板Ｗが存在する
部分と存在しない部分との両方で基板有りとの検知結果
が得られ、複数の基板収容スロットに１つおきに基板を
収容した場合は、基板Ｗが存在する部分では、基板有り
との検知結果が得られ、基板Ｗが存在しない部分では、
基板無しとの検知結果が得られるような感度で検知する
ようにしたので、良好な検知感度を確保したまま、光の
廻り込みによる誤動作を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の要部の構成を説明する
ための信号波形図である。

【図２】本発明の一実施の形態の全体的な構成を示す側
面図である。

【図３】本発明の一実施の形態の基板検知動作を説明す
るための側面図である。

【図４】従来の基板検知装置の検知感度の設定方法を説
明するための信号波形図である。

【図５】光の廻り込みによる受光量の変化を説明するた
めの側面図である。

【図６】本発明の一実施の形態の検知感度の設定方法を
説明するための信号波形図である。

【図７】本発明の一実施の形態の検知感度の設定方法を
説明するための信号波形図である。

【符号の説明】

１１…光センサ、１２…反射板、１３…カセット移載
機、１４…基板検知部、１１１…投光部、１１２…受光
部、１３１…カセット載置台、１３２…駆動軸。Ｃ…カ
セット、Ｗ…基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板収納スロットを有し、各基板
   収容スロットに１つの基板を収容するようにして複数の
   基板を平行に収容可能な基板収容体における前記基板の
   収容状態を検知する基板検知装置において、 前記基板収容体に対してこの基板収容体に収容されてい
   る基板にほぼ平行な光を投射する投光手段と、 この投光手段により投光され、前記基板収容体を通過し
   てきた光を反射する反射手段と、 前記投光手段により投射され、前記反射手段により反射
   された光を受ける受光手段と、 前記投光手段と前記受光手段とによって前記基板収容体
   が前記基板の配列方向に走査されるようにする走査手段
   と、 前記複数の基板収容スロットのすべてに前記基板を収容
   した場合は、前記基板が存在する部分と存在しない部分
   との両方で基板有りとの検知結果が得られ、前記複数の
   基板収容スロットに１つおきに前記基板を収容した場合
   は、前記基板が存在する部分では基板有りとの検知結果
   が得られ、前記基板が存在しない部分では基板無しとの
   検知結果が得られるような検知感度で、前記受光手段の
   受光出力に基づいて前記基板の収容状態を検知する基板
   検知手段とを備えたことを特徴とする基板検知装置。